JPH0888158A

JPH0888158A - 電子ビーム描画装置

Info

Publication number: JPH0888158A
Application number: JP6220731A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Wakayama; 茂若山; Satoshi Yasuda; 聡安田; Takashi Haraguchi; 貴史原口; Yoshiaki Tsukumo; 嘉明津久茂; Hideo Nagai; 秀雄永井
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1994-09-16
Filing date: 1994-09-16
Publication date: 1996-04-02

Abstract

(57)【要約】【目的】位置決め精度の向上を図ることを可能とし、も
って描画精度及び描画効率の向上が可能な電子ビーム描
画装置を提供することにある。【構成】第２アパーチャを載置するテーブルを含む複数
のテーブルを備え且つ該複数のテーブル毎に実質的に独
立した異なる仮想移動軸を有する多軸テーブル機構と、
この多軸テーブル機構の前記複数のテーブル夫々を仮想
移動軸毎に多軸移動制御する移動制御部とから構成され
た位置決め機構を具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩ回路パターンの
如きパターンを描画するための電子ビーム描画装置に関
し、特に、第２アパーチャの位置決め機構を改良した電
子ビーム描画装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、電子ビーム描画装置の描画方
式には、可変成形描画(Variable Shaped Beam Lithogra
phy:VSB)方式とキャラクター描画(Cell Projection Lit
hography:CP)方式とがあるが、いずれの方式において
も、第１アパーチャ像に対する第２アパーチャ孔の位置
決め機構としては、すべり軸受けにより回転座が回転ス
トローク±10(deg) 程度の範囲で回転移動するようにし
てθ方向のみを調整するような機構（θ方向位置決め機
構）が採用されていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、回転座を用い
たθ方向位置決め機構によりアパーチャ像に対する第２
アパーチャ孔の位置決めを行っていたため、該位置決め
機構の回転中心に対する中心軸のズレ量が大きく位置精
度の向上は望めなく、θ方向だけの調整だけでは描画精
度のみならずスループットの如き効率の点においても十
分なものは望めなかった。そこで本発明の目的は、位置
決め精度の向上を図ることを可能とし、もって描画精度
及び描画効率の向上が可能な電子ビーム描画装置を提供
することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の電子ビーム描画装置においては、第２アパ
ーチャを載置するテーブルを含む複数のテーブルを備え
且つ該複数のテーブル毎に実質的に独立した異なる仮想
移動軸を有する多軸テーブル機構と、この多軸テーブル
機構の前記複数のテーブル夫々を仮想移動軸毎に多軸移
動制御する移動制御部とから構成された位置決め機構を
具備する。

【０００５】

【作用】本発明の電子ビーム描画装置によれば、多軸テ
ーブル機構及び移動制御部からなる位置決め機構を具備
しているから、第２アパーチャをθ方向のみならずＸ方
向及びＹ方向についても位置の調整が行え、位置決め精
度の向上を図ることが可能となり、もって描画精度及び
描画効率の向上が図られる。

【０００６】

【実施例】本発明に係る電子ビーム描画装置は電子光学
系を有する。この電子光学系は、図１に示すように、電
子銃１と、照明系２と、第１アパーチャ３と、位置決め
機構１００内に設けられる第２アパーチャ４と、第１ア
パーチャ３による第１アパーチャ像を第２アパーチャ４
上へ投影結像するための投影レンズ系５と、結像された
第１アパーチャ像を第２アパーチャ４の孔に対して位置
決めする第１偏向系６と、第１，第２アパーチャ像から
合成された合成アパーチャ像を縮小するための縮小レン
ズ系７と、この縮小アパーチャ像を試料面８上へ結像す
るための対物レンズ９と、縮小アパーチャ像を試料面上
８に位置決めするための第２偏向系１０とを具備する。

【０００７】この電子光学系は、本発明に係る位置決め
機構を具備する。この位置決め機構は、図２以降に各種
の実施例として示されており、いずれも第１アパーチャ
像に対して第２アパーチャの孔位置をθ，Ｘ，Ｙ方向に
機械的に調整できる構成となっており、多軸テーブル機
構と移動制御部とからなる。

【０００８】本発明における電子光学系は次のように作
用する。すなわち、電子銃１からの電子ビームを照明系
２によって第１アパーチャ３を照明し、投影レンズ系５
により第１アパーチャ像を、位置決め機構１００により
θ，Ｘ，Ｙ方向に位置決めされた第２アパーチャ４上へ
投影結像する。この像は、第１偏向系６により結像され
た第１アパーチャ像及び第２アパーチャの透孔に対し
て、ＶＳＢ方式であれば、四角形又は三角形を選択し、
ＣＰ方式であれば所望の描画パターン上に位置決めす
る。

