JPH09153210A

JPH09153210A - ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置

Info

Publication number: JPH09153210A
Application number: JP8255893A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Ito; 淳伊藤; Yoshiyuki Kawakami; 義行川上
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1995-09-29
Filing date: 1996-09-27
Publication date: 1997-06-10
Also published as: US5917678A; KR970017505A; KR100244860B1; US6023394A

Abstract

(57)【要約】【課題】ヨー角依存性が少ないヘッドスライダ、及び
これを用いて記録密度の向上を図ることが可能な記録再
生装置の提供。【解決手段】回転可能な記録媒体であるディスク上で
情報の記録再生を行う記録再生ヘッド２０を搭載したヘ
ッドスライダ１において、前記ヘッドスライダ１の前記
ディスクと対向する面に設けられ、前記ディスクの回転
方向と略垂直な方向に沿って長い形状を有し、前記ディ
スクの回転方向に沿って配列される動圧発生部２ａ，２
ｂと、前方の動圧発生部２ａに、前記ディスクの回転方
向と略垂直な方向に沿った段差４を形成することにより
設けられ、該動圧発生部２ａの前記ディスクの回転方向
に関する全長Ｌの１０％より大きく５０％より小さい長
さＳを有するランド部５とを有することを特徴とするヘ
ッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、浮上量のばらつき
や変動もしくは接触力の変動を抑制することが可能なヘ
ッドスライダ、及びこれを用いて記録再生ヘッドの低浮
上化もしくは低荷重かつ安定な接触を実現し、記録密度
の向上を図ることが可能な記録再生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、記録再生装置においては、高記録
密度化に関する技術開発が盛んに行われており、特に磁
気ディスク装置における高記録密度化は、ビット密度
（ディスク周方向の記録密度）の増加、並びにトラック
密度（ディスク半径方向の記録密度）の増加の両面から
進められている。ここで、ビット密度を増加させるため
の技術として、記録再生ヘッド（以下「ヘッド」とい
う）を搭載したヘッドスライダ（以下「スライダ」とい
う）の低浮上化は必須となっている。しかし、従来のス
ライダにあっては、シーク時の浮上量の動的変動によ
り、ヘッドの低浮上化が妨げられている。以下その要因
について詳説する。

【０００３】図２３は、従来のスライダを採用した磁気
ディスク装置の概要を示したものである。いわゆるテー
パフラットスライダに代表される従来のスライダ１０１
のほとんどは、記録媒体であるディスク１０２の内外周
速差による浮上量差をヨー角依存性を利用して抑制して
いる。ここで、ヨー角とはディスク回転方向とスライダ
１０１の長手方向とのなす角（図中ではθ）である。

【０００４】図２３に示すように、いわゆるロータリア
クチュエータ１０３を用いた磁気ディスク装置において
は、スライダ１０１とディスク１０２との配置をディス
ク内周側Ｘでヨー角が小さく、ディスク外周側Ｙでヨー
角が大きくなるように設定している。

【０００５】図２４は、従来のテーパフラットスライダ
の概略を示した斜視図である。図に示すようにスライダ
１０１は、ディスク回転方向Ａに沿って伸びる細長い形
状の動力発生部１０１ａを有し、この動力発生部１０１
ａと回転するディスク（図示せず）との間で発生する動
圧を利用して浮上する構成となっている。ディスクの回
転方向Ａに沿って伸びる動力発生部１０１ａは、ヨー角
が生じてディスクの回転方向がＡからＢに変わると、圧
力発生効率が低下する性質を有する。これは、ヨー角が
小さいときにはスライダ前縁部から流れ込む空気流はス
ライダ全長に沿って比較的長い距離を流れることによっ
て動圧を発生するのに対し、ヨー角が大きくなると、空
気流のうちある部分はスライダ全長に達する以前に側縁
部から流出し、またある部分は側縁部から流入しスライ
ダ後端部から流出するいわゆる空気流の横漏れにより、
効果的に動圧を高めるのに必要な流動距離を確保するこ
とが困難となるためである。従って、従来のテーパフラ
ットスライダ１０１では、ディスク外周側Ｙに行くにつ
れてヨー角が大きくなると空気流の横漏れによりスライ
ダ１０１に作用する動圧発生効率が低下する。このた
め、ディスク外周側Ｙに行くにつれて周速が増加しても
スライダ１０１に作用する浮上力は変動せず、ディスク
１０２内外周における浮上量差を抑制することができ
る。

【０００６】ところで、図２５に示すように、スライダ
１０１のシーク時にはディスクの周速成分Ｖｒ（５〜１
０ｍ／ｓ）以外に、この周速成分Ｖｒにほぼ直交する方
向のシーク速度成分Ｖｓ（最大１ｍ／ｓ程度）が存在す
る。従って、この２つの速度成分の合成ベクトルＶは、
スライダ１０１の長手方向に対して５〜１０°程度の角
度をなす。即ち、シーク時には、等価的なヨー角変動
（図中ではθ’）が生じていることになる。従って、上
記したヨー角依存性と同様の原理により、シーク時には
空気流の横漏れにより動圧発生効率が低下するため、過
渡的な浮上量低下が発生する。その量は、通常１０ｎｍ
を越えることが実験的にも確認されており、シーク時に
おけるディスクとスライダとの衝突を避けるためには、
この浮上量低下をマージンとして見込んだスペーシング
（浮上隙間）を設定しなければならず、スライダの低浮
上化を妨げる大きな要因となっている。

【０００７】一方、現在、更なる記録密度の向上を目指
して、ヘッドをディスクに対して接触させ、実質的に浮
上量ゼロで記録再生を行う接触記録技術が検討されてい
る。この接触記録技術における最大の技術課題はヘッド
の摩耗低減である。そのためには、ヘッド−ディスク間
の接触力を低荷重かつ安定に維持することが必要とな
る。しかし、従来のスライダでは、シーク時に上記した
ような等価的なヨー角変動により接触力が変動するた
め、ヘッド−ディスク間に作用する接触力を低荷重かつ
安定に維持することはできない。また、ヘッドの摩耗が
進行した場合に、ディスク内外周で浮上姿勢が変化する
と、接触部が浮上してスペーシングが生じてしまうおそ
れもある。

【０００８】さらに、最近実用化され、今後主流となる
と考えられる磁気抵抗効果素子を用いたヘッド、いわゆ
るＭＲヘッドを採用する場合、記録ヘッドと再生ヘッド
を別個に設ける必要があり、通常２つのヘッドをトラッ
ク方向に並べて配置する。このような構成においては、
ディスク内外周でヨー角が大きく変化すると、２つのヘ
ッド間にトラック幅方向のずれ（トラックずれ）が生じ
る。この問題に対しては、リニアアクチュエータを用い
る方法や、アクチュエータアームの長さを最適化してヨ
ー角の変動を小さくする方法（特開平５−２９８６１５
号参照）等が検討されている。従って、ＭＲヘッドを採
用するスライダについても、ヨー角依存性を利用しない
でディスク内外周での浮上量差を抑制する手法が必要に
なる可能性が高い。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来のスライダでは、ディスク内外周での浮上量差を抑
制するためヨー角依存性を利用しているので、シーク時
の等価的なヨー角変動により浮上量の低下もしくは接触
力の変動が生じる。従って、ヘッドの低浮上化もしくは
ヘッド−ディスク間の低荷重かつ安定な接触を実現する
ことは困難である。

【００１０】また、接触記録においてヘッドの摩耗が進
行した場合に、ディスク内外周で浮上姿勢が変化する
と、接触部が浮上してスペーシングが生じてしまうおそ
れもある。

【００１１】さらに、ＭＲヘッドを採用するスライダに
おいては、ヨー角依存性を利用しないでディスク内外周
での浮上量差を抑制する手法に対する要請が強い。そこ
で、本発明では、上記課題を解決し、ヨー角依存性を利
用せずにディスク内外周での浮上量差もしくは接触力変
動を抑制できるスライダ形状を提案するとともに、かか
るスライダを用いて、ヘッドの低浮上化もしくはヘッド
−ディスク間の低荷重かつ安定な接触を実現し、記録密
度の向上を図ることが可能な記録再生装置を提供するこ
とを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、回転可能な記録媒体であるディスク上
で情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッ
ドスライダにおいて、前記ヘッドスライダの前記ディス
クと対向する面に設けられ、前記ディスクの回転方向と
略垂直な方向に沿って長い形状を有し、前記ディスクの
回転方向に沿って配列される少なくとも２つの動圧発生
部と、これら動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向
に向って最も前方に位置する動圧発生部に、前記ディス
クの回転方向と略垂直な方向に沿った段差を形成するこ
とにより設けられ、該動圧発生部の前記ディスクの回転
方向に関する全長の１０％より大きく５０％より小さい
長さを有するランド部とを有することを特徴とするヘッ
ドスライダを提供する。

