JPH10239589A - 干渉顕微鏡装置 - Google Patents
干渉顕微鏡装置Info
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- JPH10239589A JPH10239589A JP9046390A JP4639097A JPH10239589A JP H10239589 A JPH10239589 A JP H10239589A JP 9046390 A JP9046390 A JP 9046390A JP 4639097 A JP4639097 A JP 4639097A JP H10239589 A JPH10239589 A JP H10239589A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料の観察部位の確認を容易にする。
【解決手段】 一定の波長でコヒーレントな光を発生す
るレーザー発振器１と、インコヒーレントな光を発生す
る光源３を設ける。レーザー発振器１から発生した光を
物体光線と参照光線とに２分割するハーフミラー２を設
ける。物体光線および光源３から発生した光を試料７に
照射する第１のレンズ８を設け、参照光線を平面ミラー
９に照射する第２のレンズ１０を設ける。試料７で反射
した物体光線と平面ミラー９で反射した参照光線との干
渉光および試料７で反射した光源３からの光を検出する
光検出器１１を設ける。光検出器１１の出力から位相を
計算するコンピュータ１３と、試料７を照射する光の垂
直な方向をＸ−Ｙ面とし試料を入射光に対してＸ，Ｙに
移動させるＸ−Ｙステージ１５を設ける。
るレーザー発振器１と、インコヒーレントな光を発生す
る光源３を設ける。レーザー発振器１から発生した光を
物体光線と参照光線とに２分割するハーフミラー２を設
ける。物体光線および光源３から発生した光を試料７に
照射する第１のレンズ８を設け、参照光線を平面ミラー
９に照射する第２のレンズ１０を設ける。試料７で反射
した物体光線と平面ミラー９で反射した参照光線との干
渉光および試料７で反射した光源３からの光を検出する
光検出器１１を設ける。光検出器１１の出力から位相を
計算するコンピュータ１３と、試料７を照射する光の垂
直な方向をＸ−Ｙ面とし試料を入射光に対してＸ，Ｙに
移動させるＸ−Ｙステージ１５を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光を用いて試料の
表面の凹凸を画像化する干渉顕微鏡装置に関する。
表面の凹凸を画像化する干渉顕微鏡装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、物体光線と参照光線とを干渉さ
せ、その光の位相を利用して試料の凹凸を観察する装置
として、V.R.Tychinsky,I.N.Masalov,V.L.Pankov and
D.V.Ublinsky:OPTICS Comm.,Vol.74,(1989),pp.37-40.
にあるような位相干渉顕微鏡装置が知られている。この
装置は、図３に示すように、コヒーレントな一定の波長
の平面波を発生するレーザー発振器２１と、レーザー発
振器２１から発生したレーザー光を物体光線と参照光線
の２つに分解するハーフミラー２２が設けられている。
ハーフミラー２２で反射された物体光線の光路上には第
１のレンズ２３が配置され、物体光線は第１のレンズ２
３を通って試料２４に入射する。試料２４に入射した物
体光線が試料２４の表面で反射し、再び第１のレンズ２
３を通った反射光が入射する例えばＣＣＤのような光検
出器２５が設けられている。一方、ハーフミラー２２を
透過した参照光線の光路上には第２のレンズ２６が配置
され、参照光線は第２のレンズ２６を通って基準平面ミ
ラー２７に入射する。そして、基準平面ミラー２７で反
射した参照光線は、再び第２のレンズ２６を通ってハー
フミラー２２で反射され、光検出器２５に入射する。光
検出器２５では試料２４の反射光である物体光線と基準
平面ミラー２７の反射光である参照光線が干渉した信号
を検出する。光検出器２５にはメモリ２８が接続され、
光検出器２５で検出した結果を保存する。さらに、メモ
リ２８にはコンピュータ２９が接続されており、コンピ
ュータ２９はメモリ２８の干渉強度から位相を求める。
せ、その光の位相を利用して試料の凹凸を観察する装置
として、V.R.Tychinsky,I.N.Masalov,V.L.Pankov and
D.V.Ublinsky:OPTICS Comm.,Vol.74,(1989),pp.37-40.
