JPH10303056A - 金属蒸着フィルム、その製造方法及びそれを用いたコンデンサ - Google Patents
金属蒸着フィルム、その製造方法及びそれを用いたコンデンサInfo
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】高分子フィルムの少なくとも片面に表面抵
抗１Ω／□〜１５Ω／□の電極となる金属蒸着膜部と表
面抵抗１×１０10Ω／□以上のマージン部、および該金
属蒸着膜部と該マージン部の間に該金属蒸着膜部より該
マージン部にかけ金属蒸着膜厚が連続的に低減する幅
０．０２〜１ｍｍの境界膜部を有することを特徴とする
金属蒸着フィルム。 【効果】安全規格コンデンサに課せられる高電圧印加に
対してもマージン際での破壊がおこらず、極めて高い安
全性を有したコンデンサを作ることができる。
抗１Ω／□〜１５Ω／□の電極となる金属蒸着膜部と表
面抵抗１×１０10Ω／□以上のマージン部、および該金
属蒸着膜部と該マージン部の間に該金属蒸着膜部より該
マージン部にかけ金属蒸着膜厚が連続的に低減する幅
０．０２〜１ｍｍの境界膜部を有することを特徴とする
金属蒸着フィルム。 【効果】安全規格コンデンサに課せられる高電圧印加に
対してもマージン際での破壊がおこらず、極めて高い安
全性を有したコンデンサを作ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電気・電子回路に用
いられる金属蒸着高分子フィルムコンデンサ、特にアク
ロスライン等に用いられるコンデンサに関するものであ
り、中でも落雷時等に突入するサージ電流によってコン
デンサが破壊、発火などをおこすことのないよう規定さ
れた各種の安全規格に適合した安全規格コンデンサに関
するものである。
いられる金属蒸着高分子フィルムコンデンサ、特にアク
ロスライン等に用いられるコンデンサに関するものであ
り、中でも落雷時等に突入するサージ電流によってコン
デンサが破壊、発火などをおこすことのないよう規定さ
れた各種の安全規格に適合した安全規格コンデンサに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】各種家庭用電気機器、あるいは電子機器
にはラインから入るノズルを除去、あるいは機器で発生
するノイズが電源ラインに入るのを防ぐためにフィルタ
ーコンデンサが使用されている。これらのコンデンサへ
は落雷時等に生じる大きな突入電流が入ることがあり、
これらの突入電流によってコンデンサが破壊、あるいは
発火することのないよう、厳しい試験を課す規格が各国
で規定されている。例えばＵＬ １４１４、ＣＡＳ Ｃ
２２．２ ＮＯ１、ＶＤＥ ０５６５−１、ＩＥＣ ３
８４−１４、ＳＥＶ １０５５、ＪＩＳ Ｃ５１５１な
どであり、さらにＮＥＭＫＯ、ＳＥＭＫＯ、ＤＥＭＫ
Ｏ、ＥＩ、ＢＳなどの規格がある。
にはラインから入るノズルを除去、あるいは機器で発生
するノイズが電源ラインに入るのを防ぐためにフィルタ
ーコンデンサが使用されている。これらのコンデンサへ
は落雷時等に生じる大きな突入電流が入ることがあり、
これらの突入電流によってコンデンサが破壊、あるいは
発火することのないよう、厳しい試験を課す規格が各国
で規定されている。例えばＵＬ １４１４、ＣＡＳ Ｃ
２２．２ ＮＯ１、ＶＤＥ ０５６５−１、ＩＥＣ ３
８４−１４、ＳＥＶ １０５５、ＪＩＳ Ｃ５１５１な
どであり、さらにＮＥＭＫＯ、ＳＥＭＫＯ、ＤＥＭＫ
Ｏ、ＥＩ、ＢＳなどの規格がある。
【０００３】これらは大きな突入電流を想定し、定格電
圧に比べ極めて高い電圧を一定時間かけ、異常あるいは
破壊しないことを規定している。
圧に比べ極めて高い電圧を一定時間かけ、異常あるいは
破壊しないことを規定している。
【０００４】これらの規格に適合するため、従来は１１
〜１２μｍの厚いポリエステルフィルムを用い、かつ広
巾のマージンを有するアルミ蒸着フィルムが用いられて
いたが、本対策においても規格に適合するにぎりぎりの
品質のため、製造工程での不良率が大きいこと、具体的
には検査工程の耐電圧テストにおいて不良が発生する率
が大きいことが問題であった。一方コンデンサの小型化
に対する強い要望があるが、小型化のためにフィルム厚
みを薄くすると当然不良率が増大し、小型化に対する技
術にいきづまっている。
〜１２μｍの厚いポリエステルフィルムを用い、かつ広
巾のマージンを有するアルミ蒸着フィルムが用いられて
いたが、本対策においても規格に適合するにぎりぎりの
品質のため、製造工程での不良率が大きいこと、具体的
には検査工程の耐電圧テストにおいて不良が発生する率
が大きいことが問題であった。一方コンデンサの小型化
に対する強い要望があるが、小型化のためにフィルム厚
みを薄くすると当然不良率が増大し、小型化に対する技
術にいきづまっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は不良率を少な
くするとともに、さらに小型の安全規格に適合したコン
デンサ及びそれに用いられるコンデンサ用金属蒸着フィ
ルムを提供するものである。
くするとともに、さらに小型の安全規格に適合したコン
デンサ及びそれに用いられるコンデンサ用金属蒸着フィ
ルムを提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的に沿うための本
発明の金属蒸着フィルムは、高分子フィルムの少なくと
も片面に表面抵抗１Ω／□〜１５Ω／□の電極となる金
属蒸着膜部と表面抵抗１×１０10Ω／□以上のマージン
