JPH10236636A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 下側面にフィルムが張り付けられている基板を、搬送ローラ群により構成される基板搬送面に沿って搬送し、且つ、所定位置で停止させる工程と、前記停止位置の上方に、反転アームの吸着面を下向きにして位置させると共に、該吸着面に負圧を印加させる工程と、前記停止位置にある基板下方の、搬送ローラ間の隙間から軟質部材を上昇させて、前記基板を前記基板搬送面よりも上方に持ち上げ、前記反転アームの吸着面に押し付けて吸着させる工程と、基板を吸着したままで、前記反転アームを１８０°回転し、該基板を、前記フィルム側が上面になるように反転させる工程と、を有してなる基板反転方法。
2. 基板搬送方向に適宜間隔で配置された複数の搬送ローラを含んで構成され、該搬送ローラの上面により構成される基板搬送面に沿って、下側面にフィルムが張り付けられている基板を搬送可能、且つ、反転開始位置で搬送停止可能とされた搬送装置と、自由端側に、前記基板を吸着可能とされた吸着装置を備えると共に、前記吸着装置の基板吸着面が、前記反転開始位置にある基板の上面に対向して、これと平行な下向きとなる吸着位置、及び、基板を下方から支える、ほぼ水平な解放位置の間で、基端側を中心として１８０°回転自在とされた反転アームと、前記解放位置での反転アームにおける前記基板吸着面から前記基板が受け渡される基板受け装置と、前記反転開始位置における基板吸着面の下方、且つ、搬送ローラ間位置に配置されると共に基板搬送面と平行な基板支持面を上端に備え、該基板上端面が前記基板搬送面よりも下方の待機位置、及び、上方の持ち上げ位置の間で上下動自在とされた基板持ち上げ装置と、を有してなり、前記吸着装置は、反転アームが吸着位置にあるとき、基板吸着面が基板搬送面と平行状態で、前記基板持上げ装置により持上げられる基板を介して一定範囲内で押上げ可能に構成されたことを特徴とする基板反転装置。
3. 請求項２において、前記搬送装置は、搬送されてくる基板の先端を検出して、該基板の大きさに対応して、該基板を前記反転開始位置に停止させる位置決め停止装置を含んで構成されたことを特徴とする基板反転装置。