JPH09118974A - 金属蒸着フィルムおよびそれを用いたコンデンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】高分子フィルムの少なくとも片面に金属蒸着膜
と該金属蒸着膜のない部分（以下マージンと称す）とを
有する金属蒸着フィルムにおいて、該金属蒸着膜が該マ
ージンとの境界部において蒸着ボケを生じ、かつ該マー
ジンがオイルにて覆われていることを特徴とする金属蒸
着フィルム。 【効果】安全規格コンデンサに課せられる高電圧印加に
対してもマージン際での破壊がおこらず、極めて高い安
全性を有したコンデンサを作ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は電気・電子回路に用
いられる金属蒸着高分子フィルムコンデンサ、特にアク
ロスライン等に用いられるコンデンサに関するものであ
り、中でも落雷時等に突入するサージ電流によってコン
デンサが破壊、発火などをおこすことのないよう規定さ
れた各種の安全規格に適合した安全規格コンデンサに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】各種家庭用電気機器、あるいは電子機器
にはラインから入るノズルを除去、あるいは機器で発生
するノイズが電源ラインに入るのを防ぐためにフィルタ
ーコンデンサが使用されている。これらのコンデンサへ
は落雷時等に生じる大きな突入電流が入ることがあり、
これらの突入電流によってコンデンサが破壊、あるいは
発火することのないよう、厳しい試験を課す規格が各国
で規定されている。例えばＵＬ １４１４、ＣＡＳ Ｃ
２２．２ ＮＯ１、ＶＤＥ ０５６５−１、ＩＥＣ ３
８４−１４、ＳＥＶ １０５５、ＪＩＳ Ｃ５１５１な
どであり、さらにＮＥＭＫＯ、ＳＥＭＫＯ、ＤＥＭＫ
Ｏ、ＥＩ、ＢＳなどの規格がある。

【０００３】これらは大きな突入電流を想定し、定格電
圧に比べ極めて高い電圧を一定時間かけ、異常あるいは
破壊しないことを規定している。

【０００４】これらの規格に適合するため、従来は１１
〜１２μｍの厚いポリエステルフィルムを用い、かつ広
巾のマージンを有するアルミ蒸着フィルムが用いられて
いたが、本対策においても規格に適合するにぎりぎりの
品質のため、製造工程での不良率が大きいと、具体的に
は検査工程の耐電圧テストにおいて不良が発生する率が
大きいことが問題であった。一方コンデンサの小型化に
対する強い要望があるが、小型化のためにフィルム厚み
を薄くすると当然不良率が増大し、小型化に対する技術
にいきづまっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は不良率を少な
くするとともに、さらに小型の安全規格に適合したコン
デンサ及びそれに用いられるコンデンサ用金属蒸着フィ
ルムを提供するものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この目的に沿うための本
発明の金属蒸着フィルムは、高分子フィルムの少なくと
も片面に金属蒸着膜と該金属蒸着膜のない部分（以下マ
ージンと称す）とを有する金属蒸着フィルムにおいて、
該金属蒸着膜が該マージンとの境界部において蒸着ボケ
を生じ、かつ該マージンがオイルにて覆われていること
を特徴とする金属蒸着フィルム。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明の一実施態様例である金属
蒸着フィルムの概略断面図を図１に示す。なお、本発明
は本実施態様例に限定されるものではない。

【０００８】図１において、１は本発明の金属蒸着フィ
ルムであり、２は高分子フィルム、３はマージン部を覆
うオイル、４は金属蒸着膜である。

【０００９】本発明でいう高分子フィルム２とは天然、
半合成、合成高分子樹脂をフィルム状に成型したもの
で、中でも合成高分子樹脂からなる高分子フィルムが耐
熱性、機械特性、電気特性、物理化学的特性の点からよ
り好ましい。

【００１０】好ましい合成高分子樹脂としてポリオレフ
ィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイ
ミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネイト樹
脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリア
リレート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリア
リレン樹脂などを挙げることができる。特にポリプロピ
レン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフ
タレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネ
イト、ポリスチレンが機械特性、電気特性の点からより
好ましい。中でもポリプロピレン、およびポリエチレン
テレフタレートが交流耐電圧（ＡＣ耐電圧）が高いこと
から特に好ましい。