にあるような位相干渉顕微鏡装置が知られている。この
装置は、図３に示すように、コヒーレントな一定の波長
の平面波を発生するレーザー発振器２１と、レーザー発
振器２１から発生したレーザー光を物体光線と参照光線
の２つに分解するハーフミラー２２が設けられている。
ハーフミラー２２で反射された物体光線の光路上には第
１のレンズ２３が配置され、物体光線は第１のレンズ２
３を通って試料２４に入射する。試料２４に入射した物
体光線が試料２４の表面で反射し、再び第１のレンズ２
３を通った反射光が入射する例えばＣＣＤのような光検
出器２５が設けられている。一方、ハーフミラー２２を
透過した参照光線の光路上には第２のレンズ２６が配置
され、参照光線は第２のレンズ２６を通って基準平面ミ
ラー２７に入射する。そして、基準平面ミラー２７で反
射した参照光線は、再び第２のレンズ２６を通ってハー
フミラー２２で反射され、光検出器２５に入射する。光
検出器２５では試料２４の反射光である物体光線と基準
平面ミラー２７の反射光である参照光線が干渉した信号
を検出する。光検出器２５にはメモリ２８が接続され、
光検出器２５で検出した結果を保存する。さらに、メモ
リ２８にはコンピュータ２９が接続されており、コンピ
ュータ２９はメモリ２８の干渉強度から位相を求める。
【０００３】このとき、レーザー発振器２１の発生する
レーザー光の波長をλ、位相の分解能をｍとすれば、試
料２４の表面の凹凸の分解能Ｄは、以下の式（１）で求
められる。 Ｄ＝ｍλ／（４π）・・・（１）
レーザー光の波長をλ、位相の分解能をｍとすれば、試
料２４の表面の凹凸の分解能Ｄは、以下の式（１）で求
められる。 Ｄ＝ｍλ／（４π）・・・（１）
【０００４】ここで、波長：λを６３０ｎｍ、位相の分
解能：ｍを５°（０．０８７ｒａｄ）とすれば、凹凸の
分解能：Ｄは約４ｎｍとなり、凹凸の分解能が非常に高
くなる。試料２４の表面に垂直な方向をＺ軸、試料２４
の表面に対して平行にＸ，Ｙ軸をとると、この方法では
Ｚ軸の方向の分解能は非常に高くなるが、Ｘ，Ｙ方向に
ついては通常の顕微鏡と同じくレーザー光の波長：λ程
度の分解能となる。Ｘ，Ｙ方向の分解能を高めるため
に、V.R.Tychinsky:OPTICS Comm.,Vol.74,(1989),pp.41
-45 に記載されているような位相を使った方法やV.R.Ty
chinsky:OPTICS Comm.,Vol.81,(1991),pp.131-137に記
載されているように偏光を使った方法も考案されてい
る。
解能：ｍを５°（０．０８７ｒａｄ）とすれば、凹凸の
分解能：Ｄは約４ｎｍとなり、凹凸の分解能が非常に高
くなる。試料２４の表面に垂直な方向をＺ軸、試料２４
の表面に対して平行にＸ，Ｙ軸をとると、この方法では
Ｚ軸の方向の分解能は非常に高くなるが、Ｘ，Ｙ方向に
ついては通常の顕微鏡と同じくレーザー光の波長：λ程
度の分解能となる。Ｘ，Ｙ方向の分解能を高めるため
に、V.R.Tychinsky:OPTICS Comm.,Vol.74,(1989),pp.41
-45 に記載されているような位相を使った方法やV.R.Ty
chinsky:OPTICS Comm.,Vol.81,(1991),pp.131-137に記
載されているように偏光を使った方法も考案されてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
位相干渉顕微鏡には、以下のような問題点があった。レ
ーザー光線を参照光線と物体光線の２つの光線に分割
し、少なくとも一方を収束させて試料に照射すると、収
束されたレーザー光は図４に示すようにjinc関数にな
る。このときレーザ光によって試料の表面で照射される
部分はレーザー光の波長程度の大きさであり、この干渉
像を観察するためには干渉像の倍率を数千倍にする必要
がある。このため試料のどの部分を観察しているのか非
常に判りにくいという問題点があった。
位相干渉顕微鏡には、以下のような問題点があった。レ
ーザー光線を参照光線と物体光線の２つの光線に分割
し、少なくとも一方を収束させて試料に照射すると、収
束されたレーザー光は図４に示すようにjinc関数にな
る。このときレーザ光によって試料の表面で照射される
部分はレーザー光の波長程度の大きさであり、この干渉
像を観察するためには干渉像の倍率を数千倍にする必要
がある。このため試料のどの部分を観察しているのか非
