JPH0781814B2 - 物理的な大きさを遠隔検出するためのオプトエレクトロニクス式方法と装置 - Google Patents

物理的な大きさを遠隔検出するためのオプトエレクトロニクス式方法と装置

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JPH0781814B2
JPH0781814B2 JP62501900A JP50190087A JPH0781814B2 JP H0781814 B2 JPH0781814 B2 JP H0781814B2 JP 62501900 A JP62501900 A JP 62501900A JP 50190087 A JP50190087 A JP 50190087A JP H0781814 B2 JPH0781814 B2 JP H0781814B2
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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、このスペクトラルトランスミツシヨン（spec
tral transmission）が測定すべき物理的大きさの関数
として変化する検出エレメントをそれぞれ含むセンサで
あつて、非干渉性光線ビームにより照射され、光線信号
をスペクトル分析手段まで伝送するセンサにより物理的
な大きさを遠隔検出するオプトエレクトロニクス式方法
と装置とに関する。
背景技術 光フアイバを利用できるようになつて以来、例えば温
度、化学成分、磁界等々の物理的な大きさの変化を遠隔
検出する目的で媒体中のスペクトラルトランスミツシヨ
ンの変化を利用することが一般的となつた。
特に、温度変化が検出媒体の吸収スペクトルを大きく変
化させるサーモクロミツク（thermochromic）な溶液に
基くセンサが存在している。そのようなセンサの一実施
例が、1984年９月５〜７日の第２回光フアイバセンサに
関する国際会議の「サーモクロミツク変換器の光フアイ
バセンサ」と題するエム、ブレチ他（M.Breci et.al.en
tifled“Thermochromic Transducer Oprical Fiber Sen
sor"、2nd International Conference on Optical Fibe
r Sensors 5−7 September 1984）の論文に記載されて
いる。
また、検出媒体の温度変化により吸収帯の縁を運動させ
る、半導体エタロンによるセンサも介在している。この
タイプのセンサは1982年のIEEE,QE−18,676の「温度測
定のための光フアイバ計器」（“Fiber Optic Instrume
nt for Temperature Measurement"）と題する、ケイ、
キユーマ（K.Kyuma）、エス、タイ（S.Tai）、テイ、サ
ワダ（T.Sawada）およびエム、ヌノシタ（M.Nunoshit
a）による論文に記載されている。
また、二元混合（binary mixture）成分の変化が三刺激
値を変化させる比色タイプセンサも存在している。この
タイプのセンサは1985年６月６日付の仏国特許第8,508,
550号に記載されている。
現在の方法は、使用されたスペクトルキヤリヤが全て相
互に混合される単一光フアイバにおいて簡単には前述の
タイプの数個の同一のセンサからの情報を多重化するこ
とはできない。
発明の開示 本発明の目的は共通の光源、従つて共通のキヤリヤを用
いたスペクトル情報を共通の光フアイバ上で多重化でき
るようにする、前述の問題に対する簡単な解決法を提供
することである。
この目的に対して、本発明はそのスペクトラルトランス
ミツシヨンが測定すべき物理的大きさの関数として変化
する検出エレメントをそれぞれ含み、非干渉性光線によ
り照射され、光線信号をスペクトル分析手段へ伝送する
センサにより物理的大きさを遠隔検出するオプトエレク
トロニクス式方法であつて該当するセンサの特性である
周波数におけるスペクトルの周期的変調あるいは疑似周
期的変調を、各センサの検出エレメントにより伝送され
て光線に重ねることにより各センサからの信号を符号化
し、このように変調された信号を光フアイバを介して前
記のスペクトル分析手段まで伝送し、各センサに係る信
号を隔離するために光学的にフーリエ変換を行うことに
より信号を復合化即ち非多重化し、そして次にこの信号
を処理して対応する物理的大きさの値を得ることを特徴
