JPH09141743A - ラミネート装置 - Google Patents

ラミネート装置

Info

Publication number
JPH09141743A
JPH09141743A JP7329791A JP32979195A JPH09141743A JP H09141743 A JPH09141743 A JP H09141743A JP 7329791 A JP7329791 A JP 7329791A JP 32979195 A JP32979195 A JP 32979195A JP H09141743 A JPH09141743 A JP H09141743A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laminating
solar cell
chamber
cell panel
laminated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7329791A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiro Tonari
良郎 隣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
N P C KK
Original Assignee
N P C KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by N P C KK filed Critical N P C KK
Priority to JP7329791A priority Critical patent/JPH09141743A/ja
Publication of JPH09141743A publication Critical patent/JPH09141743A/ja
Priority to US09/006,074 priority patent/US6149757A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B30—PRESSES
    • B30B—PRESSES IN GENERAL
    • B30B5/00—Presses characterised by the use of pressing means other than those mentioned in the preceding groups
    • B30B5/02—Presses characterised by the use of pressing means other than those mentioned in the preceding groups wherein the pressing means is in the form of a flexible element, e.g. diaphragm, urged by fluid pressure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/1055—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer
    • B32B17/10788—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer containing ethylene vinylacetate
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/10807—Making laminated safety glass or glazing; Apparatus therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/10—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the pressing technique, e.g. using action of vacuum or fluid pressure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/10—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the pressing technique, e.g. using action of vacuum or fluid pressure
    • B32B37/1009—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the pressing technique, e.g. using action of vacuum or fluid pressure using vacuum and fluid pressure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/0036—Heat treatment
    • B32B38/004—Heat treatment by physically contacting the layers, e.g. by the use of heated platens or rollers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/18—Handling of layers or the laminate
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C43/36—Moulds for making articles of definite length, i.e. discrete articles
    • B29C43/3642—Bags, bleeder sheets or cauls for isostatic pressing
    • B29C2043/3647—Membranes, diaphragms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/18—Handling of layers or the laminate
    • B32B2038/1891—Using a robot for handling the layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2309/00—Parameters for the laminating or treatment process; Apparatus details
    • B32B2309/60—In a particular environment
    • B32B2309/68—Vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00—Electrical equipment
    • B32B2457/12—Photovoltaic modules