常に判りにくいという問題点があった。
【０００６】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて
なされたもので、試料の観察部位が容易に確認すること
ができる干渉顕微鏡装置を提供することを目的とする。
なされたもので、試料の観察部位が容易に確認すること
ができる干渉顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る請求項１の干渉顕微鏡は、一定の波長
でコヒーレントな光を発生する第１の光源と、白色光に
近いインコヒーレントな光を発生する第２の光源と、前
記第１の光源から発生した光を物体光線と参照光線とに
２分割する手段と、前記物体光線および前記第２の光源
から発生した光を試料に照射する手段と、前記参照光線
を参照物体または試料に照射する手段と、前記試料で反
射した物体光線と参照物体または試料で反射した参照光
線との干渉光および試料で反射した前記第２の光源から
の光を検出する光検出手段と、検出手段の出力から位相
を計算する位相演算手段と、試料を照射する光の垂直な
方向をＸ−Ｙ面とし試料を入射光に対してＸ，Ｙに移動
させる移動手段とを備えて構成した。
に、本発明に係る請求項１の干渉顕微鏡は、一定の波長
でコヒーレントな光を発生する第１の光源と、白色光に
近いインコヒーレントな光を発生する第２の光源と、前
記第１の光源から発生した光を物体光線と参照光線とに
２分割する手段と、前記物体光線および前記第２の光源
から発生した光を試料に照射する手段と、前記参照光線
を参照物体または試料に照射する手段と、前記試料で反
射した物体光線と参照物体または試料で反射した参照光
線との干渉光および試料で反射した前記第２の光源から
の光を検出する光検出手段と、検出手段の出力から位相
を計算する位相演算手段と、試料を照射する光の垂直な
方向をＸ−Ｙ面とし試料を入射光に対してＸ，Ｙに移動
させる移動手段とを備えて構成した。
【０００８】また、本発明に係る請求項２の干渉顕微鏡
は、請求項１にあって、第２の光源に光の発生をオン、
オフする開閉手段を備えた。
は、請求項１にあって、第２の光源に光の発生をオン、
オフする開閉手段を備えた。
【０００９】本発明に係る請求項１の構成にあっては、
第１の光源から発生する一定波長でコヒーレントな光
（レーザー光）の光線を物体光線と参照光線に２分割
し、その一方を一点に収束させて試料に照射すると同時
に、第２の光源からインコヒーレントな平行光を通常の
落射照明として試料に照明する。反射した参照光線と物
体光線とを干渉させ検出手段に入射すると同時に、落射
照明による像を前記した同一の検出手段で検出する。こ
れにより検出手段で検出される画像は落射照明画像と、
レーザースポットの干渉画像が重なった画像になる。そ
して、落射照明画像で試料の位置を確認することで、試
料のどの位置の測定を行うかが確認可能になる。
第１の光源から発生する一定波長でコヒーレントな光
（レーザー光）の光線を物体光線と参照光線に２分割
し、その一方を一点に収束させて試料に照射すると同時
に、第２の光源からインコヒーレントな平行光を通常の
落射照明として試料に照明する。反射した参照光線と物
体光線とを干渉させ検出手段に入射すると同時に、落射
照明による像を前記した同一の検出手段で検出する。こ
れにより検出手段で検出される画像は落射照明画像と、
レーザースポットの干渉画像が重なった画像になる。そ
して、落射照明画像で試料の位置を確認することで、試
料のどの位置の測定を行うかが確認可能になる。
【００１０】本発明に係る請求項２の構成にあっては、
請求項１の作用のように、試料の測定位置を確認した
後、測定を開始する際に第２の光源を開閉手段で切り、
レーザー光の照明のみにする。
請求項１の作用のように、試料の測定位置を確認した
後、測定を開始する際に第２の光源を開閉手段で切り、
レーザー光の照明のみにする。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１に基
づいて説明する。図１は本実施の形態の干渉顕微鏡装置
に備えた位相干渉光学系を示すブロック図である。
づいて説明する。図１は本実施の形態の干渉顕微鏡装置
に備えた位相干渉光学系を示すブロック図である。
【００１２】本実施の形態の干渉顕微鏡装置には、コヒ
ーレントな一定の波長の平面波を発生する第１の光源と