部、および該金属蒸着膜部と該マージン部の間に該金属
蒸着膜部より該マージン部にかけ金属蒸着膜厚が連続的
に低減する幅０．０２〜１ｍｍの境界膜部を有すること
を特徴とする金属蒸着フィルム。
発明の金属蒸着フィルムは、高分子フィルムの少なくと
も片面に表面抵抗１Ω／□〜１５Ω／□の電極となる金
属蒸着膜部と表面抵抗１×１０10Ω／□以上のマージン
部、および該金属蒸着膜部と該マージン部の間に該金属
蒸着膜部より該マージン部にかけ金属蒸着膜厚が連続的
に低減する幅０．０２〜１ｍｍの境界膜部を有すること
を特徴とする金属蒸着フィルム。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の一実施態様例である金属
蒸着フィルムの概略断面図を図１に示す。なお、本発明
は本実施態様例に限定されるものではない。
蒸着フィルムの概略断面図を図１に示す。なお、本発明
は本実施態様例に限定されるものではない。
【０００８】図１において、１は本発明の金属蒸着フィ
ルムであり、２は高分子フィルム、３はマージン部、４
は金属蒸着部、５は境界膜部であり、Ｌは境界膜部の幅
を表す。
ルムであり、２は高分子フィルム、３はマージン部、４
は金属蒸着部、５は境界膜部であり、Ｌは境界膜部の幅
を表す。
【０００９】本発明でいう高分子フィルム２とは天然、
半合成、合成高分子樹脂をフィルム状に成型したもの
で、中でも合成高分子樹脂からなる高分子フィルムが耐
熱性、機械特性、電気特性、物理化学的特性の点からよ
り好ましい。
半合成、合成高分子樹脂をフィルム状に成型したもの
で、中でも合成高分子樹脂からなる高分子フィルムが耐
熱性、機械特性、電気特性、物理化学的特性の点からよ
り好ましい。
【００１０】好ましい合成高分子樹脂としてポリオレフ
ィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイ
ミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネイト樹
脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリア
リレート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリア
リレン樹脂などを挙げることができる。特にポリプロピ
レン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフ
タレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネ
イト、ポリスチレンが機械特性、電気特性の点からより
好ましい。中でもポリプロピレン、およびポリエチレン
テレフタレートが交流耐電圧（ＡＣ耐電圧）が高いこと
から特に好ましい。
ィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイ
ミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネイト樹
脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリア
リレート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリア
リレン樹脂などを挙げることができる。特にポリプロピ
レン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフ
タレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネ
イト、ポリスチレンが機械特性、電気特性の点からより
好ましい。中でもポリプロピレン、およびポリエチレン
テレフタレートが交流耐電圧（ＡＣ耐電圧）が高いこと
から特に好ましい。
【００１１】金属蒸着膜４の金属はＡｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、
Ａｇ、Ａｕ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｃｏ、Ｎｉあるいはこ
れらの合金など導電性を有するものであれば特に限定さ
れるもないが、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｓｎなどが耐コロナ
劣化性が少なく好ましい。なかでもＡｌ−Ｚｎの合金が
耐湿性、耐コロナ劣化性および自己回復特性の点でより
好ましく、中でも蒸着合金膜中のＡｌ含有量比｛（Ａｌ
含有量×１００）／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有量）｝が蒸
着膜表面Ｃ1 、蒸着膜中央Ｃ2 、フィルム界面でＣ3 と
するとＣ2 ＜Ｃ1 ≦Ｃ3 又はＣ2 ＜Ｃ3 ≦Ｃ1 と連続的
に変化し、かつ蒸着膜全体のＡｌ含有量比が０．５〜１
５ｗｔ％、より好ましくは８〜１２ｗｔ％となるＡｌ−
Ｚｎの合金からなる蒸着金属膜が特に好ましい。なかで
もＡｌの含有量比がＣ2 ＜Ｃ1 ≦Ｃ3 となる分布をする
Ａｌ−Ｚｎの合金が自己回復性の劣化が少なくより好ま
しい。蒸着金属膜の膜抵抗は１〜１５Ω／□が好まし
く、特に２〜１２Ω／□が良い、またメタリコンとの密
着性を向上させるため、図２のごとくメタリコンの密着
部２〜５ｍｍ程度の蒸着膜を厚く、いわゆるヘビーエッ
ジにした場合の、電極部（アクティブ部）の抵抗を４〜
１２Ω／□にすることによって特に耐圧とｔａｎδ特性
