JPH09260569A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
樹脂封止型半導体装置Info
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- JPH09260569A JPH09260569A JP8067626A JP6762696A JPH09260569A JP H09260569 A JPH09260569 A JP H09260569A JP 8067626 A JP8067626 A JP 8067626A JP 6762696 A JP6762696 A JP 6762696A JP H09260569 A JPH09260569 A JP H09260569A
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- Japan
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- lead
- resin
- semiconductor device
- semiconductor chip
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- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、リードの自己インダクタンス及び
自己キャパシタンスを増大させることなく、リードの強
度を増強させる事により、高歩留まり、かつ、高性能な
樹脂封止型半導体装置を提供する事である。 【解決手段】 インナーリードの接着剤の付いていない
部分に捻り加工が施されている事を特徴とする。
自己キャパシタンスを増大させることなく、リードの強
度を増強させる事により、高歩留まり、かつ、高性能な
樹脂封止型半導体装置を提供する事である。 【解決手段】 インナーリードの接着剤の付いていない
部分に捻り加工が施されている事を特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂封止型半導体
装置に関するものであり、特に半導体装置の組立技術に
使用されるものである。
装置に関するものであり、特に半導体装置の組立技術に
使用されるものである。
【0002】
【従来の技術】電極となるパッドが中央に配置されてい
るLOC(Lead On Chip)構造を有する樹
脂封止型半導体装置の従来の樹脂封止工程を図を用いて
説明する。
るLOC(Lead On Chip)構造を有する樹
脂封止型半導体装置の従来の樹脂封止工程を図を用いて
説明する。
【0003】図3の(1)に示すように、配線となるリ
ード310が、接着剤302により半導体素子が形成さ
れている半導体チップ301の上に固定されており、ワ
イヤーボンディングとなるワイヤー306を介して、半
導体チップ301の上に形成された電極となるパッド3
05に電気的に接続されている。また、図3の(2)
は、図3の(1)に示される半導体装置の正面図を、図
3の(3)は、図3の(1)に示される半導体装置のワ
イヤー306部分の拡大斜視図を示している。
ード310が、接着剤302により半導体素子が形成さ
れている半導体チップ301の上に固定されており、ワ
イヤーボンディングとなるワイヤー306を介して、半
導体チップ301の上に形成された電極となるパッド3
05に電気的に接続されている。また、図3の(2)
は、図3の(1)に示される半導体装置の正面図を、図
3の(3)は、図3の(1)に示される半導体装置のワ
イヤー306部分の拡大斜視図を示している。
【0004】次に、図4の(1)に示すように、該半導
体装置を型415に入れ、この型415に設けられた樹
脂注入穴425から樹脂を注入する。また、図4の
(2)は図4の(1)におけるA断面図を、図4の
(3)は図4におけるB断面図を示している。
体装置を型415に入れ、この型415に設けられた樹
脂注入穴425から樹脂を注入する。また、図4の
(2)は図4の(1)におけるA断面図を、図4の
(3)は図4におけるB断面図を示している。
【0005】次に、図5に示される様に、注入された樹
脂が固まった後、型415を取り外す。また、リード5
10において、樹脂507に覆われた部分を特にインナ
ーリード503、樹脂507に覆われていない外側の部
分を特にアウターリード508という。
脂が固まった後、型415を取り外す。また、リード5
10において、樹脂507に覆われた部分を特にインナ
ーリード503、樹脂507に覆われていない外側の部
分を特にアウターリード508という。
【0006】型415を取り外した後、アウターリード
508の余分な部分を切断し、切断されずに残ったアウ
