JPH09159625A - インゴット方位測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インゴットの結晶格子面と貼付板の基準面と
の間を一定角度に保ってインゴットを貼付板に固定す
る。 【解決手段】 インゴット１８を、その結晶格子面と貼
付板１９の基準面１９Ａとを一定角度に保った状態で、
貼付板１９に固定すると共に、平行移動機構２３で貼付
板１９を正確に平行移動させ、次のインゴット１８を一
定角度に保った状態で貼付板１９に固定するインゴット
方位測定装置２１である。平行移動機構２３は、貼付板
１９の正確な移動の基準となる基準板２８と、貼付板１
９を支持した状態で基準板２８に対して貼付板１９を正
確に平行移動させる平行移動部２９とからなる。基準板
２８にはセンサ３４を設け、貼付板１９の基準面１９Ａ
と基準板２８との間隔を非接触状態で一定に保つ。この
センサ３４により、基準面１９Ａや基準板２８にゴミや
キズがあっても、これらの間に平行状態が保たれる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インゴットから多
数の結晶性試料を切り出す際に、カット面が結晶格子面
に対して正確に所定の角度になるように、インゴットの
方位を測定して貼付板に固定するためのインゴット方位
測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、インゴット方位測定装置は図３
及び図４に示すように構成されている。図３はインゴッ
ト方位測定装置１を示す正面図、図４はインゴット方位
測定装置１を示す平面図である。

【０００３】インゴット方位測定装置１は主に、装置本
体２と、この装置本体２に設けられた平行移動機構３と
から構成されている。

【０００４】装置本体２は主に、ベース４に設置された
測角器５と、この測角器５の上側に取り付けられ平行移
動機構３を支持する支持台部６とから構成されている。
測角器５は主に、ベース４側に設置された固定筒部７
と、この固定筒部７内に回転可能に挿入された回転筒部
８と、これら固定筒部７と回転筒部８との間に設けられ
固定筒部７に対して回転筒部８を回転可能に支持する軸
受９とから構成されている。支持台部６は、回転筒部８
に一体的に取り付けられた支持板１１と、基端部が支持
板１１に固定された状態で後述する基準板１３の一側か
ら他側に延出して設けられた位置決め用腕部１２とから
構成されている。

【０００５】平行移動機構３は、この支持板１１上に取
り付けられた四角棒状の基準板１３と、貼付板１９を支
持して平行移動させる平行移動部１４とから構成されて
いる。基準板１３は貼付板１９の正確な平行移動の基準
となるものである。平行移動部１４は、貼付板１９を、
その基準面１９Ａと基準板１３との間で正確に平行状態
を保って移動させるもので、装置本体２の支持板１１に
基準板１３と平行に配設された２本のレール１５と、こ
の２本のレール１５上に摺動可能に載置され基準板１３
と平行に移動する移動板１６と、この移動板１６を移動
させるつまみ１７とから構成されている。

【０００６】インゴット１８は、その結晶格子面の方位
を一定角度に調整された状態で、貼付板１９上に複数個
並列に貼付し固定される。この際には、インゴット１８
の結晶格子面の方位を正確に測定するためにＸ線が用い
られる。装置本体２の一側にはＸ線発振機（図示せず）
が設けられ、他側にはインゴット１８で回折したＸ線を
検出するカウンタ２０が設けられている。Ｘ線発振機か
らのＸ線は位置決め用腕部１２の先端に向けて照射され
る。

【０００７】貼付板１９の基準面１９Ａはインゴット１
８をカットする際の基準になる面で、インゴット１８は
この基準面１９Ａに対して一定角度に調整され、貼付板
１９の上面に貼付して固定される。

【０００８】以上のように構成されたインゴット方位測
定装置１では、次のようにして複数のインゴット１８が
貼付板１９上に並列に貼付して固定される。

【０００９】まず、貼付板１９が、その基準面１９Ａを
基準板１３に当接した状態で、移動板１６上に取り付け
られる。次いで、インゴット１８の先端部が位置決め用
腕部１２の先端に当接されて大雑把な位置決めがなされ
る。この状態で、インゴット１８の先端部にＸ線が照射
され、その反射Ｘ線がカウンタ２０で検出される。これ
により、インゴット１８が正確に位置決めされ、貼付板
１９上に貼付して固定される。

【００１０】次いで、つまみ１７で移動板１６が一方
（図４中の下方）へ移動される。このとき、貼付板１９
の基準面１９Ａは基準板１３に当接した状態に保たれ、
貼付板１９が正確に平行移動される。そして、次のイン
ゴット１８が前記同様の処理によって、基準面１９Ａに
対して最初のインゴット１８と同じ角度で貼付板１９に
固定される。