【００１１】金属蒸着膜４の金属はＡｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、
Ａｇ、Ａｕ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｃｏ、Ｎｉあるいはこ
れらの合金など導電性を有するものであれば特に限定さ
れるもないが、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｓｎなどが耐コロナ
劣化性が少なく好ましい。なかでもＡｌ−Ｚｎの合金が
耐湿性、耐コロナ劣化性および自己回復特性の点でより
好ましく、中でも蒸着合金膜中のＡｌ含有量比｛（Ａｌ
含有量×１００）／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有量）｝が蒸
着膜表面Ｃ₁ 、蒸着膜中央Ｃ₂ 、フィルム界面でＣ₃ と
するとＣ₂ ＜Ｃ₁ ≦Ｃ₃ 又はＣ₂ ＜Ｃ₃ ≦Ｃ₁ と連続的
に変化し、かつ蒸着膜全体のＡｌ含有量比が０．５〜１
５ｗｔ％、より好ましくは８〜１２ｗｔ％となるＡｌ−
Ｚｎの合金からなる蒸着金属膜が特に好ましい。なかで
もＡｌの含有量比がＣ₂ ＜Ｃ₁ ≦Ｃ₃ となる分布をする
Ａｌ−Ｚｎの合金が自己回復性の劣化が少なくより好ま
しい。蒸着金属膜の膜抵抗は１〜４０Ω／□が好まし
く、特に３〜１５Ω／□が良い、またメタリコンとの密
着性を向上させるため、メタリコンの密着部２〜５ｍｍ
程度の蒸着膜を厚く、いわゆるヘビーエッジにした場合
の、電極部（アクティブ部）の抵抗を６〜１２Ω／□に
することによって特に耐圧とｔａｎδ特性を向上させ
る。

【００１２】さらにこれら蒸着金属膜の耐湿性を上げる
ため、該蒸着金属膜表面に超薄層のオイル膜又はケイ
素、あるいはケイ素化合物を設けることがより好まし
い。

【００１３】本蒸着金属膜はマージンの際において蒸着
ボケ５を生じることが重要である。蒸着ボケとは図１の
ごとくマージン部６において蒸着膜の厚みがマージン内
側へ徐々に薄くなっていく状態をさし、光学顕微鏡で観
察した場合図１のように金属蒸着膜の暗い部分からマー
ジン部の明るい部分にかけ０．０５〜１ｍｍより好まし
くは０．１〜０．５ｍｍ程度、特に好ましくは０．２〜
０．３ｍｍにかけ徐々に暗い部分から明るい部分へ明る
さが変化する領域がある状態をさす。従来のコンデンサ
用金属蒸着フィルムはＪＩＳ Ｃ２３１９−１９７７
（コンデンサ用メタライズポリエステルフィルム）の４
・３耳幅に規定されているよう蒸着金属膜の端に連続し
て不鮮明な箇所があってはならないとされている。この
ため従来よりマージンを形成する方法には蒸着される高
分子フィルム上にマスクとなるマージンと同じ幅のテー
プをはわせ未蒸着部（マージン）を形成するテープマー
ジン法があり、蒸着膜とマージンの境がはっきりしたマ
ージンが形成されることおよびプレス性が良いことから
好ましく利用されてきた。また他の方法としては蒸着膜
に高分子フィルム上にマージンの幅にオイルを蒸着し、
オイル部に蒸着膜が付着しないことを利用したオイルマ
ージン法があるが、テープマージン同様にマージンとの
境をはっきりさせるため（蒸着ボケを生じさせないた
め）、特公平３−５９９８１号公報のごとく、蒸着金属
がより付着しにくいフッ素系オイルが使用され、さらに
特公昭６３−５７９３２号公報のごとく、色々な工夫が
なされていた。

【００１４】本発明はこれら従来の技術とは全く逆に蒸
着ボケを生じさせることおよびマージンをオイルで覆う
ことによって、逆に安全規格コンデンサのテストにある
高い電圧の印加に対しても破壊、特にマージンと蒸着金
属膜境界における高分子フィルムの絶縁破壊をふせぎう
ることを見出し、なされたものである。

【００１５】さらに本発明の必須用件としてマージン部
６がオイル３で覆われていることが必要である。オイル
の量はわずかなため定量化できないが、図２のごとく、
本金属蒸着フィルムを巻回、または積層してコンデンサ
とした際の上下の２枚の金属蒸着フィルムの間のマージ
ン部分がオイル３で満たされること、より好ましくは空
気の層がないようになることである。この場合オイル３
がコンデンサの含浸オイルと相溶することによってオイ
ルと含浸オイルによってマージン部が満たされ、空気の
層がなくなることでも良い。つまりマージン部にオイル
が存在し、コンデンサにした時金属蒸着フィルムの間の
マージン部分が空気層のないようにオイルで充満される
ことが好ましい。