【０００９】上記第１，第２アパーチャ像を合成して得
られた合成アパーチャ像を縮小するため、縮小レンズ系
７を介して対物レンズ９によりアパーチャ像を試料面上
へ結像させる。また、第２偏向系１０により該結像され
たアパーチャ像を、マスクやウエハの如き試料面８上に
て位置決めし、描画することができる。

【００１０】上記における位置決め機構１００を、図２
以降において詳細に説明する。先ず、本発明に係る位置
決め機構の第１実施例を図２を参照して説明する。図２
に示すように、外容器１０１の内側に真空容器１０２が
配置されている。真空容器１０２の内側に、多軸テーブ
ル機構１１０が組込まれている。外容器１０１の外側に
は、移動制御部を構成する駆動部１２０，１３０，１４
０が配置されている。

【００１１】多軸テーブル機構１１０は、真空容器１０
２の内側に十字形状の弾性ヒンジ１１１で支持されたθ
テーブル１１２と、このθテーブル１１２の内側に平行
板バネ１１３で支持されたＸテーブル１１４と、このＸ
テーブル１１４の内側に平行板バネ１１５で支持された
Ｙテーブル１１６とからなる。弾性ヒンジ１１１は、θ
テーブル１１２と真空容器１０２との間に設けられてお
り、十字形状（放射状）の配置構成となっている。

【００１２】平行板バネ１１３は、θテーブル１１２の
Ｘ方向に沿う一内辺とＸテーブル１１４のＸ方向に沿う
一外辺との間であってＹ方向に伸長して設けられてい
る。平行板バネ１１５は、Ｘテーブル１１４のＹ方向に
沿う一内辺とＸテーブル１１４のＹ方向に沿う一外辺と
の間であってＸ方向に伸長して設けられている。

【００１３】駆動部１２０，１３０，１４０には、２本
のθ駆動ロッド１２１，Ｘ駆動ロッド１３１，Ｙ駆動ロ
ッド１４１の夫々の一端部が連結されている。θ駆動ロ
ッド１２１の他端部はθテーブル１１２のＸ方向端部に
当接するように連結されている。Ｘ駆動ロッド１３１の
他端部はＸテーブル１１４のＸ方向端部に当接するよう
に連結されている。Ｙ駆動ロッド１４１の他端部はＹテ
ーブル１１６のＹ方向端部に当接するように連結されて
いる。

【００１４】また、外容器１０１、真空容器１０２及び
多軸テーブル機構１１０の各テーブル１１２，１１４，
１１６と、θ駆動ロッド１２１，Ｘ駆動ロッド１３１及
びＹ駆動ロッド１４１との間には、真空気密等のために
ベローズ１２２，１３２，１４２が設けられている。駆
動部１２０，１３０，１４０を駆動することにより、θ
駆動ロッド１２１，Ｘ駆動ロッド１３１及びＹ駆動ロッ
ド１４１がその伸長方向に伸縮され、これにより各テー
ブル１１２，１１４，１１６は夫々θ，Ｘ，Ｙ方向に移
動される。なお、θテーブル１１２のθ方向への移動
は、２本のθ駆動ロッド１２１の伸縮量の差分によって
実現される。

【００１５】以上の構成の下で、θテーブル１１２は弾
性ヒンジ１１１の弾性によって真空容器１０１の中心周
りに回転できる。Ｘテーブル１１４は平行板バネ１１３
の弾性によって、Ｘ方向の移動が可能である。Ｘテーブ
ル１１４は平行板バネ１１３を中心として、平行リンク
に類似する動きを呈し、Ｘ方向への移動に伴ってＹ方向
へもわずかに動く。Ｙテーブル１１６は平行板バネ１１
５の弾性によって、Ｙ方向の移動が可能なテーブルとな
っている。このＹテーブル１１６は平行板バネ１１５を
中心として、平行リンクに類似する動きを呈し、Ｙ方向
への移動に伴ってＸ方向へもわずかに動く。Ｙテーブル
１１６上にはアパーチャ（第２アパーチャ）４が固定さ
れる。ここで、以上の構成によれば、多軸テーブル機構
１１０及び移動制御部からなる位置決め機構１００を具
備しているから、各テーブル１１２，１１４，１１６に
仮想される移動軸としてのθ軸，Ｘ軸及びＹ軸について
テーブル１１２，１１４，１１６夫々を独立して移動す
ることができるようになる。よって、第２アパーチャ４
をθ方向のみならずＸ方向及びＹ方向についても位置の
調整が行え、位置決め精度の向上を図ることが可能とな
り、もって電子ビーム描画装置として描画精度及び描画
効率の向上が図られる。

