JPH10231939A - 片真空ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の真空ゲート弁よりも小型で構造が簡単
な片真空ゲートバルブを提供することを課題とする。 【解決手段】 片真空ゲートバルブの枠体10に開口部が
配設され、リフトシリンダ18Ａ，18Ｂによって枠体10に
沿って上下動されるゲート弁体14が枠体の前側に配設さ
れ、ゲート弁体14の下降位置でゲート弁体14が開口部に
向けて押圧されるように構成されている。ゲート弁体14
の前面に２個のリフトシリンダ18Ａ，18Ｂのシリンダチ
ューブ19Ａ，19Ｂが連結され、枠体10の上端部及び下端
部の各２箇所に板バネ15Ａ〜Ｄの一端部が固定され、板
バネ15Ａ〜Ｄの他端部が２個のリフトシリンダ18Ａ，18
Ｂのピストンロッド20ＡＵ，20ＢＵの両端部に連結され
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】集積回路（ＩＣ）やウェハー
等の材料を大気室と真空処理室との間を移送する場合
に、大気室と真空処理室との間のロードロック室を経て
行われる。本発明は、大気室とロードロック室との間の
移送通路を開閉する片真空バルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】真空処理室とロードロック室との間の移
送通路、及びロードロック室と大気室との間の移送通路
に、それぞれ真空ゲート弁（例えば実開昭６２−１９９
５７２号公報参照）が使用されていた。真空ゲート弁と
しては、弁箱内の前後２つの開口部の間にゲート組立体
が挿入され、ゲート組立体のゲート弁板をシリンダによ
り２つの開口部の間に挿入するときの力を利用して、ゲ
ート弁板が一方の開口部の弁座に押しつけられる。２つ
の開口部は弁箱の下方に配設され、シリンダは弁箱の上
方に配置されている。

【０００３】従来の真空ゲート弁は、ゲート組立体の構
成が相当複雑であり、しかも真空ゲート弁全体の高さ
が、シリンダの長さ又は開口部の高さの３倍を越え、体
積が大きかった。そして、真空処理室とロードロック室
との間の移送は、真空処理室とロードロック室とを真空
にした状態で行われるが、ロードロック室と大気室との
間の移送は、ロードロック室と大気室とを大気圧にした
状態で行われる。そして、ロードロック室は、大気室と
の間で物品を移送する時以外は、真空状態にされてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の真空
ゲート弁よりも小型で構造が簡単な片真空ゲートバルブ
を提供することを第１の課題とし、片真空ゲートバルブ
のゲート弁体前後の圧力差がゲート弁体の閉鎖に利用で
き、ゲート弁体のクランプ、アンクランプ時の塵の発生
を極めて少なくすることを第２の課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を達
成するために、片真空ゲートバルブにおいて、枠体に開
口部が配設され、リフトシリンダによって枠体に沿って
枠体から離れた状態で上下動されるゲート弁体が枠体の
前側に配設され、ゲート弁体の下降位置でゲート弁体が
開口部に向けて押圧されるように構成された片真空ゲー
トバルブにおいて、ゲート弁体の前面に２個のリフトシ
リンダのシリンダチューブが連結され、枠体の上端部及
び下端部の各２箇所に板バネの一端部が固定され、板バ
ネの他端部が２個のリフトシリンダのピストンロッドの
両端部に連結されたことを第１の構成とする。本発明
は、第１の構成において、枠体の上端部及び下端部の各
２箇所に規制部材が配設され、規制部材の長穴に２個の
リフトシリンダのピストンロッドの両端部がそれぞれ挿
通され、板バネによって２個のリフトシリンダのピスト
ンロッドの両端部が前方位置に付勢され、ゲート弁体が
枠体より所定距離だけ離れた状態を維持するようにされ
たことを第２の構成とする。本発明は、第１の構成又は
第２の構成において、各リフトシリンダの両ピストンロ
ッドにエア通路が形成され、各リフトシリンダのピスト
ンロッド上端の上ポートが一方のエア通路を介して各リ
フトシリンダの上側シリンダ室に連通され、各リフトシ
リンダのピストンロッド下端の下ポートが他方のエア通
路を介して各リフトシリンダの下側シリンダ室に連通さ
れたことを第３の構成とする。本発明は、第１の構成な
いし第３の構成において、開口部の両側の枠部材前面に
クランプシリンダのピストンロッド端が固定され、各ク
ランプシリンダのシリンダチューブの内側にクランプ爪
が突出して形成され、各リフトシリンダのシリンダチュ
ーブの外側に縦長のクランプ溝が形成され、ゲート弁体
の下降位置でクランプ爪がクランプ溝に係合され、クラ
ンプシリンダの作動によりゲート弁体が、前記板バネの
付勢力に抗して他部材と摺動することなく、開口部に向
けて押圧できるようにされたことを第４の構成とする。
本発明は、第４の構成において、クランプシリンダのピ
ストンロッド端がベースプレートを介して枠部材前面に
固定され、クランプシリンダのピストンロッドに２つの
エア通路が形成され、ベースプレートの閉ポートが前記
一方のエア通路を通してクランプシリンダの後シリンダ
室に連通され、ベースプレートの開ポートが前記他方の
エア通路を通してクランプシリンダの前シリンダ室に連
通されたことを第５の構成とする。本発明は、第１の構
成ないし第３の構成において、各リフトシリンダの両ピ
ストンロッドの上端及び下端の近傍に柔軟材製の封鎖具
が配置され、ゲート弁体が下降位置又は上昇位置にある
とき封鎖具によりリフトシリンダのシリンダチューブの
端部が封鎖されるようにされたことを第６の構成とす
る。