【００１３】ここで、前記ランド部は、前記ディスクの
回転方向に向って最も前方に位置する動圧発生部の該回
転方向に関する全長のほぼ３０％の長さを有するもので
あってもよい。

【００１４】また、前記ランド部と、該ランド部を有す
る動圧発生部よりも前記ディスクの回転方向に向って後
方に位置する動圧発生部とが略同一平面をなすことを特
徴とするものであってもよい。

【００１５】また、前記動圧発生部のうち前記ディスク
の回転方向に向って最も後方に位置する動圧発生部の両
側端部を面取りしたことを特徴とするものであってもよ
い。また、前記動圧発生部のうち前記ディスクの回転方
向に向って最も後方に位置する動圧発生部は、該回転方
向と反対方向に開口する略Ｖ字形状に形成されているこ
とを特徴とするものであってもよい。

【００１６】また、前記動圧発生部のうち少なくとも前
記ディスクの回転方向に向って最も後方に位置する動圧
発生部には、該動圧発生部の両側部に該回転方向にほぼ
沿った段差を形成する切欠部が設けられていることを特
徴とするものであってもよく、さらに、前記ランド部
は、前記ディスクの回転方向に開口した略Ｖ字形状であ
ることを特徴とするものであってもよい。

【００１７】また、前記動圧発生部のうち少なくとも前
記ディスクの回転方向に関して最も後方に位置する動圧
発生部には、該動圧発生部の両側部に該回転方向にほぼ
沿った段差と、前記ディスクの回転方向と略垂直な方向
にほぼ沿った段差とを形成する切欠部が設けられている
ことを特徴とするものでもよく、さらに、前記ランド部
は、前記ディスクの回転方向に開口した略Ｖ字形状であ
ることを特徴とするものであってもよい。

【００１８】また、前記ランド部の接地面積は、該ラン
ド部が設けられる動圧発生部よりも前記ディスクの回転
方向に向って後方に位置する動圧発生部の接地面積より
も小さいことを特徴とするものであってもよい。

【００１９】また、本発明では、回転可能な記録媒体で
あるディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘッド
を搭載したヘッドスライダにおいて、前記ヘッドスライ
ダの前記ディスクと対向する面に設けられる動圧発生部
と、この動圧発生部の両側部に設けられる、前記ディス
クの回転方向にほぼ沿った段差を形成する切欠部とを有
することを特徴とするヘッドスライダを提供する。

【００２０】ここで、前記動圧発生部は、前記ディスク
の回転方向に開口する略Ｕ字形状であることを特徴とす
るものであってもよい。また、本発明では、回転可能な
記録媒体であるディスク上で情報の記録再生を行う記録
再生ヘッドを搭載したヘッドスライダにおいて、前記ヘ
ッドスライダの前記ディスクと対向する面のに設けられ
る動圧発生部と、この動圧発生部の両側部に設けられ
る、前記ディスクの回転方向にほぼ沿った段差と、該回
転方向と略垂直な方向にほぼ沿った段差とを形成する切
欠部とを有することを特徴とするヘッドスライダを提供
する。

【００２１】ここで、前記動圧発生部は、前記ディスク
の回転方向に開口する略Ｕ字形状であることを特徴とす
るものであってもよい。また、本発明では、回転可能な
記録媒体であるディスク上で、情報の記録再生を行う記
録再生ヘッドを搭載するヘッドスライダにおいて、前記
ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に設けら
れ、前記ディスクの回転方向と略垂直な方向に沿って長
い形状を有し、該回転方向に関する前端部に配置される
動圧発生部と、該回転方向の後端部に配置され、前記記
録再生ヘッドを搭載して動作中に前記ディスクに接触す
るパッド部と、前記動圧発生部に前記ディスクの回転方
向と略垂直な方向に沿った段差を形成することにより設
けられ、該動圧発生部の前記ディスクの回転方向に関す
る全長の１０％より大きく５０％より小さい長さを有す
るランド部とを有することを特徴とするヘッドスライダ
を提供する。

【００２２】ここで、前記ランド部は、前記ディスクの
回転方向に向って最も前方に位置する動圧発生部の該回
転方向に関する全長のほぼ３０％の長さを有するもので
あってももよい。

【００２３】また、前記ランド部と前記パッドとが略同
一平面をなすことを特徴とするものであってもよい。一
方、本発明では、回転可能な記録媒体であるディスク
と、このディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘ
ッドと、この記録再生ヘッドを搭載するヘッドスライダ
と、このヘッドスライダを支持し前記ディスク上を移動
させるアクチュエータとを備えた記録再生装置におい
て、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に
設けられ、前記ディスクの回転方向と略垂直な方向に沿
って長い形状を有し、前記ディスクの回転方向に沿って
配列される少なくとも２つの動圧発生部と、これら動圧
発生部のうち前記ディスクの回転方向に向って最も前方
に位置する動圧発生部に、前記ディスクの回転方向と略
垂直な方向に沿った段差を形成することにより設けら
れ、該動圧発生部の前記ディスクの回転方向に関する全
長の１０％より大きく５０％より小さい長さを有するラ
ンド部とを有することを特徴とする記録再生装置を提供
する。

【００２４】ここで、前記ランド部は、前記ディスクの
回転方向に向って最も前方に位置する動圧発生部の該回
転方向に関する全長のほぼ３０％の長さを有するもので
あってもよい。

【００２５】また、前記ランド部と、該ランド部を有す
る動圧発生部よりも前記ディスクの回転方向に向って後
方に位置する動圧発生部とが略同一平面をなすことを特
徴とするものであってもよい。

【００２６】また、前記動圧発生部のうち前記ディスク
の回転方向に向って最も後方に位置する動圧発生部の両
側端部を面取りしたことを特徴とするものであってもよ
い。また、前記動圧発生部のうち前記ディスクの回転方
向に向って最も後方に位置する動圧発生部は、該回転方
向と反対方向に開口する略Ｖ字形状に形成されているこ
とを特徴とするものであってもよい。

【００２７】また、前記動圧発生部のうち少なくとも前
記ディスクの回転方向に向って最も後方に位置する動圧
発生部には、該動圧発生部の両側部に該回転方向にほぼ
沿った段差を形成する切欠部が設けられていることを特
徴とするものであってもよく、さらに、前記ランド部
は、前記ディスクの回転方向に開口した略Ｖ字形状であ
ることを特徴とするものであってもよい。

【００２８】また、前記動圧発生部のうち少なくとも前
記ディスクの回転方向に関して最も後方に位置する動圧
発生部には、該動圧発生部の両側部に該回転方向にほぼ
沿った段差と、前記ディスクの回転方向と略垂直な方向
にほぼ沿った段差とを形成する切欠部が設けられている
ことを特徴とするものであってもよく、さらに、前記ラ
ンド部は、前記ディスクの回転方向に開口した略Ｖ字形
状であることを特徴とするものであってもよい。

【００２９】また、前記ランド部の接地面積は、該ラン
ド部が設けられる動圧発生部よりも前記ディスクの回転
方向に向って後方に位置する動圧発生部の接地面積より
も小さいことを特徴とするものであってもよい。

【００３０】また、本発明では、回転可能な記録媒体で
あるディスクと、このディスク上で情報の記録再生を行
う記録再生ヘッドと、この記録再生ヘッドを搭載するヘ
ッドスライダと、このヘッドスライダを支持し前記ディ
スク上を移動させるアクチュエータとを備えた記録再生
装置において、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対
向する面に設けられる動圧発生部と、この動圧発生部の
両側部に設けられる、前記ディスクの回転方向にほぼ沿
った段差を形成する切欠部とを有することを特徴とする
記録再生装置を提供する。