を向上させる。
Ａｇ、Ａｕ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｃｏ、Ｎｉあるいはこ
れらの合金など導電性を有するものであれば特に限定さ
れるもないが、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｓｎなどが耐コロナ
劣化性が少なく好ましい。なかでもＡｌ−Ｚｎの合金が
耐湿性、耐コロナ劣化性および自己回復特性の点でより
好ましく、中でも蒸着合金膜中のＡｌ含有量比｛（Ａｌ
含有量×１００）／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有量）｝が蒸
着膜表面Ｃ1 、蒸着膜中央Ｃ2 、フィルム界面でＣ3 と
するとＣ2 ＜Ｃ1 ≦Ｃ3 又はＣ2 ＜Ｃ3 ≦Ｃ1 と連続的
に変化し、かつ蒸着膜全体のＡｌ含有量比が０．５〜１
５ｗｔ％、より好ましくは８〜１２ｗｔ％となるＡｌ−
Ｚｎの合金からなる蒸着金属膜が特に好ましい。なかで
もＡｌの含有量比がＣ2 ＜Ｃ1 ≦Ｃ3 となる分布をする
Ａｌ−Ｚｎの合金が自己回復性の劣化が少なくより好ま
しい。蒸着金属膜の膜抵抗は１〜１５Ω／□が好まし
く、特に２〜１２Ω／□が良い、またメタリコンとの密
着性を向上させるため、図２のごとくメタリコンの密着
部２〜５ｍｍ程度の蒸着膜を厚く、いわゆるヘビーエッ
ジにした場合の、電極部（アクティブ部）の抵抗を４〜
１２Ω／□にすることによって特に耐圧とｔａｎδ特性
を向上させる。
【００１２】さらにこれら蒸着金属膜の耐湿性を上げる
ため、該蒸着金属膜表面に超薄層のオイル膜又はケイ
素、あるいはケイ素化合物を設けることがより好まし
い。
ため、該蒸着金属膜表面に超薄層のオイル膜又はケイ
素、あるいはケイ素化合物を設けることがより好まし
い。
【００１３】金属蒸着フィルムは、金属蒸着膜部４とマ
ージン部３の間に境界膜部５を有することが重要であ
る。境界膜部とは図１のごとく金属蒸着膜部４よりマー
ジン部３にかけ蒸着膜部の蒸着膜の厚みがマージン部３
へ連続的に低減していく状態を指し、光学顕微鏡で観察
した場合、図１のように金属蒸着膜部４の暗い部分から
マージン部３の明るい部分にかけ幅（Ｌ）が０．０２〜
１ｍｍ、より好ましくはＬ：０．１〜０．５ｍｍ程度、
特に好ましくはＬ：０．２〜０．３ｍｍにかけ徐々に暗
い部分から明るい部分へ明るさが変化する領域がある状
態をさす。従来のコンデンサ用金属蒸着フィルムはＪＩ
Ｓ−Ｃ２３１９−１９７７（コンデンサ用メタライズポ
リエステルフィルム）の４・３耳幅に規定されているよ
う蒸着金属膜の端に連続して不鮮明な箇所があってはな
らないとされている。このため従来よりマージンを形成
する方法には蒸着される高分子フィルム上にマスクとな
るマージンと同じ幅のテープをはわせ未蒸着部（マージ
ン）を形成するテープマージン法があり、蒸着膜とマー
ジンの境がはっきりしたマージンが形成されることおよ
びプレス性が良いことから好ましく利用されてきた。ま
た他の方法としては蒸着膜に高分子フィルム上にマージ
ンの幅にオイルを蒸着し、オイル部に蒸着膜が付着しな
いことを利用したオイルマージン法があるが、テープマ
ージン同様にマージンとの境をはっきりさせるため（境
界部５生じさせないため）、特公平３−５９９８１号公
報のごとく、蒸着金属がより付着しにくいフッ素系オイ
ルが使用され、さらに特公昭６３−５７９３２号公報の
ごとく、色々な工夫がなされていた。
ージン部３の間に境界膜部５を有することが重要であ
る。境界膜部とは図１のごとく金属蒸着膜部４よりマー
ジン部３にかけ蒸着膜部の蒸着膜の厚みがマージン部３
へ連続的に低減していく状態を指し、光学顕微鏡で観察
した場合、図１のように金属蒸着膜部４の暗い部分から
マージン部３の明るい部分にかけ幅（Ｌ）が０．０２〜
１ｍｍ、より好ましくはＬ：０．１〜０．５ｍｍ程度、
特に好ましくはＬ：０．２〜０．３ｍｍにかけ徐々に暗
い部分から明るい部分へ明るさが変化する領域がある状
態をさす。従来のコンデンサ用金属蒸着フィルムはＪＩ
Ｓ−Ｃ２３１９−１９７７（コンデンサ用メタライズポ
リエステルフィルム）の４・３耳幅に規定されているよ
う蒸着金属膜の端に連続して不鮮明な箇所があってはな
らないとされている。このため従来よりマージンを形成
する方法には蒸着される高分子フィルム上にマスクとな
るマージンと同じ幅のテープをはわせ未蒸着部（マージ
ン）を形成するテープマージン法があり、蒸着膜とマー
ジンの境がはっきりしたマージンが形成されることおよ
びプレス性が良いことから好ましく利用されてきた。ま
た他の方法としては蒸着膜に高分子フィルム上にマージ
ンの幅にオイルを蒸着し、オイル部に蒸着膜が付着しな
いことを利用したオイルマージン法があるが、テープマ
ージン同様にマージンとの境をはっきりさせるため（境
界部５生じさせないため）、特公平３−５９９８１号公
報のごとく、蒸着金属がより付着しにくいフッ素系オイ
ルが使用され、さらに特公昭６３−５７９３２号公報の
ごとく、色々な工夫がなされていた。
【００１４】本発明はこれら従来の技術とは全く逆に蒸
着境界部５を設けることによって、逆に安全規格コンデ
ンサのテストにある高い電圧の印加に対しても破壊、特
にマージンと蒸着金属膜境界における高分子フィルムの
絶縁破壊をふせぎうることを見出し、なされたものであ
る。
着境界部５を設けることによって、逆に安全規格コンデ
ンサのテストにある高い電圧の印加に対しても破壊、特
にマージンと蒸着金属膜境界における高分子フィルムの