【００１６】また、アパーチャ移動機構である位置決め
機構１００におけるθ，Ｘ，Ｙテーブル１１２，１１
４，１１６の支持機構を、弾性部材（十字型形状の弾性
ヒンジ１１１，平行板バネ１１３，平行板バネ１１５）
で構成することにより、θ，Ｘ，Ｙテーブル１１２，１
１４，１１６相互間の移動に際してバックラッシュの防
止が図られる。なお、多軸テーブル機構１１０を構成す
るテーブル段数は３段に限らず、２段としてＸ，θテー
ブル又はＸ，Ｙテーブルとすることも可能である。図
３は位置決め機構のうち多軸テーブル機構１５０だけを
示した斜視図である。この多軸テーブル機構１５０は、
θ，Ｘ，Ｙテーブル１５１，１５２，１５３及び各テー
ブル１５１，１５２，１５３間を連結する弾性部材１５
４，１５５，１５６を、削り出し加工等により一体加工
で製作した実施例である。このような一体加工の多軸テ
ーブル機構１５０であれば、多軸テーブル機構１５０に
置かれる図示しないアパーチャの位置決め精度は高めら
れる。

【００１７】図３に示すように、θテーブル１５１の回
転中心は、中心線１５７，１５８の交点であり、図示し
ない真空容器の中心にある電子ビームの光路と一致して
いる。中心線１５７，１５９の交点はＸテーブル１５２
の回転中心であり、電子ビームの光路からＹ方向に偏心
している。中心線１５９，１６０の交点はＹテーブル１
５３の回転中心であり、電子ビームの光路からＸ方向に
偏心している。なお、弾性部材としての十字型形状の弾
性ヒンジ１１１に代えて、軸受け機構の如き回転機構を
用いることにより本発明のθ，Ｘ，Ｙテーブルを持つ多
軸テーブル機構を構成することができる。

【００１８】次に移動制御部を構成する駆動部、駆動ロ
ッド及びベローズの動作について、移動制御部の要部を
示した図４を参照して説明する。図４に示す位置決め機
構においては、真空容器１６０の外部にＸ，Ｙ駆動部１
６１，１６２を設け、ベローズ１６３を介して十分な剛
性を持つ駆動ロッド１６４，１６５を真空容器１６０の
内部に導入し、中央テーブル１６６に駆動ロッド１６
４，１６５をピン支持したものである。中央テーブル１
６６は図２及び図３ではＹテーブル１１６，１５３に相
当する。

【００１９】以上の構成の下で、駆動部１６１，１６２
を矢印１６７，１７１の方向に動かすと、中央テーブル
１６６はＸ方向へ移動できる。駆動部１６１，１６２を
矢印１６７，１６８の方向に動かすと、中央テーブル１
６６はＹ方向へ移動できる。駆動部１６１，１６２を矢
印１６７，１６９の方向に動かすと、中央テーブル１６
６はθ方向へ移動できる。なお、駆動ロッド１６４をＸ
方向及びＹ方向の剛性を高く、駆動ロッド１６５をＸ方
向には柔構造としＹ方向だけ剛性を高くすることによ
り、θ方向の回転量を大きくすることができる。

【００２０】以上のように中央テーブル１６６を直接駆
動することにより、図示しない周辺テーブル（θテーブ
ル，Ｘテーブル）の動きを中央テーブル１６６の動きに
従属させて動かすことができ、これによりアパーチャを
保持する中央テーブル１６６の高精度な位置決めが実現
できる。

【００２１】なお、本実施例のように、駆動部分を真空
容器の外に設置することで、真空域内での駆動部の大き
さ、潤滑などの油、構成材料に制限されない駆動機構が
実現できる。さらに、駆動部分を真空域外に設置するこ
とで、駆動部分から発生する塵を真空域に入れることが
なく、クリーンなアパーチャ移動機構を構成することが
できる。

【００２２】上述した各実施例における多軸テーブル機
構における各デーブルは略環状体であり、且つ各環状テ
ーブルは、真空容器の中心にある電子ビームの光路に対
して同心配置されていた。しかし、図５に示すように各
テーブルを電子ビームの光路に対して偏心配置すること
ができる。

