JPH0789683B2

JPH0789683B2 - リニアモ−タを用いた懸垂式搬送装置

Info

Publication number: JPH0789683B2
Application number: JP59250730A
Authority: JP
Inventors: 好信今村; 貞次堀本; 清樹渡辺
Original assignee: 日立機電工業株式会社
Priority date: 1984-11-27
Filing date: 1984-11-27
Publication date: 1995-09-27
Anticipated expiration: 2010-09-27
Also published as: JPS61128706A

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明は、被搬送物を載置する搬送台を懸垂させ、加圧
空気で浮上させながらリニアモータで移送する搬送装置
に関する。

（ロ）従来技術この種の搬送装置の従来例としては、リニアモータを固
定子を搬送路の下方に配置し、搬送経路に沿って設けら
れ、内部に供給された加圧空気を細孔より外部に噴出す
る搬送管路により、搬送台を浮上させリニアモータによ
り搬送せしめるものがあった。

しかし、上記方式では、リニアモータを構成する可動子
及び固定子が搬送路下面に配置されるため、搬送経路の
下側空間を占有することによりその部分に必要な他の装
置を設置できず、また、搬送装置全体の高さが高くなり
ひいては設置場所の制約等を受けるという欠点があっ
た。

また、懸垂式の搬送装置としては、例えば懸垂式のトロ
リーコンベヤ等があるが、運転中に回転部分や摺動部分
から微塵が発生する。そのため、この種の搬送装置はク
リーンルーム内等、特に塵埃をきらう環境では利用でき
ないという欠点があった。

（ハ）目的本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、搬送台を
懸垂式として、搬送経路の下側空間を占有せず、また、
加圧空気で浮上させると共に塵埃等を発生させないリニ
アモータを用いた懸垂式搬送装置を提供することを目的
としている。

（ニ）構成本発明は、搬送経路に沿って設けられ、内部に供給され
た加圧空気を細孔より外部に噴出せしめる管構造の搬送
管路に、ハンガーにより釣り下げられその一部がリアク
ションプレートとなるガイドを前記搬送管路に跨座させ
るとともに、このハンガーの下部に被搬送物を懸垂させ
て、前記リアクションプレートと、リアクションプレー
トに対向配設されたリニアモータと固定子との間に推力
を発生させて搬送台を移送する空気浮上型のリニアモー
タを用いた懸垂式搬送装置である。

（ホ）実施例第１図は本発明に係る搬送装置の第１の実施例を示す正
面図、第２図は同側面図である。第１図及び第２図にお
いて、１は非磁性材質からなる角パイプ状の搬送管路で
あり、フレーム11によって搬送経路に沿って固設されて
いる。この搬送管路１の上面及び両側面にはそれぞれ適
宜の口径を有する細孔1aが所定の間隔で開口している。
加圧空気は外部より図示しない空気吸入口より搬送管路
１内へ送られ、前記細孔1aを介して、搬送管路１の上面
及び両側面へ噴出する。

２は前記搬送管路１を挟む位置に配置されたハンガーで
あり、該ハンガー２の上辺中央部分には止め金具28があ
り、この止め金具28にスライドする支持ロッド27の下部
には前記搬送管路１上に跨る如く設けたガイド24があっ
て、このガイド24の固定子５に対向する部分がリニアモ
ータのリアクションプレートとして推力を生ぜしめるよ
う導電性材料、例えばアルミニウム又は銅板等で構成さ
れている。また、このガイド24の進行方向から見た断面
は略コの字形状に形成してあって、その後端および前端
は進行の際の空気抵抗を考慮して第２図に図示するごと
く円弧状になっている。

そして、ガイド24と、ハンガー２の間には２組のスプリ
ング26が介装されており、ガイド24の振動が直接ハンガ
ー２に伝達しないよう前記スプリングにより吸収される
ように構成されている。

するように配置される。

また、ハンガー２の一端にはバランスウェイト29が取着
されてあり、このバランスウェイト29の位置、重量は被
搬送物の重量に関連して設定される。

５はリニアモータの一次側を構成する固定子で、前記ガ
イド24と所定の空隙を介して対向する位置で搬送管路１
内に、搬送方向に所定の間隔で取付けられている。

ハンガー２の下部には被搬送物６に対応した所定形状の
搬送台３が固設される。

つぎに、上述のように構成した本発明に係る第１の実施
例の動作について説明する。

加圧空気は搬送管路１内へ送られると、前記細孔1aから
搬送管路１の上面及び両側面へ噴出する。噴出した前記
加圧空気はガイド24の水平面の下面及び両側内面を押圧
するので、ガイド24は浮上する。ガイド24が浮上する
と、ガイド24とスプリング26を介して支持されている支
持ロッド25も浮上し、搬送台３を下部に固設したハンガ
ー２全体が浮上し、搬送管路１とは非接触になる。ここ
で、リニアモータの固定子５を励磁することにより、公
知の如くハンガー２は推力を得る。このため、ハンガー
２に懸垂された搬送台３は第２図に矢符で示す方向に搬
送される。