ターリード508を所望の形状に曲げ加工(図示せず)
する事により樹脂封止型半導体装置が形成される。
508の余分な部分を切断し、切断されずに残ったアウ
ターリード508を所望の形状に曲げ加工(図示せず)
する事により樹脂封止型半導体装置が形成される。
【0007】また、図6の(1)に示す様に、樹脂を注
入する際、半導体チップ601の上面に固定されたリー
ド610が障害となる為、かつ、半導体チップ601と
型616との距離a及びbが異なる為に、半導体チップ
601の上面での樹脂の注入速度と、半導体チップ60
1の下面でのそれが異なる。この樹脂の注入速度の異差
のため、半導体チップ601及びリード610にねじれ
応力620がかかる。特に、リード610は0.125
mmから0.2mmと非常に薄い金属板から形成されて
いるので上下方向の強度が弱い。この為、該応力620
によりリード610が変形し、半導体チップ601が傾
いてしまう。
入する際、半導体チップ601の上面に固定されたリー
ド610が障害となる為、かつ、半導体チップ601と
型616との距離a及びbが異なる為に、半導体チップ
601の上面での樹脂の注入速度と、半導体チップ60
1の下面でのそれが異なる。この樹脂の注入速度の異差
のため、半導体チップ601及びリード610にねじれ
応力620がかかる。特に、リード610は0.125
mmから0.2mmと非常に薄い金属板から形成されて
いるので上下方向の強度が弱い。この為、該応力620
によりリード610が変形し、半導体チップ601が傾
いてしまう。
【0008】また、図6の(2)に示す様に、近年の半
導体装置の多機能化により半導体チップ601の幅Wを
含めたチップ面積が大きくなる傾向にある。また、ワイ
ヤーボンディングの接続技術の制約からワイヤー606
の長さは4mm程度が限界である。この為、チップ面積
が大きくなると必然的にリード610を長くしなければ
ならないので、リード610の上下方向の強度は一層弱
くなる傾向にある。また、リード610を長くする事
は、リード610の自己インダクタンス及び自己キャパ
シタンスの増大を招き、半導体装置の特性劣化の原因と
もなる。
導体装置の多機能化により半導体チップ601の幅Wを
含めたチップ面積が大きくなる傾向にある。また、ワイ
ヤーボンディングの接続技術の制約からワイヤー606
の長さは4mm程度が限界である。この為、チップ面積
が大きくなると必然的にリード610を長くしなければ
ならないので、リード610の上下方向の強度は一層弱
くなる傾向にある。また、リード610を長くする事
は、リード610の自己インダクタンス及び自己キャパ
シタンスの増大を招き、半導体装置の特性劣化の原因と
もなる。
【0009】この問題を解決するために、リード610
を厚くする事によりリード610の上下方向の強度を増
強する方法がある。しかし、リード610を厚くする
と、前述したリード610の自己インダクタンス及び自
己キャパシタンスの増大を招き、半導体装置の特性が劣
化するだけではなく、動作不能となる事もある。
を厚くする事によりリード610の上下方向の強度を増
強する方法がある。しかし、リード610を厚くする
と、前述したリード610の自己インダクタンス及び自
己キャパシタンスの増大を招き、半導体装置の特性が劣
化するだけではなく、動作不能となる事もある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上述の様に、樹脂注入
工程におけるリードの変形を抑制する為、リードの強度
を増強する必要がある。この為、リードを厚くしていた
が、リードの自己インダクタンス及び自己キャパシタン
スの増大を招き、半導体装置の特性の劣化を招いてい
た。
工程におけるリードの変形を抑制する為、リードの強度
を増強する必要がある。この為、リードを厚くしていた
が、リードの自己インダクタンス及び自己キャパシタン
スの増大を招き、半導体装置の特性の劣化を招いてい
た。
【0011】本発明は、リードの自己インダクタンス及
び自己キャパシタンスを増大させることなく、リードの
強度を増強させる事により、高歩留まり、かつ、高性能
な樹脂封止型半導体装置を提供する事を目的とする。
び自己キャパシタンスを増大させることなく、リードの
強度を増強させる事により、高歩留まり、かつ、高性能
な樹脂封止型半導体装置を提供する事を目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上述のような目的を達成
するために、本発明は、前記インナーリードの前記接着
剤の付いていない部分に捻り加工が施されている事を特
徴とする。本発明は、インナーリードの一部分が捻り加
工されているのでリードの上下方向の強度を増強する事
ができ、インナーリードの幅が捻り加工によって見かけ