【００１１】そして、複数のインゴット１８が貼付板１
９の上側面に取り付けられた状態で、この貼付板１９ご
とカット装置（図示せず）に装着され、各インゴット１
８がその結晶格子面とカット面とが一定の角度を保った
状態でカットされる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述のよう
にしてインゴット方位測定装置１でインゴット１８を貼
付板１９に固定する場合は次のような問題がある。

【００１３】貼付板１９を正確な位置に維持するために
この貼付板１９の基準面１９Ａを基準板１３に直接に接
触させるが、互いの接触面にゴミやキズ等があると、基
準面１９Ａが基準板１３に正確に密着することができな
くなる。これにより、貼付板１９の基準面１９Ａと基準
板１３とが正確な平行状態を保つことができず、貼付板
１９に固定されたインゴット１８の結晶格子面と基準面
１９Ａとの間を一定角度に保つことができなくなる。こ
の結果、インゴット１８の結晶格子面と、それがカット
された後の結晶性試料のカット面とが一定角度に保つこ
とができなくなるという問題点がある。

【００１４】長期間の使用によって貼付板１９の基準面
１９Ａや基準板１３が摩耗することもあり、この場合も
前記前記同様の問題がある。

【００１５】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、貼付板の基準面と基準板との間を正確に平行状態に
保ってインゴットの結晶格子面と基準面との間を一定角
度に保つことができるインゴット方位測定装置を提供す
ることを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明に係るインゴット
方位測定装置は、結晶性試料のインゴットの有する結晶
格子面の方位を測定し、その結晶格子面と貼付板の基準
面とを一定角度に保った状態で前記インゴットを貼付板
に固定すると共に、装置本体に備えた平行移動機構で前
記貼付板を正確に平行移動させ、次のインゴットを、そ
の結晶格子面と貼付板の基準面とを一定角度に保った状
態で前記貼付板に固定するインゴット方位測定装置にお
いて、前記平行移動機構が、装置本体側に設けられ前記
貼付板の正確な移動の基準となる基準板と、前記貼付板
を支持した状態でこの貼付板の基準面と前記基準板とを
対向させこの基準板に対して貼付板を正確に平行移動さ
せる平行移動部とからなり、前記貼付板の基準面と前記
基準板との間に、互いの間隔を一定に保つセンサを設け
たことを特徴とする。

【００１７】本発明により、センサで貼付板の基準面と
基準板とを平行に維持する。このとき、基準面と基準板
との間隔をセンサによって非接触状態で平行に維持する
場合は、これら基準面と基準板との間にゴミやキズがあ
っても、基準面と基準板との平行状態が保たれる。

【００１８】基準面と基準板とを互いに接触させて平行
を維持する場合も、センサによって平行になっているか
否かを見るため、これら基準面と基準板との間にゴミや
キズがあれば、平行状態にないことが分かり、ゴミ等を
除去することによって基準面と基準板との平行状態が保
たれる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施形態を添付
図面に基づいて説明する。

【００２０】［第１の実施形態］図１は本実施形態に係
るインゴット方位測定装置２１を示す要部正面図であ
る。このインゴット方位測定装置２１は前記従来のイン
ゴット方位測定装置１とほぼ同様の構成を有している。
即ち、このインゴット方位測定装置２１は主に、装置本
体２２と、この装置本体２２に設けられた平行移動機構
２３とから構成されている。

【００２１】装置本体２２は主に、測角器（図示せず）
と支持台部２４とから構成されている。支持台部２４
は、支持板２５と位置決め用腕部２６とから構成されて
いる。平行移動機構２３は、基準板２８と平行移動部２
９とから構成されている。平行移動部２９は、２本のレ
ール３０と移動板３１とつまみ（図示せず）とから構成
されている。移動板３１の上側に貼付板１９が取り付け
られ、この貼付板１９の上側にインゴット１８が取り付
けられる。これらの構成は前記従来のインゴット方位測
定装置１とほぼ同様である。

【００２２】そして、本実施形態の基準板２８は、貼付
板１９と直接に接触しないように配設されている。基準
板２８にはセンサ装着穴３３が設けられている。このセ
ンサ装着穴３３は、基準板２８のうち、前記貼付板１９
の基準面１９Ａと対向する位置に設けられている。この
センサ装着穴３３の内部には、貼付板１９の基準面１９
Ａに面してセンサ３４が装着されている。このセンサ３
４は、貼付板１９の基準面１９Ａと基準板２８との間隔
を測定するためのものである。このセンサ３４で基準面
１９Ａと基準板２８との間隔を測定し、その間隔が一定
に保たれていることを確認する。これにより、貼付板１
９を平行移動機構２３で移動させても、貼付板１９の基
準面１９Ａを基準板２８に対して常に正確な平行状態に
維持することができるようになる。