【００３１】ここで、前記動圧発生部は、前記ディスク
の回転方向に開口する略Ｕ字形状であることを特徴とす
るものであってもよい。また、本発明では、回転可能な
記録媒体であるディスクと、このディスク上で情報の記
録再生を行う記録再生ヘッドと、この記録再生ヘッドを
搭載するヘッドスライダと、このヘッドスライダを支持
し前記ディスク上を移動させるアクチュエータとを備え
た記録再生装置において、前記ヘッドスライダの前記デ
ィスクと対向する面のに設けられる動圧発生部と、この
動圧発生部の両側部に設けられる、前記ディスクの回転
方向にほぼ沿った段差と、該回転方向と略垂直な方向に
ほぼ沿った段差とを形成する切欠部とを有することを特
徴とする記録再生装置を提供する。

【００３２】ここで、前記動圧発生部は、前記ディスク
の回転方向に開口する略Ｕ字形状であることを特徴とす
るものであってもよい。また、本発明では、回転可能な
記録媒体であるディスクと、このディスク上で情報の記
録再生を行う記録再生ヘッドと、この記録再生ヘッドを
搭載するヘッドスライダと、このヘッドスライダを支持
し前記ディスク上を移動させるアクチュエータとを備え
た記録再生装置において、前記ヘッドスライダの前記デ
ィスクと対向する面に設けられ、前記ディスクの回転方
向と略垂直な方向に沿って長い形状を有し、該回転方向
に関する前端部に配置される動圧発生部と、該回転方向
の後端部に配置され、前記記録再生ヘッドを搭載して動
作中に前記ディスクに接触するパッド部と、前記動圧発
生部に前記ディスクの回転方向と略垂直な方向に沿った
段差を形成することにより設けられ、該動圧発生部の前
記ディスクの回転方向に関する全長の１０％より大きく
５０％より小さい長さを有するランド部とを有すること
を特徴とする記録再生装置を提供する。

【００３３】ここで、前記ランド部は、前記ディスクの
回転方向に向って最も前方に位置する動圧発生部の該回
転方向に関する全長のほぼ３０％の長さを有するもので
あってもよい。また、前記ランド部と前記パッドとが略
同一平面をなすことを特徴とするものであってもよい。

【００３４】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、図
面を参照しつつ詳細に説明する。ここでは、記録再生装
置の一例として、磁気ディスク装置について説明する
が、本発明はこの場合に限定されず、ヘッドをスライダ
によって支持する形態を有する他の記録再生装置につい
ても適用が可能である。

【００３５】まず、本発明の実施形態の説明に先立ち、
磁気ディスク装置の概要について説明する。図１は、ロ
ータリーアクチュエータを用いた磁気ディスク装置の概
略を示したものである。ディスク２０１は、スピンドル
２０２に装着され、所定の回転数で回転される。ディス
ク２０１上を浮上もしくは接触した状態で情報の記録再
生を行う磁気ギャップを搭載したスライダ２０３は、薄
板状のサスペンション２０４の先端に取付られている。
サスペンション２０４は、図示しない駆動コイルを保持
するボビン部等を有するアクチュエータアーム２０５の
一端に接続されている。一方、アクチュエータアーム２
０５の他端には、リニアモータの一種であるボイスコイ
ルモータ２０６が設けられている。ボイスコイルモータ
２０６は、前記アクチュエータアーム２０５のボビン部
に巻き上げられた図示しない駆動コイルと、それを挟み
込むように対向して配置された永久磁石及び対向ヨーク
からなる磁気回路とから構成される。アクチュエータア
ーム２０５は、固定軸２０７の上下２カ所に設けられた
図示しないボールベアリングによって保持され、ボイス
コイルモータ２０６により回転揺動が自在にできるよう
になっている。

【００３６】次に、スライダの浮上姿勢について、図２
を参照しつつ簡単に説明する。スライダ２０１は、動作
時にその姿勢をディスクに倣わせるための図示しない可
撓性部材（ジンバル）を介してサスペンションにより保
持されており、ディスクの回転に伴って発生する空気流
の動圧によって、その全体もしくは一部がディスクから
浮上している。スライダ２０１の姿勢は、何らかの製造
誤差あるいは動圧の変動などによって微妙に変化する場
合があり、その変化はローリング及びピッチングという
形で規定できる。図２に示すように、ローリングとは、
スライダ２０１の長手方向軸線２０８回りの回転Ｒをい
い、ピッチングとは、スライダ２０１の長手方向に直交
する方向の軸線２０９回りの回転Ｐをいう。なお、スラ
イダ２０１の長手方向は、ディスクの回転方向Ａとほぼ
一致する。

【００３７】第１の実施形態本発明の第１の実施形態について、図３を参照しつつ説
明する。図３は、本発明の第１の実施形態にかかるスラ
イダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平
面図、（ｃ）は側面図である。ここで、（ｂ）は図示し
ないディスク表面と対向する側のスライダ面を示したも
のである。スライダ１は、ディスク回転方向Ａに向かっ
て後方に位置する端面に磁極２１を備えた記録再生ヘッ
ド２０を搭載している。

【００３８】上記したように、等価的なヨー角変動によ
り浮上量等が変動するのは、空気流の横漏れによる動圧
発生効率の低下が原因であり、これは、いわゆるテーパ
フラットスライダに代表されるディスク回転方向Ａに関
して長い動圧発生部をもつスライダ形状において顕著に
見られる現象である。かかるヨー角依存性を低減するた
めには、図示したように、スライダ１の動圧発生部２
ａ，２ｂをディスク回転方向Ａに関して略垂直な方向に
長い横長形状とすることが望ましい。しかし、スライダ
１の形状自体をかかる横長形状とすると、ピッチング剛
性の低下が問題となる。そこで、本実施形態では、横長
形状の動圧発生部２ａ，２ｂをディスク回転方向Ａに関
して前後に２つ配列する構成とする。ここで、前後の動
圧発生部２ａ，２ｂは、空気流による動圧がほとんど発
生しない深溝３によって隔てられる。深溝３は、機械加
工もしくはエッチングにより形成される。

【００３９】一方、単に横長形状の動圧発生部２ａ，２
ｂを複数有するスライダとしただけでは、ヨー角依存性
の低減により過渡的な浮上量変動を抑制することは可能
となるが、逆にディスク内外周での浮上量差が生じてし
まう。そこで、本実施形態においては、ヨー角依存性に
よらずにディスク内外周での浮上量差を抑制すべく、前
方の動圧発生部２ａの一部にディスク回転方向Ａに略垂
直な方向に沿った段差４を設けることにより、ランド部
５を形成することとした。ここで、段差４は、ランド部
５をマスキングし、エッチングにより形成する。段差４
の深さは、前方の動圧発生部２ａの後端部の浮上量とほ
ぼ等しい程度とすることが望ましく、非常に浅く形成す
れば良いことから、短時間で形成でき、かつマスキング
も容易である。また、ランド部５と後方の動圧発生部２
ｂが同一平面をなすように形成すれば、１回のエッチン
グ工程で動圧発生部２ａ，２ｂを形成することができる
ため、製作効率が向上し、大量生産にも適した構造とす
ることができる。

【００４０】次に、本実施形態により、ディスク内外周
での浮上量差を抑制できる理由について説明する。後方
の動圧発生部２ｂはディスク回転方向Ａに関して短く、
同方向Ａに略垂直な方向に関して長い横長形状の平面で
あり、動作時には、前方の動圧発生部２ａが浮上するの
にともなって所定のピッチングを有して浮上する。

【００４１】図４は、後方の動圧発生部２ｂの後端のス
ペーシング（浮上隙間）を一定とした場合において、後
方の動圧発生部２ｂのピッチングに対する、浮上力をプ
ロットしたものである。図中で、○はスライダ１がディ
スク外周側に位置する場合、△はディスク内周側に位置
する場合の結果をそれぞれ示している。図示したよう
に、浮上力はピッチングが一定であれば、ディスク内外
周ではほとんど差がない。即ち、浮上力の変動は、ディ
スク内外周での周速差よりも、ピッチングの変動による
ところが大きいことがわかる。

【００４２】従って、ヨー角依存性によらずにディスク
内外周での浮上量差を抑制するためには、後方の動圧発
生部２ｂのピッチングがディスク内外周でほぼ一定とな
るようにすればよい。即ち、ディスク内外周で後方の動
圧発生部２ｂのピッチングが変化しないように、前方の
動圧発生部２ａの形状を設定することによりヘッド２１
が設けられる後方の動圧発生部２ｂの後端におけるスペ
ーシングを、ディスク内外周における周速差によらず一
定に保つことが可能となる。