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 生産性が高くスループットの良いラミネート
装置を提供する。 【解決手段】 下方に向かって膨張自在なダイアフラム
を備える上チャンバ６、１０と、ヒータ盤と該ヒータ盤
の上方において受け取った被ラミネート体Ｐをヒータ盤
上に載置し、かつ、該ヒータ盤上に載置した被ラミネー
ト体Ｐをヒータ盤の上方に持ち上げる昇降手段を備える
下チャンバ８、１２とを開閉自在に構成したラミネート
部２、３を、上下に二段以上重ねて配置したラミネート
装置１である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池パネルな
どの被ラミネート体を製造するためのラミネート装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ソーラーエネルギを活用すべく、
太陽電池について種々の開発がなされている。また、太
陽電池の形態も、単結晶シリコンや多結晶シリコンを用
いた結晶型の太陽電池の他、アモルファスシリコン（非
結晶シリコン）を用いたアモルファス型の太陽電池な
ど、様々なものが案出されている。しかしながら、これ
ら結晶型とアモルファス型の何れの場合もシリコン自体
は化学的変化を起こしやすく、また物理的な衝撃にも弱
いので、一般には、シリコンをビニールフィルムや耐熱
ガラスなどでラミネートした太陽電池パネルが利用され
ている。また、最近では建材用などに利用される、外壁
材や屋根材と太陽電池パネルを一体化させた、一体型モ
ジュールなども製造されるようになってきている。その
ような一体型モジュールをラミネートする場合には、ビ
ニールフィルムや耐熱ガラスなどの他に適当な補強材な
ども併用されている。
【０００３】従来、かような太陽電池パネルを製造する
ためのラミネート装置として、ダイアフラムによって仕
切られた上チャンバと下チャンバからなるチャンバ部を
備えた、いわゆる二重真空方式のラミネート装置が公知
になっている。そして、かかる二重真空方式のラミネー
ト装置に関し、特公平４−６５５５６号の「太陽電池モ
ジュールラミネート装置」、および特公平６−５２８０
１号の「太陽電池パネルの製造方法」が開示されてい
る。これらに記載されたラミネート装置は、下方に向か
って膨張自在なダイアフラムを備えた上チャンバと、ヒ
ータ盤を備えた上チャンバによって構成されている。そ
して、下チャンバに設けられたヒータ盤に被ラミネート
体を載置した状態で上チャンバと下チャンバを減圧し、
被ラミネート体を加熱して、上チャンバに大気を導入す
ることにより被ラミネート体をヒータ盤の上面とダイア
フラムとの間で挟圧してラミネートする構成になってい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、以上のよう
な従来のラミネート装置においては、これからラミネー
トをしようとする太陽電池パネルをヒータ盤の上に載せ
る際には、ヒータ盤の上面全体が十分に冷却されていな
ければならない。もし、ヒータ盤の上面が冷却されてい
ない状態で太陽電池パネルを載置すると、チャンバ内を
真空引きする前の大気圧下において太陽電池パネルが加
熱されてしまうことになる。このように真空引きする前
に太陽電池パネルが加熱されると、太陽電池パネルの内
部の空気が十分に除去される前に充填材としての樹脂が
溶け始めることにより、パネル内部に気泡が残ってしま
う可能性が高い。そして、太陽電池パネルの内部に残っ
た気泡は、太陽電池の使用時において、起電力や外気温
などの温度上昇の影響によって膨張し、太陽電池パネル
の劣化、寿命の短命化といった問題を引き起こしてしま
う。
【０００５】また、特に耐熱ガラスやその他の補強材な
どを用いた大型の太陽電池パネルを加熱されたヒータ盤
の上面に直接載せた場合は、急激な温度上昇によって太
陽電池パネル全体がそってしまう心配がある。太陽電池
パネルがそってしまうと、パネル全体が均一にヒータ盤
の上面に接触できなくなり、部分的な加熱しかされなく
なって加熱の均一性が損なわれ、ラミネート不良といっ
た問題を引き起こす。
【０００６】このため、以上のようなラミネート装置を
用いて太陽電池パネルをラミネートする場合は、短時間
でヒータ盤上面全体を均一に冷却することが困難なため
に、連続的な製造が行い難く、スループットの向上がは
かれていなかった。
【０００７】本発明の目的は、生産性が高くスループッ
トの良いラミネート装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明にあっては、下方に向かって膨張自在なダ
イアフラムを備える上チャンバと、ヒータ盤と該ヒータ
盤の上方において受け取った被ラミネート体をヒータ盤
上に載置し、かつ、該ヒータ盤上に載置した被ラミネー
ト体をヒータ盤の上方に持ち上げる昇降手段を備える下
チャンバと、を開閉自在に構成したラミネート部を、上
下に二段以上重ねて配置したラミネート装置を提供す
る。
【０００９】本発明のラミネート装置は、ラミネート部
を少なくとも上下に二段以上重ねて配置することによっ
て、従来のラミネート部を一つしか備えていないラミネ
ート装置に比べて、少なくとも二倍以上の生産性を発揮
することができるものである。かような本発明のラミネ
ート装置において、ラミネート部のそれぞれに被ラミネ
ート体を搬入する搬入手段と、ラミネート部のそれぞれ
から被ラミネート体を搬出する搬出手段とをラミネート
部の側方に配置しても良い。また、本発明のラミネート
装置は、例えば太陽電池パネルの製造などに好適であ
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の一例としてラミ
ネート部を上下に二段に重ねて配置したものについて説
明する。図１は本発明の実施の形態にかかるラミネート
装置１の正面図、図２はラミネート装置１の平面図であ
る。
【００１１】図１に示されるように、このラミネート装
置１は、上ラミネート部２と下ラミネート部３を備えて
いる。上ラミネート部２は、上部ケース５の内部に設け
られた第１上チャンバ６と、中央部ケース７の内部上方
に設けられた第１下チャンバ８によって構成されてい
る。下ラミネート部３は、中央部ケース７の内部下方に
設けられた第２上チャンバ１０と、下部ケース１１の内
部に設けられた第２上チャンバ１２によって構成されて
いる。
【００１２】中央部ケース７は、床面上をキャスタ１５
を介して走行可能な基台１６の四隅に立設された支柱１
７にブラケット１８を介して取り付けられており、この
中央部ケース７の高さは変わらないように支持されてい
る。一方、上部ケース５は、支柱１７に沿って移動自在
なガイド部２０と、このガイド部２０を支持するブラケ
ット２１を介して取り付けられており、上部ケース５
は、中央部ケース７と平行な姿勢を保ちながら中央部ケ
ース７の上方において昇降移動できる構成になってい
る。また、下部ケース１１は、支柱１７に沿って移動自
在なガイド部２５と、このガイド部２５を支持するブラ
ケット２６を介して取り付けられており、下部ケース１
１は、中央部ケース７と平行な姿勢を保ちながら中央部
ケース７の下方において昇降移動できる構成になってい
る。
【００１３】また、中央部ケース７に固定されたブラケ
ット１８の上下にはシリンダ３０、３１がそれぞれ装着
されており、シリンダ３０のピストンロッド３２の先端
が上部ケース５に固定されたブラケット２１に接続さ
れ、シリンダ３１のピストンロッド３３の先端が下部ケ
ース１１に固定されたブラケット２６に接続されてい
る。従って、シリンダ３０の稼働でピストンロッド３２
が伸張すると、中央部ケース７の上面から離れるように
上部ケース５が上昇し、これにより、上部ケース５内部
の第１上チャンバ６と中央部ケース７内部上方の第１下
チャンバ８で構成される上ラミネート部２が開放状態と
なる。一方、シリンダ３０の稼働でピストンロッド３２
が短縮すると、中央部ケース７の上面に密着するように
上部ケース５が下降し、これにより、上部ケース５内部
の第１上チャンバ６と中央部ケース７内部上方の第１下
チャンバ８で構成される上ラミネート部２が密閉状態と
なる。また、シリンダ３１の稼働でピストンロッド３３
が伸張すると、中央部ケース７の下面から離れるように
下部ケース１１が下降し、これにより、中央部ケース７
内部下方の第２上チャンバ１０と下部ケース１１内部の
第２下チャンバ１２で構成される下ラミネート部３が開