【０００６】

【発明の実施の形態】図１〜図４は本発明の片真空ゲー
トバルブの実施の形態を示す。図１に片真空バルブの全
体構造が示されている。図１(a) の前方が大気室であり
後方がロードロック室であり、図１(b) の右方が大気室
であり左方がロードロック室であり、図１(c) の下方が
大気室であり上方がロードロック室であり、また図１
(d) の上方が大気室であり下方がロードロック室であ
る。左枠部材10Ａ及び右枠部材10Ｂの上端面に板状の規
制部材11Ａ及び規制部材11Ｂを介して上枠部材10Ｃの左
端部及び右端部がボルト等によりそれぞれ連結されてい
る。そして、左枠部材10Ａ及び右枠部材10Ｂの下端面に
板状の規制部材11Ｃ及び規制部材11Ｄを介して下枠部材
10Ｄの左端部及び右端部がボルト等によりそれぞれ連結
されている。このようにして長方形の枠10が構成されて
いる。なお、左枠部材10Ａ、右枠部材10Ｂ、上枠部材10
Ｃ及び下枠部材10Ｄを直接連結して長方形の枠10を構成
し、枠10の上端部及び下端部に規制部材11Ａ〜11Ｄを連
結してもよい。枠10の内側下端に開口部枠12が装着され
ており、図１(a) において、ゲート弁体14の外枠と最も
内側の点線との間であって、ゲート弁体14の後側に配置
され、開口部枠12の厚みは枠10の厚みの約半分である。
開口部枠12の内側が開口部であり、開口部枠12の前面
は、ゲート弁体14が押圧される部分であり、弁座として
機能する。

【０００７】図１及び図２により、ゲート弁体14の取付
構造について説明する。本発明では、片真空ゲートバル
ブの高さを低くしコンパクトにするため、リフトシリン
ダ18のシリンダチューブ19がゲート弁体14の前面に連結
され、リフトシリンダ18のピストンロッド20がそれぞれ
枠10の上端部及び下端部に連結されている。本発明の実
施の形態では、２個のリフトシリンダ18Ａ（左）、18Ｂ
（右）のシリンダチューブ19Ａ、19Ｂがゲート弁体14の
前面の左端及び右端にボルト等により連結されている。
２個のリフトシリンダ18Ａ、18Ｂのシリンダチューブ19
Ａ、19Ｂのピストンロッド20ＡＵ（左上）、20ＡＤ（左
下、記号の記入は省略）、20ＢＵ（右上）、20ＢＤ（右
下）が枠10の上端部の左、下端部の左、上端部の右、下
端部の右に板バネ15Ａ、15Ｃ、15Ｂ、15Ｄを介してそれ
ぞれ連結されている。ゲート弁体14の取付構造は左右対
称であるので、ここでは右側について説明し、左側の符
号の付与及び説明は省略する。