絶縁破壊をふせぎうることを見出し、なされたものであ
る。
【００１５】さらに図３のごとくマージン部３がオイル
６で覆われていることがより好ましい。オイルの量はわ
ずかなため定量化できないが、図４のごとく、本金属蒸
着フィルムを巻回、または積層してコンデンサとした際
の上下の２枚の金属蒸着フィルムの間のマージン部分が
オイル６で満たされること、より好ましくは空気の層が
ないようになることである。この場合オイル６がコンデ
ンサの含浸オイルと相溶することによってオイルと含浸
オイルによってマージン部が満たされ、空気の層がなく
なることでも良い。つまりマージン部にオイルが存在
し、コンデンサにした時金属蒸着フィルムの間のマージ
ン部分が空気層のないようにオイルで充満されることが
好ましい。
６で覆われていることがより好ましい。オイルの量はわ
ずかなため定量化できないが、図４のごとく、本金属蒸
着フィルムを巻回、または積層してコンデンサとした際
の上下の２枚の金属蒸着フィルムの間のマージン部分が
オイル６で満たされること、より好ましくは空気の層が
ないようになることである。この場合オイル６がコンデ
ンサの含浸オイルと相溶することによってオイルと含浸
オイルによってマージン部が満たされ、空気の層がなく
なることでも良い。つまりマージン部にオイルが存在
し、コンデンサにした時金属蒸着フィルムの間のマージ
ン部分が空気層のないようにオイルで充満されることが
好ましい。
【００１６】本発明の金属蒸着フィルムの特徴である境
界膜部を生じさせ、金属蒸着フィルムの間のマージン部
分をオイルで充満させるため、および電気特性の点から
オイルは鉱物油、またはシリコーンオイルが好ましい。
中でもシリコーンオイルがより好ましい。特に重量平均
分子量ＭＷが３００≦ＭＷ≦８００が好ましく、中でも
重量平均分子量ＭＷが４００≦ＭＷ≦８００で、かつ数
平均分子量ＭＮとの比が１．０≦ＭＷ／ＭＮ≦１．１の
シリコーンオイルがより好ましく、さらに電気特性の点
からジメチルポリシロキサンオイルまたはメチルフェニ
ルシリコーンオイルが好ましく、中でもフェニル・メチ
ル・ジメチルポリシロキサンが最も特性的に優れてい
る。
界膜部を生じさせ、金属蒸着フィルムの間のマージン部
分をオイルで充満させるため、および電気特性の点から
オイルは鉱物油、またはシリコーンオイルが好ましい。
中でもシリコーンオイルがより好ましい。特に重量平均
分子量ＭＷが３００≦ＭＷ≦８００が好ましく、中でも
重量平均分子量ＭＷが４００≦ＭＷ≦８００で、かつ数
平均分子量ＭＮとの比が１．０≦ＭＷ／ＭＮ≦１．１の
シリコーンオイルがより好ましく、さらに電気特性の点
からジメチルポリシロキサンオイルまたはメチルフェニ
ルシリコーンオイルが好ましく、中でもフェニル・メチ
ル・ジメチルポリシロキサンが最も特性的に優れてい
る。
【００１７】図７は本発明の金属蒸着フィルムを製造す
るための一装置の概略図である。なお本発明は本実施態
様例に限定されるものではない。
るための一装置の概略図である。なお本発明は本実施態
様例に限定されるものではない。
【００１８】真空蒸着機７内において、巻きだしロール
８より送り出された高分子フィルム２に、内部のオイル
蒸気圧を測定し、規定のオイル蒸気圧に制御されたオイ
ル蒸発ノズル１１のマージン部幅に開けられた開口部を
通じ、所定のオイルを蒸着、付着させる。次いでＡｌ蒸
着源１２よりＺｎの核付けとなるＡｌを定量蒸発させ、
高分子フィルム２に蒸着し、引き続きＺｎ蒸発源１３よ
りＺｎを金属蒸着膜の表面抵抗が規定の抵抗になるよう
蒸着する。次いで低温プラズマ装置１４にて該金属蒸着
膜および境界膜部表面を酸素原子を含むガスのプラズマ
にて処理し、さらに内部のオイル蒸気圧を測定、制御し
たオイル蒸発器１５の狭い開口部を通じ、金属蒸着膜部
表面にオイルを蒸発、付着させる。
８より送り出された高分子フィルム２に、内部のオイル
蒸気圧を測定し、規定のオイル蒸気圧に制御されたオイ
ル蒸発ノズル１１のマージン部幅に開けられた開口部を
通じ、所定のオイルを蒸着、付着させる。次いでＡｌ蒸
着源１２よりＺｎの核付けとなるＡｌを定量蒸発させ、
高分子フィルム２に蒸着し、引き続きＺｎ蒸発源１３よ
りＺｎを金属蒸着膜の表面抵抗が規定の抵抗になるよう
蒸着する。次いで低温プラズマ装置１４にて該金属蒸着
膜および境界膜部表面を酸素原子を含むガスのプラズマ
にて処理し、さらに内部のオイル蒸気圧を測定、制御し
たオイル蒸発器１５の狭い開口部を通じ、金属蒸着膜部
表面にオイルを蒸発、付着させる。
【００１９】本方法においてオイル蒸発ノズル１１とオ
イル蒸発器１５内部の蒸気圧を測定、制御することは、
各々境界膜の幅の制御するうえと金属蒸着フィルム表面
のオイルによる滑りからくるコンデンサ素子巻き性の制
御のし易さの点から極めて重要である。さらに低温プラ
ズマで処理することは境界膜の幅の制御と同時にｔａｎ
δの悪化を防ぐ上で同じく極めて重要である。
イル蒸発器１５内部の蒸気圧を測定、制御することは、
各々境界膜の幅の制御するうえと金属蒸着フィルム表面
のオイルによる滑りからくるコンデンサ素子巻き性の制
御のし易さの点から極めて重要である。さらに低温プラ
ズマで処理することは境界膜の幅の制御と同時にｔａｎ
δの悪化を防ぐ上で同じく極めて重要である。
【００２０】なお低温プラズマとは、低圧のガス中に直
流、または低周波、中周波、高周波等の交流、あるいは
マイクロ波等の高電圧を印加することによって開始、維
持する放電によって生成するプラズマを指すものであ
る。