【００１６】本発明の金属蒸着フィルムの特徴である蒸
着ボケを生じさせ、金属蒸着フィルムの間のマージン部
分をオイルで充満させるため、および電気特性の点から
オイルはシリコーンオイルが好ましい。重量平均分子量
ＭＷが３００≦ＭＷ≦８００が好ましく、中でも重量平
均分子量ＭＷが４００≦ＭＷ≦８００が好ましく、かつ
数平均分子量ＭＮとの比が１．０≦ＭＷ／ＭＮ≦１．１
のシリコーンオイルがより好ましく、特に電気特性の点
からジメチルポリシロキサンオイルまたはメチルフェニ
ルポリシロキサンが好ましく、中でもメチルフェニルポ
リシロキサンが最も特性的に優れている。

【００１７】本発明の金属蒸着フィルムを通常の方法に
よって、巻回、又は積層することによって耐電圧の高い
良好なコンデンサができる。特にマージン部６を覆って
いるオイルと相溶し、かつ電気絶延性の高いオイルを含
浸オイルとして用いるとさらに耐電圧の高いコンデンサ
ができ、より好ましい。

【００１８】オイルと相溶するかどうかは、１００ｃｃ
のサンプル瓶にマージン部６を覆うに用いられているオ
イルと含浸オイルを各々３０ｃｃづつ入れ、栓をし、よ
く振ったのち、３０分間静置した際、二層に分離した
り、懸濁せず、透明に相溶することをさす。より簡易な
方法としてはＪＩＳ Ｋ６７６８−１９７１「エチレン
およびポリプロピレンフィルムのぬれ試験法」に準じ含
浸オイルを含んだ綿棒で蒸着フィルムの金属蒸着膜表面
からマージン部６へ含浸オイルを塗布した際、マージン
部にて含浸オイルの塗布幅がせばまらず、同等幅か広が
る含浸オイルが好ましいとして見分ける方法が挙げられ
る。

【００１９】本発明の金属蒸着フィルムを用いたコンデ
ンサは高い耐電圧を要求する用途のコンデンサに適して
いる。中でも安全規格コンデンサとして優れている。

【００２０】なお本発明の金属蒸着フィルムは従来の金
属蒸着フィルムと異り、マージン部がオイルで覆われて
いるため、プレス条件等従来のコンデンサ製造条件を変
更することが必要になる場合があるが、各々の金属蒸着
フィルムに合った最適な加工条件を設定することはあた
り前のことである。

【００２１】本発明の金属蒸着フィルムのマージンとは
図１のごとく金属蒸着膜とメタリコン部との絶縁を確保
するために設けられるマージン（フリーマージン、又は
ＪＩＳ Ｃ２３１９−１９９７に呼称されている耳幅）
のみならず特公平１−２１６１３号公報、特開平４−２
２５５０８号公報、特開平７−８６０８８号公報、ＵＳ
Ｐ５０５７９６７などに提案されている保安機構用マー
ジン、あるいは電極を分割するためのマージンをもさす
ものである。

【００２２】このような保安機構用マージンや分割電極
用マージンを有する従来のコンデンサは金属蒸着膜とマ
ージン部の境で絶縁破壊を起し、例えばヒューズ部の金
属蒸着膜とヒューズ部を形成するマージン部との境で絶
縁破壊し、ヒューズが切れたり、あるいは分割電極のマ
ージンが重った部分が絶縁破壊するなどして容量を低下
させる問題があったが、本発明の金属蒸着フィルムを用
いたコンデンサではこのような問題が著しく改良され
る。

【００２３】このようなマージンを形成する本法として
は、特開昭６３−１１４９５６号公報（ＵＳＰ４８３２
９８３）の方法が優れているが、本発明の金属蒸着フィ
ルムを作るうえで異る重要な点は、特開昭６３−１１４
９５６号公報では蒸着後マージンを形成するためのオイ
ルが消失する必要があることが強調されているが、本発
明は逆に蒸着後オイルが残り、マージン部を覆い、かつ
蒸着ボケが生じていることである。