放状態となる。一方、シリンダ３２の稼働でピストンロ
ッド３３が短縮すると、中央部ケース７の下面に密着す
るように下部ケース１１が上昇し、これにより、中央部
ケース７内部下方の第２上チャンバ１０と下部ケース１
１内部の第２下チャンバ１２とで構成される下ラミネー
ト部３が密閉状態となる。
【００１４】図３に示すように、上部ケース５の内部を
水平に仕切るようにしてダイアフラム４０が装着されて
おり、このダイアフラム４０と上部ケース５の内壁面で
囲まれた空間が第１上チャンバ６を構成している。ダイ
アフラム４０は、バイトン（フッ素ゴム）などの耐熱ゴ
ムなどで構成されている。また、上部ケース５の側面に
は第１上チャンバ６に連通するようにして吸排気口４１
が設けられており、この吸排気口４１を介して第１上チ
ャンバ６内を真空引きし、また、吸排気口４１を介して
第１上チャンバ６内に大気圧を導入できるように構成さ
れている。いる。
【００１５】中央部ケース７の内部上方に設けられた第
１下チャンバ８にはヒータ盤４５が配置されている。こ
のヒータ盤４５は、例えばアルミ製のシーズヒータ盤で
構成される。また、ヒータ盤４５は温度制御を正確に行
うための水冷パイプなどを備えていても良い。このヒー
タ盤４５を貫通するようにして多数のピン４６が設けら
れており、図示しない昇降機構の稼働によってこのピン
４６は図中実線４６で示されるようにピン４６の上端が
ヒータ盤４５の上面とほぼ同じ高さとなる位置に下降し
た状態と、図中一点鎖線４６’で示されるようにピン４
６の上端がヒータ盤４５の上面から上方に突出した位置
に上昇した状態になるように構成されている。昇降機構
には、例えばエアーシリンダ、ボールナット、ラックア
ンドピニオン、エアーチューブなどの公知の昇降手段が
適宜用いられる。
【００１６】また、中央部ケース７の内部下方に設けら
れた第２上チャンバ１０の内部を水平に仕切るようにし
てダイアフラム５０が装着されており、このダイアフラ
ム５０と中央部ケース７下方の内壁面で囲まれた空間が
第２上チャンバ１０を構成している。このダイアフラム
５０も同様に、バイトン（フッ素ゴム）などの耐熱ゴム
などで構成されている。
【００１７】そして、中央部ケース７の内部の上方と下
方に設けられたこれら第１下チャンバ８と第２上チャン
バ１０とは仕切り板５１によって気密に仕切られてい
る。また、中央部ケース７の側面には第１下チャンバ８
と第２上チャンバ１０に連通するようにして吸排気口５
２、５３がそれぞれ設けられており、これら吸排気口５
２、５３を介して第１下チャンバ８内と第２上チャンバ
１０内とをそれぞれ真空引きし、また、これら吸排気口
５２、５３を介して第１下チャンバ８内と第２上チャン
バ１０内にそれぞれ大気圧を導入できるように構成され
ている。
【００１８】下部ケース１１の内部に設けられた第２下
チャンバ１２にはヒータ盤５５が配置されている。この
ヒータ盤５５も同様に、例えばアルミ製のシーズヒータ
盤で構成され、温度制御用の水冷パイプなどを備えてい
ても良い。また、このヒータ盤５５を貫通するようにし
て多数のピン５６が設けられており、図示しない昇降機
構の稼働によってこのピン５６は図中実線５６で示され
るようにピン５６の上端がヒータ盤５５の上面とほぼ同
じ高さとなる位置に下降した状態と、図中一点鎖線５
６’で示されるようにピン５６の上端がヒータ盤５５の
上面から上方に突出した位置に上昇した状態になるよう
に構成されている。なお同様に、昇降機構には、例えば
エアーシリンダ、ボールナット、ラックアンドピニオ
ン、エアーチューブなどの公知の昇降手段が適宜用いら
れる。また、下部ケース１１の側面には第２下チャンバ
１２に連通するようにして吸排気口５７が設けられてお
り、この吸排気口５７を介して第２下チャンバ１２内を
真空引きし、また、吸排気口５７を介して第２下チャン
バ１２内に大気圧を導入できるように構成されている。
【００１９】以上のように構成されたラミネート部２、
３の側方には、図１、２に示すように、ラミネート部
２、３のそれぞれに被ラミネート体としての太陽電池パ
ネルＰを搬入する搬入手段６０と、ラミネート部２、３
のそれぞれから被ラミネート体Ｐを搬出する搬出手段６
１が配置されている。
【００２０】搬入手段６０は、ラミネート装置１の下部
において基台１６もしくは支柱１７によって水平に取り
付けられたガイドレール６３上を走行する走行部６５
と、この走行部６５に立設された支柱６６に支持された
上テーブル６７及び下テーブル６８を備えている。これ
ら上テーブル６７と下テーブル６８には、図示しないロ
ボット等の手段により、被ラミネート体としての太陽電
池パネルＰが所定の位置に位置決めされて供給されるよ
うになっている。そして、走行部６５の走行によって、
それら上テーブル６７上と下テーブル６８上に供給され
た太陽電池パネルＰをラミネート部２、３にそれぞれ搬
入する。また、上テーブル６７と下テーブル６８には、
数条の切欠き部７０、７１がそれぞれ形成されている。
ここで、図２において一点鎖線６７’、６８’は走行部
６５の走行によって太陽電池パネルＰをラミネート部
２、３にそれぞれ搬入した時の上テーブル６７と下テー
ブル６８の位置を示しており、このように、搬入手段６
０によって太陽電池パネルＰをラミネート部２、３に搬
入した際には、切欠き部７０、７１が第１下チャンバ８
のピン４６と第２上チャンバ１２のピン５６の丁度真上
位置に来ることによって、上テーブル６７と下テーブル
６８が、第１下チャンバ８のピン４６と第２上チャンバ
１２のピン５６の昇降動作を妨げないように考慮されて
いる。
【００２１】また搬出手段６１も同様に、ガイドレール
６３上を走行する走行部７５と、この走行部７５に立設
された支柱７６に支持された上テーブル７７及び下テー
ブル７８を備えている。そして、走行部７５の走行によ
って、これら上テーブル７７及び下テーブル７８がラミ
ネート部２、３に進入して、後述するようにラミネート
部２、３において製造された太陽電池パネルＰを受け取
り、受け取り後、再び走行部７５の走行によってその上
テーブル６７上と下テーブル６８上に受け取った太陽電
池パネルＰをラミネート部２、３の外にそれぞれ搬出す
る。こうしてラミネート部２、３の外に搬出された太陽
電池パネルＰは、図示しないロボット等の手段により、
上テーブル７７上と下テーブル７８上から取り去られる
ように構成されている。また、この搬出手段６１の上テ
ーブル７７と下テーブル７８にも同様に、数条の切欠き
部８０、８１がそれぞれ形成され、走行部７５の走行に
よって上テーブル７７と下テーブル７８がラミネート部
２、３に進入した際には、切欠き部８０、８１が第１下
チャンバ８のピン４６と第２上チャンバ１２のピン５６
の丁度真上位置に来ることによって、それらピン４６、
５６の昇降動作を妨げないように考慮されている。
【００２２】図４、５は、ラミネート装置１によって好
適に製造される被ラミネート体の一例としての、太陽電
池パネルＰを示す平面図と、側面図である。太陽電池パ
ネルＰは、補強材８５とカバーガラス８６の間に、充填
材８７、８８を介してストリング８９をサンドイッチし
た構成を有する。補強材８５は例えばＰＥ樹脂などが使
用される。充填材８７、８８には例えばＥＶＡ（エチレ
ンビニルアセテート）樹脂などが使用される。ストリン
グ８９は、電極９０、９１の間に、太陽電池セル９２を
リード線９３を介して接続した構成を有する。
【００２３】以上のように構成された被ラミネート体と
しての太陽電池パネルＰは、本発明の実施の形態にかか
るラミネート装置１により、次に説明する工程に従って
製造される。
【００２４】先ず、ラミネート装置１の上ラミネート部
２と下ラミネート部３に太陽電池パネルＰを挿入するに
際しては、図６に示すように、上部ケース５を持ち上
げ、下部ケース１１を下げることによって、上ラミネー
ト部２と下ラミネート部３を開放状態にする。上部ケー
ス５を持ち上げる動作と下部ケース１１を下げる動作
は、図１、２で説明したシリンダ３０とシリンダ３１の
伸張稼働によってそれぞれ行われる。また、図示しない
昇降機構の稼働により、中央部ケース７内部上方の第１
下チャンバ８に設けられたピン４６と下部ケース１１内
部の第２下チャンバ１２に設けられたピン５６を何れも
下降させる。一方、ラミネート部２、３の側方に位置し
ている搬入手段６０の上テーブル６７と下テーブル６８
には、図示しないロボット等の手段により、太陽電池パ
ネルＰが所定の位置に位置決めしながら供給される（図
６において、一点鎖線６７、６８、Ｐで示す状態）。