【００４３】図５は、スライダ１のピッチング及び後端
のスペーシングを一定とした場合に、図３に示したスラ
イダ１の前方の動圧発生部２ａのディスク回転方向Ａに
関する全長Ｌとランド部５の同方向Ａに関する長さＳと
の比率に対する、ディスク内外周での前方の動圧発生部
に作用する浮上力の比をプロットしたものである。ここ
では、前方の動圧発生部２ａの全長Ｌや段差４の深さ等
の条件を変化させた４種類の形状に関する解析結果を示
した。４種類の形状の解析条件は、以下の通りである。

【００４４】全長Ｌ段差の深さ □ ０．２ｍｍ０．１μｍ ○ ０．３ｍｍ０．１μｍ △ ０．４ｍｍ０．２μｍ ▽ ０．４ｍｍ０．３μｍ尚、スライダ１のスペーシング（最小浮上量）は５０ｎ
ｍ、ピッチングは１００μｒａｄとしている。

【００４５】この結果によれば、全長Ｌに対してランド
部５の長さＳの比率が５０％以上となる第１の領域にお
いては、ディスク内周側における浮上力よりもディスク
外周側における浮上力の方が大きくなっている。一方、
前記比率が１０％より大きく５０％より小さい第２の領
域においては、ディスク内外周での浮上力変化が比較的
小さい。さらに、前記比率が１０％以下となる第３の領
域においては、ディスク内周側における浮上力よりもデ
ィスク外周側における浮上力の方が小さくなっている。

【００４６】図６は、上記した３つの領域に属する前方
の動圧発生部を採用した場合において、ディスクの周速
に対するスライダ１のピッチング及びヘッドが設けられ
る後方の動圧発生部２ｂの後端におけるスペーシングの
変化をそれぞれ示したものである。ここで、縦軸はディ
スク外周側でのピッチング及びスペーシングを基準とし
た比で表示している。

【００４７】まず、第１の領域に属する前方の動圧発生
部（前記比率が５０％）を採用した場合は、ディスク内
外周において、ディスクの周速が上がるほど（ディスク
外周側へ行くほど）ピッチングが大きくなる（図中の
△）ので、それに伴ってスペーシングも増加し（図中の
黒三角）、ディスク内外周での浮上量一定化は実現でき
ない。

【００４８】また、第３の領域に属する前方の動圧発生
部（前記比率が１０％）を採用した場合は、ディスク内
外周において、ディスクの周速が上がるほど（ディスク
外周側へ行くほど）ピッチングが小さくなる（図中の
□）ので、それにともなってスペーシングも減少し（図
中の黒四角）、やはりディスク内外周での浮上量一定化
は実現できない。

【００４９】一方、第２の領域に属する前方の動圧発生
部（前記比率が３０％）を採用した場合は、ディスク内
外周において、ピッチング（図中の○）及びスペーシン
グ（図中の黒丸）はディスクの周速差によらずにほぼ一
定となるため、ディスク内外周での浮上量一定化が実現
できる。

【００５０】従って、前方の動圧発生部２ａに形成され
るランド部５のディスク回転方向Ａに関する長さを該動
圧発生部２ａの同方向Ａに関する全長の１０％より大き
く５０％より小さい範囲とすることにより、ディスク内
外周での浮上量一定化（浮上量の変動が±１０％程度は
許容できるものとする）を実現することが可能となる。
さらに、ランド部５の長さが動圧発生部２ａの全長のほ
ぼ３０％であれば、ディスク内外周での浮上量をほぼ完
全に一定とすることが可能となる。

【００５１】なお、ランド部５の長さが動圧発生部２ａ
の全長のほぼ３０％の場合は、段差を設けることにより
ランド部を形成したいわゆるステップ軸受における動圧
発生効率が最も高くなることが一般に知られている。従
って、この場合にはディスク内外周での浮上量一定化の
効果とともに、限られたスライダ面積内で効果的に十分
な動圧を発生させることが可能となる。

【００５２】以上述べたように、本発明の第１の実施形
態によれば、ヨー角依存性の低減により過渡的な浮上量
変動を抑制することができるとともに、ディスク内外周
での浮上量一定化を実現することが可能となる。

【００５３】ところで、ディスク停止時にスライダとデ
ィスクとの間に水分が凝集するなどの理由により、ディ
スク上にスライダが吸着し、ディスク起動時にスライダ
を円滑に浮上させることが困難になる場合がある。この
問題を回避するために従来はディスク３１の表面にテク
スチャと呼ばれる微少な凹凸を設けることにより、停止
中のディスクとスライダとの間に隙間を維持することが
行われている。しかし、このテクスチャは動作時におけ
る浮上量のばらつきに伴って発生するスライダとディス
クとの衝突の危険度を高める原因となり、スライダの低
浮上化に対する妨げとなる。

【００５４】一方、ディスク起動時には、ディスクは必
ずしも所定の回転方向のみに進むのではなく、前後に揺
動するような動きをしながら回転を始める。その様子を
図７に示す。前後に揺動するディスクの動きは、ディス
ク起動時の励磁タイミングやモータの磁極とコイルの位
置関係などに起因する。この時、ディスクが所定の回転
方向Ａと逆方向Ａ’に進行する瞬間には、図に示すよう
にジンバル２２を介してサスペンション２３に指示され
たスライダ１には、サスペンションからの反力Ｆが作用
し、この反力Ｆによってスライダ１の後端を支点として
前方の動圧発生部２ａを引き剥がすようなモーメントＭ
が作用する。その際、スライダ１においては、前方の動
圧発生部２ａのディスク２４に対する接地面積の方が後
方の動圧発生部の２ｂのそれよりも小さくなっているこ
とから、まず前方の動圧発生部２ａがディスク２４から
容易に引き剥がされる。その後、ディスクが正規の回転
方向Ａに進み始めると、空気流の動圧により容易にピッ
チングが生じスライダ１の全体がディスク２４から容易
に引き剥がされる。即ち、本実施形態によれば、前方の
動圧発生部２ａに設けられたランド部５のみがディスク
２４上に接地することから、前方の動圧発生部２ａの接
地面積を後方の動圧発生部の接地面積よりも小さくする
ことができ、上記した吸着現象を有効に防止することが
可能となる。

【００５５】以上説明した実施形態では、前方の動圧発
生部２ａのみに段差４を設けることとしたが、図８に示
すように、前後の動圧発生部に段差を設ける構成として
も、本実施形態と同様の作用効果が期待できる。かかる
構成によれば、後方の動圧発生部２ｂも、前方の動圧発
生部２ａと同様の浮上力を得ることから、後方の動圧発
生部２ｂ全体の面積を低減することができ、スライダ全
体を小型化することが可能となるとともに、吸着現象を
さらに低減することが可能となる。

【００５６】第２の実施形態本発明の第２の実施形態について、図９を参照しつつ説
明する。図９は、本発明の第２の実施形態にかかるスラ
イダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平
面図、（ｃ）は側面図である。なお、図中で、図２に示
した部分と同一の部分もしくは同一機能を有する部分に
ついては、同一の符号を付すことにより重複説明を省略
する（以下の実施形態においても同様とする）。

【００５７】本実施形態においては、スライダ１の動圧
発生部２ａ，２ｂをディスク回転方向Ａに関して前後に
２つ配列するとともに、前方の動圧発生部２ａにディス
ク内外周での浮上量差を抑制するため、段差４を設けて
ランド部５を形成するとともに、後方の動圧発生部２ｂ
を図示のごとく略Ｖ字形状とする。

【００５８】上記した第１の実施形態のごとく横長形状
の動圧発生部２ａ，２ｂを有するスライダ１において
は、ディスク外周側でヨー角がつくと、空気流に伴って
発生する動圧の圧力中心がスライダ１のディスク内周側
にシフトする。このため、スライダ１は、ディスク内周
側が高く外周側が低くなるようにローリングした姿勢で
飛行することになる。また、スライダ１を支持する図示
しないサスペンションの取付誤差や、ディスク表面の凹
凸、装置外部からの振動等の影響により、スライダ１に
ローリングが生じることもある。かかる場合、スライダ
１の後端のうち浮上量の最も低下するディスク内外周側
の側端部がディスクと接触するおそれがある。そこで、
後方の動圧発生部２ｂのディスク内周側及び外周側の側
端部を面取りするとともに、スライダ１のローリング剛
性を低下させないために、図示したように略Ｖ字型の形
状としてスライダ側面近傍における動圧発生部の面積を
確保することとした。