【０００８】図２(a) 〜(c) に示されているように、板
状の規制部材11Ｂ（右上）の上面の右端部後部に直方体
の板バネ受16ＢＵが複数のボルトにより連結され、板バ
ネ受16ＢＵの前面に板バネ15Ｂの平坦な一端部がボル
ト、ワッシャを用いて固定されている。このとき板バネ
15Ｂは断面が縦方向に長くなるように配置されており、
ゲート弁体14・リフトシリンダ18Ａ・18Ｂを支持するの
に十分な強度を有している。板バネ15Ｂの他端は、前方
に半回転した形状に曲げられており、ボビン22ＢＵの筒
状部及び上下端のフランジ部に係合されている。

【０００９】板状の規制部材11Ｂの左方部の前寄りの位
置に、上下方向に貫通した長穴24ＢＵが、前後方向に長
く左右方向に短くなるように形成されている。ピストン
ロッド20ＢＵの上端部が長穴24ＢＵに挿通され、規制部
材11Ｂの上方位置でピストンロッド20ＢＵの上端部にボ
ビン22ＢＵが嵌合されている。ピストンロッド20ＢＵの
上端部の上下２個の環状溝に止め輪23ａ、23ｂが装着さ
れ、止め輪23ａ、23ｂによりボビン22ＢＵの上方位置及
び下方位置が規制されている。下側の止め輪23ｂと規制
部材11Ｂとの間には間隙があり、バネ板15Ｂの付勢力に
よりピストンロッド20ＢＵの上端部は長穴24ＢＵの中の
前方端に押圧され、規制部材11Ｂによりピストンロッド
20ＢＵの前方位置が規制されている。この規制により、
ゲート弁体14が枠体10よりも所定距離だけ前方に離れた
状態で上下動することとなる。ゲート弁体14及びリフト
シリンダ18Ａ、18Ｂの合計の重量の約１／４が、ピスト
ンロッド20ＢＵ、止め輪23ａ、ボビン22ＢＵ、バネ板15
Ｂ及び板バネ受け16ＢＵ、枠10の上端部によって支持さ
れている。

【００１０】図２(d) 〜(f) に示されているように、板
状の規制部材11Ｄ（右下）の下面の右端部後部に直方体
の板バネ受16ＢＤが２個のボルトにより連結され、板バ
ネ受16ＢＤの前面に板バネ15Ｄの平坦な一端部がボル
ト、ワッシャを用いて固定されている。板バネ15Ｄは、
板バネ15Ｂと同様に、断面が縦方向に長くなるように配
置され、また板バネ15Ｄの他端は、板バネ15Ｂの他端と
同様に、前方に半回転した形状に曲げられており、ボビ
ン22ＢＤの筒状部及び上下端のフランジ部に係合されて
いる。