とするオプトエレクトロニクス式方法を提供する。
スペクトル変調の符号化は、例えばセンサの検出エレメ
ントに関連した所定の構成の複屈折プレートから構成さ
れる二波干渉計により各センサにおいて実施され、非多
重化は、例えばセンサの複屈折プレートと同一の複屈折
プレートからなる二波干渉計にらり有利に行われる。
このように、種々のセンサから来る信号は光学的手段に
より極めて簡単に多重化されたり、非多重化される。ま
た、この方法は各センサに対して完全に静的に実行でき
るという利点を有する。
本発明の別の特徴によれば、フーリエ変換から得られる
信号は各センサに対して記録され、逆フーリエ変換タイ
プの数学的演算がデジタル手段により実行される。
このように、センサの挙動を示す情報、即ちセンサの検
出エレメントに作用する物理的大きさの値にアクセスす
ることが可能となる。
本発明の別の特徴によれば、センサのスペクトル変調周
波数はセンサの検出エレメントに作用する大きさとは異
る第２の物理的大きさの関数として変動し信号をフーリ
エ変換により非多重化して前記の双方の大きさの値に同
時にアクセスできるようにする。
変形においては、センサの検出エレメントは対応する物
理的大きさの所定値の近くでオン／オフモードで作動
し、各センサから非多重化された信号の見掛けの強さが
その所定値に関係する物理的大きさの状態を推定するた
めに記録される。
また、本発明はそのスペクトラルトランスミツシヨンが
測定すべき物理的大きさの関数として変動する検出エレ
メントをそれぞれ含み、光フアイバによりスペクトル分
析手段に接続されるセンサに光フアイバにより接続され
た非干渉性光源を含む、物理的な大きさを遠隔するオプ
トエレクトロニクス式装置であつて、各センサが、該当
するセンサの特性である周波数において検出エレメント
により伝送された光線を周期的あるいは疑似周期的に変
調する、スペクトル変調符号化手段を含み、各センサが
全てのセンサに共通の光フアイバによりスペクトル分析
手段に接続されており、スペクトル分析手段がセンサか
ら受取つた信号に光学的にフーリエ変換を行つてその特
性的な周波数により各センサからの信号を区別する二波
干渉計を含み、また、非多重化信号を検出し、これらの
信号を処理して検出された物理的大きさの値を推定する
検出器および処理手段を含むことを特徴とするオプトエ
レクトロニクス式装置を提供する。
本発明の別の特徴によれば、スペクトル変調符号化手段
が、対応するセンサの特性である、２波間の光路差を導
入するに敵した二波干渉計である。
好適には、各スペクトル変調符号化手段はセンサの検出
エレメントの直近において交差、あるいは平行の偏光子
の間に位置した所定の構成の複屈折プレートを含む。
その場合、非多重化干渉計は、それぞれが対応するセン
サの複屈折プレートと同一の一組の複屈折プレートを、
これらプレートを１個づつ干渉計の光軸に合わせる手段
と共に含む。検出手段は、各センサに係る有用な非多重
化信号の全てを記録する手段を含み、かつ処理手段は記
録された信号に付与された逆フーリエ変換をデジタル的
に実施する手段を含む。
変形においては、センサの検出エレメントは対応する物
理的大きさの所定値の近くで切換わるオン−オフタイプ
である。この場合、当該物理的大きさが所定値より大き
いか、小さいかは、各センサに関係する非多重化信号の
見掛けの強さを単に記録することにより検出することが
できる。
一般的に、本発明は共通の光フアイバにおいて、物理的
大きさに応答する複数のセンサにより伝送された信号を
多重化し、前記信号を非多重化し、かつそれらを処理し
て複数の計測点において少なくとも２個の物理的大きさ
の値を得ることかできるようにする。
図面の簡単な説明 本発明は、添付図面を参照した以下の例示的説明を読め
ばよりよく理解され、かつその他の詳細、特性および利
点が明らかとなる。
第1A図は本発明による装置の線図、 第1B図は前記装置の全体的な作動原理を示す線図、 第2A図、第2B図、第2C図および第2D図はセンサにより伝
送される信号を符号化するために用いる変調周波数の役
割を示す図、 第3A図、第3B図、第3C図および第3D図はセンサにより伝
送されるスペクトルと変調後に得られる信号との間の関
係を示す図、 第４図は本発明によるセンサの一実施例の線図、および 第５図は本発明によるスペクトル分析手段の基本的部分
の実施例の線図である。
添付図面は少なくともある程度までは具体的であつて、
本発明の理解を助けるのみならず、適宜本発明を規定す
る上で役立つ説明を伴つている。