【００２５】次に、搬入手段６０の走行部６５の走行に
よって、上テーブル６７と下テーブル６８が図中左向き
に移動し、上テーブル６７上と下テーブル６８上に載置
している太陽電池パネルＰをラミネート部２、３にそれ
ぞれ搬入する（図６において、実線６７、６８、Ｐで示
す状態）。搬入後、図示しない昇降機構の稼働によっ
て、中央部ケース７内部上方の第１下チャンバ８に設け
られたピン４６と下部ケース１１内部の第２下チャンバ
１２に設けられたピン５６が何れも上昇し、ピン４６、
５６の上端がヒータ盤４５、５５の上面から上方に突出
する。そして、これらピン４６、５６の上端で、上テー
ブル６７上と下テーブル６８上に載置されていた太陽電
池パネルＰの下面を突き上げることにより、太陽電池パ
ネルＰを、上テーブル６７と下テーブル６８の上面から
持ち上げてピン４６、５６の上端で支持した状態にす
る。なお、上テーブル６７と下テーブル６８には数条の
切欠き部７０、７１が設けられているので、これらピン
４６、５６は、切欠き部７１の中を通ることにより、上
テーブル６７と下テーブル６８にぶつかることなく円滑
に上昇することができる。こうして上テーブル６７と下
テーブル６８の上面から太陽電池パネルＰを持ち上げた
後、搬入手段６０の走行部６５が先とは逆の方向に走行
し、上テーブル６７と下テーブル６８が図中右向きに移
動してラミネート部２、３から退出することにより、図
７に示す状態となる。
【００２６】次に、図８に示すように、上部ケース５を
下げ、下部ケース１１を上げることによって、上ラミネ
ート部２と下ラミネート部３を密閉状態にする。上部ケ
ース５を下げる動作と下部ケース１１を上げる動作は、
図１、２で説明したシリンダ３０とシリンダ３１の短縮
稼働によってそれぞれ行われる。そして、吸排気口４
１、５２を介して第１上チャンバ６内と第１下チャンバ
８内を同時に真空引きし、吸排気口５３、５７を介して
第２上チャンバ１０内と第２下チャンバ１２内を同時に
真空引きする。
【００２７】こうして、各チャンバ６、８、１０、１２
内を真空引きする間に、第１下チャンバ８内のヒータ盤
４５と第２下チャンバ１２内のヒータ盤５５も予め加熱
しておく。なお、このようにピン４６、５６の上端で太
陽電池パネルＰを持ち上げて支持して行う第１下チャン
バ８内と第２下チャンバ１２内の減圧中にヒータ盤４
５、５５の加熱を開始しているので、断熱効果が極めて
高く、減圧中に太陽電池パネルＰに熱が伝わる心配が少
ない。そして、第１上チャンバ６内と第１下チャンバ８
内、第２上チャンバ１０内と第２下チャンバ１２内を、
それぞれ例えば０.７〜１.０Torrにまで真空引きした
後、第１下チャンバ８と第２下チャンバ１２の内部にお
いて図示しない昇降機構の稼働によりピン４６、５６を
下降させる。これにより、ピン４６、５６の上端によっ
て持ち上げて支持されていた太陽電池パネルＰが、第１
下チャンバ８と第２下チャンバ１２の内部においてヒー
タ盤４５、５５の上面にそれぞれ直接接触した状態とな
り、太陽電池パネルＰが加熱される。この加熱によっ
て、太陽電池パネルＰ内の充填材８７、８８であるＥＶ
Ａ樹脂の化学反応が促進され、架橋が行われるようにな
る。そして、この状態で、図９に示すように、吸排気口
４１を介して第１上チャンバ６内に大気圧を導入し、吸
排気口５３を介して第２上チャンバ１０内に大気圧を導
入することにより、上ラミネート部２においてダイアフ
ラム４０を下方に膨張させ、下ラミネート部３において
ダイアフラム５０を下方に膨張させることにより、太陽
電池パネルＰを、ヒータ盤４５、５５の上面とダイアフ
ラム４０、５０との間でそれぞれ挟圧する。
【００２８】こうして、加熱および挟圧することによっ
てラミネート処理を終了し、太陽電池パネルＰを製造し
た後、吸排気口５２を介して第１下チャンバ８内に大気
圧を導入し、吸排気口５７を介して第２下チャンバ１２
内に大気圧を導入する。そして、図示しない昇降機構の
稼働によって、第１下チャンバ８のピン４６と第２下チ
ャンバ１２のピン５６を上昇させて太陽電池パネルＰの
下面を突き上げ、図１０に示すように、太陽電池パネル
Ｐをピン４６、５６の上端でそれぞれ支持した状態にす
る。また、上部ケース５を持ち上げ、下部ケース１１を
下げることによって、上ラミネート部２と下ラミネート
部３を開放状態にする。上部ケース５を持ち上げる動作
と下部ケース１１を下げる動作は、図１、２で説明した
シリンダ３０とシリンダ３１の伸張稼働によってそれぞ
れ行われる。
【００２９】次に、搬出手段６１の走行部７５の走行に
よって、上テーブル７７と下テーブル７８が図中右向き
に移動し、上ラミネート部２と下ラミネート部３にそれ
ぞれ進入する。なお、搬出手段６１の上テーブル７７と
下テーブル７８にも数条の切欠き部８０、８１が設けら
れているので、上テーブル７７と下テーブル７８は第１
下チャンバ８のピン４６と第２下チャンバ１２のピン５
６にぶつかることなく円滑に上ラミネート部２と下ラミ
ネート部３に進入することができる。
【００３０】こうして、搬出手段６１の上テーブル７７
と下テーブル７８が上ラミネート部２と下ラミネート部
３にそれぞれ進入した後、図示しない昇降機構の稼働に
よって、中央部ケース７内部上方の第１下チャンバ８に
設けられたピン４６と下部ケース１１内部の第２下チャ
ンバ１２に設けられたピン５６が下降し、ピン４６、５
６の上端がヒータ盤４５、５５の上面とほぼ同じ高さと
なる。これにより、今までピン４６、５６の上端によっ
て支持されていた太陽電池パネルＰが、搬出手段６１の
上テーブル７７と下テーブル７８の上に受け渡されるこ
ととなる。その後、搬出手段６１の走行部７５の走行に
よって、上テーブル７７と下テーブル７８が図中左向き
に移動し、上ラミネート部２と下ラミネート部３からそ
れぞれ退出して、図１１に示す状態となる。こうして、
搬出手段６１の上テーブル７７上と下テーブル７８上に
載置された状態でラミネート部２、３の外に搬出された
太陽電池パネルＰは、図示しないロボット等の手段によ
り、上テーブル７７上と下テーブル７８上から取り去ら
れ、次の工程に搬送される。
【００３１】かくして、以上の工程を繰り返すことによ
り、内部に気泡のない、性状の良い太陽電池パネル２０
を、従来に比べて少なくとも二倍以上の生産性で製造す
ることが可能となる。なお、以上に説明した実施の形態
では、ラミネート部を二段に構成した例を説明したが、
本発明のラミネート装置はラミネート部を三段以上に構
成することも可能である。また、被ラミネート体の一例
として、太陽電池パネルの製造について説明したが、本
発明のラミネート装置はその他、種々のものについてラ
ミネート処理を施すことができる。特に、被ラミネート
体の厚みの変化に対応でき、また、最近、注目されるよ
うになった建材用の外壁材や屋根材と太陽電池パネルを
一体化させた、一体型モジュールなどの製造などにも供
することが可能である。更に、本発明のラミネート装置
は、太陽電池パネルに限らず、合わせガラスや装飾ガラ
スなどの製造にも供することができる。
【００３２】
【発明の効果】本発明のラミネート装置によれば、ラミ
ネート部を少なくとも上下に二段以上重ねて配置するこ
とによって、従来のラミネート部を一つしか備えていな
いラミネート装置に比べて、少なくとも二倍以上の生産
性を発揮することができる。本発明によれば、生産性が
高くスループットの良いラミネート装置を提供すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ラミネート部を上下に二段に重ねて配置した本
発明の実施の形態にかかるラミネート装置の正面図であ
る。
【図２】ラミネート装置の平面図である。
【図３】ラミネート部の縦断面図である。
【図４】太陽電池パネルの平面図である。
【図５】太陽電池パネルの側面図である。
【図６】ラミネート部に被ラミネート体を搬入する状態
の説明図である。
【図７】ラミネート部に被ラミネート体を搬入した状態
の説明図である。
【図８】ラミネート部の各チャンバ内を真空引きする状
態の説明図である。
【図９】被ラミネート体を加熱および挟圧する状態の説
明図である。
【図１０】製造後、各ラミネート部を開放させた状態の
説明図である。
【図１１】製造した被ラミネート体をラミネート部から
取り出す状態の説明図である。
【符号の説明】
Ｐ 太陽電池パネル １ ラミネート装置 ２、３ ラミネート部 ６、１０ 上チャンバ ８、１２ 下チャンバ ４０、５０ ダイアフラム ４５、５５ ヒータ盤 ４６、５６ ピン ６０ 搬入手段 ６１ 搬出手段

