JPH08124990A - 基板昇降装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 軽量でかつ効率が高い基板昇降装置を提供す
る。 【構成】 基板搬送ロボットＲＢ２のＺ軸駆動機構２１
は、基板Ｗを水平姿勢に支持しつつ昇降させるものにお
いて、固定フレーム２４と、固定フレーム２４に回動可
能に支持された第１昇降アーム２５と、第１昇降アーム
２５に回動可能に支持された第２昇降アーム２６と、第
２昇降アーム２６に回動可能に支持され、基板を下方か
ら支持するハンド４３を伸縮自在に支持するハウジング
２７と、第１昇降アーム２５を回動させるＺ軸駆動モー
タＺＭと、固定フレーム２４に対する第１昇降アームの
回動量の倍の回動量で第１昇降アーム２５に対して第２
昇降アーム２６を逆方向に回動させる第１リンク機構
と、第１昇降アーム２５に対する第２昇降アーム２６の
回動量の半分の回動量で第２昇降アーム２６に対してハ
ウジング２７を逆方向に回動させる第２リンク機構とを
備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ、液晶用
ガラス角型基板、フォトマスク用基板、光ディスク用基
板等の基板を水平姿勢に支持しつつ上下方向に昇降させ
る基板昇降装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】本願出願人は、先に特願平５−３４３８
９８号において、複数の基板処理部を水平方向に配列し
た基板処理列を垂直方向に積層して多段処理列を形成す
るとともに、この多段処理列の各基板処理部に基板を順
次搬送する基板搬送部を多段処理列に沿って配置した基
板処理装置を提案した。この基板処理装置において、基
板搬送部は基板を各基板処理部間で搬送せねばならない
ので、基板を下方から水平姿勢に支持する基板搬送ハン
ドを、基板処理部に対して進退する方向（前後方向）及
び基板処理列に沿う方向（左右方向）に移動させなけれ
ばならないだけではなく、下段の基板処理列と上段の基
板処理列との間で基板を搬送するために上下方向にも移
動させなければならない。ここで、基板搬送ハンドを上
下に移動させる基板昇降装置として、上記特願平５−３
４３８９８号には、２つのアームを互いに連結するとと
もに両アームを所定の関係で連動させて回動させること
により、その先端に支持された基板搬送ハンドを水平姿
勢のまま昇降させるスカラ型のロボットが提案されてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ここで、基板を上方に
移動させると基板搬送ハンドが撓んだり傾いたりするの
では基板を水平に支持して上段処理列の基板処理部に搬
入することが不可能となるので、基板搬送ハンドをその
全昇降域で水平に支持しなければならない。そこで、２
つのアームのうちで下側となる第１アームを回動駆動手
段に連結して固定部に対して第１アームを回動させると
ともに、その回動を基板搬送ハンドを支持する第２アー
ムにギア列によって伝達して第２アームを第１アームに
対して回動させ、さらに第１アームに対する第２アーム
の回動を基板搬送ハンドにギア列によって伝達して基板
搬送ハンドを第２アームに対して回動させる構成が考え
られる。しかしながら、スカラ型のロボットで基板昇降
装置を構成すると、基板、基板搬送ハンド及び２つのア
ームの荷重が、すべてアーム下端に連結されて両アーム
を回動させるアーム駆動系にかかってしまう。したがっ
て、アームの回動をギア列によって後段に伝達する構成
では、ギア列によって回動駆動手段にかかる負荷が非常
に大きくなってしまうので、回動駆動手段に大きな出力
エネルギーが必要になってしまったりあるいは逆に可搬
重量が小さくなってしまったりして、効率が悪い。さら
に、ギア列を用いると各アームの長さがギアによって決
められてしまうので、設計上の自由度が小さくなってし
まう。