【００２４】従来のコンデンサ用蒸着フィルムのマージ
ンは蒸着ボケがなく、かつマージン部にオイルが残らな
いことが重要な品質であったが、本発明は逆に蒸着ボケ
を生じさせかつマージン部にオイルが残すことによっ
て、極めて耐電圧の高い金属蒸着フィルムを発明するに
至ったのである。

【００２５】本発明の金属蒸着フィルムを巻回、積層す
るなど通常の方法にてコンデンサを作製することができ
る。該コンデンサは高い耐電圧を有する。中でもマージ
ンを覆っているオイルと相溶する含浸剤を用いた場合は
著しく高い耐電圧を有する。特にマージンを覆っている
オイルがシリコーンオイルで、かつ含浸剤もシリコーン
オイルがより好ましく、これらのシリコーンオイルとし
ては特にジメチルポリシロキサン、あるいはフェニルメ
チルポリシロキサンが優れている。

【００２６】本発明のコンデンサは高い電圧が印加され
る安全規格コンデンサに特に適している。

【００２７】

【物性値の測定】

（１）Ａｌ−Ｚｎ合金の組成分析 金属蒸着フィルムサンプル９ｃｍ² を希硝酸で溶解した
のち２０ｍｌに定溶し、この定溶液をＩＣＰ発光分光分
析法にてＡｌおよびＺｎを定量した。ＩＣＰ発光分光分
析装置はセイコー電子工業（株）製ＳＰＳ１２００ＶＲ
型を用いた。

【００２８】（２）ＡｌおよびＺｎの組成分布 ＪＥＯＬ製ＪＡＭＰ−１０Ｓ型のオージェ電子分光分析
装置にて、蒸着層の表面よりＡｒイオンエッチングしな
がらＡｌおよびＺｎの定量分析を行なった。

【００２９】 Ａｒイオンエッチング条件 加速電圧：３ｋＶ 試料電流：１×１０⁻⁶ Ａ エッチング速度：ＳｉＯ₂ 換算で１９０オングストロー
ム／ｍｉｎ 測定条件 加速電圧：３ｋＶ スリットＮｏ．：５ 試料電流：８×１０⁻⁸ Ａ 試料傾斜角度：７２度 ビーム径：１０μｍ

【００３０】なお、フィルム界面とは蒸着膜中央よりフ
ィルム界面にかけＡｌ含有量が多くなり、最大になった
後減少していく、最大点の位置をフィルム界面とし、最
大点の含有量比をＣ₃ とする。

【００３１】（２）蒸着ボケ 蒸着膜とマージンの界面を光学顕微鏡にて５０〜１００
倍の倍率にて測定する。または金属蒸着フィルムのマー
ジンの界面の断面の超薄切片を超高分解能電界放射型走
査電子顕微鏡（日立製Ｓ−９００Ｈ型）を用い、加速電
圧５ｋＶで観測する。ただし、後者の場合金属蒸着膜が
マージン界面より、マージン部内で徐々に薄くなってい
るのが観測され、光学顕微鏡で規定した本発明の蒸着ボ
ケ幅以上に蒸着金属がマージン内部へ入っていることが
わかる。

【００３２】（３）マージン部のオイルの有無 ＸＰＳ（ＥＳＣＡ）にてマージン部を観測することによ
って、オイルの存在を確認できる。

【００３３】 装置：ＳＳＩ社製ＳＳＸ−１００−２０６ 励起Ｘ線：ｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｚｅｄ Ａｌ Ｋ
α１．２線（１４８６．６ｅｖ） 光電子脱出角度（θ）：３５° エネルギー補正：Ｃ_ISメインピークの結合エネルギー値
を２８４．６ｅｖに合わせた

【００３４】なお、ＸＰＳは感度が良いため汚染による
オイルを検出することがあるが、マージ部がオイルで覆
われている場合は検出されたオイルからの信号が著しく
高く、汚染のオイルとは区別できる。

【００３５】（４）マージンオイルの分子量分布測定 ゲル浸透クロマトグラフＧＰＣ−２４４（ＷＡＴＥＲ
Ｓ）、検出器：示差屈折率検出器Ｒ−４０１（ＷＡＴＥ
ＲＳ）を用い測定し、分子量校正はポリスチレンで行っ
た。