【００５９】本実施形態によれば、上記した第１の実施
形態と同様に、ヨー角依存性の低減により過渡的な浮上
量変動を抑制することができ、かつディスク内外周での
浮上量一定化を実現することが可能となるとともに、ス
タイダ１にローリングが発生した場合でも、後方の動圧
発生部２ｂの側端部がディスクと接触するおそれがなく
なる。

【００６０】なお、後方の動圧発生部の形状は上記した
略Ｖ字形状に限られず、ローリング剛性が確保できれ
ば、図１０に示すように、後方の動圧発生部２ｂのディ
スク内周側及び外周側の側端部を面取りしただけの形状
としても良い。

【００６１】また、この面取りは、上記した前方の動圧
発生部２ａにおける段差４と同一の深さとし、１回のエ
ッチングにより形成するようにすれば、製作効率を向上
させることができる。

【００６２】第３の実施形態本発明の第３の実施形態について、図１１を参照しつつ
説明する。図１１は、本発明の第３の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は側面図である。上記したように、第
１の実施形態のごとく横長形状の動圧発生部２ａ，２ｂ
を有するスライダ１においては、ディスク外周側でヨー
角がつくと、ディスク内周側が高く外周側が低くなるよ
うにローリングした姿勢で飛行することになる。そこ
で、本実施形態においては、スライダ１の動圧発生部２
ａ，２ｂをディスク回転方向に沿って前後２段に配列
し、前方の動圧発生部２ａにディスク内外周での浮上量
差を抑制するため、段差４を設けてランド部５を形成す
るとともに、後方の動圧発生部２ｂのディスク内周側及
び外周側の側部に切欠部２５ａ，２５ｂを形成し、ディ
スク回転方向Ａにほぼ沿った段差６ａ，６ｂを設ける構
成とした。

【００６３】ディスクの回転方向は、厳密にはディスク
内外周でヨー角の変動分だけ相違する。ここでは、スラ
イダ１がディスク内周側に位置しているときの該ディス
クの回転方向を矢印Ａで示し、スライダ１がディスク外
周側に位置しているときの該ディスクの回転方向を図中
の矢印Ｂで示す。この場合、ディスク外周側の段差６ａ
ではスライダ１をディスクから離反させる方向の圧力
（正圧）が発生するのに対して、ディスク内周側の段差
６ｂでは、それと反対方向の圧力（負圧）が発生する。
このため、スライダ１は、ディスク内周側が低く外周側
が高くなるようにローリングした姿勢をとろうとする。
即ち、ディスク外周側でヨー角がつくことにより、空気
流に伴って発生する動圧の圧力中心がディスクの内周側
にシフトするため、ディスク内周側が高く外周側が低く
なるようにローリングした姿勢をとろうとする作用に対
して、段差６ａ，６ｂを設けることにより、それとは反
対の姿勢をとろうとする作用が生じることになる。従っ
て、両作用が相殺されることにより、ディスク外周側で
のローリングを防止することが可能となる。

【００６４】本実施形態によれば、上記した第１の実施
形態と同様に、ヨー角依存性の低減により過渡的な浮上
量変動を抑制することができ、かつディスク内外周での
浮上量一定化を実現することが可能となるとともに、デ
ィスク外周側でのスタイダ１のローリングを防止できる
ため、後方の動圧発生部がディスクと接触するおそれが
なくなる。

【００６５】なお、ここで、上記した前方の動圧発生部
２ａにおける段差４と本実施形態により新たに設けた段
差６ａ，６ｂとを同一の深さとし、１回のエッチングに
より形成するようにすれば、製作効率を向上させること
ができる。

【００６６】第４の実施形態本発明の第４の実施形態について、図１２を参照しつつ
説明する。図１２は、本発明の第４の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は側面図である。

【００６７】上記した第３の実施形態によれば、ディス
ク外周側でのスタイダ１のローリングを防止できるが、
後方の動圧発生部２ｂの側部に切欠部２５ａ，２５ｂを
設けることから、その部分の動圧が小さくなるため、ス
ライダ１のローリング剛性が低下するおそれがある。そ
こで、本実施形態では、後方の動圧発生部２ｂの側部に
ディスク回転方向にほぼ沿った段差６ａ，６ｂと同回転
方向に略垂直な方向に沿った段差７ａ，７ｂを設けるよ
う切欠部２６ａ，２６ｂを形成している。かかる構成に
よれば、上記した第３の実施形態と同様の効果が生じる
とともに、前記段差７ａ，７ｂによって、正圧が発生す
ることから、後方の動圧発生部における所定の動圧を確
保しつつ、両側部近傍の圧力分布を高めることができ、
スライダ１のローリング剛性を高く維持することが可能
となる。

【００６８】図１３は、後方の動圧発生部におけるディ
スクの回転方向と略垂直な方向（スライダ幅方向）に関
する圧力分布を示したものである。図中で、Ｄ１は上記
した第１の実施形態に示したフラットな面からなる動圧
発生部を有する場合の圧力分布、Ｄ２は本実施形態に係
る動圧発生部を有する場合の圧力分布をそれぞれ示した
ものである。

【００６９】図示したように、フラットな面からなる動
圧発生部を有する場合は、スライダ幅方向の中央部で最
も圧力が高く、両側端に近づくにつれて圧力が大気圧に
漸近するような圧力分布となる。これに対して、実施形
態にかかる動圧発生部を有する場合は、圧力が段差７
ａ，７ｂの近傍で高く、スライダ幅方向の中央付近では
低い圧力分布となる。従って、後方の動力発生部での浮
上力が仮に同じであっても、本実施形態に係る動圧発生
部の形状の方がより高いローリング剛性を得ることがで
きる。

【００７０】一方、上記した第１の実施形態において示
したようなフラットな面に比べて、段差７ａ，７ｂを形
成した方がより大きな動圧を発生させることができるた
め、本実施形態にかかる構成によれば、後方の動圧発生
部２ｂをディスク回転方向に関して短く形成することが
でき、スライダ全体を小型化することが可能となるとと
もに、ディスク停止時における後方の動圧発生部の接地
面積を削減できることから、スライダの吸着現象を防止
することも可能となる。

【００７１】上記した本実施形態によれば、上記した第
３の実施形態と同様に、ヨー角依存性の低減により過渡
的な浮上量変動を抑制することができ、かつディスク内
外周での浮上量一定化を実現することが可能となるとと
もに、ディスク外周側でのスタイダ１のローリングを防
止でき、しかもローリング剛性を高く維持することがで
きるため、後方の動圧発生部がディスクと接触するおそ
れがなくなる。

【００７２】なお、ここで、上記した前方の動圧発生部
２ａにおける段差４と本実施形態により新たに設けた段
差６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂとを同一の深さとし、１回の
エッチングにより形成するようにすれば、製作効率を向
上させることができる。

【００７３】第５の実施形態本発明の第５の実施形態について、図１４を参照しつつ
説明する。図１４は、本発明の第５の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は側面図である。本実施形態では、上
記した第４実施例において、スライダ１を支持する図示
しないサスペンションの取付誤差や、ディスク表面の凹
凸、装置外部からの振動等の影響により、スライダ１に
ローリングが生じた場合に、スライダ１の後端のうち浮
上量の最も低下する後方の動圧発生部２ｂのディスク内
外周側の側端部がディスクと接触しないよう、後方の動
圧発生部２ｂのディスク内周側及び外周側の側端部を面
取りすることとした。その際、スライダ１の側部に設け
る段差６ａ，６ｂの効果を低減しないように、図示のご
とく段差８ａ，８ｂを設けるように面取りするようにし
た。かかる構成によれば、仮にスライダにローリングが
生じた場合でも、スライダ１の後端部がディスクと接触
するおそれはない。

【００７４】さらに、本実施形態においては、段差等を
形成した後、深溝３を形成する際に、前後の動圧発生部
２ａ，２ｂに形成されるランド部５，９の寸法が変動し
たり、エッジにカケ等の欠陥が発生しないように、各動
圧発生部の深溝３の近傍にマージン１０を設定してい
る。なお、かかる構成において、前方の動圧発生部２ａ
のディスク回転方向に関する全長には、マージン１０は
含まれないものとする。ここで、深溝３を形成する際に
生じる寸法誤差の主な原因は、加工に用いるブレードの
厚み誤差である。一方、前後の動圧発生部のうち、後方
の動圧発生部２ｂについては、寸法誤差に伴う浮上量変
動の影響が小さいことから、後方の動圧発生部２ｂの前
端とブレード端部とを正確に位置決めすれば、マージン
１０は前方の動圧発生部２ａの後端のみに設けるように
してもよい。図１５はそのようにして製作した場合の本
実施形態にかかるスライダ形状を示したものである。