【０００４】本発明は以上のような点に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、ギア列を使用する構成に比べ
て軽量でかつ効率の良い基板昇降装置を提供することに
ある。本発明の別の目的は、ギア列を使用する構成に比
べて設計上の自由度が高い基板昇降装置を提供すること
にある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る基板昇降
装置は、基板を水平姿勢に支持しつつ昇降させる基板昇
降装置において、固定部材と、固定部材に回動可能に支
持された第１アームと、第１アームに回動可能に支持さ
れた第２アームと、第２アームに回動可能に支持され、
基板を下方から水平姿勢に支持する基板支持手段と、固
定部材に対して第１アームを回動させる回動駆動手段
と、固定部材に対する第１アームの回動に連動させて、
その回動量の倍の回動量でその回動方向と逆方向に、第
１アームに対して第２アームを回動させる第１リンク機
構と、第１アームに対する第２アームの回動に連動させ
て、その回動量の半分の回動量でその回動方向と逆方向
に、第２アームに対して基板支持手段を回動させる第２
リンク機構とを備えることを特徴とする。

【０００６】請求項２に係る基板昇降装置は、請求項１
記載の基板昇降装置において、第１リンク機構は、第１
アームの固定部材側端部において、固定部材に固定され
た第１リンクベースと、第１アームの第２アーム側端部
において、第１アームに回動可能に支持された第１ギア
と、第２アームの第１アーム側端部において、第１ギア
と噛み合うように第２アームに固定され、第１ギアの半
分の歯数を有する第１ピニオンギアと、第１リンクベー
スと第１ギアとが第１アームに対して一体的に回動する
ように、第１リンクベースと第１ギアとを連結する第１
連結機構とを備えることを特徴とする。

【０００７】請求項３に係る基板昇降装置は、請求項１
または請求項２記載の基板昇降装置において、第２リン
ク機構は、第２アームの第１アーム側端部において、第
２アームに回動可能に支持された第２ギアと、第１アー
ムの第２アーム側端部において、第２ギアと噛み合うよ
うに第１アームに固定され、第２ギアの半分の歯数を有
する第２ピニオンギアと、第２アームの基板支持手段側
端部において、基板支持手段に固定された第２リンクベ
ースと、第２リンクベースと第２ギアとが第２アームに
対して一体的に回動するように、第２リンクベースと第
２ギアとを連結する第２連結機構とを備えることを特徴
とする。

【０００８】請求項４に係る基板昇降装置は、請求項１
から請求項３のいずれかに記載の基板昇降装置におい
て、第１アームは水平軸回りに回動可能なように固定部
材に支持されるとともに、第２アームは水平軸回りに回
動可能なように第１アームに支持されることを特徴とす
る。請求項５に係る基板昇降装置は、請求項３または請
求項４に記載の基板昇降装置において、基板支持手段
は、第２リンクベースに対して垂直軸回りに回動可能な
ように第２リンクベースに支持された第１水平アーム
と、第１水平アームに対して垂直軸回りに回動可能なよ
うに第１水平アームに支持された第２水平アームと、第
２水平アームに回動可能に支持され、前記基板の下方に
接して基板を水平姿勢に支持する基板支持ハンドと、第
２リンクベースに対して第１水平アームを垂直軸回りに
回動させる水平駆動手段と、第２リンクベースに対する
第１水平アームの回動に連動させて、その回動量の倍の
回動量でその回動方向と逆方向に、第１水平アームに対
して第２水平アームを回動させる第１水平リンク機構
と、第１水平アームに対する第２水平アームの回動に連
動させて、その回動量の半分の回動量でその回動方向と
逆方向に、第２水平アームに対して基板支持ハンドを回
動させる第２水平リンク機構とを有することを特徴とす
る。

【０００９】

【作用】請求項１に記載の基板昇降装置では、回動駆動
手段によって、第１アームが固定部材に対して回動させ
られると、第１リンク機構により、固定部材に対する第
１アームの回動量の倍の回動量で第１アームに対して第
２アームが逆方向に回動させられる。そして、第２リン
ク機構により、第１アームに対する第２アームの回動量
の半分の回動量で第２アームに対して基板保持手段が逆
方向に回動させられる。この結果、基板支持手段が基板
を下方から水平姿勢に支持しつつ昇降する。ここでは、
リンク機構によりアームを駆動しているので、ギア駆動
機構に比べて軽量となりかつ効率が良くなる。また、リ
ンク長さを任意に変更できるので、設計上の自由度が高
くなる。