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】下方に向かって膨張自在なダイアフラムを
    備える上チャンバと、 ヒータ盤と該ヒータ盤の上方において受け取った被ラミ
    ネート体をヒータ盤上に載置し、かつ、該ヒータ盤上に
    載置した被ラミネート体をヒータ盤の上方に持ち上げる
    昇降手段を備える下チャンバと、 を開閉自在に構成したラミネート部を、上下に二段以上
    重ねて配置したラミネート装置。
  2. 【請求項２】前記ラミネート部のそれぞれに被ラミネー
    ト体を搬入する搬入手段と、 前記ラミネート部のそれぞれから被ラミネート体を搬出
    する搬出手段と、 を前記ラミネート部の側方に配置した請求項１のラミネ
    ート装置。
  3. 【請求項３】 前記被ラミネート体が、太陽電池パネル
    である、請求項１または２に記載されたラミネート装
    置。
JP7329791A 1994-12-27 1995-11-24 ラミネート装置 Pending JPH09141743A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7329791A JPH09141743A (ja) 1995-11-24 1995-11-24 ラミネート装置
US09/006,074 US6149757A (en) 1994-12-27 1998-01-12 Laminating apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7329791A JPH09141743A (ja) 1995-11-24 1995-11-24 ラミネート装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09141743A true JPH09141743A (ja) 1997-06-03