【００７５】また、スライダ１は、通常その側面が連結
された状態で複数個同時に形成され、最後に側面を切断
することにより分割される。従って、本実施形態におい
ては、切断加工を行う際に、ランド部５，９のエッジに
カケ等の欠陥が発生しないように、各動圧発生部の側部
近傍にもマージン１１を設定している。

【００７６】第６の実施形態本発明の第６の実施形態について、図１６を参照しつつ
説明する。図１４は、本発明の第５の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は側面図である。本実施形態は、上記
した第５の実施形態に係るスライダ形状の変形形態を示
したものである。

【００７７】上記した第５の実施形態に係るスライダ形
状において、ヘッドとディスクとの所望の浮上隙間を実
現するための一方策として、後方の動圧発生部２ｂの両
端部近傍に設けられる正圧発生用の段差７ａ，７ｂの幅
（ディスク回転方向と略垂直方向の長さ）を調整する方
法がある。即ち、段差７ａ，７ｂの幅を小さくすれば浮
上隙間が小さくなり、段差７ａ，７ｂの幅を大きくすれ
ば浮上隙間が大きくなる。しかし、段差７ａ，７ｂの幅
を調整すると、必然的にディスクの回転方向にほぼ沿っ
た段差６ａ，６ｂの位置が変動し、かかる段差６ａ，６
ｂによって生じるローリング防止の効果（第４の実施形
態の説明参照）が顕著になりすぎて、ヨー角が大きくな
るディスク外周側において、スライダが内周側にローリ
ングしてしまうおそれがある。

【００７８】このような場合の解決策として、本実施形
態では、前方の動圧発生部２ａに設けられるランド部５
をディスクの回転方向Ａに向かって開口する略Ｖ字形状
としている。かかる形状によれば、ディスク外周側にお
いてヨー角が生じた場合、ディスク外周側のランド部５
ａはディスクディスクの回転方向Ｂとほぼ直交する方向
に配置されるため、空気流がランド部５ａを通過する距
離が短く、動圧が十分に高まる以前に空気流がランド部
５ａから流出してしまう。これに対して、ディスク内周
側のランド部５ｂはディスクの回転方向Ｂに対して傾い
ているので、空気流がランド部５ｂを通過する距離が長
くなり、ディスク外周側のランド部５ａに比べて高い動
圧が発止する。従って、スライダを外周側に傾けるモー
メントが発生し、上述したローリング防止効果を調整す
ることが可能となる。

【００７９】なお、本実施形態は、上記した第４の実施
形態にも適用が可能であることは言うまでもない。ま
た、かかる略Ｖ字形状のランド部５において、本発明の
第１の実施形態で示したようなディスク内外周でのピッ
チングをほぼ一定とするための条件を考える場合には、
ディスクの回転方向に関する前方の動圧発生部２ａの全
長Ｌとしては、図に示すようにスライダ前縁部からＶ字
形状の後縁部までの平均距離をとればよく、また、ラン
ド部の長さＳとしては、図に示すようにランド部の前縁
から後縁までの距離をとればよい。

【００８０】第７の実施形態本発明の第７の実施形態について、図１７及び図１８を
参照しつつ説明する。図１７は、従来の負圧スライダの
概略を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面
図、（ｃ）は側面図である。負圧スライダは、スライダ
１の前方に形成された段差１２により正圧を発生させる
とともに、後方に形成された段差１３ａにより負圧を発
生させることにより、ディスク内外周においてスライダ
１が所定の浮上姿勢を確保するように構成されたもので
ある。なお、負圧スライダでは、所定の浮上力を得ると
ともに、ローリング剛性を確保するため、図１７に示す
ようにディスク回転方向に開口した略Ｕ字形状の動圧発
生部１４が形成される。かかる構成によれば、ディスク
内外周で周速差が生じた場合でも、正圧と負圧との釣合
関係が変化せず、浮上量の一定化を図ることが可能とな
る。

【００８１】しかし、図１７に示すような従来の構成で
は、ディスク外周側でヨー角がついて、ディスク回転方
向が図中の矢印Ｂのようになった場合、負圧を発生させ
るために設けられる段差のうち、ディスク回転方向にほ
ぼ沿った部分１３ｂでは負圧が、１３ｃでは正圧がそれ
ぞれ発生する。このため、スライダ１は、ディスク内周
側が高く外周側が低くなるように極端にローリングした
姿勢で飛行することになる。

【００８２】そこで、本実施形態では、図１８に示すよ
うなスライダ形状とした。図１８は、本発明の第７の実
施形態にかかるスライダ形状を示したもので、（ａ）は
斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は側面図である。図に
示すように、本実施形態では、動圧発生部１４の両側部
にディスク回転方向にほぼ沿った段差１５ａ，１５ｂを
設けることとした。この段差１５ａ，１５ｂは、上記し
た第３の実施形態において示した段差６ａ，６ｂと同様
に、スライダ１がディスク内周側が低く外周側が高くな
るようにローリングした姿勢となるような動圧を発生さ
せる。従って、段差１３ｂ，１３ｃと段差１５ａ，１５
ｂの作用が相殺されることにより、ディスク外周側での
ローリングを防止することが可能となる。

【００８３】なお、本実施形態では、スライダ１の両側
端部における圧力分布を高めることにより、スライダ１
の後端部におけるローリング剛性を高く維持するため、
動圧発生部１４がディスク回転方向に開口する略Ｖ字形
状となるように段差１５ａ，１５ｂを設けている。

【００８４】さらに、段差１２と段差１５ａ，１５ｂを
同じ深さで連続的に設けることにより、１回のエッチン
グで双方の段差を形成することができるため、製作効率
を向上させることができる。

【００８５】第８の実施形態本発明の第８の実施形態について、図１９を参照しつつ
説明する。図１９は、本発明の第８の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は側面図である。

【００８６】本実施形態は、上記した第４の実施形態と
同様の概念を負圧スライダに適用したものである。即
ち、動圧発生部１４の側部にディスク回転方向にほぼ沿
った段差１５ａ，１５ｂと同回転方向に略垂直な方向に
ほぼ沿った段差１６ａ，１６ｂを設けるようにしてい
る。かかる構成によれば、上記した第６の実施形態と同
様の効果が生じるとともに、前記段差１６ａ，１６ｂに
よって、正圧が発生することから、スライダ１の後端に
おける所定の動圧を確保しつつ、両側端部近傍の圧力分
布を高めることができ、スライダ１のローリング剛性を
高く維持することが可能となる。

【００８７】なお、段差１２と段差１５ａ，１５ｂ及び
段差１６ａ，１６ｂを同じ深さで連続的に設けることに
より、１回のエッチングで各段差を形成することができ
るため、製作効率を向上させることができる。

【００８８】第９の実施形態本発明の第９の実施形態について、図２０を参照しつつ
説明する。図２０は、本発明の第９の実施形態にかかる
スライダ形状を示したもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は平面図、（ｃ）は側面図である。

【００８９】本実施形態は、上記した第１の実施形態に
かかるスライダを接触記録に用いる場合の構成を示した
ものである。接触記録の場合、ディスクと接触する部分
の近傍は、実質的に浮上力が発生しない構造にする必要
がある。このため、本実施形態では、第１の実施形態に
かかる後方の動圧発生部２ｂは設けずに、前方の動圧発
生部２ａの後方に、ヘッド素子を搭載するとともに動作
中にディスクと接触するパッド部１７を設けた構成とす
る。かかる構成によれば、ヨー角依存性の低減により過
渡的な浮上量変動を抑制することができるとともに、上
記した第１の実施形態において説明した原理と同様の原
理によりに、ディスク内外周での接触力、即ちパッド部
の接触状態を一定にすることが可能となる。従って、接
触力の変動を見込んでヘッドの押圧荷重を設定する必要
がなくなることから、可能な限り低荷重による接触を実
現することが可能となる。なお、接触記録の場合、ピッ
チング剛性は要求されず、前方の動圧発生部に作用する
浮上力の作用位置と、パッド部に作用する接触力の作用
位置と、スライダに荷重を加える際の荷重作用位置とを
調整することにより、パッド部１７における接触力を安
定に保つことができる（特願平６−２７６９１２号参
照）。また、本実施形態によれば、ディスク内外周でピ
ッチングがほとんど変化しないことから、ヘッドの摩耗
が進行しても接触部が浮上してスペーシングが生じてし
まうおそれがない。