【００１０】請求項２に記載の基板昇降装置では、第１
アームが回動駆動手段により回動させられると、第１リ
ンクベースに連結された第１連結機構により第１ギアが
第１アームの回動方向と逆方向に回動する。第１ギアが
逆方向に回動すると、第１ギアに噛み合う第１ピニオン
ギアが、第１ギアの倍の回動量で回動し、その結果第２
アームが第１アームと逆方向に倍の回動量で回動する。
ここでは、第１ギアと第１ピニオンギアと第１連結機構
との簡単な機構でコンパクトに回動量を２倍にできる。

【００１１】請求項３に記載の基板昇降装置では、第１
アームが回動駆動手段により回動すると、第１リンク機
構により、第２アームが逆方向に倍の回動量で回動す
る。この結果、第１アームに固定された第２ピニオンギ
アは、第２アームと逆方向に同じ回動量だけ回動する。
そして第２ピニオンギアに噛み合う第２ギアが、第２ピ
ニオンギアと同方向に半分だけ回動する。第２ギアが半
分だけ回動すると、第２連結機構によって連結された第
２リンクベースが第２アームと逆方向に半分の回動量回
動し、結果として第２リンクベースに固定された基板支
持手段が姿勢を維持して昇降する。ここでは、第２ギア
と第２ピニオンギアと第２連結機構との簡単な機構でコ
ンパクトに回動量を半分にできる。

【００１２】請求項４に記載の基板昇降装置では、第１
アームは、固定部材に対して水平軸回りに回動する。そ
して第２アームが、第１アームに対して水平軸回りに回
動する。ここでは、それぞれのアームが水平軸回りに回
動するので、基板支持手段の姿勢を維持して昇降でき
る。請求項５に記載の基板昇降装置では、水平駆動手段
が、第２リンクベースに対して第１水平アームを回動さ
せると、第１水平リンク機構により、第２水平アームが
第１水平アームの倍の回動量で逆方向に回動させられ
る。第２水平アームが第１水平アームの倍の回動量で逆
方向に回動させられると、第２水平リンク機構により、
基板支持ハンドが第２アームの半分の回動量で逆方向に
回動する。この結果、基板支持ハンドが第２リンクベー
スに対して姿勢を変えずに前後退する。この基板支持手
段は、リンク機構により構成されているので、軽量化で
きるとともに、設計上の自由度を高めることができる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明をその実施例を示す図面に基づ
いて説明する。図１及び図２は、本発明の一実施例を採
用した基板処理装置の概略図である。図１及び図２にお
いて、基板処理装置１は、多数のガラス角型基板（以
下、基板いう）Ｗを収納可能な２つのカセットＣ１，Ｃ
２が載置される基板搬入・搬出部２と、基板Ｗに一連の
処理を行う処理ユニット部３と、基板搬入・搬出部２と
処理ユニット部３との間で基板Ｗを搬送する基板搬送部
４とを有している。

【００１４】基板搬入・搬出部２は、カセットＣ１，Ｃ
２が載置されるカセット載置台ＩＤと、カセットＣ１，
Ｃ２と基板搬送部４の基板搬入・搬出位置との間で基板
Ｗを１枚ずつ搬送するインデクサロボットＲＢ１とで構
成されている。カセットＣ１，Ｃ２には、例えば１０枚
の基板Ｗがそれぞれ水平に収納可能である。インデクサ
ロボットＲＢ１は、Ｙ方向（図１の奥行き方向）に延び
るレール５上を移動可能である。インデクサロボットＲ
Ｂ１は、スカラ型のロボットであり、Ｚ方向（図１の上
下方向）と、Ｘ方向（図１の左右方向）と、θ方向（垂
直軸回りの回転方向）とにも移動可能である。