【００１１】板状の規制部材11Ｄの左方部の前寄りの位
置に、上下方向に貫通した長穴24ＢＤが、前後方向に長
く左右方向に短くなるように形成されている。ピストン
ロッド20ＢＤの下端部が長穴24ＢＤに挿通され、規制部
材11Ｄの下方位置でピストンロッド20ＢＤの下端部にボ
ビン22ＢＤが嵌合されている。ピストンロッド20ＢＤの
下端部の上下２個の環状溝に止め輪23ｃ、23ｄが装着さ
れ、止め輪23ｃ、23ｄによりボビン22ＢＤの上方位置及
び下方位置が規制されている。上側の止め輪23ｃと規制
部材11Ｄとの間には間隙があり、バネ板15Ｄの付勢力に
よりピストンロッド20ＢＤの下端部は長穴24ＢＤの中の
前方端に押圧され、規制部材11Ｄによりピストンロッド
20ＢＤの前方位置が規制されている。ゲート弁体14及び
リフトシリンダ18Ａ、18Ｂの合計の重量の約１／４が、
ピストンロッド20ＢＤ、止め輪23ｃ、ボビン22ＢＤ、バ
ネ板15Ｄ及び板バネ受け16ＢＤ、枠10の下端部の右端に
よって支持されている。なお、ピストンロッド20ＢＤの
下方位置を規制する止め輪23ｂ及び23ｄについては、ど
ちらか一方を省略することができる。

【００１２】図４(a) に示されているように、リフトシ
リンダ18Ｂの両ピストンロッド20ＢＵ（右上）・20ＢＤ
（右下）に一方のエア通路26ａ（上側）及び他方のエア
通路26ｂ（下側）が形成されている。リフトシリンダ18
Ｂのピストンロッド20ＢＵ上端の上ポート27が一方のエ
ア通路26ａを介してリフトシリンダ19Ｂの上側シリンダ
室29と連通され、リフトシリンダ18Ｂのピストンロッド
20ＢＤ下端の下ポート28が他方のエア通路26ｂを介して
リフトシリンダ18Ｂの下側シリンダ室30に連通されてい
る。ピストン31の両側にはピストンロッド20ＢＵ及び20
ＢＤが連結され、ピストン31の外周環状溝にはロッドパ
ッキン32ｃが装着されている。シリンダチューブ19Ｂの
上下端部にはロッドパッキン32ａ，32ｂ、ガスケット33
ａ，33ｂ、カラー34ａ，34ｂ及び止め輪35ａ，35ｂ等が
それぞれ配設されている。リフトシリンダ18Ａの構造も
リフトシリンダ18Ｂと同じである。

【００１３】図１、図３及び図４(b),(c) により、ゲー
ト弁体14のクランプ（締めつけ，押圧, 閉）及びアンク
ランプ（締めつけ解除、押圧解除, 開）のための構造に
ついて説明する。ゲート弁体14のクランプ、アンクラン
プの構造は左右対称であるので、ここでは左側について
説明し、右側の符号の付与及び説明は省略する。前面視
で、開口部（開口部枠12の内側）の左側の左枠部材10Ａ
の前面にクランプシリンダ38Ａのピストンロッド（クラ
ンプロッド）39Ａが固定され、クランプシリンダ38Ａの
シリンダチューブ（クランプチューブ）40Ａの右側にク
ランプ爪41Ａが突出して形成されている。リフトシリン
ダ18Ａのシリンダチューブ19Ａの左側に縦長のクランプ
溝42Ａが形成され、ゲート弁体14の下降位置でクランプ
爪41Ａがクランプ溝42Ａに係合され、クランプシリンダ
38Ａの作動によりゲート弁体14が開口部枠12に向けて押
圧できるようにされている。

【００１４】図１(a) において、下降位置にあるゲート
弁体14の上下の中心線43上で、開口部の左側の左枠部材
10Ａの前面に、クランプシリンダ38Ａの段付のベースプ
レート44がボルトにより連結されている。図４(b),(c)
に示されているように、ピストンロッド39Ａの後端部が
ベースプレート44の横孔に嵌合され、ベースプレート44
の後面の凹部内でピストンロッド39Ａ後端の環状溝に止
め輪45が係合され、ピストンロッド39Ａの抜け出しが防
止されている。ベースプレート44の上下端に開口する２
つの雌ねじ孔に、変換ねじ47ａ，47ｂがそれぞれ上下方
向から螺合され、変換ねじ47ａ，47ｂの各基端がベース
プレート44より少々突出されている。変換ねじ47ａの上
端に閉ポート49が形成され、閉ポート49はピストンロッ
ド39Ａ内の一方のエア通路48ａを通して後シリンダ室51
に連通されている。変換ねじ47ｂの下端に開ポート50が
形成され、開ポート50はピストンロッド39Ａ内の他方の
エア通路48ｂを通して前シリンダ室52に連通されてい
る。