流、または低周波、中周波、高周波等の交流、あるいは
マイクロ波等の高電圧を印加することによって開始、維
持する放電によって生成するプラズマを指すものであ
る。
【００２１】本発明の金属蒸着フィルムを通常の方法に
よって、巻回、又は積層することによって耐電圧の高い
良好なコンデンサができる。特にマージン部３を覆って
いるオイルと相溶し、かつ電気絶延性の高いオイルを含
浸オイルとして用いるとさらに耐電圧の高いコンデンサ
ができ、より好ましい。
よって、巻回、又は積層することによって耐電圧の高い
良好なコンデンサができる。特にマージン部３を覆って
いるオイルと相溶し、かつ電気絶延性の高いオイルを含
浸オイルとして用いるとさらに耐電圧の高いコンデンサ
ができ、より好ましい。
【００２２】オイルと相溶するかどうかは、１００ｃｃ
のサンプル瓶にマージン部３を覆うに用いられているオ
イルと含浸オイルを各々３０ｃｃづつ入れ、栓をし、よ
く振ったのち、３０分間静置した際、二層に分離した
り、懸濁せず、透明に相溶することをさす。より簡易な
方法としてはＪＩＳ−Ｋ６７６８−１９７１「エチレン
およびポリプロピレンフィルムのぬれ試験法」に準じ含
浸オイルを含んだ綿棒で蒸着フィルムの金属蒸着膜表面
からマージン部３へ含浸オイルを塗布した際、マージン
部にて含浸オイルの塗布幅がせばまらず、同等幅か広が
る含浸オイルが好ましいとして見分ける方法が用いられ
る。
のサンプル瓶にマージン部３を覆うに用いられているオ
イルと含浸オイルを各々３０ｃｃづつ入れ、栓をし、よ
く振ったのち、３０分間静置した際、二層に分離した
り、懸濁せず、透明に相溶することをさす。より簡易な
方法としてはＪＩＳ−Ｋ６７６８−１９７１「エチレン
およびポリプロピレンフィルムのぬれ試験法」に準じ含
浸オイルを含んだ綿棒で蒸着フィルムの金属蒸着膜表面
からマージン部３へ含浸オイルを塗布した際、マージン
部にて含浸オイルの塗布幅がせばまらず、同等幅か広が
る含浸オイルが好ましいとして見分ける方法が用いられ
る。
【００２３】本発明の金属蒸着フィルムを用いたコンデ
ンサは高い耐電圧を要求する用途のコンデンサに適して
いる。中でも安全規格コンデンサとして優れている。
ンサは高い耐電圧を要求する用途のコンデンサに適して
いる。中でも安全規格コンデンサとして優れている。
【００２４】なお本発明の金属蒸着フィルムは従来の金
属蒸着フィルムと異り、マージン部がオイルで覆われて
いるため、プレス条件等従来のコンデンサ製造条件を変
更することが必要になる場合があるが、各々の金属蒸着
フィルムに合った最適な加工条件を設定することはあた
り前のことである。
属蒸着フィルムと異り、マージン部がオイルで覆われて
いるため、プレス条件等従来のコンデンサ製造条件を変
更することが必要になる場合があるが、各々の金属蒸着
フィルムに合った最適な加工条件を設定することはあた
り前のことである。
【００２５】本発明の金属蒸着フィルムのマージン部３
とは図１のごとく金属蒸着膜とメタリコン部との絶縁を
確保するために設けられるマージン（フリーマージン、
又はＪＩＳ−Ｃ２３１９−１９９７に呼称されている耳
幅）のみならず特公平１−２１６１３号公報、特開平４
−２２５５０８号公報、特開平７−８６０８８号公報、
ＵＳＰ５０５７９６７などに提案されている保安機構用
マージン、あるいは電極を分割するためのマージンをも
さすものである。
とは図１のごとく金属蒸着膜とメタリコン部との絶縁を
確保するために設けられるマージン（フリーマージン、
又はＪＩＳ−Ｃ２３１９−１９９７に呼称されている耳
幅）のみならず特公平１−２１６１３号公報、特開平４
−２２５５０８号公報、特開平７−８６０８８号公報、
ＵＳＰ５０５７９６７などに提案されている保安機構用
マージン、あるいは電極を分割するためのマージンをも
さすものである。
【００２６】このような保安機構用マージンや分割電極
用マージンを有する従来のコンデンサは金属蒸着膜とマ
ージン部の境で絶縁破壊を起し、例えばヒューズ部の金
属蒸着膜とヒューズ部を形成するマージン部との境で絶
縁破壊し、ヒューズが切れたり、あるいは分割電極のマ
ージンが重った部分が絶縁破壊するなどして容量を低下
させる問題があったが、本発明の金属蒸着フィルムを用
いたコンデンサではこのような問題が著しく改良され
る。
用マージンを有する従来のコンデンサは金属蒸着膜とマ
ージン部の境で絶縁破壊を起し、例えばヒューズ部の金
属蒸着膜とヒューズ部を形成するマージン部との境で絶
縁破壊し、ヒューズが切れたり、あるいは分割電極のマ
ージンが重った部分が絶縁破壊するなどして容量を低下
させる問題があったが、本発明の金属蒸着フィルムを用
いたコンデンサではこのような問題が著しく改良され
る。
【００２７】このようなマージンを形成する本法として
は、特開昭６３−１１４９５６号公報（ＵＳＰ４８３２
９８３）の方法が優れているが、本発明の金属蒸着フィ
ルムを作るうえで異る重要な点は、特開昭６３−１１４
９５６号公報では蒸着後マージンを形成するためのオイ
ルが消失する必要があることが強調されているが、本発
明は逆に蒸着後オイル６が残り、マージン部３を覆い、
かつ境界膜部５が生じていることである。
は、特開昭６３−１１４９５６号公報（ＵＳＰ４８３２
９８３）の方法が優れているが、本発明の金属蒸着フィ
ルムを作るうえで異る重要な点は、特開昭６３−１１４
９５６号公報では蒸着後マージンを形成するためのオイ
ルが消失する必要があることが強調されているが、本発
明は逆に蒸着後オイル６が残り、マージン部３を覆い、
かつ境界膜部５が生じていることである。