【００１５】処理ユニット部３には、各処理部が上下２
段に分けて配列されており、その下段には、基板Ｗを洗
浄するスピンスクラバＳＳと、洗浄された基板Ｗにフォ
トレジスト液を塗布するスピンコータＳＣとが配置され
ている。また上段には、ホットプレートＨＰ１，ＨＰ２
とクールプレートＣＰ１，ＣＰ２とが配置されている。
ホットプレートＨＰ１は、スピンスクラバＳＳで洗浄さ
れた基板Ｗを脱水ベークするものであり、ホットプレー
トＨＰ２は、フォトレジスト液が塗布された基板Ｗをプ
リベークするものである。クールプレートＣＰ１，ＣＰ
２は、それぞれホットプレートＨＰ１，ＨＰ２で加熱さ
れた基板Ｗを冷却するものである。

【００１６】基板搬送部４は、Ｘ方向に延びるレール６
と、レール６上を移動可能な基板搬送ロボットＲＢ２と
を有している。基板搬送ロボットＲＢ２は、スカラ型の
ロボットであり、Ｚ方向とＹ方向とにも移動可能であ
る。基板搬送ロボットＲＢ２は、図３に示すように、レ
ール６に沿って移動するＸ軸移動機構２０と、Ｘ軸移動
機構２０上に配置された１対のＺ軸移動機構２１と、１
対のＺ軸移動機構２１間に配置されたＹ軸移動機構２２
とを有している。

【００１７】Ｘ軸移動機構２０は、レール６に移動可能
に支持された移動フレーム２３を有している。移動フレ
ーム２３内には、移動フレーム２３をＸ方向に移動させ
るためのＸ軸駆動モータ（図示せず）と、基板搬送ロボ
ットＲＢ２に支持された基板をＺ方向に移動させるため
のＺ軸駆動モータＺＭとが配置されている。移動フレー
ム２３の上部には、図４に示すように、Ｚ軸移動機構２
１の固定フレーム２４が立設されている。固定フレーム
２４の上端内側には、第１昇降アーム２５が水平軸回り
に回動可能に連結されている。第１昇降アームの先端に
は、第２昇降アーム２６が水平軸回りに回動可能に連結
されている。第２昇降アーム２６の先端には、Ｙ軸移動
機構２２のハウジング２７が水平軸回りに回動可能に連
結されている。

【００１８】固定フレーム２４内には、図４に示すよう
に、上下に間隔を隔てて１対のリンクベース２８，２９
が設けられている。リンクベース２８，２９は、それぞ
れ固定フレーム２４に回動自在に支持されている。下側
のリンクベース２９には、Ｚ軸駆動モータＺＭが連結さ
れている。２つのリンクベース２８，２９は、１対のリ
ンク３０により連結されており、リンクベース２９が回
動すると同じ量だけリンクベース２８が回動するように
なっている。上側のリンクベース２８は、図５に示すよ
うに、第１昇降アーム２５の基端に固定されている。ま
た、上側のリンクベース２８は、軸受３１ａにより固定
フレーム２４に回動自在に支持されている。

【００１９】第１昇降アーム２５は、軸受３１ｂにより
固定フレーム２４の上端に回動自在に支持されている。
上側のリンクベース２８は、第１昇降アーム２５に固定
されているので、リンクベース２９がＺ軸駆動モータＺ
Ｍにより回動すると、リンクベース２８とともに第１昇
降アーム２５が同じように回動する。第１昇降アーム２
５の基端にはリンクベース３３ａが配置されている。リ
ンクベース３３ａは、固定フレーム２４の上端に固定さ
れている。第１昇降アーム２５の先端には、図４及び図
６に示すように、内歯ギア３４ａが設けられている。内
歯ギア３４ａは、軸受３５ａにより第１昇降アーム２５
の先端に回動自在に支持されている。リンクベース３３
ａと内歯ギア３４ａとは、１対のリンク３６ａにより連
結されている。内歯ギア３４ａにはピニオン３７ａが噛
み合っている。ピニオン３７ａは内歯ギア３４ａの半分
の歯数である。ピニオン３７ａは、ピニオンシャフト３
８ａの先端に固定されている。ピニオンシャフト３８ａ
の他端は、第２昇降アーム２６の基端に固定されてい
る。