【００１５】シリンダチューブ40Ａの内面にピストン54
が摺動自在に嵌合され、ピストンロッド39Ａの前端部が
ピストン54の雌ねじに螺合され固定され、シリンダチュ
ーブ40Ａの前端部に前蓋53が配設されている。シリンダ
チューブ40Ａの後部にロッドカバー55が接続され、ロッ
ドカバー55の中央孔にピストンロッド39Ａが挿通され、
シリンダチューブ40Ａ内には回り止めガイド56が配設さ
れている。シリンダチューブ40Ａには後シリンダ室51,
前シリンダ室52に連通された雌ねじ孔が形成され、止め
ネジ58ａ，58ｂにより雌ねじ孔がそれぞれ封鎖され、止
めネジ58ｂはナットにより固定されている。止めネジ58
ａ，58ｂを緩めることにより、後シリンダ室51, 前シリ
ンダ室52内のエアを抜くことができる。なお、空気漏れ
防止のために、必要な箇所にピストンパッキン57、ロッ
ドパッキン59、ガスケット60、Ｏリング61、鋼球64が配
設されている。クランプシリンダ38Ｂの構造もクランプ
シリンダ38Ａと同じである。

【００１６】図１に示されているように、各リフトシリ
ンダ18Ａ，18Ｂの上側のピストンロッド20ＡＵ，20ＢＵ
の上端及び下側のピストンロッド下端の近傍に柔軟材製
の封鎖具63Ａ〜Ｄが配置されている。封鎖具63Ａ，63Ｂ
は、ゲート弁体14が上昇位置にあるとき、シリンダチュ
ーブ19Ａ，19Ｂの上端面に当接して、シリンダチューブ
19Ａ，19Ｂの上側シリンダ室29からのエアの漏洩を防止
する。同様に、封鎖具63Ｃ，63Ｄは、ゲート弁体14が下
降位置にあるとき、シリンダチューブ19Ａ，19Ｂの下端
面に当接して、シリンダチューブ19Ａ，19Ｂの下側シリ
ンダ室30からのエアの漏洩を防止する。また、ゲート弁
体14の後側の開口部枠12の前側と当接する部分の溝に、
枠状のシールゴム65が装着されている。

【００１７】本発明の片真空ゲートバルブの実施の形態
の作用について説明する。不図示の大気室（前方）とロ
ードロック室（後方）との間の通路に片真空ゲートバル
ブが配設され、ロードロック室の更に後方に通路（通路
Ｘ）を介して真空処理室が配置され、通路Ｘに真空ゲー
トバルブが配設されているとする。例えば、ウェハー等
の材料を大気室からロードロック室に搬入するとき、真
空ゲートバルブ及び片真空ゲートバルブを閉じた状態
で、先ずロードロック室に空気を入れ、ロードロック室
の圧力を上昇させて大気圧にする。こうしてゲート弁体
14の前後面の圧力が等しくなると、差圧による押圧力の
作用がなく、ゲート弁体14を移動させ易くなる。