【００２３】図５に示す多軸テーブル機構においては、
真空容器１８０内において、十字型弾性ヒンジ１８１に
よる３段のテーブル１８２，１８３，１８４を組み合わ
せ、θ，Ｘ，Ｙテーブル１８２，１８３，１８４を実現
したものである。θテーブル１８２は図示しない真空容
器の中心周りに回転させることができ、またＸテーブル
１８３は回転中心をＹ方向に偏心させることにより、ア
パーチャ１８５を主としてＸ方向へ移動でき、さらにＹ
テーブル１８４は回転中心をＸ方向へ偏心させることに
より、アパーチャ１８５を主としてＹ方向へ移動できる
ものである。

【００２４】次に、図６及び図７を参照して第１実施例
の変形例である本発明に係る位置決め機構の第３実施例
について説明する。すなわち、θテーブルに相当する第
１テーブル１９０は、ベース１９１からボールベアリン
グの如き軸受け１９２により支持されている。Ｘテーブ
ルに相当する第２テーブル１９３は、第１テーブル１９
０に対しボールベアリングの如き軸受け１９４により支
持されている。Ｙテーブルに相当する第３のテーブル１
９５は、第２テーブル１９３に対してボールベアリング
の如き軸受け１９６により支持されている。

【００２５】さらにアパーチャー１９６は、第３のテー
ブル１９５の中心１９５Ａから偏心した位置に配置され
ている。ここに、第２テーブル１９３の中心１９３Ａ
は、第１テーブル１９０の中心１９０Ａから偏心した位
置に設定されている。第３のテーブル１９５の中心１９
５Ａは、第２テーブル１９３の中心１９３Ａから偏心し
た位置に設定される。

【００２６】このように構成されたテーブル１９０，１
９３，１９５はそれぞれ回転自由であるため、ベース１
９１又はベース１９１の外部に設けた駆動部によりそれ
ぞれ独立して駆動することにより、電子ビームの光路に
対してアパーチャー１９７を微小範囲内で任意の位置に
持っていくことができる。第１テーブル１９０がθ方向
に、第２、第３のテーブル１９３，１９５がＸ，Ｙ方向
に移動することができる。

【００２７】次に本発明の第４実施例について図８を参
照して説明する。すなわち、真空容器２００の内側に、
駆動ロッド２０１，２０２、テーブル２０３及びピン２
０４を配置し、多軸テーブル機構を構成する。このテー
ブル２０３は、円形ガイド２０５とＹ方向に長穴の長穴
ガイド２０６とが設けてある。駆動ロッド２０１，２０
２の一端部にはピン２０４が設けてあり、円形ガイド２
０５及び長穴ガイド２０６に嵌込まれている。駆動ロッ
ド２０１，２０２の他端部には駆動部２０７，２０８が
設けられている。駆動ロッド２０１，２０２は、ベロー
ズ２０９により真空容器２００を介して設けられてい
る。

【００２８】ここで、駆動ロッド２０１，２０２をＸＹ
方向に移動させることによりテーブル２０３は、θ，
Ｘ，Ｙ方向に移動される。駆動部２０７により駆動ロッ
ド２０１を、図示符号２１０，２１１又は２１２，２１
３方向に移動させると、テーブル２０３は円形ガイド２
０５と長穴ガイド２０６とでガイドされているため、θ
方向に回転できる。

【００２９】またテーブル２０３をＸ方向へ移動させる
には、駆動ロッド２０１，２０２を、図示符号２１０，
２１２又は２１１，２１３方向へ移動させる。同様にテ
ーブル２０３をＹ方向へ移動させるには、駆動部２０
７，２０８により駆動ロッド２０１，２０２を図示符号
２１４方向へ移動させる。

【００３０】次に本発明の第５実施例を図９及び図１０
を参照して説明する。すなわち、本実施例におけるテー
ブル２２０は、真空容器２２１の内部に配置されてい
る。テーブル２２０には、Ｘ方向に長穴であり且つＸ方
向に離間した２つの長穴カイド２２２及びＹ方向に半径
Ｒで円弧長穴ガイド２２３が設けてある。

【００３１】テーブル２２０のガイド２２２，２２３に
その一端部が連結し、その他端部が真空容器２２１の外
側に配置された駆動部２２４，２２５，２２６に連結さ
れた駆動ロッド２２７，２２８，２２９が設けられてい
る。駆動ロッド２２７，２２８，２２９の一端部には段
付きピン２３０が設けてあり、長穴ガイド２２２及び円
弧ガイド２２３に嵌込まれている。なお、符号２３１は
電子ビームの透過穴、符号２３２はベローズ、符号２３
４はアパーチャである。