Family

ID=18225306

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7329791A Pending JPH09141743A (ja) 1994-12-27 1995-11-24 ラミネート装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6149757A (ja)
JP (1) JPH09141743A (ja)

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001313408A (ja) * 2000-04-27 2001-11-09 Nisshinbo Ind Inc 小型化されたラミネート装置
US6367530B1 (en) * 1998-09-04 2002-04-09 Nisshinbo Industries, Inc. Conveyor apparatus for laminator
US6481482B1 (en) * 1998-09-24 2002-11-19 Nisshinbo Industries, Inc. Laminating apparatus for manufacturing photovoltaic module
JP2006088511A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Eco & Engineering Co Ltd ラミネート装置
US7195476B2 (en) 2002-05-30 2007-03-27 Mikado Technos Co., Ltd. Heating-type vacuum press apparatus
EP1920922A2 (en) 2006-11-07 2008-05-14 NPC Incorporated Laminating apparatus
EP2014454A1 (en) 2007-06-13 2009-01-14 Nisshinbo Industries, Inc. Laminator
EP2106905A2 (en) 2008-04-01 2009-10-07 Nisshinbo Industries, Inc. Stacked laminator
WO2010074324A1 (ja) * 2008-12-26 2010-07-01 日清紡ホールディングス株式会社 ラミネート装置
US7749351B2 (en) 2002-12-13 2010-07-06 Canon Kabushiki Kaisha Method of producing solar cell module
KR20100102309A (ko) * 2009-03-11 2010-09-24 주성엔지니어링(주) 라미네이팅 시스템 및 방법
EP2239789A1 (en) * 2009-04-08 2010-10-13 SAPHIRE ApS Laminating assembly
CN102092168A (zh) * 2010-12-01 2011-06-15 秦皇岛福园新能源科技有限公司 全自动多层太阳能电池组件层压机
WO2012108164A1 (ja) * 2011-02-07 2012-08-16 平田機工株式会社 ラミネート装置及びこれを用いたラミネート処理システム
JP2013193316A (ja) * 2012-03-19 2013-09-30 Mitsubishi Electric Corp ラミネート装置および太陽電池モジュールの製造方法
CN103879726A (zh) * 2014-04-08 2014-06-25 武汉文林科技有限公司 一种齿条式自动转料层压机