【００１８】圧縮空気をクランプシリンダ38Ａ，38Ｂの
開ポート50から変換ねじ47ｂ内の通路、エア通路48ｂを
通して前シリンダ室52に流入させ、後シリンダ室51内の
エアをエア通路48ａ、変換ねじ47ａ内の通路、閉ポート
49を通して大気に排出する。空気圧によってクランプシ
リンダ38Ａ，38Ｂのシリンダチューブ40Ａが前方へ移動
し、シリンダチューブ40Ａの移動はクランプ爪41Ａ、リ
フトシリンダ18Ａ，18Ｂのクランク溝42Ａを介してゲー
ト弁体14に伝えられ、ゲート弁体14が前方へ移動する。
ゲート弁体14が前方へ移動するとき（後方へ移動すると
きも同様）、ゲート弁体14が他部材と摺動することがな
いので、クランプ時、アンクランプ時の塵の発生が極め
て少ない。ゲート弁体14の前方への移動により、リフト
シリンダ18Ａ，18Ｂのピストンロッド20ＡＵ，20ＢＵ等
の上端部及び下端部が、板バネ15Ａ〜Ｄの付勢力も作用
して、規制部材11Ａ〜Ｄの長穴24ＢＵ，24ＢＤ等の後端
位置から前端位置へ移動し、ゲート弁体14が前方へ所定
距離だけ移動したアンクランプ状態となる。その後は、
前シリンダ室52に圧縮空気を流入し続けなくても、板バ
ネ15Ａ〜Ｄの付勢力によってゲート弁体14のアンクラン
プ状態は維持される。

【００１９】ゲート弁体14のアンクランプ状態で、圧縮
空気をリフトシリンダ18Ａ，18Ｂのピストンロッド20Ａ
Ｕ，20ＢＵの上端の上ポート27から、一方のエア通路26
ａを通して上側シリンダ室29に流入させ、下側シリンダ
室30のエアを他方のエア通路26ｂを通して下ポート28か
ら大気に排出させる。空気圧によってシリンダチューブ
19Ａ，19Ｂ及びゲート弁体14が上方へ移動し、クランプ
爪41Ａはクランプ溝42Ａ内をスライドする。ゲート弁体
14の上昇により開口部枠12内の開口部が半分程開くと、
クランプ爪41Ａとクランプ溝42Ａとの係合が解除され、
その状態でゲート弁体14は引き続き上昇する。ゲート弁
体14が上昇するとき（下降するときも同様）、ゲート弁
体14が枠体10よりも所定距離だけ前方位置に維持され、
ゲート弁体14が他部材と摺動しないので、摩擦や塵の発
生が極めて少ない。ゲート弁体14が上昇位置（上端位
置）に到達すると、上方位置の封鎖具63Ａ，63Ｂがシリ
ンダチューブ19Ａ，19Ｂの上端面に押圧され、シリンダ
チューブ19Ａ，19Ｂの上側シリンダ室29から漏洩しよう
とするエアの流れを防止する。ゲート弁体14がこうした
上昇位置にあるときに、ウェハー等の材料を大気室から
ロードロック室に搬入する。

【００２０】ウェハー等の材料が大気室からロードロッ
ク室に搬入された後に、圧縮空気をリフトシリンダ18
Ａ，18Ｂのピストンロッドの下端の下ポート28から、他
方のエア通路26ｂを通して下側シリンダ室30に流入さ
せ、上側シリンダ室29のエアを一方のエア通路26ａを通
して上ポート27から大気中に排出させる。空気圧によっ
てシリンダチューブ19Ａ，19Ｂ及びゲート弁体14が下方
へ移動し、開口部枠12内の開口部が半分程閉じると、ク
ランプ溝42Ａにクランプ爪41Ａが係合される。板バネ15
Ａ〜Ｄの付勢力によりリフトシリンダ18Ａ，18Ｂのピス
トンロッド20ＡＵ、20ＢＵ等が前方位置（アンクランプ
状態）にあり、クランプシリンダ38Ａ，38Ｂのクランプ
爪41Ａも前方位置にあるので、クランプ溝42Ａとクラン
プ爪41Ａとの係合が円滑に行われる。その状態でゲート
弁体14は引き続き下降する。ゲート弁体14が下降位置
（下端位置）に到達すると、下方位置の封鎖具63Ｃ，63
Ｄがシリンダチューブ19Ａ，19Ｂの下端面に押圧され、
シリンダチューブ19Ａ，19Ｂの下側シリンダ室30から漏
洩しようとするエアの流れを防止する。