【００３２】また図１０に示すように、駆動ロッド２２
７の一端部に設けた段付きピン２３０及び止めリング２
３５により、テーブル２２０は、Ｚ方向に支持されてい
る。テーブル２２０は段付きピン２３０の段部でＺ方向
に支持され、止めリング２３５が設けられているので、
テーブル２２０は段付きピン２３０から外れない。駆動
ロッド２２７，２２８をＺ方向に移動させると、テーブ
ル２２０はＺ方向に移動可能である。

【００３３】このテーブル２２０は、駆動ロッド２２
７，２２８，２２９を移動させることにり、θ，Ｘ，Ｙ
方向に移動できる。駆動ロッド２２７，２２８を図示符
号２３６，２３９又は２３７，２３８の方向に移動させ
ると、テーブル２２０は長穴ガイド２２２でガイドされ
ているためθ方向に回転できる。このときＸ方向の駆動
ロッド２３８に接続されているピン２３０が円弧ガイド
２２３に嵌込まれているため、テーブル２２０はＸ方向
に移動しない。テーブル２２０をＹ方向へ移動させるに
は、駆動ロッド２２７，２３８を２３６，２３７又は２
３８，２３９の方向へ移動させる。同様にテーブル２２
０をＸ方向へ移動させるには、駆動ロッド２２９を２４
０の方向へ移動させる。

【００３４】駆動ロッド２２７，２２８，２２９は、
Ｘ，Ｙ方向に配置されているが１方向に全て配置するこ
とも可能であり、全ての方向から配置が可能である。テ
ーブル２２０に設けた長穴は、テーブル２２０がθ，
Ｘ，Ｙ方向に移動が可能であれば長穴の数及び形状は何
等限定されるものではない。

【００３５】次に、本発明の第６の実施例について図１
１を参照して説明する。電子ビームを成形するアパーチ
ャ２４１はステージ２４２上に支持される。長さが同一
のリンク２４３，２４４により、一対の平行リンクを形
成する。リンク２４３，２４４の一方の連結部２４３
ａ，２４４ａは、ステージ２４２の一辺の中央と端に連
結される。またリンク２４３，２４４の他方の連結部２
４３ｂ，２４４ｂは、直進駆動機構２４６，２４７に連
結される。

【００３６】ここで連結部２４３ａ，２４４ａは、平面
運動が可能なように水平方向に回転可能、かつ上下方向
には回転を拘束した自由度１の回り対偶である。また連
結部２４３ｂ，２４４ｂは、連結部２４３ａ，２４４ａ
と同様の回り対偶と軸方向にのみ動くことが可能な滑り
対偶を組み合わせた自由度２スライダ・クランク機構で
ある。

【００３７】リンク２４５は、単リンクであり、一方の
連結部２４５ａは、ステージ２４２におけるリンク２４
３，２４４が連結されている辺と９０°異なる辺の中央
に連結される。またリンク２４５の他方の連結部２４５
ｂは、直進駆動機構２４８に連結される。

【００３８】ここで連結部２４５ａは、リンク２４３，
２４４の連結部２４３ａ，２４４ａと同様の回り対偶で
ある。また連結部２４５ｂは、リンク２４３，２４４の
連結部２４３ｂ，２４４ｂと同様の回り対偶と、滑り対
偶とを組み合わせた機構である。

【００３９】なお、真空容器２５０の内側の真空領域に
ステージ２４２を配置し、また真空容器２５０の外側に
直進駆動部２４６，２４７，２４８を配置し、直進駆動
部の駆動を妨げずにベローズ２５１，２５２，２５３に
てシールしている。

【００４０】図１１で示すＸ方向にステージ２４２を移
動するには、直進駆動機構２４８によりリンク２４５を
移動させる。これによりステージ２４２は、リンク２４
３，２４４によって水平面内を並進かつ円弧運動をする
ことになる。この場合、直進駆動機構２４６，２４７に
よりリンク２４３，２４４の移動量を補正することによ
り、ステージ２４２は直進することができる。