してのレーザー発振器１と、レーザー発振器１から発生
したレーザー光を物体光線と参照光線の２つの光線に分
割する手段としてのハーフミラー２が設けられている。
また、レーザー発振器１とは別に、白色光に近いインコ
ヒーレントな光を発生する第２の光源としてのハロゲン
等の電球からなる光源３が備えられ、光源３には光源３
をＯＮ、ＯＦＦするスイッチ４が接続されている。光源
３の前方には、光源３から発生した光を平行光にするコ
ンデンサレンズ５と、コンデンサレンズ５から出た平行
光を試料７に照射するための第２のミラー６が設けられ
ている。ハーフミラー２と試料７の間には、ハーフミラ
ー２で分割された一方の光線である物体光線および光源
３からの光を試料７の試料面に照射するための第１のレ
ンズ８が設けられている。また、ハーフミラー２で分割
されたもう一方の光線である参照光線を参照物体となる
平面ミラー９に照射するための第２のレンズ１０が設け
られている。
ーレントな一定の波長の平面波を発生する第１の光源と
してのレーザー発振器１と、レーザー発振器１から発生
したレーザー光を物体光線と参照光線の２つの光線に分
割する手段としてのハーフミラー２が設けられている。
また、レーザー発振器１とは別に、白色光に近いインコ
ヒーレントな光を発生する第２の光源としてのハロゲン
等の電球からなる光源３が備えられ、光源３には光源３
をＯＮ、ＯＦＦするスイッチ４が接続されている。光源
３の前方には、光源３から発生した光を平行光にするコ
ンデンサレンズ５と、コンデンサレンズ５から出た平行
光を試料７に照射するための第２のミラー６が設けられ
ている。ハーフミラー２と試料７の間には、ハーフミラ
ー２で分割された一方の光線である物体光線および光源
３からの光を試料７の試料面に照射するための第１のレ
ンズ８が設けられている。また、ハーフミラー２で分割
されたもう一方の光線である参照光線を参照物体となる
平面ミラー９に照射するための第２のレンズ１０が設け
られている。
【００１３】さらに、試料７の試料面で反射した物体光
線の反射光と平面ミラー９で反射した参照光線の反射光
との干渉を検出するとともに、試料７で反射した光源３
からの光の反射を検出する光検出手段としてのＣＣＤ等
の光検出器１１が設けられている。光検出器１１には光
検出器１１の出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換
部１２が接続され、Ａ／Ｄ変換部１２には画像の保存や
演算等を行う位相演算手段としてのコンピュータ１３が
接続されている。コンピュータ１３には取り込んだ画像
や演算結果を表示する表示部１４が接続されている。
線の反射光と平面ミラー９で反射した参照光線の反射光
との干渉を検出するとともに、試料７で反射した光源３
からの光の反射を検出する光検出手段としてのＣＣＤ等
の光検出器１１が設けられている。光検出器１１には光
検出器１１の出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換
部１２が接続され、Ａ／Ｄ変換部１２には画像の保存や
演算等を行う位相演算手段としてのコンピュータ１３が
接続されている。コンピュータ１３には取り込んだ画像
や演算結果を表示する表示部１４が接続されている。
【００１４】また、照明光（参照光線および光源３から
の光）が試料７に入射する方向をＺ軸とし、試料７の表
面に対して平行にＸ―Ｙ平面をとったとすると、試料７
を入射光線に対し垂直な平面で移動させる移動手段とし
ての２次元Ｘ―Ｙステージ１５が備えられるとともに、
この２次元Ｘ―Ｙステージ１５に試料７の合焦を調整す
るＺ移動部１６が接続されている。
の光）が試料７に入射する方向をＺ軸とし、試料７の表
面に対して平行にＸ―Ｙ平面をとったとすると、試料７
を入射光線に対し垂直な平面で移動させる移動手段とし
ての２次元Ｘ―Ｙステージ１５が備えられるとともに、
この２次元Ｘ―Ｙステージ１５に試料７の合焦を調整す
るＺ移動部１６が接続されている。
【００１５】次に、上記構成からなる本実施の形態の作
用について説明する。レーザー発振器１で発生したレー
ザー光はハーフミラー２で２分割され、ハーフミラー２
で反射する物体光線とハーフミラー２を透過する参照光
線となる。物体光線は第１のレンズ８を通り試料７の試
料面に入射し、参照光線は第２のレンズ１０を通り平面