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6274887B1 (en) * 1998-11-02 2001-08-14 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method therefor
US7022556B1 (en) 1998-11-11 2006-04-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Exposure device, exposure method and method of manufacturing semiconductor device
JP3942770B2 (ja) * 1999-09-22 2007-07-11 株式会社半導体エネルギー研究所 Ｅｌ表示装置及び電子装置
US6646287B1 (en) 1999-11-19 2003-11-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device with tapered gate and insulating film
US7222981B2 (en) * 2001-02-15 2007-05-29 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. EL display device and electronic device
AU2002335176A1 (en) * 2002-10-02 2004-04-23 Jsr Trading Co., Ltd. Laminating system
DE10316774B4 (de) * 2003-04-11 2010-08-19 Metzeler Technical Rubber Systems Gmbh Membrane für Laminatoren zur Produktion von photovoltaischen Zellen
US7495644B2 (en) * 2003-12-26 2009-02-24 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and method for manufacturing display device
DE102004027545A1 (de) * 2004-06-04 2005-12-29 Meier Vakuumtechnik Gmbh Vorrichtung für das heiße Laminieren und anschließende Abkühlen von Bauteilen
DE502006004008D1 (de) * 2006-08-29 2009-07-30 Buerkle Gmbh Robert Presse und Verfahren zum Laminieren plattenförmiger Werkstücke mittels Druck und Wärme
US20080271773A1 (en) * 2007-05-01 2008-11-06 Jacobs Gregory F Photovoltaic Devices and Photovoltaic Roofing Elements Including Granules, and Roofs Using Them
US8946544B2 (en) * 2007-06-28 2015-02-03 Certainteed Corporation Photovoltaic devices including cover elements, and photovoltaic systems, arrays, roofs and methods using them
WO2009006213A2 (en) * 2007-06-28 2009-01-08 Kalkanoglu Husnu M Photovoltaic roofing tiles and methods for making them
AT506430A1 (de) * 2008-01-23 2009-09-15 3S Swiss Solar Systems Ag Distanzelement für plattenfírmige elemente
DE102008023774B4 (de) * 2008-05-15 2010-01-21 Meier Solar Solutions Gmbh Laminiereinrichtung für das Laminieren von Bauteilen
DE102008044862A1 (de) * 2008-08-28 2010-03-04 Robert Bürkle GmbH Verfahren und Laminierpresse zum Laminieren von Werkstücken
US20100101647A1 (en) * 2008-10-24 2010-04-29 E.I. Du Pont De Nemours And Company Non-autoclave lamination process for manufacturing solar cell modules
US20100154867A1 (en) 2008-12-19 2010-06-24 E. I. Du Pont De Nemours And Company Mechanically reliable solar cell modules
EP2441096B1 (en) * 2009-06-08 2016-03-30 3S Swiss Solar Systems AG Method for producing a solar panel
JP5602439B2 (ja) * 2010-01-22 2014-10-08 デクセリアルズ株式会社 加熱装置および実装体の製造方法
CN102218886A (zh) * 2011-05-03 2011-10-19 大连皿能光电科技有限公司 Bipv组件专用层压机
US8865505B2 (en) * 2011-07-04 2014-10-21 Nisshinbo Mechatronics Inc. Diaphragm sheet, method for manufacturing solar cell module using diaphragm sheet, and lamination method using laminator for solar cell module manufacture
US8865487B2 (en) 2011-09-20 2014-10-21 General Electric Company Large area hermetic encapsulation of an optoelectronic device using vacuum lamination
CN102708654A (zh) * 2012-06-05 2012-10-03 绥中安泰科技有限公司 一种太阳能电池板组件层压机语音报警装置
KR101382601B1 (ko) * 2012-07-02 2014-04-17 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치의 제조 장치 및 그 방법
CN103935701B (zh) * 2014-04-08 2016-03-16 武汉文林科技有限公司 用于层压机的齿条式自动转料装置
EP3403826A1 (en) * 2017-05-17 2018-11-21 Total SA Lamination process in particular for manufacturing photovoltaic laminates and lamination device implementing said lamination process