【００９０】なお、パッド部１７は、上記した第１の実
施形態における後方の動圧発生部に相当する部分をディ
スク回転方向に関して非常に短く構成した後、パッド部
１７を構成する部分をマスキングし、残りの部分をエッ
チングすることにより構成する。その際、パッド部１７
と前方の動圧発生部２ａのランド部５とが同一平面をな
すようにすれば、１回のエッチング工程で、パッド部１
７とランド部５を形成することができるため、製作効率
が向上する。

【００９１】また、本実施形態においては、上記した第
５の実施形態と同様に、深溝３を形成する際に、動圧発
生部２ａに形成されるランド部５及びパッド部１７の寸
法が変動したり、エッジにカケ等の欠陥が発生しないよ
うに、動圧発生部及びパッド部の深溝３の近傍にマージ
ン１０を設定している。

【００９２】ここで、深溝３を形成する際に生じる寸法
誤差の主な原因は、加工に用いるブレードの厚み誤差で
ある。一方、パッド部１７については、寸法誤差による
影響がほとんど問題にならないことから、パッド部１７
の前端とブレード端部とを正確に位置決めすれば、マー
ジン１０は前方の動圧発生部２ａの後端のみに設けるよ
うにしてもよい。図２１はそのようにして製作した場合
の本実施形態にかかるスライダ形状を示したものであ
る。

【００９３】また、スライダを分離するために切断加工
を行う際に、ランド部５のエッジにカケ等の欠陥が発生
しないように、動圧発生部の側部近傍にもマージン１１
を設定している。

【００９４】ところで、本実施形態においては、後方の
動圧発生部に相当する部分２ｂは、パッド部１７を設け
るために便宜上設けられたもので、ディスク回転方向に
関して非常に短く構成しているため、ほとんど動圧が発
生しない構造とすることができる。なお、図２２に示す
ように、パッド部１７を構成する部分をマスキングし、
残りの部分を深溝３と同じ深さまでエッチングすること
により後方の動圧発生部２ｂを完全に除去した構成とし
てもよい。

【００９５】また、上記した各実施形態は、ヨー角依存
性によらずにディスク内外周における浮上量もしくは接
触力を一定に維持する機能を有するものであるから、Ｍ
Ｒヘッドを採用し、ディスク内外周でトラックずれを防
止するためディスク内外周でヨー角変動が生じないよう
なシークを行う場合にも、非常に適したスライダ形状で
あるといえる。

【００９６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ヨー角依存性の低減により過渡的な浮上量変動を抑制す
ることができるとともに、ディスク内外周での浮上量一
定化もしくはヘッド−ディスク間の接触力の一定化を実
現することが可能なヘッドスライダを提供することがで
きる。

【００９７】また、本発明にかかるヘッドスライダを用
いることにより、ヘッドスライダの低浮上化、あるいは
ヘッド−ディスク間の低荷重かつ安定な接触が可能とな
ることから、記録密度の向上を図ることが可能な記録再
生装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】記録再生装置の一例である磁気ディスク装置
の概略図。

【図２】スライダの浮上姿勢に関する説明図。

【図３】本発明の第１の実施形態にかかるヘッドスラ
イダの形状を示した図。

【図４】後方の動圧発生部のピッチングに対して、同
動圧発生部の後端のスペーシングを一定とした場合の浮
上力をプロットした図。

【図５】前方の動圧発生部のディスク回転方向に関す
る全長Ｌとランド部の同方向に関する長さＳとの比率に
対する、スライダの後端のスペーシングを一定とした場
合のディスク内外周での浮上力の比をプロットした図。