【００２０】第１昇降アーム２５の先端には、中空のピ
ニオンシャフト３８ｂが固定されている。ピニオンシャ
フト３８ｂは、ピニオンシャフト３８ａの外側に同芯に
配置されており、その間には軸受３９ａが設けられてい
る。ピニオンシャフト３８ｂの外側には軸受３９ｂが配
置されており、第２昇降アーム２６は、ピニオンシャフ
ト３８ｂを介して軸受３９ｂにより第１昇降アーム２５
に回動自在に支持されている。ピニオンシャフト３８ｂ
の先端にはピニオン３７ｂが固定されている。ピニオン
３７ｂはピニオン３７ａと同じ歯数であり、第２昇降ア
ーム２６の基端に配置されている。ピニオン３７ｂには
内歯ギア３４ｂが噛み合っている。内歯ギア３４ｂは、
ピニオン３７ｂの倍の歯数であり、第２昇降アーム２６
の基端に軸受３５ｂにより回動自在に支持されている。

【００２１】ここでは、第１昇降アーム２５が一方向に
回動すると、リンクベース３３ａに連結された内歯ギア
３４ａが逆方向に同じ回動量回動し、ピニオン３７ａが
内歯ギア３４ａの回動方向と同じ方向に倍の回動量で回
動する。この結果、第１昇降アーム２５の回動量の倍の
回動量で第２昇降アーム２６が第１昇降アーム２５に対
して逆方向に回動する。また、第２昇降アーム２６が一
方向に回動すると、ピニオン３７ｂは逆方向に同じ回動
量回動する。内歯ギア３４ｂは、ピニオン３７ｂと同じ
方向に半分の回動量回動する。

【００２２】第２昇降アーム２６の先端には、図７に示
すように、リンクベース３３ｂが配置されている。リン
クベース３３ｂは、Ｙ軸移動機構２２のハウジング２７
に固定されている。ハウジング２７は、軸受３２により
第２昇降アーム２６の先端に回動自在に支持されてい
る。内歯ギア３４ｂとリンクベース３３ｂとは１対のリ
ンク３６ｂにより連結されている。この結果、内歯ギア
３４ｂが回動すると同じ方向にリンクベース３３ｂが回
動する。

【００２３】ここでは、内歯ギア３４ａとピニオン３７
ａとで第１昇降アーム２５の回動量の倍の回動量で逆方
向に第２昇降アーム２６を回動させ、ピニオン３７ｂと
内歯ギア３４ｂとで、ハウジング２７を第１昇降アーム
２６の回動量の半分で逆方向に回動させる。この結果、
アーム２５，２６の回動に応じて、ハウジング２７が水
平姿勢を維持して昇降する。

【００２４】ハウジング２７内のＹ軸移動機構２２は、
図８に示すように、ハウジング２７の下面手前側（図８
下側）に配置されたＹ軸駆動モータＹＭと、Ｙ軸駆動モ
ータＹＭに連結されかつハウジング２７に垂直軸回りに
回動可能に連結された第１水平移動アーム４０と、第１
水平移動アーム４０の先端に垂直軸回りに回動可能に連
結された第２水平移動アーム４１と、第２水平移動アー
ム４１の先端に垂直軸回りに回動可能に支持された基板
保持部４２とを有している。

【００２５】基板保持部４２は、上下に配置された１対
のハンド４３と、ハンド４３を互いに接近・離反する方
向に移動可能に支持する保持部本体４４とを有してい
る。ハンド４３を上下１対設けたのは、処理済基板と未
処理基板とを処理部内で一度に交換するためである。こ
こでは、第１水平移動アーム４０、第２水平移動アーム
４１及び基板保持部４２は、Ｚ軸移動機構２１の第１昇
降アーム２５、第２昇降アーム２６及びハウジング２７
と同じようにピニオン及び内歯ギアを含むリンク機構に
よって連結され、同期して回動して基板保持部４２がＹ
方向に同じ姿勢で進退する。