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4104101A (en) * 1972-08-11 1978-08-01 Armen Garabedian Process for making a plastic sheet
FR2395609A1 (fr) * 1977-06-24 1979-01-19 Radiotechnique Compelec Panneau generateur a cellules solaires noyees dans un stratifie et procede pour l'obtenir
US4365547A (en) * 1981-06-22 1982-12-28 Formica Corporation Method and apparatus for controlling a press
US4421589A (en) * 1982-07-13 1983-12-20 Spire Corporation Laminator for encapsulating multilayer laminate assembly
US4689105A (en) * 1985-04-15 1987-08-25 Advanced Plasma Systems Inc. Multi-layer printed circuit board lamination apparatus
US5078820A (en) * 1988-03-25 1992-01-07 Somar Corporation Method and apparatus for pressure sticking a thin film to a base plate
JP2516262B2 (ja) * 1989-10-11 1996-07-24 株式会社日立製作所 ホットプレス
US5201981A (en) * 1991-08-16 1993-04-13 Citadel Architectural Products, Inc. Method of forming synthetic plastic film-projected building siding
US5399223A (en) * 1991-12-19 1995-03-21 Interlock Ag Method and device for laminating layers of identification cards, or the like
DE4206262A1 (de) * 1992-02-28 1993-09-02 Kiefel Hochfrequenz Paul Verfahren zum verschweissen von halogenfreien thermoplastfolien
US5580415A (en) * 1994-04-19 1996-12-03 Diekwisch; Hartmut Membrane press work base

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6367530B1 (en) * 1998-09-04 2002-04-09 Nisshinbo Industries, Inc. Conveyor apparatus for laminator
US6481482B1 (en) * 1998-09-24 2002-11-19 Nisshinbo Industries, Inc. Laminating apparatus for manufacturing photovoltaic module
JP2001313408A (ja) * 2000-04-27 2001-11-09 Nisshinbo Ind Inc 小型化されたラミネート装置
US7195476B2 (en) 2002-05-30 2007-03-27 Mikado Technos Co., Ltd. Heating-type vacuum press apparatus
US7749351B2 (en) 2002-12-13 2010-07-06 Canon Kabushiki Kaisha Method of producing solar cell module
JP2006088511A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Eco & Engineering Co Ltd ラミネート装置
US7699085B2 (en) 2006-11-07 2010-04-20 Npc Incorporated Laminating apparatus
EP1920922A2 (en) 2006-11-07 2008-05-14 NPC Incorporated Laminating apparatus
EP1920922A3 (en) * 2006-11-07 2008-06-25 NPC Incorporated Laminating apparatus
US7726375B2 (en) 2007-06-13 2010-06-01 Nisshinbo Industries, Inc. Laminator
EP2014454A1 (en) 2007-06-13 2009-01-14 Nisshinbo Industries, Inc. Laminator
EP2106905A2 (en) 2008-04-01 2009-10-07 Nisshinbo Industries, Inc. Stacked laminator
WO2010074324A1 (ja) * 2008-12-26 2010-07-01 日清紡ホールディングス株式会社 ラミネート装置
KR20100102309A (ko) * 2009-03-11 2010-09-24 주성엔지니어링(주) 라미네이팅 시스템 및 방법
US8790951B2 (en) 2009-04-08 2014-07-29 Saphire Solar Technologies Aps Laminating assembly
EP2239789A1 (en) * 2009-04-08 2010-10-13 SAPHIRE ApS Laminating assembly
WO2010115930A1 (en) * 2009-04-08 2010-10-14 Saphire Aps Laminating assembly
CN102092168A (zh) * 2010-12-01 2011-06-15 秦皇岛福园新能源科技有限公司 全自动多层太阳能电池组件层压机
WO2012108164A1 (ja) * 2011-02-07 2012-08-16 平田機工株式会社 ラミネート装置及びこれを用いたラミネート処理システム
JP5662486B2 (ja) * 2011-02-07 2015-01-28 平田機工株式会社 ラミネート装置及びこれを用いたラミネート処理システム
JP2013193316A (ja) * 2012-03-19 2013-09-30 Mitsubishi Electric Corp ラミネート装置および太陽電池モジュールの製造方法
CN103879726A (zh) * 2014-04-08 2014-06-25 武汉文林科技有限公司 一种齿条式自动转料层压机
CN103879726B (zh) * 2014-04-08 2015-12-02 武汉文林科技有限公司 一种齿条式自动转料层压机

Also Published As

Publication number Publication date
US6149757A (en) 2000-11-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH09141743A (ja) ラミネート装置
JP3759257B2 (ja) ラミネート方法
TWI412143B (zh) 積層裝置
EP1920922B1 (en) Laminating apparatus
JP4308769B2 (ja) ラミネート装置
JP5781412B2 (ja) ラミネート方法
JP3655076B2 (ja) ラミネート装置
US6564474B2 (en) Apparatus for heat processing of substrate
JP5095166B2 (ja) 予熱による太陽電池モジュールのラミネート方法およびその装置
JP3037201U (ja) ラミネート装置
US20150034250A1 (en) Laminating apparatus
JP2005209883A (ja) ラミネート装置
CN108315721B (zh) 成膜机台及成膜制程调整基板偏转量的方法
JP2011084009A (ja) ラミネート装置、物品処理装置及び太陽電池パネルの製造方法
JP2012051338A (ja) ラミネート装置及びラミネート方法
JP3017231U (ja) ラミネート装置
JP2010094889A (ja) ラミネート装置
JP2014136355A (ja) ラミネート装置およびラミネート方法
KR101158749B1 (ko) 태양 전지 모듈 제조를 위한 라미네이트 시스템
JP2020178019A (ja) 基板処理装置
CN114005910B (zh) 一种mwt柔性光伏组件封装前预固定电池片的方法
JPH06260433A (ja) 半導体製造装置
CN121310888A (zh) 一种低氧环境下冷却晶圆的结构
JP3193831U (ja) ラミネート装置
JP2013215895A (ja) ラミネート装置及びラミネート方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040216

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040323

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040817