【００３６】なおポリフェニルシロキサンの場合はカラ
ムはＴＳＫ−ｇｅｌ−Ｇ３０００ＨＸＬ（１）、Ｇ２５
００ＨｘＬ（１）（東ソ（株））を用いた。

【００３７】

【実施例】

実施例１、比較例１、２、３、４ 厚さ８μｍのポリプロピレンフィルムに実施例１、比較
例１、２、３では蒸着膜幅ｘ₁ ×２＝２４ｍｍのＡｌ−
Ｚｎ合金蒸着膜とｘ₂ ×２＝４ｍｍのマージン部（未蒸
着部）を設けた。比較例４では同幅のＡｌ蒸着膜と同幅
のマージン部を設けた。

【００３８】実施例１、比較例１、２、３では真空蒸着
機の巻出し側よりくり出されたポリプロピレンフィルム
のマージンを形成するオイルを入れた金属パイプ（マー
ジンノズル）を加熱し、該パイプの表面に形成されたマ
ージンの幅より、幅方向の熱膨張分だけ短い幅で開けら
れた概略矩形の穴より該オイルを蒸発し、該フィルムの
表面にマージン部となる部分に該オイルを付着させた。
次いでＡｌを蒸着し、すぐにＺｎを連続的に蒸着し、続
いて比較例３を除き該蒸着膜、および該マージン部全面
に該マージンオイルと同じオイルを蒸発、付着させた後
巻取りロールに巻きとった。比較例３ではＺｎ蒸着後そ
のまま巻取りロールに巻きとった。

【００３９】蒸着膜が膜全体のＡｌ含有量比２．２ｗｔ
％、Ｃ₁ ＝５．８ｗｔ％、Ｃ₂ ＝０．１ｗｔ％、Ｃ₃ ＝
１３．０ｗｔ％、および膜抵抗４Ω／□となるようにＡ
ｌおよびＺｎの蒸着源の温度を制御した。

【００４０】マージンオイルは実施例１、比較例１、２
ではＭＷ＝５２０、ＭＷ／ＭＮ＝１．０のメチルフェニ
ルポリシロキサンオイルを用い、実施例１では蒸着ボケ
が０．２〜０．４ｍｍになるよう、比較例１では蒸着ボ
ケが０．０５ｍｍ未満（通常のオイルマージン条件）、
比較例２では蒸着ボケ１．５ｍｍになるよう、マージン
ノズル温度を制御した。

【００４１】比較例３ではマージンオイルとしてパーフ
ルオロポリエーテルオイルを用い、蒸着ボケ０．０３ｍ
ｍ未満になるようマージンノズル温度を制御した（通常
オイルマージン条件）。

【００４２】比較例４では、ｘ₂ ×２＝４ｍｍの耐熱フ
ィルムを用い、テープマージン法によりＡｌを蒸着膜抵
抗４Ω／□になるよう蒸着した。

【００４３】各々の蒸着フィルムを蒸着膜ｘ₁ ＝１２ｍ
ｍ、マージン幅ｘ₂ ＝２ｍｍの蒸着フィルムリール（１
４ｍｍ幅）となるよう細幅に通常の方法で切断した。

【００４４】該スリットした蒸着フィルムを図２のごと
く通常の方法で重ね合せ、巻回後、プレス、メタリコ
ン、熱処理し、電極をとりつけ、次いでジメチルポリシ
ロキサンオイル（粘度１００ｃｓｔ）を含浸後、エポキ
シを外装する通常の方法で０．２２μＦのコンデンサを
作成した。

【００４５】これらのコンデンサにＵＬ１４１４の規格
に準拠し、１５００ＶＡＣ（６０Ｈｚ）の交流電圧を１
分間印加し、破壊の状況を調べた。

【００４６】さらに蒸着フィルムリールのマージン部を
ＸＰＳで観察し、マージン部がオイルで覆われているか
調べた。

【００４７】表１に示す結果のごとく、本発明品は全く
破壊がなく、極めて優れた特性を示した。

【００４８】

【表１】 実施例２、比較例５、６、７、８ 実施例２では１０μｍ、比較例５、６、７、８は１２μ
ｍのポリエステルフィルムを用い、他の条件は表２の条
件で蒸着フィルムを作成し、次いで実施例１と同じよう
にしてコンデンサを作成した。なおコンデンサ作成条件
は金属蒸着ポリエステルフィルムを用いコンデンサを作
成する通常条件で行った。これらのコンデンサを実施例
１と同じ方法でテストした。但し印加電圧は１２５０Ｖ
ＡＣと１５００ＶＡＣにした。これらの結果を表２に示
す。