上細くなるので、自己インダクタンス及び自己キャパシ
タンスを低減する事が出来る。その上、捻り加工により
隣接するインナーリードの間隔も広くなるので、隣接す
るリード間の相互インダクタンス及び相互キャパシタン
スも低減する事が出来る。
するために、本発明は、前記インナーリードの前記接着
剤の付いていない部分に捻り加工が施されている事を特
徴とする。本発明は、インナーリードの一部分が捻り加
工されているのでリードの上下方向の強度を増強する事
ができ、インナーリードの幅が捻り加工によって見かけ
上細くなるので、自己インダクタンス及び自己キャパシ
タンスを低減する事が出来る。その上、捻り加工により
隣接するインナーリードの間隔も広くなるので、隣接す
るリード間の相互インダクタンス及び相互キャパシタン
スも低減する事が出来る。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態を図を用いて詳
細に説明する。インナーリードの捻り加工の方法を説明
する。図1の(1)に示すように、インナーリード10
3の先端部分と、その先端部分からある程度間隔をあけ
た部分の二箇所にストリッパー111により上下方向か
ら加圧する事によりインナーリード103を固定し、ロ
ーラーポンチ112を通す。
細に説明する。インナーリードの捻り加工の方法を説明
する。図1の(1)に示すように、インナーリード10
3の先端部分と、その先端部分からある程度間隔をあけ
た部分の二箇所にストリッパー111により上下方向か
ら加圧する事によりインナーリード103を固定し、ロ
ーラーポンチ112を通す。
【0014】次に、図1の(2)に示すように、ローラ
ーポンチ112を上下より押す事により、インナーリー
ド103に捻り加工を施す。また、インナーリード10
3の捻り加工が施されていない先端部分は、後述のワイ
ヤーボンディング工程の信頼性の確保のため、0.4m
m以上ある方が望ましい。
ーポンチ112を上下より押す事により、インナーリー
ド103に捻り加工を施す。また、インナーリード10
3の捻り加工が施されていない先端部分は、後述のワイ
ヤーボンディング工程の信頼性の確保のため、0.4m
m以上ある方が望ましい。
【0015】次に、図2に示すように、捻り加工された
インナーリード203の先端部分に接着剤202をが張
り付けられ、半導体チップ204の上に固定される。そ
の後、このインナーリード203と半導体チップ204
の上の電極となるパッド205がワイヤー206によっ
て電気的に接続される。その後、前述の樹脂封止工程に
よって樹脂封止型半導体装置が形成される。
インナーリード203の先端部分に接着剤202をが張
り付けられ、半導体チップ204の上に固定される。そ
の後、このインナーリード203と半導体チップ204
の上の電極となるパッド205がワイヤー206によっ
て電気的に接続される。その後、前述の樹脂封止工程に
よって樹脂封止型半導体装置が形成される。
【0016】また、ワイヤー206とインナーリード2
03とのボンディング性を考慮して、上述の捻り加工の
後に、インナーリード203の先端部分にのみ金または
銀メッキを施しても良い。更に、インナーリード203
の先端部分はフラットであるので、ワイヤー206を形
成する際のボンディング性には全く影響を与えない。
03とのボンディング性を考慮して、上述の捻り加工の
後に、インナーリード203の先端部分にのみ金または
銀メッキを施しても良い。更に、インナーリード203
の先端部分はフラットであるので、ワイヤー206を形
成する際のボンディング性には全く影響を与えない。
【0017】また、従来はインナーリード203の下面
(先端部分)に張り付けられた接着剤202は、多数本
のリード毎に張り付けられているのが一般的であるが、
捻り加工されたリードは上下方向の強度が向上するの
で、多数本のリードを一つの接着剤に張り付ける必要は
無く、複数本(多くとも2、3本)のリードを張り付け
ることがかのうとなる。この為、半導体チップ上におけ
る接着剤の塗布面積を節約する事が出来るので、該面積
を他に有効に使用する事が出来る。また、更にリードと
半導体チップとの接着安定性を確保したい場合、接着剤
はインナーリード203の先端部分だけでなく捻り加工
した部分を除いた他の部分にも張り付けても良い。
(先端部分)に張り付けられた接着剤202は、多数本
のリード毎に張り付けられているのが一般的であるが、
捻り加工されたリードは上下方向の強度が向上するの
で、多数本のリードを一つの接着剤に張り付ける必要は
無く、複数本(多くとも2、3本)のリードを張り付け
ることがかのうとなる。この為、半導体チップ上におけ
る接着剤の塗布面積を節約する事が出来るので、該面積
を他に有効に使用する事が出来る。また、更にリードと