【００２１】ゲート弁体14がこうした下降位置にあると
きに、圧縮空気をクランプシリンダ38Ａ，38Ｂの閉ポー
ト49から変換ねじ47ａ内の通路、エア通路48ａを通して
後シリンダ室51に流入させ、前シリンダ室52内のエアを
エア通路48ｂ、変換ねじ47ｂ内の通路、閉ポート50を通
して大気中に排出する。空気圧によってクランプシリン
ダ38Ａ，38Ｂのシリンダチューブ40Ａが後方へ移動し、
シリンダチューブ40Ａの移動はクランプ爪41Ａ、リフト
シリンダ18Ａ，18Ｂのクランク溝42Ａを介してゲート弁
体14に伝えられ、ゲート弁体14が後方へ移動する。ゲー
ト弁体14の後方への移動により、ゲート弁体14の後側の
シールゴム65が開口部枠12の前面に押圧され、片真空ゲ
ートバルブが閉鎖され、クランプ状態となる。なお、ゲ
ート弁体14の後方への移動により、リフトシリンダ18
Ａ，18Ｂのピストンロッド20ＡＵ，20ＢＵ等の上端部及
び下端部が、板バネ15Ａ〜Ｄの付勢力に抗して、規制部
材11Ａ〜Ｄの長穴24ＢＵ，24ＢＤ等の前端位置から後方
位置へ移動する。

【００２２】ゲート弁体14が下方位置でクランプ状態の
とき、ロードロック室を減圧し、ロードロック室が真空
状態となったとき、真空ゲートバルブを開いて、ウェハ
ー等の材料をロードロック室から真空処理室へ搬入し、
真空ゲートバルブを閉じる。ロードロック室が真空状態
のとき、ゲート弁体14には大気室とロードロック室との
差圧が作用し、ゲート弁体14の後側のシールゴム65が開
口部枠12の前面に一層強く押圧される。そして、こうし
た状態のとき、クランプシリンダ38Ａ，38Ｂの後シリン
ダ室51への圧縮空気の流入を停止しても、ゲート弁体14
のクランプ状態を維持することが可能である。

【００２３】

【発明の効果】請求項１〜３の本発明では、ゲート弁体
の前面に２個のリフトシリンダのシリンダチューブが連
結され、枠体の上端部及び下端部の各２箇所に板バネの
一端部が固定され、板バネの他端部が２個のリフトシリ
ンダのピストンロッドの両端部に連結された片真空ゲー
トバルブとなした。従って、従来の真空ゲート弁よりも
小型で構造が簡単で、ゲート弁体を枠体から離れた状態
で上下動することができる。請求項４〜５の発明では、
開口部の両側の枠部材前面にクランプシリンダのピスト
ンロッド端が固定され、各クランプシリンダのシリンダ
チューブの内側にクランプ爪が突出して形成され、各リ
フトシリンダのシリンダチューブの外側に縦長のクラン
プ溝が形成され、ゲート弁体の下降位置でクランプ爪が
クランプ溝に係合され、クランプシリンダの作動により
ゲート弁体が、板バネの付勢力に抗して他部材と摺動す
ることなく、開口部に向けて押圧できるようにされてい
る。ゲート弁体のクランプ、アンクランプ時に摺動部を
もたないので、塵の発生が極めて少なく、クリーンルー
ムを汚染することなく、またゲート弁体の閉鎖後に、ゲ
ート弁体前後の圧力差をゲート弁体の閉鎖方向に作用さ
せることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の片真空ゲートバルブの実施の形
態の全体構造を示し、図１(a)は正面図であり、図１(b)
は左側面図であり、図１(c) は上面図であり、図１(d)
は底面図である。

【図２】図２(a) は図１(c) の一部拡大図であり、図２
(b) は図１(a) の一部拡大図であり、図２(c) は図２
(b) 部分の説明図であり、図２(d) は図１(a) の一部拡
大図であり、図２(e) は図１(d) の一部拡大図であり、
図２(f) は図２(d) 部分の説明図である。