ミラー９に入射する。試料７の試料面に入射した物体光
線は試料面で反射し、再び第１のレンズ８を通った後ハ
ーフミラー２を透過して光検出器１１に入射する。ま
た、平面ミラー９に入射した参照光線は平面ミラー９で
反射し、再び第２のレンズ１０を通った後ハーフミラー
２で反射されて光検出器１１に入射する。一方、ハロゲ
ン等の光源３から発生した光はコンデンサーレンズ５で
平行光となり、第２のミラー６で反射され、物体光線と
同じく第１のレンズ８を通って試料７の落射照明光とな
る。そして、試料７で反射した落射照明光の反射光は第
１のレンズ８を通って光検出器１１に入射する。
用について説明する。レーザー発振器１で発生したレー
ザー光はハーフミラー２で２分割され、ハーフミラー２
で反射する物体光線とハーフミラー２を透過する参照光
線となる。物体光線は第１のレンズ８を通り試料７の試
料面に入射し、参照光線は第２のレンズ１０を通り平面
ミラー９に入射する。試料７の試料面に入射した物体光
線は試料面で反射し、再び第１のレンズ８を通った後ハ
ーフミラー２を透過して光検出器１１に入射する。ま
た、平面ミラー９に入射した参照光線は平面ミラー９で
反射し、再び第２のレンズ１０を通った後ハーフミラー
２で反射されて光検出器１１に入射する。一方、ハロゲ
ン等の光源３から発生した光はコンデンサーレンズ５で
平行光となり、第２のミラー６で反射され、物体光線と
同じく第１のレンズ８を通って試料７の落射照明光とな
る。そして、試料７で反射した落射照明光の反射光は第
１のレンズ８を通って光検出器１１に入射する。
【００１６】表示部１４では、試料７からの反射した落
射照明の画像が観察されるとともに、試料７で反射した
レーザー光（物体光線）と平面ミラー９からの反射光
（参照光線）が干渉した干渉画像が観察される。ここ
で、平面ミラー９からは一定の位相の反射光がかえって
くるので、干渉画像を形成する干渉光の強度の変化は試
料７の試料面の凹凸を示すことになる。光検出器１１で
は、この干渉強度の変化と落射照明の画像を電気信号に
変換し、Ａ／Ｄ変換部１２でデジタル信号に変換してコ
ンピュータ１３に保存する。コンピュータ１３では取り
込んだ画像を表示部１４に表示する。
射照明の画像が観察されるとともに、試料７で反射した
レーザー光（物体光線）と平面ミラー９からの反射光
（参照光線）が干渉した干渉画像が観察される。ここ
で、平面ミラー９からは一定の位相の反射光がかえって
くるので、干渉画像を形成する干渉光の強度の変化は試
料７の試料面の凹凸を示すことになる。光検出器１１で
は、この干渉強度の変化と落射照明の画像を電気信号に
変換し、Ａ／Ｄ変換部１２でデジタル信号に変換してコ
ンピュータ１３に保存する。コンピュータ１３では取り
込んだ画像を表示部１４に表示する。
【００１７】試料７の表面を干渉光で測定を行う前に、
試料７の表面への焦点合わせを表示部１４の画像を観察
しながら、Ｚ移動部によりＸ―Ｙステージ１５をＺ方向
に移動して行う。この状態では図２に示すように、表示
部１４には落射照明による画像と、レーザー光のレーザ
ースポット１７からなる干渉画像が表示されている。そ
して、表示部１４に表示されている画像の測定したい部
分に、レーザースポット１７が照射されるようにＸ―Ｙ
ステージ１５を動かす。測定したい目的の位置にレーザ
ースポット１７が移動したら、落射照明の光源３をスイ
ッチ４で切り、レーザー発振器１によるレーザー照明の
みとする。この時、光検出部１１にはレーザー光の干渉
画像のみが入力されている。この状態で干渉画像をコン
ピュータ１３に取り込み、干渉画像から位相を求め、前
記式（１）より高さ情報に変換し、その結果を表示部１
４に表示する。
試料７の表面への焦点合わせを表示部１４の画像を観察
しながら、Ｚ移動部によりＸ―Ｙステージ１５をＺ方向
に移動して行う。この状態では図２に示すように、表示
部１４には落射照明による画像と、レーザー光のレーザ
ースポット１７からなる干渉画像が表示されている。そ
して、表示部１４に表示されている画像の測定したい部
分に、レーザースポット１７が照射されるようにＸ―Ｙ
ステージ１５を動かす。測定したい目的の位置にレーザ
ースポット１７が移動したら、落射照明の光源３をスイ
ッチ４で切り、レーザー発振器１によるレーザー照明の
みとする。この時、光検出部１１にはレーザー光の干渉
画像のみが入力されている。この状態で干渉画像をコン