半導体チップとの接着安定性を確保したい場合、接着剤
はインナーリード203の先端部分だけでなく捻り加工
した部分を除いた他の部分にも張り付けても良い。
【0018】また、インナーリードのねじれ加工の際の
ねじれの角度は90度のとき最も上下方向の強度が強い
が、物理的なひねりを加えるため金属疲労を引き起こす
事が考えられる。そのため、十分上下方向の強度が取れ
れば、ひねる角度は90度でなくでなく、例えば80
度、70度、60度等でも良い。
ねじれの角度は90度のとき最も上下方向の強度が強い
が、物理的なひねりを加えるため金属疲労を引き起こす
事が考えられる。そのため、十分上下方向の強度が取れ
れば、ひねる角度は90度でなくでなく、例えば80
度、70度、60度等でも良い。
【0019】また、インナーリード203の捻り加工を
施す部分にローラポンチ112を上下から押す事により
捻り加工する方法は、前述のアウターリードを曲げ加工
するのと同様な方法であるので、最も簡便で、かつ、現
状の組立技術を何等変更せず製造コストの増加を必要と
しない。
施す部分にローラポンチ112を上下から押す事により
捻り加工する方法は、前述のアウターリードを曲げ加工
するのと同様な方法であるので、最も簡便で、かつ、現
状の組立技術を何等変更せず製造コストの増加を必要と
しない。
【0020】本発明は、インナーリード203が捻り加
工されているので、インナーリード203の上下方向の
強度を増強する事が出来る。この為、従来樹脂封止工程
の際に起きていた注入樹脂の応力によるリードの変形を
抑制する事が出来る。また、インナーリード203が捻
り加工されているので、インナーリード203の幅が見
かけ上細くなる(W1>W2、図2参照)ので、インナ
ーリード203の自己インダクタンス及び自己キャパシ
タンスを低減する事が出来る。その上、捻り加工により
隣接するインナーリードの間隔も広くなる(X>Y、図
2参照)ので、隣接するリード間の相互インダクタンス
及び相互キャパシタンスも低減する事ができ、高歩留ま
り、かつ、高性能な樹脂封止型半導体装置を提供する事
が出来る。
工されているので、インナーリード203の上下方向の
強度を増強する事が出来る。この為、従来樹脂封止工程
の際に起きていた注入樹脂の応力によるリードの変形を
抑制する事が出来る。また、インナーリード203が捻
り加工されているので、インナーリード203の幅が見
かけ上細くなる(W1>W2、図2参照)ので、インナ
ーリード203の自己インダクタンス及び自己キャパシ
タンスを低減する事が出来る。その上、捻り加工により
隣接するインナーリードの間隔も広くなる(X>Y、図
2参照)ので、隣接するリード間の相互インダクタンス
及び相互キャパシタンスも低減する事ができ、高歩留ま
り、かつ、高性能な樹脂封止型半導体装置を提供する事
が出来る。
【0021】
【発明の効果】本発明は、以上の様に構成されているの
で、従来の組立技術の変更及び製造コストの増加を伴わ
ずに、インナーリードの上下方向の強度を増強する事が
でき、従来樹脂封止工程の際に起きていた注入樹脂の応
力によるリードの変形を抑制する事が出来る。また、イ
ンナーリードが捻り加工されているので、インナーリー
ドの幅が見かけ上細くなるので、インナーリードの自己
インダクタンス及び自己キャパシタンスを低減する事が
出来る。その上、捻り加工により隣接するインナーリー
ドの間隔も広くなるので、隣接するリード間の相互イン
ダクタンス及び相互キャパシタンスも低減する事がで
る。また、プロセスマージンも向上させる事で高歩留ま
り、かつ、高性能な樹脂封止型半導体装置を提供する事
が出来る。
で、従来の組立技術の変更及び製造コストの増加を伴わ
ずに、インナーリードの上下方向の強度を増強する事が
でき、従来樹脂封止工程の際に起きていた注入樹脂の応
力によるリードの変形を抑制する事が出来る。また、イ
ンナーリードが捻り加工されているので、インナーリー
ドの幅が見かけ上細くなるので、インナーリードの自己
インダクタンス及び自己キャパシタンスを低減する事が
出来る。その上、捻り加工により隣接するインナーリー
ドの間隔も広くなるので、隣接するリード間の相互イン
ダクタンス及び相互キャパシタンスも低減する事がで
る。また、プロセスマージンも向上させる事で高歩留ま
り、かつ、高性能な樹脂封止型半導体装置を提供する事
が出来る。
【図1】本発明の実施形態図。
【図2】本発明の実施形態図。
【図3】従来の樹脂封止工程図。
【図4】従来の樹脂封止工程図。
【図5】従来の樹脂封止工程図。
【図6】従来の樹脂封止工程図。
301、601 半導体チップ 202 接着剤 103、203 インナーリード 204 半導体チップ 205、305 パッド 206、306、606 ワイヤー 507 樹脂 508 アウターリード 310、510、610 リード 112 ローラーポンチ 415、615 型 620 応力 425 樹脂注入穴