【００２３】なお、センサ３４としては所定間隔を測定
できる公知のセンサを用いる。例えば、レーザ光等の光
や超音波等を用い、対象物に反射した光等を検出して距
離を測定するセンサや、間隔の変化を静電容量の変化と
して測定できるセンサ等がある。また、前記センサ装着
穴３３及びセンサ３４は、貼付板１９の基準面１９Ａに
沿って１個だけ設けても、２個以上設けてもよい。セン
サ３４を２個以上設けると、基準面１９Ａと基準板２８
との間の平行状態をより正確に維持することができるよ
うになる。

【００２４】以上のように構成されたインゴット方位測
定装置２１では、次のようにして複数のインゴット１８
が貼付板１９上に並列に貼付して固定される。

【００２５】まず、貼付板１９が、その基準面１９Ａを
基準板２８に対向させた状態で、一定間隔を保って移動
板３１上に取り付けられる。このとき、貼付板１９はそ
の基準面１９Ａが基準板２８に対して正確な平行状態に
なるように、センサ３４で確認しながら調整される。貼
付板１９が基準板２８に対して正確な平行状態になった
ところで貼付板１９が移動板３１に固定される。

【００２６】次いで、インゴット１８の先端部が位置決
め用腕部２６に当接することで、このインゴット１８が
大雑把に位置決めされ、その後Ｘ線で正確に位置決めさ
れて、貼付板１９上に貼付して固定される。

【００２７】次いで、つまみで移動板３１と共に貼付板
１９が移動され、次のインゴット１８が取り付けられ
る。この貼付板１９の移動の際には、その基準面１９Ａ
は基準板２８に接触せずに一定間隔が保たれる。移動後
であってインゴット１８の固定前に、センサ３４で基準
面１９Ａと基準板２８との間隔及び平行状態が再確認さ
れる。

【００２８】ところで、インゴット１８は基準板２８を
基準として貼付板１９に取り付けられる。即ち、インゴ
ット１８の結晶格子面を基準板２８に対して一定角度に
設定した状態で、インゴット１８が貼付板１９に取り付
けられる。このとき、貼付板１９の基準面１９Ａは基準
板２８に対して正確に平行状態になっているので、結果
的に貼付板１９の基準面１９Ａに対してインゴット１８
の結晶格子面を一定角度に設定することになる。

【００２９】このように、センサ３４で基準面１９Ａと
基準板２８との間隔及び平行状態を正確に保ってインゴ
ット１８の結晶格子面と貼付板１９の基準面１９Ａとが
間接的に一定角度に合わされた状態で、インゴット１８
が貼付板１９に固定される。次のインゴット１８も前記
同様の処理で固定される。

【００３０】そして、複数のインゴット１８が貼付板１
９の上側面に取り付けられた状態で、この貼付板１９ご
とカット装置（図示せず）に装着される。そして、各イ
ンゴット１８は貼付板１９の基準面１９Ａを基準にして
結晶格子面とカット面とが一定角度を保った状態でカッ
トされる。

【００３１】以上のように、貼付板１９の基準面１９Ａ
と基準板２８との間を正確に平行状態に保つことができ
るので、インゴット１８を、その結晶格子面が貼付板１
９の基準面１９Ａに対して正確に一定角度に保った状態
で、インゴット１８を貼付板１９に取り付けることがで
きるようになる。この際に、基準面１９Ａや基準板２８
の表面にゴミやキズがある場合でも、基準面１９Ａと基
準板２８との間を正確に平行状態に保つことができ、イ
ンゴット１８の結晶格子面を貼付板１９の基準面１９Ａ
に対して正確に一定角度に保つことができるようにな
る。

【００３２】［第２の実施形態］以下に、本発明の第２
の実施形態を図２に基づいて説明する。本実施形態のイ
ンゴット方位測定装置４１の全体構成は、前記第１の実
施形態のインゴット方位測定装置２１とほぼ同様である
ため、同一部材には同一符号を付してその説明を省略す
る。

【００３３】本実施形態の特徴は平行移動機構４２にあ
る。この平行移動機構４２は、基準板４３と平行移動部
４４とから構成されている。平行移動部４４は、２本の
レール４５と移動板４６とつまみ（図示せず）とから構
成されている。