ピュータ１３に取り込み、干渉画像から位相を求め、前
記式（１）より高さ情報に変換し、その結果を表示部１
４に表示する。
【００１８】本発明の実施の形態によれば、試料７の測
定を開始する前に、通常の落射照明の画像とレーザース
ポット１７を同時に観察することで、試料７のどの部分
を測定するかを容易に設定することができる。また、落
射照明する光源３のＯＮ、ＯＦＦができるので、レーザ
ー光の干渉光による測定の妨げにならない。
定を開始する前に、通常の落射照明の画像とレーザース
ポット１７を同時に観察することで、試料７のどの部分
を測定するかを容易に設定することができる。また、落
射照明する光源３のＯＮ、ＯＦＦができるので、レーザ
ー光の干渉光による測定の妨げにならない。
【００１９】なお、本実施の形態では、レーザー発振器
１からレーザー光をハーフミラー２で物体光線と参照光
線の２つに分割し、物体光線を試料７に照射するととも
に、参照光線を平面ミラー９に照射する構成としたが、
本発明は上記構成に限定されるものではなく、レーザー
発振器１と試料７との間に偏光板を配置してレーザー発
振器１からのレーザー光を物体光線と参照光線に分割し
て位相の検出をするノマルスキー方式でも実施すること
ができる。また、第１のレンズ８を交換可能として倍率
を変化させ、位置決めを始めは低倍で行い、徐々に高倍
にしてゆくようにすることも考えられる。このようにす
れば位置合わせが、より容易になる。他にも、本発明の
要旨を逸脱しない範囲で種々の変形や応用が可能なこと
は勿論である。
１からレーザー光をハーフミラー２で物体光線と参照光
線の２つに分割し、物体光線を試料７に照射するととも
に、参照光線を平面ミラー９に照射する構成としたが、
本発明は上記構成に限定されるものではなく、レーザー
発振器１と試料７との間に偏光板を配置してレーザー発
振器１からのレーザー光を物体光線と参照光線に分割し
て位相の検出をするノマルスキー方式でも実施すること
ができる。また、第１のレンズ８を交換可能として倍率
を変化させ、位置決めを始めは低倍で行い、徐々に高倍
にしてゆくようにすることも考えられる。このようにす
れば位置合わせが、より容易になる。他にも、本発明の
要旨を逸脱しない範囲で種々の変形や応用が可能なこと
は勿論である。
【００２０】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明の干渉顕
微鏡装置によれば、平行光による落射照明による画像と
レーザー光のスポットの干渉像を同時に観察することが
可能であるので、観察する試料のどの部分の測定をする
のかを容易に確認することができる。
微鏡装置によれば、平行光による落射照明による画像と
レーザー光のスポットの干渉像を同時に観察することが
可能であるので、観察する試料のどの部分の測定をする
のかを容易に確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の干渉顕微鏡装置に備え
た位相干渉光学系を示すブロック図である。
た位相干渉光学系を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施の形態の表示部に表示される落
射照明による画像とレーザースポットの干渉像を示す図
である。
射照明による画像とレーザースポットの干渉像を示す図
である。
【図３】従来の位相干渉光学系を示すブロック図であ
る。
る。
【図４】収束されたレーザー光の強度を示す図である。
１ レーザー発振器 ２ ハーフミラー ３ 光源 ４ スイッチ ５ コンデンサレンズ ６ 第２のミラー ７ 試料 ８ 第１のレンズ ９ 平面ミラー １０ 第２のレンズ １１ 光検出器 １２ Ａ／Ｄ変換部 １３ コンピュータ １４ 表示部 １５ Ｘ―Ｙステージ １６ Ｚ移動部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成９年４月４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
Claims (2)
- 【請求項１】 一定の波長でコヒーレントな光を発生す
る第１の光源と、白色光に近いインコヒーレントな光を
発生する第２の光源と、前記第１の光源から発生した光
を物体光線と参照光線とに２分割する手段と、前記物体
光線および前記第２の光源から発生した光を試料に照射