【００２６】ハウジング２７の図８上側の内壁には、平
面視Ｌ字状の押圧部５０が取り付けられている。また保
持部本体４４の上面及び下面（図示せず）には、押圧部
５０に当接し得るプッシャ５１が取り付けられている。
押圧部５０は、基部がハウジング２７に固定されかつＸ
方向に延びる押圧板ばね５２と、押圧板ばね５２の先端
からＹ方向（図８の下方）に延びる当接板５３とを有し
ている。プッシャ５１は、基部が保持部本体４４に固定
されかつＹ方向に延びる板ばね５４と、板ばね５４の先
端に基部が固定された支持部材５５と、支持部材５５の
中間部分からＹ方向に延びるプッシャ本体５６とを有し
ている。

【００２７】支持部材５５はＸ方向に延びており、図８
の退入状態では、その先端が当接板５３に当接してい
る。板ばね５４は、自由状態ではその先端が当接板５３
側へ湾曲しており、図８の状態では当接板５３が支持板
５５に当接することによって延ばされている。この構成
によって、ハンド４３がハウジング２７に収納された時
（図８の状態の時）、プッシャ本体５６の先端がハンド
４３に保持された基板ＷをＹ方向に押圧し、ハンド４３
がハウジング２７に収納されていない時、プッシャ本体
５６の先端が板ばね５４により基板Ｗに当接しない位置
に退避する。

【００２８】ハンド４３の基部（図８上側部分）おい
て、プッシャ本体５６の先端に隣接する位置には、１対
の基板載置部５７が設けられている。基板載置部５７
は、側面が略三角形のくさび型の載置部本体を有してい
る。ハンド４３の上面には、複数の支持ピン６０が同一
高さで取り付けられている。この支持ピン６０は、基板
Ｗを載置するためのものである。ハンド４３の先端に
は、当接部材６１が取り付けられている。当接部材６１
は、基板Ｗを位置決めするためのものであり、プッシャ
本体５６で押圧された基板Ｗを受け止めるようになって
いる。

【００２９】次に、上述の実施例の動作について説明す
る。基板Ｗを収納したＣ１もしくはＣ２が基板搬入・搬
出部２に載置されると、インデクサロボットＲＢ１が基
板を１枚ずつ取り出し、基板搬送ロボットＲＢ２に渡
す。基板搬送ロボットＲＢ２は、受け取った基板Ｗをス
ピンスクラバＳＳに対向する位置に搬送する。スピンス
クラバＳＳでは、受け取った基板Ｗを洗浄処理する。洗
浄処理が終了した基板Ｗは、ホットプレートＨＰ１に搬
送されて加熱乾燥処理される。

【００３０】ホットプレートＨＰ１で加熱乾燥処理され
た基板ＷはクールプレートＣＰ１に搬送されて冷却され
る。冷却された基板ＷはスピンコーターＳＣに搬送され
る。スピンコーターＳＣでは、基板Ｗ上にフォトレジス
ト液が塗布される。フォトレジスト液が塗布された基板
Ｗは２つのホットプレートＨＰ２のいずれかに搬送され
て加熱乾燥され、さらに２つのクールプレートＣＰ２の
いずれかに搬送されて冷却される。

【００３１】冷却が終了した基板Ｗは基板搬送ロボット
ＲＢ２により基板搬入・搬出部２のインデクサロボット
ＲＢ１に渡される。インデクサロボットＲＢ１は、受け
取った基板ＷをカセットＣ１，Ｃ２に戻す。上述の動作
において、基板受け渡し位置で基板搬送ロボットＲＢ２
は、Ｚ軸移動機構２１及びＹ軸移動機構２２により、ハ
ウジング２７の昇降及びハンド４３の前後進を行う。な
お、基板搬送ロボットＲＢ２によって処理ユニット部３
の各ユニットから処理済み基板が搬出されると同時に未
処理基板が搬入されるが、この基板交換は１対のハンド
４３の上下駆動により一度に行われる。