【図３】図３(a) は図１(c) の一部拡大図であり、図３
(b) は図１(a) の一部拡大図であり、図３(c) は図１
(b) の一部拡大図である。

【図４】図４(a) は本発明の片真空ゲートバルブの実施
に使用するリフトシリンダ一部断面正面図であり、図４
(b) は本発明の片真空ゲートバルブの実施に使用するク
ランプシリンダの縦断側面図であり、図４(c) のクラン
プシリンダの一部縦断上面図である。

【符号の説明】

10 枠体 14 ゲート弁体 15Ａ〜Ｄ 板バネ 18Ａ，Ｂ リフトシリンダ 19Ａ，Ｂ シリンダチューブ 20ＡＵ，ＢＵ，ＢＤ ピストンロッド 38Ａ，Ｂ クランプシリンダ 39Ａ ピストンロッド 40Ａ シリンダチューブ 41Ａ クランプ爪 42Ａ クランプ溝

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 枠体に開口部が配設され、リフトシリン
   ダによって枠体に沿って枠体から離れた状態で上下動さ
   れるゲート弁体が枠体の前側に配設され、ゲート弁体の
   下降位置でゲート弁体が開口部に向けて押圧されるよう
   に構成された片真空ゲートバルブにおいて、ゲート弁体
   の前面に２個のリフトシリンダのシリンダチューブが連
   結され、枠体の上端部及び下端部の各２箇所に板バネの
   一端部が固定され、板バネの他端部が２個のリフトシリ
   ンダのピストンロッドの両端部に連結されたことを特徴
   とする片真空ゲートバルブ。
2. 【請求項２】 枠体の上端部及び下端部の各２箇所に規
   制部材が配設され、規制部材の長穴に２個のリフトシリ
   ンダのピストンロッドの両端部がそれぞれ挿通され、板
   バネによって２個のリフトシリンダのピストンロッドの
   両端部が前方位置に付勢され、ゲート弁体が枠体よりも
   所定距離だけ離れた状態を維持するようにされた請求項
   １記載の片真空ゲートバルブ。
3. 【請求項３】 各リフトシリンダの両ピストンロッドに
   エア通路が形成され、各リフトシリンダのピストンロッ
   ド上端の上ポートが一方のエア通路を介して各リフトシ
   リンダの上側シリンダ室に連通され、各リフトシリンダ
   のピストンロッド下端の下ポートが他方のエア通路を介
   して各リフトシリンダの下側シリンダ室に連通された請
   求項１又は２記載の片真空ゲートバルブ。
4. 【請求項４】 開口部の両側の枠部材前面にクランプシ
   リンダのピストンロッド端が固定され、各クランプシリ
   ンダのシリンダチューブの内側にクランプ爪が突出して
   形成され、各リフトシリンダのシリンダチューブの外側
   に縦長のクランプ溝が形成され、ゲート弁体の下降位置
   でクランプ爪がクランプ溝に係合され、クランプシリン
   ダの作動によりゲート弁体が、前記板バネの付勢力に抗
   して他部材と摺動することなく、開口部に向けて押圧で
   きるようにされた請求項１ないし３のいずれか１つに記
   載された片真空ゲートバルブ。
5. 【請求項５】 クランプシリンダのピストンロッド端が
   ベースプレートを介して枠部材前面に固定され、クラン
   プシリンダのピストンロッドに２つのエア通路が形成さ
   れ、ベースプレートの閉ポートが前記一方のエア通路を
   通してクランプシリンダの後シリンダ室に連通され、ベ
   ースプレートの開ポートが前記他方のエア通路を通して
   クランプシリンダの前シリンダ室に連通された請求項４
   記載の片真空ゲートバルブ。
6. 【請求項６】 各リフトシリンダの両ピストンロッドの
   上端及び下端の近傍に柔軟材製の封鎖具が配置され、ゲ
   ート弁体が下降位置又は上昇位置にあるとき封鎖具によ
   りリフトシリンダのシリンダチューブの端部が封鎖され
   るようにされた請求項１ないし３のいずれか１つに記載
   された片真空ゲートバルブ。