Claims (2)
- 【請求項1】 半導体素子が形成されている半導体チッ
プと、前記半導体チップ上に形成され、前記半導体チッ
プ内の半導体素子と電気的に接続された電極として使用
するパッドと、ワイヤーにより前記半導体チップ上に形
成されたパッドと電気的に接続され、かつ、前記半導体
チップ上に接着材料により固定されたリードと、前記半
導体チップ表面と前記リードの一部が樹脂により封止さ
れている樹脂封止型半導体装置において、樹脂に封止さ
れている部分の先端を除いた部分のリードがひねり加工
されている事を特徴とする樹脂封止型半導体装置。 - 【請求項2】 捻り加工されたリードに張り付けられた
接着材料が複数本のリードを固定してる事を特徴とする
請求項1記載の樹脂封止型半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8067626A JPH09260569A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 樹脂封止型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8067626A JPH09260569A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 樹脂封止型半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09260569A true JPH09260569A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=13350389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8067626A Pending JPH09260569A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 樹脂封止型半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09260569A (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008140861A1 (en) * | 2007-05-11 | 2008-11-20 | Intersil Americas Inc. | Rf - coupled digital isolator |
| US8976561B2 (en) | 2012-11-14 | 2015-03-10 | Power Integrations, Inc. | Switch mode power converters using magnetically coupled galvanically isolated lead frame communication |
| US9019728B2 (en) | 2013-03-08 | 2015-04-28 | Power Integrations, Inc. | Power converter output voltage clamp and supply terminal |
| US9035435B2 (en) | 2012-11-14 | 2015-05-19 | Power Integrations, Inc. | Magnetically coupled galvanically isolated communication using lead frame |
| US9071146B2 (en) | 2013-03-13 | 2015-06-30 | Power Integrations, Inc. | AC voltage sensor with low power consumption |
| US9087713B2 (en) | 2012-10-12 | 2015-07-21 | Power Integrations, Inc. | Semiconductor device with shared region |
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| US9166486B2 (en) | 2013-03-08 | 2015-10-20 | Power Integrations, Inc. | Power converter using multiple controllers |
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