【００３２】昇降動作時には、Ｚ軸駆動モータＺＭを回
動させると、その回動がリンクベース２９、リンク３０
を介してリンクベース２８に伝達される。リンクベース
２８がＺ軸駆動モータＺＭと同様に回動すると、第１昇
降アーム２５が同じ方向に同量だけ回動する。第１昇降
アーム２５が回動すると、固定されたリンクベース３３
ａにリンク３６ａによって連結された内歯ギア３４ａ
が、第１昇降アーム２５の回動方向と逆方向に同じ回動
量回動する。内歯ギア３４ａが逆方向に回動すると、ピ
ニオン３７ａが内歯ギア３４ａの回動方向と同じ方向に
内歯ギア３４ａの２倍の回動量回動する。ピニオン３７
ａが２倍の回動量回動すると、ピニオン３７ａに固定さ
れた第２昇降アーム２６もピニオン３７ａとともに回動
する。この結果、固定フレーム２４に対する第１昇降ア
ーム２５の回動量の倍の回動量で第１昇降アーム２５に
対して第２昇降アーム２６が逆方向に回動する。

【００３３】また、第２昇降アーム２６が回動すると、
第１昇降アーム２５の先端に固定されたピニオン３７ｂ
は、第１昇降アーム２６の回動方向と逆方向に同じ量だ
け回動する。ピニオン３７ｂが回動すると、それに噛み
合う内歯ギア３４ｂがピニオン３７ｂと同じ方向に半分
の回動量回動する。この結果、リンク３６ｂにより内歯
ギア３４ｂと連結されたリンクベース３３ｂが第２昇降
アーム２６の回動量の半分だけ逆方向に回動し、ハウジ
ング２７が水平姿勢を維持して昇降する。同様に、第１
水平移動アーム４０及び第２水平移動アーム４１は、第
１水平移動アーム４０の回動量の倍の回動量で第２水平
移動アーム４１が逆方向に回動し、基板保持部４２は、
第２水平移動アーム４１の回動量の半分だけ逆方向に回
動する。この結果、基板保持部４２は、姿勢を維持して
伸縮する。

【００３４】基板保持部４２が前方に進出すると、押圧
部５０からプッシャ５１が離れ、プッシャ５１のプッシ
ャ本体５６が板ばね５４により後方に退避する。そして
基板Ｗを受け取る際には、基板Ｗが支持ピン６０上に載
置される。そして、ハンド４３が収縮した状態でプッシ
ャ本体５６が基板Ｗを押圧して当接部材６１に基板Ｗの
先端を当接し、かつ、基板載置部５７と当接部材６１と
の間で基板を挟持する。

【００３５】なお、上記実施例では基板をＹ方向に搬送
するアームの駆動機構にもＺ方向（上下の昇降方向）と
同様の機構を用いているが、Ｙ方向の駆動機構にこれを
用いなくてもよい。 〔他の実施例〕 （ａ） 内歯ギアとピニオンとの組み合わせに代えて、
変速比が１対２の２つの外歯ギアを組み合わせてもよ
い。外歯ギアの場合には互いに逆方向に回動するため、
２つの外歯ギアの間にアイドルギアを噛ませる必要があ
る。 （ｂ） 水平移動を行う場合には、内歯ギアとピニオン
ギアとのバックラッシュを取り除くために、いずれか一
方のギアを二分割にしたバックラッシュ除去構造にして
もよい。

【００３６】

【発明の効果】請求項１に記載の基板昇降装置では、リ
ンク機構によりアームを駆動しているので、ギア駆動機
構に比べて軽量となりかつ効率が良くなる。また、リン
ク長さを任意に変更できるので、設計上の自由度が高く
なる。請求項２に記載の基板昇降装置では、第１ギアと
第１ピニオンギアと第１連結機構との簡単な機構でコン
パクトに回動量を２倍にできる。

【００３７】請求項３に記載の基板昇降装置では、第２
ギアと第２ピニオンギアと第２連結機構との簡単な機構
でコンパクトに回動量を半分にできる。請求項４に記載
の基板昇降装置では、それぞれのアームが水平軸回りに
回動するので、基板支持手段の姿勢を維持して昇降でき
る。請求項５に記載の基板昇降装置では、基板支持手段
が、リンク機構により構成されているので、軽量化でき
るとともに、設計上の自由度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例が採用された基板処理装置の
側面模式図。