発明を実施するための最良の形態 本発明による装置は第1A図において線図で示され、かつ
例えばフイラメントランプあるいは発光ダイオード（LE
D）のような非干渉性光源10を含み、該光源は、測定す
べき物理的大きさに感応する、対応のセンサエレメント
により伝送される光線をスペクトル変調符号化するため
に符号化装置DC1，DC2，……，DCi，……とそれぞれ関
連しているセンサC1，C2，……Ci，に放射光フアイバ12
と接続フアイバ14とを介して接続されている。組立体C1
−DC1，C2−DC2，……は光接続フアイバ16により共通の
受光光フアイバ18に接続されており、該フアイバ18は検
出および処理のため回路22と関連した復調装置20に連つ
ている。
センサと符号化装置との組立体は第1B図に線図で示す要
領で作動する。この図において、Ｂ（σ）はセンサにお
いて入射される光線信号のスペクトルを示し、σは波数
である。センサCiの検出エレメントが、例えば温度のよ
うな測定すべき物理的大きさＸにあてられ、そのスペク
トル伝送をTi（σ,X）で示す。
符号化装置DCiは、当該センサの特性を示す２つの波の
間の光路差Δｉを挿入するための二波干渉計装置であ
る。
センサは、該センサにおける物理的大きさＸの状態を示
す抱絡線Ｂ（σ）Ti（σ,X）のスペクトルを伝え、当該
センサの特性である周波数Δｉの周波数的な正弦波変調
がそれに対して付与される。
このように対応する光フアイバ16により集められる光束
は全体的に以下のように表現される。
β′（σ,X,i）＝1/2B（σ）Ti（σ,X）（１＋cos2πσΔｉ） この光束は光フアイバ18により復調装置20に伝送され、
該復調装置は二波干渉計によりこの光束に対して光学的
にフーリエ変換を行う。組立体Ci-DCiに関して得られる
信号は以下のように表現される。
Ｄは復調干渉計における光路差であつて、 はＢ（σ）Ti（σ,X）の余弦フーリエ変換である。
その結果、伝送された光束のスペクトル幅に反比例し、
かつ各センサの光路差O,＋Δi,−Δｉに集中する３個の
空間拡張応答（space extension response）が得られ
る。
第2A図、第2B図、第2C図および第2D図は光束における変
調周波数Δｉの値に対する作用を示す。第2A図と第2C図
とは、２つの異つた変調周波数により符号化された任意
の光線スペクトルの線図である。第2B図と第2D図とはフ
ーリエ変換により復調後に得られた信号を示し、第2B図
の信号は第2A図の光束に対応し、第2D図の信号は第2C図
の光束に対応する。フーリエ変換後は、同じ光路差の値
Ｄにおいては横方向の応答は得られず、いずれか２個の
センサ間の符号化周波数の差が、各センサにより伝送さ
れる光束のフーリエ変換の空間範囲 より大きい限りは簡単に識別し、かつ隔離することが可
能なることが判る。
第3A図、第3B図、第3C図および第3D図は、フーリエ変換
復調後に得られた横方向応答＋Δｉの波形に対するセン
サのスペクトラルトランスミツシヨンの変化の作用を示
す。センサの検出エレメントにより伝送されるスペクト
ルが第3A図と第3C図とに示され、対応する横方向の応答
＋Δｉが第3B図と第3D図とに示されている。センサの検
出エレメントにより伝送されるスペクトルにおいて得ら
れた情報は復調された信号において得られた情報に直接
関係し、その関係はフーリエ変換タイプである。
その結果、本発明による方法と装置とは共通の非干渉性
キヤリヤを用いて、共通の光学ライン上で複数のセンサ
からのスペクトル情報を多重化するために用いることが
できる。
非多重化された信号は以下のように処理される。
回路22の検出手段が、各種のセンサに関係する横方向応
答＋Δｉに対応する干渉ゾーンを記録する。各センサに
対して、有用な信号は以下の形態をとる。
この関係において、最初の項は重ねられつつある各種セ
ンサの直接的成分に対応し、第２の項は対応するセンサ
Ciの挙動に直接関係する。
例えば差動増幅、あるいはAC結合、あるいはまたデジタ
ル減算による、適当なアナログあるいはデジタル処理に
より、前記関係式における第１の項の総計に対する直接
的なバツクグラウンドが除去され、有用な信号即ち前記
関係式の第２の項のみがデジタル化される。
その後、特性的な光路差Δｉの近くで得られる値に対し
て逆フーリエ変換を得るようデジタル化方法（コンピユ
ータプログラム、あるいは特殊FFTタイプ回路）が採用
され、このようにして、センサCiの挙動即ちＢ（σ）Ti
（σ,X）を表わす情報にアクセスできるようにする。
