JPH10280155A5 - - Google Patents
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- JPH10280155A5 JPH10280155A5 JP1997083733A JP8373397A JPH10280155A5 JP H10280155 A5 JPH10280155 A5 JP H10280155A5 JP 1997083733 A JP1997083733 A JP 1997083733A JP 8373397 A JP8373397 A JP 8373397A JP H10280155 A5 JPH10280155 A5 JP H10280155A5
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- Pending
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Claims (5)
- 円筒状部材の開口内面に接地電位と接続する補助電極を挿入するように円筒状部材を真空槽内に配置し、
排気口から真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、
リアクトルを介して円筒状部材に直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させて円筒状部材に硬質カーボン膜を形成することを特徴とする円筒状部材内周面への硬質カーボン膜の形成方法。 - 円筒状部材の開口内面に直流電源と接続する補助電極を挿入するように円筒状部材を真空槽内に配置し、
排気口から真空槽内を排気した後、ガス導入口から炭素を含むガスを真空槽内に導入し、
補助電極に直流正電圧を印加し、リアクトルを介して円筒状部材に直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させて円筒状部材に硬質カーボン膜を形成することを特徴とする円筒状部材内周面への硬質カーボン膜の形成方法。 - 前記円筒状部材が端面部にダミー部材を配置していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の円筒状部材内周面への硬質カーボン膜の形成方法。
- 前記円筒状部材が中間層を形成していることを特徴とする請求項１、請求項２または請求項３に記載の円筒状部材内周面への硬質カーボン膜の形成方法。
- 前記リアクトルを介して円筒状部材に直流電圧を印加しアノードに直流電圧を印加しフィラメントに交流電圧を印加してプラズマを発生させるのにかえて、
リアクトルを介して円筒状部材に直流電圧を印加して、プラズマを発生させて円筒状部材に硬質カーボン膜を形成することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の円筒状部材内周面への硬質カーボン膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9083733A JPH10280155A (ja) | 1997-04-02 | 1997-04-02 | 円筒状部材内周面への硬質カーボン膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9083733A JPH10280155A (ja) | 1997-04-02 | 1997-04-02 | 円筒状部材内周面への硬質カーボン膜の形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10280155A JPH10280155A (ja) | 1998-10-20 |
| JPH10280155A5 true JPH10280155A5 (ja) | 2005-02-24 |
Family
ID=13810734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9083733A Pending JPH10280155A (ja) | 1997-04-02 | 1997-04-02 | 円筒状部材内周面への硬質カーボン膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10280155A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5155579B2 (ja) * | 2007-03-13 | 2013-03-06 | Ｈｏｙａ株式会社 | モールドプレス成形型の製造方法、並びにガラス光学素子の製造方法 |
| JP6583254B2 (ja) | 2016-12-27 | 2019-10-02 | 日亜化学工業株式会社 | 非水系二次電池用正極材料、非水系二次電池および非水系二次電池用正極材料の製造方法 |
-
1997
- 1997-04-02 JP JP9083733A patent/JPH10280155A/ja active Pending
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