【図２】その平面模式図。

【図３】基板搬送ロボットの斜視図。

【図４】基板搬送ロボットの側面一部破断図。

【図５】Ｚ軸移動機構の断面部分図。

【図６】Ｚ軸移動機構の断面部分図。

【図７】Ｚ軸移動機構の断面部分図。

【図８】ハウジング内のＹ軸移動機構の横断平面図。

【符号の説明】

２１ Ｚ軸移動機構 ２２ Ｙ軸移動機構 ２４ 固定フレーム ２５ 第１昇降アーム ２６ 第２昇降アーム ２７ ハウジング ３３ａ，３３ｂ リンクベース ３４ａ，３４ｂ 内歯ギア ３６ａ，３６ｂ リンク ３７ａ，３７ｂ ピニオン

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板を水平姿勢に支持しつつ昇降させる基
   板昇降装置において、 固定部材と、 固定部材に回動可能に支持された第１アームと、 第１アームに回動可能に支持された第２アームと、 第２アームに回動可能に支持され、基板を下方から水平
   姿勢に支持する基板支持手段と、 固定部材に対して第１アームを回動させる回動駆動手段
   と、 固定部材に対する第１アームの回動に連動させて、その
   回動量の倍の回動量でその回動方向と逆方向に、第１ア
   ームに対して第２アームを回動させる第１リンク機構
   と、 第１アームに対する第２アームの回動に連動させて、そ
   の回動量の半分の回動量でその回動方向と逆方向に、第
   ２アームに対して基板支持手段を回動させる第２リンク
   機構と、を備えることを特徴とする基板昇降装置。
2. 【請求項２】第１リンク機構は、 第１アームの固定部材側端部において、固定部材に固定
   された第１リンクベースと、 第１アームの第２アーム側端部において、第１アームに
   回動可能に支持された第１ギアと、 第２アームの第１アーム側端部において、第１ギアと噛
   み合うように第２アームに固定され、第１ギアの歯数の
   半分の歯数を有する第１ピニオンギアと、 第１リンクベースと第１ギアとが第１アームに対して一
   体的に回動するように、第１リンクベースと第１ギアと
   を連結する第１連結機構と、を備えることを特徴とする
   請求項１記載の基板昇降装置。
3. 【請求項３】第２リンク機構は、 第２アームの第１アーム側端部において、第２アームに
   回動可能に支持された第２ギアと、 第１アームの第２アーム側端部において、第２ギアと噛
   み合うように第１アームに固定され、第２ギアの歯数の
   半分の歯数を有する第２ピニオンギアと、 第２アームの基板支持手段側端部において、基板支持手
   段に固定された第２リンクベースと、 第２リンクベースと第２ギアとが第２アームに対して一
   体的に回動するように、第２リンクベースと第２ギアと
   を連結する第２連結機構と、を備えることを特徴とする
   請求項１または請求項２に記載の基板昇降装置。
4. 【請求項４】第１アームは水平軸回りに回動可能なよう
   に固定部材に支持されるとともに、第２アームは水平軸
   回りに回動可能なように第１アームに支持されることを
   特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の基
   板昇降装置。
5. 【請求項５】基板支持手段は、 第２リンクベースに対して垂直軸回りに回動可能なよう
   に第２リンクベースに支持された第１水平アームと、 第１水平アームに対して垂直軸回りに回動可能なように
   第１水平アームに支持された第２水平アームと、 第２水平アームに回動可能に支持され、基板の下方に接
   して基板を水平姿勢に支持する基板支持ハンドと、 第２リンクベースに対して第１水平アームを垂直軸回り
   に回動させる水平駆動手段と、 第２リンクベースに対する第１水平アームの回動に連動
   させて、その回動量の倍の回動量でその回動方向と逆方
   向に、第１水平アームに対して第２水平アームを回動さ
   せる第１水平リンク機構と、 第１水平アームに対する第２水平アームの回動に連動さ
   せて、その回動量の半分の回動量でその回動方向と逆方
   向に、第２水平アームに対して基板支持ハンドを回動さ
   せる第２水平リンク機構と、を備えることを特徴とする
   請求項３または請求項４に記載の基板昇降装置。