【００２８】従来のコンデンサ用蒸着フィルムのマージ
ンは境界膜部がなく、かつマージン部にオイルが残らな
いことが重要な品質であったが、本発明は逆に境界膜部
を生じさせかつマージン部にオイルが残すことによっ
て、極めて耐電圧の高い金属蒸着フィルムを発明するに
至ったのである。
ンは境界膜部がなく、かつマージン部にオイルが残らな
いことが重要な品質であったが、本発明は逆に境界膜部
を生じさせかつマージン部にオイルが残すことによっ
て、極めて耐電圧の高い金属蒸着フィルムを発明するに
至ったのである。
【００２９】本発明の金属蒸着フィルムを巻回、積層す
るなど通常の方法にてコンデンサを作製することができ
る。該コンデンサは高い耐電圧を有する。中でもマージ
ン部３を覆っているオイルと相溶する含浸剤を用いた場
合は著しく高い耐電圧を有する。特にマージンを覆って
いるオイルがシリコーンオイルで、かつ含浸剤もシリコ
ーンオイルがより好ましく、これらのシリコーンオイル
としては特にジメチルポリシロキサン、あるいはメチル
フェニルシリコーンオイルが優れている。
るなど通常の方法にてコンデンサを作製することができ
る。該コンデンサは高い耐電圧を有する。中でもマージ
ン部３を覆っているオイルと相溶する含浸剤を用いた場
合は著しく高い耐電圧を有する。特にマージンを覆って
いるオイルがシリコーンオイルで、かつ含浸剤もシリコ
ーンオイルがより好ましく、これらのシリコーンオイル
としては特にジメチルポリシロキサン、あるいはメチル
フェニルシリコーンオイルが優れている。
【００３０】本発明のコンデンサは高い電圧が印加され
る安全規格コンデンサに特に適している。
る安全規格コンデンサに特に適している。
【００３１】
（１）Ａｌ−Ｚｎ合金の組成分析 金属蒸着フィルムサンプル９ｃｍ2 を希硝酸で溶解した
のち２０ｍｌに定溶し、この定溶液をＩＣＰ発光分光分
析法にてＡｌおよびＺｎを定量した。ＩＣＰ発光分光分
析装置はセイコー電子工業（株）製ＳＰＳ１２００ＶＲ
型を用いた。
のち２０ｍｌに定溶し、この定溶液をＩＣＰ発光分光分
析法にてＡｌおよびＺｎを定量した。ＩＣＰ発光分光分
析装置はセイコー電子工業（株）製ＳＰＳ１２００ＶＲ
型を用いた。
【００３２】（２）ＡｌおよびＺｎの組成分布 ＪＥＯＬ製ＪＡＭＰ−１０Ｓ型のオージェ電子分光分析
装置にて、蒸着層の表面よりＡｒイオンエッチングしな
がらＡｌおよびＺｎの定量分析を行なった。
装置にて、蒸着層の表面よりＡｒイオンエッチングしな
がらＡｌおよびＺｎの定量分析を行なった。
【００３３】Ａｒイオンエッチング条件 加速電圧：３ｋＶ 試料電流：１×１０−6 Ａ エッチング速度：ＳｉＯ2 換算で１９μｍ／ｍｉｎ 測定条件 加速電圧：３ｋＶ スリットＮｏ．：５ 試料電流：８×１０−8 Ａ 試料傾斜角度：７２度 ビーム径：１０μｍ
【００３４】なお、フィルム界面とは蒸着膜中央よりフ
ィルム界面にかけＡｌ含有量が多くなり、最大になった
後減少していく、最大点の位置をフィルム界面とし、最
大点の含有量比をＣ3 とする。
ィルム界面にかけＡｌ含有量が多くなり、最大になった
後減少していく、最大点の位置をフィルム界面とし、最
大点の含有量比をＣ3 とする。
【００３５】（２）境界膜部幅 蒸着膜とマージンの界面を光学顕微鏡下にて５０〜１０
０倍の倍率にて測定する。または金属蒸着フィルムのマ
ージンの界面の断面の超薄切片を超高分解能電界放射型
走査電子顕微鏡（（株）日立製作所製Ｓ−９００Ｈ型）
を用い、加速電圧５ｋＶで観測する。ただし、後者の場
合蒸着膜がマージン界面より、マージン部内で徐々に薄
くなっているのが観測されるが、金属原子オーダーでの
観察が可能になるため、光学顕微鏡で規定した本発明の
境界膜部幅以上に蒸着金属がマージン内部へ入っている
ことが観察される。
０倍の倍率にて測定する。または金属蒸着フィルムのマ
ージンの界面の断面の超薄切片を超高分解能電界放射型
走査電子顕微鏡（（株）日立製作所製Ｓ−９００Ｈ型）
を用い、加速電圧５ｋＶで観測する。ただし、後者の場
合蒸着膜がマージン界面より、マージン部内で徐々に薄
くなっているのが観測されるが、金属原子オーダーでの
観察が可能になるため、光学顕微鏡で規定した本発明の
境界膜部幅以上に蒸着金属がマージン内部へ入っている
ことが観察される。
【００３６】（３）マージン部のオイルの有無 ＸＰＳ（ＥＳＣＡ）にてマージン部を観測することによ
って、オイルの存在を確認できる。
って、オイルの存在を確認できる。
【００３７】装置：ＳＳＩ社製ＳＳＸ−１００−２０６ 励起Ｘ線：ｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｚｅｄ Ａｌ Ｋ
α１．２線（１４８６．６ｅｖ） 光電子脱出角度（θ）：３５° エネルギー補正：ＣISメインピークの結合エネルギー値
を２８４．６ｅｖに合わせた。
α１．２線（１４８６．６ｅｖ） 光電子脱出角度（θ）：３５° エネルギー補正：ＣISメインピークの結合エネルギー値
を２８４．６ｅｖに合わせた。
【００３８】なお、ＸＰＳは感度が良いため汚染による
オイルを検出することがあるが、マージン部がオイルで
覆われている場合は検出されたオイルからの信号が著し
く高く、汚染のオイルとは区別できる。
オイルを検出することがあるが、マージン部がオイルで
覆われている場合は検出されたオイルからの信号が著し
く高く、汚染のオイルとは区別できる。
【００３９】（４）マージンオイルの分子量分布測定 ゲル浸透クロマトグラフＧＰＣ−２４４（ＷＡＴＥＲ
Ｓ）、検出器：示差屈折率検出器Ｒ−４０１（ＷＡＴＥ