光源10におけるドリフトの可能性を排除するために、構
成が組立体Ci-DCiと類似であるが、検出エレメントを含
まない参照経路を利用することが有利である。この参照
経路に対応する非多重化信号を処理して光源からのスペ
クトルでのエネルギ分布即ちＢ（σ）を検出し、かつ各
種のセンサに有効に関係する、伝送における変動Ti
（σ,X）に関する精度を上げるようにする。
変形においては、各種のセンサCiの検出エレメントは、
スペクトラルトランスミツシヨンが測定すべき物理的大
きさＸの所定値の近くで急に変動するオン／オフタイプ
とすればよい。そのような検出エレメントの挙動は概ね
以下の式により表現しうる。
Ti（σ,X）＝Ｏ（ＸX0の場合） Ti（σ,X）＝Ti（σ）（Ｘ＞X0の場合） これらの状況下において、スペクトル情報自体は相対的
に余り重要でないが、検出エレメントのスペクトラルト
ランスミツシヨンが急に変動するときの所定値X0に関係
する物理的大きさＸの状態は単に検出エレメントからの
一貫した伝送を評価することにより検出できる。
光源10が、中央の波長がλ0で、スペクトルの幅がΔλ
である均一タイプのものであると想定すれば、有用な信
号は以下のように表現される。
同調位置Δｉによる単純な２π位相変調で、有用な信号
の振幅BT0を評価し、かつセンサの検出エレメントがＸ
Ｘ0の値に対応するスペクトラルトランスミツシヨン
状態にあるか、Ｘ＞X0の値に対応するスペクトラルトラ
ンスミツシヨン状態にあるか推定する上で十分である。
前述のように、各種センサの伝送を永久的にモニタし、
そのため光源の作動上の変動による問題を排除できるの
であれば、何ら検出エレメントを含まない参照経路を用
いることが有利であろう。
第４図は本発明によるセンサ符号化装置組立体の好適な
実施例を示す。
光源10をセンサに接続する光フアイバ14の端は、偏光子
ｐに付与される平行光線のビームを提供するコリメータ
24の焦点位置に位置付けされる。偏光子には、その軸線
に対して平行に切断された一方向性の複屈折材のプレー
ト26が続き、次に分析器Ａが続き、その次にそのスペク
トラルトランスミツシヨンが測定すべき物理的大きさＸ
の関数で変動するセンサの検出エレメントが続く。前記
組立体により伝送される光線は、復調装置20の光フアイ
バ18に接続された光フアイバ16の端に焦点が来る出側光
学装置30により集められる。前記プレート26はnL軸が緩
かで、nR軸が急であることを特徴とする。偏光方向は軸
が緩かで45度の角度にあり、偏光子ｐと分析器Ａとの組
立体は交差、あるいは平行に配置される。光線の２つの
偏光状態の間の干渉のために、前記センサと符号化装置
との組立体により伝送される光束は、それにより提供さ
れる光路差に等しい周波数として周期的、あるいは擬似
周期的スペクトルを明示する。但し前記光路差Δが光源
10の干渉性の長さより大きく、Δが以下の式により与え
られる場合である。
Δ＝ｅ（nL-nR）＝e,Δｎ（σ） ここでｅ＝プレート26厚さである。
前記の光路差はある程度まではスペクトルによつて変わ
り、そのため復調装置において、同じ構成を有しスペク
トルに対する依存性の類似な複屈折干渉計を用いてその
作用を微分的に補正すれば有利である。そのような補正
は、特に使用光源が幅の広いスペクトル（例えばフイラ
メントランプ）を提供する場合は有用である。
情報を復調するために用いる複屈折干渉計は（例えばブ
ラバス−Bravaisタイプの）走査干渉計あるいは（バビ
ネツト−Babinetあるいはウオラストン−Wollastonタイ
プの）固定干渉計でよい。走査干渉計が用いられた場
合、有用な信号は、該干渉計で光路差を連続的に変える
に適した運動エレメントの移動量によつて左右される単
一の光電式検出器により記録される。固定干渉計が用い
られた場合、各センサに関係する有用な信号は、該干渉
計における光路差が、可動経路を移動させることなく得
られる、例えば荷電転送CCDダイオードの帯片のような
多点式検出器により記録される。
復調干渉計の好適な実施例を第５図に示す。
この図において、光フアイバ18の端はコリメータ32の焦
点位置に位置され、偏光子ｐに付与される光線の平行ビ
ームを提供する。この偏光子に、第４図のプレート26と
構成が同一の複屈折材のプレート34が続く。複屈折材の
プレート34には、ウオラストン（Wollaston）プリズム3
6が続き、該プリズムは、当該装置の光軸に対して傾斜
している面に沿つて相互に積重ねられ、かつ要素プリズ
ム40の速い軸に要素プリズム38の遅い軸を一致させて交