【００４１】同様にＹ方向にステージ２４２を移動する
には、直進駆動機構２４６，２４７によりリンク２４
３，２４４を同時に同じ移動量を移動させる。これによ
りステージ２４２はリンク２４５によって水平面内を並
進かつ円弧運動をすることになる。この場合、直進駆動
機構２４８によりリンク２４５の移動量を補正すること
により、ステージ２４２は直進することができる。θ方
向回転の１例としてステージ２４２を連結部２４３ａを
中心に回転させる方法を示す。このとき、連結部２４３
ａはステージ２４２の中央辺に設けられる場合である。
すなわち、直進駆動機構２４６を停止し、直進駆動機構
２４７によりリンク２４４を移動し、ステージ２４２を
回転させる。このときリンク２４５がステージ２４２の
回転を妨げないように直進駆動機構２４８にて補正した
量を動かすことにより、ステージ２４２は連結部２４３
ａを中心として回転することができる。符号２４９は直
進駆動機構の制御系である。またステージ中心で回転さ
せる場合は上記回転方法にさらにＸ，Ｙ各々の方向のオ
フセット分を補正すればよい。

【００４２】

【発明の効果】以上のように本発明では、多軸テーブル
機構及び移動制御部からなる位置決め機構を具備してい
るから、θ方向のみならずＸ方向及びＹ方向についての
第２アパーチャの位置調整が可能となり、位置決め精度
の向上を図ることが可能となり、もって描画精度及び描
画効率の向上が図られるようにした電子ビーム描画装置
を提供できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電子ビーム描画装置の電子光学系
を示す概略図。

【図２】本発明に係る電子ビーム描画装置の位置決め機
構の第１実施例を示す横断面図。

【図３】図２における多軸テーブル機構の斜視図。

【図４】図２における移動機構の他の実施例を示す構成
図。

【図５】本発明に係る電子ビーム描画装置の位置決め機
構の第２実施例を示す多軸テーブル機構の横断面図。

【図６】本発明に係る電子ビーム描画装置の位置決め機
構の第３実施例を示す横断面図。

【図７】図６の縦断面図。

【図８】本発明に係る電子ビーム描画装置の位置決め機
構の第５実施例を示す横断面図。

【図９】本発明に係る電子ビーム描画装置の位置決め機
構の第４実施例を示す横断面図。

【図１０】図９におけるＡ−Ａ断面図。

【第１１図】本発明に係る電子ビーム描画装置の位置決
め機構の第６実施例を示す横断面図。

【符号の説明】

１００…位置決め機構、１０１…外容器、１０２…真空
容器、１１０…多軸テーブル機構、１２０，１３０，１
４０…駆動部、１１１…十字形状の弾性ヒンジ、１１２
…θテーブル、１１３…平行板バネ、１１４…Ｘテーブ
ル、１１５…平行板バネ、１１６…Ｙテーブル、１２１
…θ駆動ロッド、１３１…Ｘ駆動ロッド、１４１…Ｙ駆
動ロッド、１２２，１３２，１４２…ベローズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者津久茂嘉明神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地株式会社東芝研究開発センター内 (72)発明者永井秀雄神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地株式会社東芝研究開発センター内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１アパーチャ像に対する第２アパーチ
ャ孔の位置決め機構を真空容器内に配置してなる電子ビ
ーム描画装置において、前記位置決め機構は、前記第２アパーチャを載置するテーブルを含む複数のテ
ーブルを備え且つ該複数のテーブル毎に実質的に独立し
た異なる仮想移動軸を有する多軸テーブル機構と、この多軸テーブル機構の前記複数のテーブル夫々を仮想
移動軸毎に多軸移動制御する移動制御部とから構成され
ていることを特徴とする電子ビーム描画装置。
【請求項２】前記多軸テーブル機構の複数のテーブル
相互間を連結する弾性部材を具備することを特徴する請
求項１に記載の電子ビーム描画装置。
【請求項３】前記多軸テーブル機構の複数のテーブル
夫々は略環状体からなり、当該略環状体は同心状又は偏
心状に配置されてなることを特徴とする請求項１に記載
の電子ビーム描画装置。
【請求項４】前記多軸テーブル機構の複数のテーブル
には取付溝が形成されてなり、当該取付溝に一端が当接
可能に配置される駆動ロッドを設け、当該駆動ロッドの
他端部を前記真空容器の外部に設けた駆動源により駆動
するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の電子
ビーム描画装置。
【請求項５】前記多軸テーブル機構の複数のテーブル
相互間に介在された軸受け機構を具備することを特徴す
る請求項１に記載の電子ビーム描画装置。
【請求項６】前記移動制御部は、前記多軸テーブル機
構の複数のテーブルを並進及び円弧運動させるための手
段を具備することを特徴とする請求項１に記載の電子ビ
ーム描画装置。