ＲＳ）を用い測定し、分子量校正はポリスチレンで行っ
た。
Ｓ）、検出器：示差屈折率検出器Ｒ−４０１（ＷＡＴＥ
ＲＳ）を用い測定し、分子量校正はポリスチレンで行っ
た。
【００４０】なおフェニル基を有するシリコーンオイル
の場合はカラムはＴＳＫ−ｇｅｌ−Ｇ３０００ＨＸＬ
（１）、Ｇ２５００ＨｘＬ（１）（東ソ（株））を用い
た。
の場合はカラムはＴＳＫ−ｇｅｌ−Ｇ３０００ＨＸＬ
（１）、Ｇ２５００ＨｘＬ（１）（東ソ（株））を用い
た。
【００４１】
実施例１、比較例１、２、３、４ 厚さ８μｍのポリプロピレンフィルムに実施例１、比較
例１、２、３では蒸着膜幅ｘ1 ×２＝３３ｍｍのＡｌ−
Ｚｎ合金蒸着膜とｘ2 ×２＝５ｍｍのマージン部（未蒸
着部）を設けた。比較例４では同幅のＡｌ蒸着膜と同幅
のマージン部を設けた。
例１、２、３では蒸着膜幅ｘ1 ×２＝３３ｍｍのＡｌ−
Ｚｎ合金蒸着膜とｘ2 ×２＝５ｍｍのマージン部（未蒸
着部）を設けた。比較例４では同幅のＡｌ蒸着膜と同幅
のマージン部を設けた。
【００４２】実施例１、比較例１、２、３では真空蒸着
機の巻出し側よりくり出されたポリプロピレンフィルム
のマージンを形成するオイルを入れた金属パイプ（マー
ジンノズル）を加熱し、該パイプの表面に形成されたマ
ージンの幅より、幅方向の熱膨張分だけ短い幅で開けら
れた概略矩形の穴より該オイルを蒸発し、該フィルムの
表面にマージン部となる部分に該オイルを付着させた。
次いでＡｌを蒸着し、すぐにＺｎを連続的に蒸着し、続
いて比較例３を除き該蒸着膜、該境界膜部、および該マ
ージン部全面を低温プラズマし、次いで該マージンオイ
ルと同じオイルを蒸発、付着させた後巻取りロールに巻
きとった。比較例３ではＺｎ蒸着後そのまま巻取りロー
ルに巻きとった。
機の巻出し側よりくり出されたポリプロピレンフィルム
のマージンを形成するオイルを入れた金属パイプ（マー
ジンノズル）を加熱し、該パイプの表面に形成されたマ
ージンの幅より、幅方向の熱膨張分だけ短い幅で開けら
れた概略矩形の穴より該オイルを蒸発し、該フィルムの
表面にマージン部となる部分に該オイルを付着させた。
次いでＡｌを蒸着し、すぐにＺｎを連続的に蒸着し、続
いて比較例３を除き該蒸着膜、該境界膜部、および該マ
ージン部全面を低温プラズマし、次いで該マージンオイ
ルと同じオイルを蒸発、付着させた後巻取りロールに巻
きとった。比較例３ではＺｎ蒸着後そのまま巻取りロー
ルに巻きとった。
【００４３】蒸着膜が膜全体のＡｌ含有量比２．４ｗｔ
％、Ｃ1 ＝６．０ｗｔ％、Ｃ2 ＝０．１ｗｔ％、Ｃ3 ＝
１４．０ｗｔ％、および膜抵抗４Ω／□となるようにＡ
ｌおよびＺｎの蒸着源の温度を制御した。
％、Ｃ1 ＝６．０ｗｔ％、Ｃ2 ＝０．１ｗｔ％、Ｃ3 ＝
１４．０ｗｔ％、および膜抵抗４Ω／□となるようにＡ
ｌおよびＺｎの蒸着源の温度を制御した。
【００４４】マージンオイルは実施例１、比較例１、２
ではＭＷ＝５２０、ＭＷ／ＭＮ＝１．０のフェニル・メ
チル・ジメチルポリシロキサン（東レ・ダウコーニング
・シリコーン（株）社製ＳＨ７０２）を用い、実施例１
では境界膜幅が０．２〜０．４ｍｍになるよう、比較例
１では境界膜幅が０．０２ｍｍ未満（通常のオイルマー
ジン条件）、比較例２では境界膜幅が１．３ｍｍになる
よう、マージン蒸発ノズル内のオイル蒸発圧力を測定し
ながらマージンノズル温度を制御し、オイル蒸発圧力を
制御した。
ではＭＷ＝５２０、ＭＷ／ＭＮ＝１．０のフェニル・メ
チル・ジメチルポリシロキサン（東レ・ダウコーニング
・シリコーン（株）社製ＳＨ７０２）を用い、実施例１
では境界膜幅が０．２〜０．４ｍｍになるよう、比較例
１では境界膜幅が０．０２ｍｍ未満（通常のオイルマー
ジン条件）、比較例２では境界膜幅が１．３ｍｍになる
よう、マージン蒸発ノズル内のオイル蒸発圧力を測定し
ながらマージンノズル温度を制御し、オイル蒸発圧力を
制御した。
【００４５】比較例３ではマージンオイルとしてパーフ
ルオロポリエーテルオイルを用い、境界膜幅が０．０２
ｍｍ未満になるようマージンノズル温度を制御した（通
常オイルマージン条件）。
ルオロポリエーテルオイルを用い、境界膜幅が０．０２
ｍｍ未満になるようマージンノズル温度を制御した（通
常オイルマージン条件）。
【００４６】比較例４では、ｘ2 ×２＝５ｍｍの耐熱フ
ィルムを用い、テープマージン法によりＡｌを蒸着膜抵
抗４Ω／□になるよう蒸着した。
ィルムを用い、テープマージン法によりＡｌを蒸着膜抵
抗４Ω／□になるよう蒸着した。
【００４７】各々の蒸着フィルムを蒸着膜ｘ1 ＝１６．
５ｍｍ、マージン幅ｘ2 ＝２．５ｍｍの蒸着フィルムリ
ール（１９ｍｍ幅）となるよう細幅に通常の方法で切断
した。
５ｍｍ、マージン幅ｘ2 ＝２．５ｍｍの蒸着フィルムリ
ール（１９ｍｍ幅）となるよう細幅に通常の方法で切断
した。
【００４８】該スリットした蒸着フィルムを図２のごと
く通常の方法で重ね合せ、巻回後、プレス、メタリコ
ン、熱処理し、電極をとりつけ、次いでジメチルポリシ
ロキサンオイル（粘度１００ｃｓｔ）を含浸後、エポキ
シを外装する通常の方法で０．１５μＦのコンデンサを
作成した。
く通常の方法で重ね合せ、巻回後、プレス、メタリコ
ン、熱処理し、電極をとりつけ、次いでジメチルポリシ
ロキサンオイル（粘度１００ｃｓｔ）を含浸後、エポキ
シを外装する通常の方法で０．１５μＦのコンデンサを
作成した。
【００４９】これらのコンデンサにＵＬ１４１４の規格
に準拠し、１５００ＶＡＣ（６０Ｈｚ）の交流電圧を１
分間印加し、破壊の状況を調べた。