第３図は本発明に係る搬送装置の第２の実施例の要部を
示す正面図である。第３図において第１図と同一部分は
同一符号を付して示した。

本実施例が第１の実施例と異なるところは、リニアモー
タの固定子５を搬送管路１の両内側壁に搬送方向に所定
の間隔をもってそれぞれ相対して固設し、ガイド24は固
定子５と対向するその両側面をリアクションプレートと
して推力を生ぜしめるように構成したことである。前記
以外の構成は第１の実施例のそれと同様である。

第４図は本発明に係る搬送装置の第３の実施例の要部を
示す正面図である。第４図において第１図と同一部分は
同一符号を付して示した。本実施例が第６の実施例と異
なるところは、リニアモータの固定子をガイド24の側外
方に図示しないフレームで搬送方向に所定の間隔で固設
し、ガイド24は固定子５と対向するその側面をリニアモ
ータのリアクションプレートとして推力を生ぜしめるよ
うに構成したことである。前記以外の構成は第１の実施
例のそれと同様である。

なお、上記第１〜第３の各実施例における搬送台３の形
状も各実施例で説明したものに限らず、被搬送物６に対
応した所定の形状とすることは勿論可能であり、支持ロ
ッド25の形状、スプリング26の組数及びガイド24と支持
ロッド25との支持の構成も被搬送物６に対応して各実施
例で説明したものに限らず可能である。固定子５の固設
位置も各実施例で説明した位置に限らず、それ以外の位
置にも配置可能であることはいうまでもない。また、固
定子５を搬送方向に対して同一個所に複数個固設するこ
とも可能である。

上記第１〜第３の各実施例で説明した如く、搬送台３を
懸垂式とすることにより、搬送経路の下側空間を占有す
ることのない、また、加圧空気で浮上させ塵埃等を発生
させないリニアモータを用いた搬送装置である。また、
搬送管路１を角パイプ状としているので、構造が簡単で
あり、さらに、既設の搬送経路を利用して本発明の装置
とすることも可能である。なお、搬送管路１の構成につ
いては、角パイプ形状限定されることなく、他の形状に
してもよい。

（ヘ）効果本発明によれば、前記実施例で説明した如く下記の効果
を有する。

（１）搬送台を懸垂式とし、加圧空気で浮上させたガイ
ドとハンガーとの間をスプリングを介して結合している
ため、起動停止のショック、走行中のガイドの振動等を
搬送台に及ぼすことが無く、安定した搬送が得られる。

（２）搬送台を懸垂式とし、加圧空気で浮上させると共
に、固定子を搬送管路の下面に配置する必要がないの
で、搬送経路の下側空間に占有することなく、その部分
に必要な他の装置も設置でき、さらに、搬送装置全体の
高さを低くし小型化できる搬送装置が実現できる。

（３）固定子は搬送管路内及び搬送管路外の任意の位置
に配設が可能である。さらに、固定子の配設位置の変更
のみで簡単に搬送台の停止位置が変更できる。

（４）回転部分や摺動部分がないので塵埃等を発生させ
ないため、特にクリーンルーム内等では最適の搬送装置
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る搬送装置の第１の実施例を示す正
面図、第２図は同側面図、第３図は第２の実施例を示す
正面図、第４図は第３の実施例を示す正面図である。１……搬送管路、1a……細孔、２……ハンガー、３……
搬送台、４……リアクションプレート、５……固定子、
６……被搬送物、24……ガイド。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送経路に沿って設けられ、内部に供給さ
れた加圧空気を細孔より外部に噴出させる管構造の搬送
管路と、前記搬送管路に跨座したガイドと、前記ガイド
をスプリングを介して吊支するハンガーと、前記ハンガ
ーの一端に取着したバランスウェイトと、前記ハンガー
の下部に設けた搬送台とを具備しており、前記ガイドの
一部をリアクションプレートとなし、このリアクション
プレートと、リアクションプレートに対向配設された固
定子とでリニアモータを構成し、搬送台を移送するよう
にしたことを特徴とするリニアモータを用いた懸垂式搬
送装置。