差して配置した２個の複屈折要素プリズム38と40とによ
り構成されている。（当該装置の光軸上の）領域の中心
においては前記２個のプリズムの厚さは同じである。ウ
オラストンプリズム36には分析器Ａが続き、該分析器
は、例えばCCDタイプの多点式直線検出器42上に干渉フ
リンジ領域の像を形成する出側光学装置41と関連してい
る。偏光子ｐと分析器Ａとの組立体は交差の形態かある
いは平行の形態であつて、偏光の方向は複屈折プレート
34の中立軸に対して45度の角度にある。
これらの状態において、復調装置20による光路差Ｄは光
軸に対して垂直であつて、かつそれに沿つて多点式検出
器42の感光エレメントが整合している優先的な光学的方
向Ｘに沿つて直線的に変化する。
実際にはセンサと符号化装置との組立体の一方の複屈折
プレート26に対応する復調装置の各々の複屈折プレート
34は変調装置の光軸に対して平行の軸心の周りを回転す
るよう装着されたデイスクであつて、各種の複屈折プレ
ートを当該装置の光軸に連続的に持つて来て、受光光フ
アイバ18により伝送される光線信号を非多重化するよう
デイスクを回転させる駆動装置と関連したデイスクによ
り担持されている。
さらに、本発明による装置において用いられるセンサは
測定すべき第１の物理的大きさＸ、例えば二元混合の濃
度に対して感応するエレメントを含み、一方各センサの
特性である変調周波数は何らかの他の物理的大きさＹ、
例えば温度の関数として変動する。この場合、本発明に
おいて用いられる非多重化、検出および処理手段は双方
の物理的大きさの値に同時にアクセスできるようにす
る。但し、復調された信号における横方向応答の位置＋
Δは符号化する（したがつて物理的大きさＹの値を得
る）ために使用する変調周波数の値を定量化するに適
し、 センサの検出エレメントのスペクトラルトランスミツシ
ヨン（したがつて大きさＸの値も）が適当な処理（零周
波数のバツクグラウンドおよび逆フーリエ変換の除去）
の後光路差＋Δについて記録された復調信号から検出で
きることである。
さらに、センサの検出エレメントのスペクトル伝送が双
方の物理的大きさＸとＹとの関数であるとすれば、第２
の物理的大きさＹを独立して測定できる可能性によつ
て、Ｙによつて作用されるスペクトラルトランスミツシ
ヨンの効果を除去し、したがつて物理的大きさＸの値を
正確に得ることができる。

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】そのスペクトラルトランスミツシヨンが測
    定すべき物理的大きさＸの関数として変化する検出エレ
    メント（28）をそれぞれ含み非干渉性光線ビームにより
    照射されるセンサを含み、光線信号をスペクトル分析手
    段（20,22）に伝送するセンサ（C1，C2……Ci）により
    物理的大きさを遠隔検出するオプトエレクトロニクス式
    方法において、該当センサの特性である周波数における
    スペクトルの周期的あるいは擬似周期的変調を各センサ
    の検出エレメントにより伝送される光線上に重ね、この
    ように変調された信号を光フアイバ（18）を介して前記
    スペクトル分析手段（20,22）まで伝送し、各センサに
    関係する信号を隔離するために光学的にフーリエ変換を
    行うことにより信号を復合化即ち非多重化し、次いで対
    応する物理的大きさＸの値を得るために前記信号を処理
    することを特徴とする物理的大きさを遠隔検出するオプ
    トエレクトロニクス式方法。
  2. 【請求項２】請求の範囲第１項に記載の方法において、
    スペクトル変調符号化が、センサの検出エレメント（2
    8）に関連した所定構造の例えば複屈折プレート（26）
    を含む二波干渉計(DC)iにより各センサにおいて実施さ
    れ、非多重化が、例えばセンサの前記プレート（26）に
    同一の複屈折プレート（38）を含む二波干渉計（20）に
    より提供されることを特徴とするオプトエレクトロニク
    ス式方法。
  3. 【請求項３】請求の範囲第１項または第２項に記載の方
    法においてフーリエ変換から得られる信号が各センサに
    対して記録され、かつ逆フーリエ変換タイプの数学的演
    算がデジタル手段によつて該信号に対して実施されるこ
    とを特徴とするオプトエレクトロニクス式方法。
  4. 【請求項４】請求の範囲第３項に記載の方法において、