【００４９】表２のごとく、本発明のコンデンサはフィ
ルム厚みが比較例に比べ２μｍ薄いにもかかわらず優れ
た特性を示した。

【００５０】

【表２】

【００５１】

【発明の効果】本発明の金属蒸着フィルムは金属蒸着膜
とマージンとの境界面において金属ボケがあり、かつマ
ージン部がオイルで覆われているため、安全規格コンデ
ンサに課せられる高電圧印加に対してもマージン際での
破壊がおこらず、極めて高い安全性を有したコンデンサ
を作ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の蒸着フィルムの断面形状の一例を示し
た概略図である。

【図２】本発明の蒸着フィルムをコンデンサを作るため
に重ねた断面形状の一例を示した概略図である。

【図３】本発明の蒸着フィルムをコンデンサを作るため
に重ねた断面形状の一例を示した概略図である。

【図４】本発明の蒸着フィルムの蒸着膜中のＡｌおよび
Ｚｎの含有量比の一例を示した概略図である。

【符号の説明】

１：本発明の金属蒸着フィルム ２：高分子フィルム ３：マージンを覆うオイル ４：金属蒸着膜 ５：金属ボケ ６：マージン部

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高分子フィルムの少なくとも片面に金属
   蒸着膜と該金属蒸着膜のない部分（以下マージンと称
   す）とを有する金属蒸着フィルムにおいて、該金属蒸着
   膜が該マージンとの境界部において蒸着ボケを生じ、か
   つ該マージンがオイルにて覆われていることを特徴とす
   る金属蒸着フィルム。
2. 【請求項２】 オイルがシリコーンオイルであることを
   特徴とする請求項１に記載の金属蒸着フィルム。
3. 【請求項３】 シリコーンオイルの重量平均分子量ＭＷ
   が３００≦ＭＷ≦８００で、かつ数平均分子量ＭＮとの
   比が１．０≦ＭＷ／ＭＮ≦１．１であることを特徴とす
   る請求項２に記載の金属蒸着フィルム。
4. 【請求項４】 シリコーンオイルがジメチルポリシロキ
   サンオイルまたはメチルフェニルポリシロキサンオイル
   であることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか
   に記載の金属蒸着フィルム。
5. 【請求項５】 シリコーンオイルがメチルフェニルポリ
   シロキサンオイルであることを特徴とする請求項４に記
   載の金属蒸着フィルム。
6. 【請求項６】 金属蒸着膜がＡｌとＺｎの合金からな
   り、かつＡｌの含有量比（Ａｌ含有量／（Ａｌ含有量＋
   Ｚｎ含有量））を蒸着膜表面をＣ₁ 、蒸着膜厚の中間を
   Ｃ₂ 、蒸着膜と高分子フィルムの界面をＣ₃ としたとき
   Ｃ₂ ＜Ｃ₁ ≦Ｃ₃又はＣ₂ ＜Ｃ₃ ≦Ｃ₁ と連続的に変化
   し、かつ蒸着膜全体のＡｌの含有量比（Ａｌ含有量×１
   ００／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有量））が０．５〜１５ｗ
   ｔ％であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいず
   れかに記載の金属蒸着フィルム。
7. 【請求項７】 Ａｌの含有量比が８〜１２ｗｔ％である
   ことを特徴とする請求項６に記載の金属蒸着フィルム。
8. 【請求項８】 Ａｌの含有量比がＣ₂ ＜Ｃ₁ ≦Ｃ₃ であ
   ることを特徴とする請求項６に記載の金属蒸着フィル
   ム。
9. 【請求項９】 請求項１〜請求項８のいずれかに記載の
   金属蒸着フィルムを用いたことを特徴とするコンデン
   サ。
10. 【請求項１０】 コンデンサにおいて含浸剤としてマー
    ジンを覆っているオイルと相溶するオイルを用いたこと
    を特徴とする請求項９に記載のコンデンサ。
11. 【請求項１１】 マージンを覆っているオイルおよび含
    浸剤のオイルがシリコーンオイルであることを特徴とす
    る請求項１０に記載のコンデンサ。
12. 【請求項１２】 シリコーンオイルがジメチルポリシロ
    キサンオイルあるいはフェニルメチルポリシロキンオイ
    ルであることを特徴とする請求項１１に記載のコンデン
    サ。
13. 【請求項１３】 請求項９〜請求項１２のいずれかに記
    載のコンデンサが安全規格用コンデンサであることを特
    徴とするコンデンサ。