【図６】ディスクの周速に対するスライダのピッチン
グ及びヘッドが設けられる後方の動圧発生部の後端にお
けるスペーシングの変化を示した図。

【図７】ディスク起動時の状態を示した説明図。

【図８】本発明の第１の実施形態にかかるヘッドスラ
イダの変形例の形状を示した図。

【図９】本発明の第２の実施形態にかかるヘッドスラ
イダの形状を示した図。

【図１０】本発明の第２の実施形態にかかるヘッドス
ライダの変形例の形状を示した図。

【図１１】本発明の第３の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。

【図１２】本発明の第４の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。

【図１３】後方の動圧発生部におけるディスクの回転
方向と略垂直な方向（スライダ幅方向）に関する圧力分
布を示した図。

【図１４】本発明の第５の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。

【図１５】本発明の第５の実施形態にかかるヘッドス
ライダの変形例の形状を示した図。

【図１６】本発明の第６の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。

【図１７】従来の負圧スライダの形状を示した図。

【図１８】本発明の第７の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。

【図１９】本発明の第８の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。

【図２０】本発明の第９の実施形態にかかるヘッドス
ライダの形状を示した図。

【図２１】本発明の第９の実施形態にかかるヘッドス
ライダの変形例の形状を示した図。

【図２２】本発明の第９の実施形態にかかるヘッドス
ライダの変形例の形状を示した図。

【図２３】従来のスライダを採用した磁気ディスク装
置の概略図。

【図２４】従来のテーパフラットスライダの概略を示
した斜視図。

【図２５】シーク時における等価的なヨー角変動の説
明図。

【符号の説明】

１ヘッドスライダ２ａ，２ｂ動圧発生部３深溝４，６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂ，１２，１３
ａ，１３ｂ，１３ｃ，１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ
段差５，９，１４ランド部１０，１１マージン１７パッド部２０記録再生ヘッド２１磁極２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂ切欠部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転可能な記録媒体であるディスク上で
情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッド
スライダにおいて、前記ヘッドスライダの前記ディスク
と対向する面に設けられ、前記ディスクの回転方向と略
垂直な方向に沿って長い形状を有し、前記ディスクの回
転方向に沿って配列される少なくとも２つの動圧発生部
と、これら動圧発生部のうち前記ディスクの回転方向に
向って最も前方に位置する動圧発生部に、前記ディスク
の回転方向と略垂直な方向に沿った段差を形成すること
により設けられ、該動圧発生部の前記ディスクの回転方
向に関する全長の１０％より大きく５０％より小さい長
さを有するランド部とを有することを特徴とするヘッド
スライダ。
【請求項２】前記ランド部は、前記ディスクの回転方
向に向って最も前方に位置する動圧発生部の該回転方向
に関する全長のほぼ３０％の長さを有することを特徴と
する請求項１記載のヘッドスライダ。
【請求項３】前記ランド部と、該ランド部を有する動
圧発生部よりも前記ディスクの回転方向に向って後方に
位置する動圧発生部とが略同一平面をなすことを特徴と
する請求項１記載のヘッドスライダ。
【請求項４】前記動圧発生部のうち前記ディスクの回
転方向に向って最も後方に位置する動圧発生部の両側端
部を面取りしたことを特徴とする請求項１記載のヘッド
スライダ。
【請求項５】前記動圧発生部のうち前記ディスクの回
転方向に向って最も後方に位置する動圧発生部は、該回
転方向と反対方向に開口する略Ｖ字形状に形成されてい
ることを特徴とする請求項１記載のヘッドスライダ。
【請求項６】前記動圧発生部のうち少なくとも前記デ
ィスクの回転方向に向って最も後方に位置する動圧発生
部には、該動圧発生部の両側部に該回転方向にほぼ沿っ
た段差を形成する切欠部が設けられていることを特徴と
する請求項１記載のヘッドスライダ。
【請求項７】前記ランド部は、前記ディスクの回転方
向に開口した略Ｖ字形状であることを特徴とする請求項
６記載のヘッドスライダ。
【請求項８】前記動圧発生部のうち少なくとも前記デ
ィスクの回転方向に関して最も後方に位置する動圧発生
部には、該動圧発生部の両側部に該回転方向にほぼ沿っ
た段差と、前記ディスクの回転方向と略垂直な方向にほ
ぼ沿った段差とを形成する切欠部が設けられていること
を特徴とする請求項１記載のヘッドスライダ。
【請求項９】前記ランド部は、前記ディスクの回転方
向に開口した略Ｖ字形状であることを特徴とする請求項
８記載のヘッドスライダ。
【請求項１０】前記ランド部の接地面積は、該ランド
部が設けられる動圧発生部よりも前記ディスクの回転方
向に向って後方に位置する動圧発生部の接地面積よりも
小さいことを特徴とする請求項１記載のヘッドスライ
ダ。
【請求項１１】回転可能な記録媒体であるディスク上
で情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッ
ドスライダにおいて、前記ヘッドスライダの前記ディス
クと対向する面に設けられる動圧発生部と、この動圧発
生部の両側部に設けられる、前記ディスクの回転方向に
ほぼ沿った段差を形成する切欠部とを有することを特徴
とするヘッドスライダ。
【請求項１２】前記動圧発生部は、前記ディスクの回
転方向に開口する略Ｕ字形状であることを特徴とする請
求項１１記載のヘッドスライダ。
【請求項１３】回転可能な記録媒体であるディスク上
で情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載したヘッ
ドスライダにおいて、前記ヘッドスライダの前記ディス
クと対向する面のに設けられる動圧発生部と、この動圧
発生部の両側部に設けられる、前記ディスクの回転方向
にほぼ沿った段差と、該回転方向と略垂直な方向にほぼ
沿った段差とを形成する切欠部とを有することを特徴と
するヘッドスライダ。
【請求項１４】前記動圧発生部は、前記ディスクの回
転方向に開口する略Ｕ字形状であることを特徴とする請
求項１３記載のヘッドスライダ。
【請求項１５】回転可能な記録媒体であるディスク上
で、情報の記録再生を行う記録再生ヘッドを搭載するヘ
ッドスライダにおいて、前記ヘッドスライダの前記ディ
スクと対向する面に設けられ、前記ディスクの回転方向
と略垂直な方向に沿って長い形状を有し、該回転方向に
関する前端部に配置される動圧発生部と、該回転方向の
後端部に配置され、前記記録再生ヘッドを搭載して動作
中に前記ディスクに接触するパッド部と、前記動圧発生
部に前記ディスクの回転方向と略垂直な方向に沿った段
差を形成することにより設けられ、該動圧発生部の前記
ディスクの回転方向に関する全長の１０％より大きく５
０％より小さい長さを有するランド部とを有することを
特徴とするヘッドスライダ。
【請求項１６】前記ランド部は、前記ディスクの回転
方向に向って最も前方に位置する動圧発生部の該回転方
向に関する全長のほぼ３０％の長さを有することを特徴
とする請求項１３記載のヘッドスライダ。
【請求項１７】前記ランド部と前記パッドとが略同一
平面をなすことを特徴とする請求項７記載のヘッドスラ
イダ。
【請求項１８】回転可能な記録媒体であるディスク
と、このディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘ
ッドと、この記録再生ヘッドを搭載するヘッドスライダ
と、このヘッドスライダを支持し前記ディスク上を移動
させるアクチュエータとを備えた記録再生装置におい
て、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に
設けられ、前記ディスクの回転方向と略垂直な方向に沿
って長い形状を有し、前記ディスクの回転方向に沿って
配列される少なくとも２つの動圧発生部と、これら動圧
発生部のうち前記ディスクの回転方向に向って最も前方
に位置する動圧発生部に、前記ディスクの回転方向と略
垂直な方向に沿った段差を形成することにより設けら
れ、該動圧発生部の前記ディスクの回転方向に関する全
長の１０％より大きく５０％より小さい長さを有するラ
ンド部とを有することを特徴とする記録再生装置。
【請求項１９】前記ランド部は、前記ディスクの回転
方向に向って最も前方に位置する動圧発生部の該回転方
向に関する全長のほぼ３０％の長さを有することを特徴
とする請求項１８記載の記録再生装置。
【請求項２０】前記ランド部と、該ランド部を有する
動圧発生部よりも前記ディスクの回転方向に向って後方
に位置する動圧発生部とが略同一平面をなすことを特徴
とする請求項１８記載の記録再生装置。
【請求項２１】前記動圧発生部のうち前記ディスクの
回転方向に向って最も後方に位置する動圧発生部の両側
端部を面取りしたことを特徴とする請求項１８記載のの
記録再生装置。
【請求項２２】前記動圧発生部のうち前記ディスクの
回転方向に向って最も後方に位置する動圧発生部は、該
回転方向と反対方向に開口する略Ｖ字形状に形成されて
いることを特徴とする請求項１８記載の記録再生装置。
【請求項２３】前記動圧発生部のうち少なくとも前記
ディスクの回転方向に向って最も後方に位置する動圧発
生部には、該動圧発生部の両側部に該回転方向にほぼ沿
った段差を形成する切欠部が設けられていることを特徴
とする請求項１８記載の記録再生装置。
【請求項２４】前記ランド部は、前記ディスクの回転
方向に開口した略Ｖ字形状であることを特徴とする請求
項２３記載の記録再生装置。
【請求項２５】前記動圧発生部のうち少なくとも前記
ディスクの回転方向に関して最も後方に位置する動圧発
生部には、該動圧発生部の両側部に該回転方向にほぼ沿
った段差と、前記ディスクの回転方向と略垂直な方向に
ほぼ沿った段差とを形成する切欠部が設けられているこ
とを特徴とする請求項１８記載の記録再生装置。
【請求項２６】前記ランド部は、前記ディスクの回転
方向に開口した略Ｖ字形状であることを特徴とする請求
項２５記載の記録再生装置。
【請求項２７】前記ランド部の接地面積は、該ランド
部が設けられる動圧発生部よりも前記ディスクの回転方
向に向って後方に位置する動圧発生部の接地面積よりも
小さいことを特徴とする請求項１８記載の記録再生装
置。
【請求項２８】回転可能な記録媒体であるディスク
と、このディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘ
ッドと、この記録再生ヘッドを搭載するヘッドスライダ
と、このヘッドスライダを支持し前記ディスク上を移動
させるアクチュエータとを備えた記録再生装置におい
て、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に
設けられる動圧発生部と、この動圧発生部の両側部に設
けられる、前記ディスクの回転方向にほぼ沿った段差を
形成する切欠部とを有することを特徴とする記録再生装
置。
【請求項２９】前記動圧発生部は、前記ディスクの回
転方向に開口する略Ｕ字形状であることを特徴とする請
求項２８記載の記録再生装置。
【請求項３０】回転可能な記録媒体であるディスク
と、このディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘ
ッドと、この記録再生ヘッドを搭載するヘッドスライダ
と、このヘッドスライダを支持し前記ディスク上を移動
させるアクチュエータとを備えた記録再生装置におい
て、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面の
に設けられる動圧発生部と、この動圧発生部の両側部に
設けられる、前記ディスクの回転方向にほぼ沿った段差
と、該回転方向と略垂直な方向にほぼ沿った段差とを形
成する切欠部とを有することを特徴とする記録再生装
置。
【請求項３１】前記動圧発生部は、前記ディスクの回
転方向に開口する略Ｕ字形状であることを特徴とする請
求項３０記載の記録再生装置。
【請求項３２】回転可能な記録媒体であるディスク
と、このディスク上で情報の記録再生を行う記録再生ヘ
ッドと、この記録再生ヘッドを搭載するヘッドスライダ
と、このヘッドスライダを支持し前記ディスク上を移動
させるアクチュエータとを備えた記録再生装置におい
て、前記ヘッドスライダの前記ディスクと対向する面に
設けられ、前記ディスクの回転方向と略垂直な方向に沿
って長い形状を有し、該回転方向に関する前端部に配置
される動圧発生部と、該回転方向の後端部に配置され、
前記記録再生ヘッドを搭載して動作中に前記ディスクに
接触するパッド部と、前記動圧発生部に前記ディスクの
回転方向と略垂直な方向に沿った段差を形成することに
より設けられ、該動圧発生部の前記ディスクの回転方向
に関する全長の１０％より大きく５０％より小さい長さ
を有するランド部とを有することを特徴とする記録再生
装置。
【請求項３３】前記ランド部は、前記ディスクの回転
方向に向って最も前方に位置する動圧発生部の該回転方
向に関する全長のほぼ３０％の長さを有することを特徴
とする請求項３２記載の記録再生装置。
【請求項３４】前記ランド部と前記パッドとが略同一
平面をなすことを特徴とする請求項３２記載の記録再生
装置。