する手段と、前記参照光線を参照物体または試料に照射
する手段と、前記試料で反射した物体光線と参照物体ま
たは試料で反射した参照光線との干渉光および試料で反
射した前記第２の光源からの光を検出する光検出手段
と、検出手段の出力から位相を計算する位相演算手段
と、試料を照射する光の垂直な方向をＸ−Ｙ面とし試料
を入射光に対してＸ，Ｙに移動させる移動手段とを具備
したことを特徴とする干渉顕微鏡装置。 - 【請求項２】 前記第２の光源は、光の発生をオン、オ
フする開閉手段を具備したことを特徴とする請求項１記
載の干渉顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9046390A JPH10239589A (ja) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | 干渉顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9046390A JPH10239589A (ja) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | 干渉顕微鏡装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10239589A true JPH10239589A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=12745830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9046390A Withdrawn JPH10239589A (ja) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | 干渉顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10239589A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001147376A (ja) * | 1999-09-15 | 2001-05-29 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | レーザー走査型顕微鏡およびその参照補正方法 |
| JP2002071312A (ja) * | 2000-08-25 | 2002-03-08 | Topcon Corp | 照射位置測定装置 |
| WO2007116679A1 (ja) * | 2006-04-06 | 2007-10-18 | Nidec-Read Corporation | 光学測定装置及び光学測定方法 |
| JP2007536539A (ja) * | 2004-05-04 | 2007-12-13 | カール マール ホールディング ゲーエムベーハー | 特にマイクロシステム技術における幾何構成の干渉と画像化の組合せに基づく検出のための装置および方法 |
| JP2009536326A (ja) * | 2006-05-08 | 2009-10-08 | カール マール ホールディング ゲーエムベーハー | 特にマイクロシステムにおける、組み合わされた干渉及びイメージに基づく形状決定のための装置及び方法 |
| JP2011519016A (ja) * | 2007-12-14 | 2011-06-30 | インテクプラス カンパニー、リミテッド | 表面形状測定システム及びそれを用いた測定方法 |
-
1997
- 1997-02-28 JP JP9046390A patent/JPH10239589A/ja not_active Withdrawn
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| JP2011519016A (ja) * | 2007-12-14 | 2011-06-30 | インテクプラス カンパニー、リミテッド | 表面形状測定システム及びそれを用いた測定方法 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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