【００３４】基準板４３は、第１の実施形態の基準板２
８と比較して小さく形成されている。

【００３５】移動板４６は、全体をほぼ平板状に形成さ
れると共に、基準板４３側端部に立上げ壁４７が形成さ
れている。この立上げ壁４７は、移動板４６の上側に載
置された貼付板１９よりも少し高い程度に形成されてい
る。立上げ壁４７にはセンサ装着穴４９が設けられてい
る。このセンサ装着穴４９は、立上げ壁４７のうち、移
動板４６に載置された貼付板１９の基準面１９Ａに面し
て設けられている。このセンサ装着穴４９の内部には、
貼付板１９の基準面１９Ａに面してセンサ５０が設けら
れている。このセンサ５０は、基準面１９Ａが立上げ壁
４７に密着しているか否かを見るためのものである。基
準面１９Ａや立上げ壁４７にゴミが付着していたり、キ
ズがあったりすると、基準面１９Ａが立上げ壁４７に密
着せず、センサ５０で平行状態が損われていることを確
認できる。

【００３６】移動板４６の基準板４３側端部には、前記
立上げ壁４７と共に、下方へ垂下して垂下壁５１が形成
されている。この垂下壁５１は基準板４３に面して形成
されている。この垂下壁５１の基準板４３側の面にはセ
ンサ５２が設けられている。このセンサ５２は、基準板
４３との間隔を確認するためのもので、移動板４６が基
準板４３に対して正確な間隔及び平行状態を保っている
かを確認できる。

【００３７】そして、センサ５０で貼付板１９の基準面
１９Ａが立上げ壁４７に密着していることを確認し、セ
ンサ５２で垂下壁５１が基準板４３との間隔を一定に保
って且つ平行状態になっていることを確認する。これに
より、貼付板１９の基準面１９Ａと基準板４３とを正確
な平行状態に維持することができるようになる。

【００３８】この結果、前記第１の実施形態と同様の作
用、効果を奏することができるようになる。

【００３９】［変形例］前記各実施形態では、各センサ
３４，５０，５２として非接触型のセンサを用いたが、
接触型のセンサを用いてもよい。この接触型のセンサと
しては、接触と非接触とでスイッチのオンオフを行うも
のや、電流が流れるもの等の公知のセンサを用いる。こ
のセンサを用いて基準面と基準板との平行状態を監視
し、これら基準面と基準板との間にゴミやキズがあって
平行状態にない場合はすぐにそれを是正する。これによ
り、基準面と基準板との平行状態が保たれる。

【００４０】

【発明の効果】以上、詳述したように、本発明に係るイ
ンゴット方位測定装置によれば、貼付板の基準面と基準
板との間に、互いの間隔を一定に保つセンサを設けたの
で、貼付板の基準面を基準板に対して正確に平行に保つ
ことができるようになる。このとき、非接触状態で平行
を監視するセンサを用いる場合には基準面と基準板とは
互いに接触しないため、ゴミやキズがあっても、基準面
と基準板との平行状態が保たれる。

【００４１】接触状態で平行を監視するセンサを用いる
場合には、基準面又は基準板にキズ等があって互いにこ
れらが互いに平行状態になっていないことがすぐに分か
り、それを是正することで、基準面と基準板との平行状
態が保たれる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係るインゴット方位測
定装置を示す要部正面図である。

【図２】本発明の第２実施形態に係るインゴット方位測
定装置を示す要部正面図である。

【図３】従来のインゴット方位測定装置を示す正面図で
ある。

【図４】従来のインゴット方位測定装置を示す平面図で
ある。

【符号の説明】

１９:貼付板、１９Ａ:基準面、２１:インゴット方位測
定装置、２２:装置本体、２３:平行移動機構、２４:支
持台部、２５:支持板、２６:位置決め用腕部、２８:基
準板、２９:平行移動部、３３:センサ装着穴、３４:セ
ンサ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 結晶性試料のインゴットの有する結晶格
   子面の方位を測定し、その結晶格子面と貼付板の基準面
   とを一定角度に保った状態で前記インゴットを貼付板に
   固定すると共に、装置本体に備えた平行移動機構で前記
   貼付板を正確に平行移動させ、次のインゴットを、その
   結晶格子面と貼付板の基準面とを一定角度に保った状態
   で前記貼付板に固定するインゴット方位測定装置におい
   て、 前記平行移動機構が、装置本体側に設けられ前記貼付板
   の正確な移動の基準となる基準板と、前記貼付板を支持
   した状態でこの貼付板の基準面と前記基準板とを対向さ
   せこの基準板に対して貼付板を正確に平行移動させる平
   行移動部とからなり、 前記貼付板の基準面と前記基準板との間に、互いの間隔
   を一定に保つセンサを設けたことを特徴とするインゴッ
   ト方位測定装置。