    センサのスペクトル変調周波数がセンサの検出エレメン
    トに作用するものと相違する第２の物理的大きさの関数
    として変動し、信号がフーリエ変換により非多重化され
    て双方の大きさの値に同時にアクセスできるようにする
    ことを特徴とするオプトエレクトロニクス式方法。
  5. 【請求項５】請求の範囲第１項または第２項に記載の方
    法において、センサの検出エレメント（28）が対応する
    物理的大きさの所定値の近くでオン／オフモードで作動
    し、各センサからの非多重化された信号の見掛けの強さ
    がその所定値に関連する物理的大きさの状態を推定する
    よう記録されることを特徴とするオプトエレクトニクス
    式方法。
  6. 【請求項６】そのスペクトラルトランスミツシヨンが測
    定すべき物理的大きさの関数として変化する検出エレメ
    ント（28）をそれぞれ含み、光フアイバ（16,18）によ
    りスペクトル分析手段に接続されているセンサ（C1，
    C2，…Ci）に光フアイバ（12,14）により接続された非
    干渉性光源（10）を含み、各センサが当該センサの特性
    である周波数において検出エレメントにより伝送された
    光線を周期的あるいは擬似周期的に変調するスペクトル
    変調符号化手段（DC1，DC2，……，DCi）を含み、各セ
    ンサは全てのセンサに対して共通の光フアイバ（18）に
    よりスペクトル分析手段（20,22）に接続されており、
    前記スペクトル分析手段がその特性的な周波数によつて
    各センサからの信号を区別するために、センサから受取
    つた信号にフーリエ変換を光学的に実施する二波干渉計
    （20）を含み、また非多重化された信号を検出し、かつ
    これらの信号を処理し検出された物理的大きさの値を推
    定するための検出および処理手段（22）を含むことを特
    徴とする、物理的大きさを遠隔検出するオプトエレクト
    ロニクス式装置。
  7. 【請求項７】請求の範囲第６項に記載の装置において、
    各々のスペクトル変調符号化手段DCiが、対応するセン
    サの特徴である２つの波の間の光路差を導入するに適し
    た二波干渉計であることを特徴とするオプトエレクトロ
    ニクス式装置。
  8. 【請求項８】請求の範囲第６項または第７項に記載の装
    置において、各々のスペクトル変調記号化手段DCiが、
    センサの検出エレメント（28）の直近において交差、あ
    るいは平行の偏光子ｐ、Ａの間に位置され所定構造の複
    屈折プレート（26）を含むことを特徴とするオプトエレ
    クトロニクス式装置。
  9. 【請求項９】請求の範囲第８項に記載の装置において、
    非多重化干渉計（20）が、それぞれ対応する方のセンサ
    の複屈折プレート（26）と同一である一組の複屈折プレ
    ート（34）を、これらのプレートを１個づつ干渉計（2
    0）の光軸に合わせる手段と共に含むことを特徴とする
    オプトエレクトロニクス式装置。
  10. 【請求項１０】請求の範囲第６項から第９項までのいず
    れか１項に記載の装置において、検出手段が各センサに
    関連する有用な非多重化した信号の全てを記録する手段
    （30）を含み、かつ処理手段が記録された信号に付与さ
    れた逆フーリエ変換をデジタル的に実施する手段を含む
    ことを特徴とするオプトエレクトロニクス式装置。
  11. 【請求項１１】請求の範囲第10項に記載の装置におい
    て、スペクトル変調符号化手段（DCi）がセンサの検出
    エレメント（28）に作用するものと相違する第２の物理
    的大きさに感応し、かつ前記処理手段が前記大きさの双
    方の値を同時に検出できることを特徴とするオプトエレ
    クトロニクス式装置。
  12. 【請求項１２】請求の範囲第６項から第９項までのいず
    れか１項に記載の装置において、センサの検出エレメン
    ト（28）が対応する物理的大きさの所定の値の近くでオ
    ン／オフモードで作動するタイプであり、かつ検出手段
    （22）が各センサに関連する非多重化した信号の見掛け
    の強さを記録する手段を含むことを特徴とするオプトエ
    レクトロニクス式装置。
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