に準拠し、１５００ＶＡＣ（６０Ｈｚ）の交流電圧を１
分間印加し、破壊の状況を調べた。
【００５０】さらに蒸着フィルムリールのマージン部を
ＸＰＳで観察し、マージン部がオイルで覆われているか
調べた。
ＸＰＳで観察し、マージン部がオイルで覆われているか
調べた。
【００５１】表１に示す結果のごとく、本発明品は全く
破壊がなく、極めて優れた特性を示した。
破壊がなく、極めて優れた特性を示した。
【００５２】
【表１】 実施例２、比較例５、６、７、８ 実施例２では１０μｍ、比較例５、６、７、８は１２μ
ｍのポリエステルフィルムを用い、他の条件は表２の条
件で蒸着フィルムを作成し、次いで実施例１と同じよう
にしてコンデンサを作成した。なおコンデンサ作成条件
は金属蒸着ポリエステルフィルムを用いコンデンサを作
成する通常条件で行った。これらのコンデンサを実施例
１と同じ方法でテストした。但し印加電圧は１２５０Ｖ
ＡＣと１５００ＶＡＣにした。これらの結果を表２に示
す。
ｍのポリエステルフィルムを用い、他の条件は表２の条
件で蒸着フィルムを作成し、次いで実施例１と同じよう
にしてコンデンサを作成した。なおコンデンサ作成条件
は金属蒸着ポリエステルフィルムを用いコンデンサを作
成する通常条件で行った。これらのコンデンサを実施例
１と同じ方法でテストした。但し印加電圧は１２５０Ｖ
ＡＣと１５００ＶＡＣにした。これらの結果を表２に示
す。
【００５３】表２のごとく、本発明のコンデンサはフィ
ルム厚みが比較例に比べ２μｍ薄いにもかかわらず優れ
た特性を示した。
ルム厚みが比較例に比べ２μｍ薄いにもかかわらず優れ
た特性を示した。
【００５４】
【表２】
【００５５】
【発明の効果】本発明の金属蒸着フィルムは金属蒸着膜
とマージンとの境界面において金属ボケがあり、かつマ
ージン部がオイルで覆われているため、安全規格コンデ
ンサに課せられる高電圧印加に対してもマージン際での
破壊がおこらず、極めて高い安全性を有したコンデンサ
を作ることができる。
とマージンとの境界面において金属ボケがあり、かつマ
ージン部がオイルで覆われているため、安全規格コンデ
ンサに課せられる高電圧印加に対してもマージン際での
破壊がおこらず、極めて高い安全性を有したコンデンサ
を作ることができる。
【図１】 本発明の蒸着フィルムの断面形状の一例を示
した概略図である。
した概略図である。
【図２】本発明の蒸着フィルムの断面形状の一例を示し
た概略図である。
た概略図である。
【図３】本発明の蒸着フィルムの断面形状の一例を示し
た概略図である。
た概略図である。
【図４】本発明の金属蒸着フィルムをコンデンサを作る
ために重ねた断面形状の一例を示した概略図である。
ために重ねた断面形状の一例を示した概略図である。
【図５】本発明の金属蒸着フィルムをコンデンサを作る
ために重ねた断面形状の一例を示した概略図である。
ために重ねた断面形状の一例を示した概略図である。
【図６】本発明の金属蒸着フィルムの蒸着膜中のＡｌお
よびＺｎの含有量比の一例を示した概略図である。
よびＺｎの含有量比の一例を示した概略図である。
【図７】本発明の蒸着フィルムを製造するための一装置
の概略図である。
の概略図である。
１：本発明の金属蒸着フィルム ２：高分子フィルム ３：マージン部 ４：金属蒸着膜部 ５：境界膜部 ６：マージン部を覆うオイル ７：真空蒸着機 ８：巻き出しロール ９：巻き取りロール １０：冷却ドラム １１：オイル蒸発ノズル １２：Ａｌ蒸発源 １３：Ｚｎ蒸発源 １４：低温プラズマ処理装置 １５：オイル蒸発器
Claims (20)
- 【請求項１】 高分子フィルムの少なくとも片面に表面
抵抗１Ω／□〜１５Ω／□の電極となる金属蒸着膜部と
表面抵抗１×１０10Ω／□以上のマージン部、および該
金属蒸着膜部と該マージン部の間に該金属蒸着膜部より
該マージン部にかけ金属蒸着膜厚が連続的に低減する幅
０．０２〜１ｍｍの境界膜部を有することを特徴とする
金属蒸着フィルム。 - 【請求項２】 境界膜部の幅が０．１〜０．５ｍｍであ
ることを特徴とする請求項１に記載の金属蒸着フィル
ム。 - 【請求項３】 境界膜部の幅が０．２〜０．３ｍｍであ
ることを特徴とする請求項１に記載の金属蒸着フィル
ム。 - 【請求項４】 マージン部がオイルで覆われていること
を特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の金
属蒸着フィルム。 - 【請求項５】 オイルが鉱物油、またはシリコーンオイ
ルであることを特徴とする請求項４に記載の金属蒸着フ
ィルム。 - 【請求項６】 オイルがシリコーンオイルであることを
特徴とする請求項５に記載の金属蒸着フィルム。 - 【請求項７】 シリコーンオイルの重量平均分子量ＭＷ
が３００≦ＭＷ≦８００で、かつ数平均分子量ＭＮとの
比が１．０≦ＭＷ／ＭＮ≦１．１であることを特徴とす
る請求項６に記載の金属蒸着フィルム。 - 【請求項８】 シリコーンオイルがジメチルポリシロキ
サンオイルまたはメチルフェニルシリコーンオイルであ
ることを特徴とする請求項５〜請求項７のいずれかに記
載の金属蒸着フィルム。 - 【請求項９】 シリコーンオイルがメチルフェニルシリ
コーンオイルであることを特徴とする請求項８に記載の
金属蒸着フィルム。 - 【請求項１０】 金属蒸着膜がＡｌとＺｎの合金からな
り、かつＡｌの含有量比（Ａｌ含有量／（Ａｌ含有量＋
Ｚｎ含有量））を蒸着膜表面をＣ1 、蒸着膜厚の中間を
Ｃ2 、蒸着膜と高分子フィルムの界面をＣ3 としたとき
Ｃ2 ＜Ｃ1 ≦Ｃ3 又はＣ2 ＜Ｃ3 ≦Ｃ1 と連続的に変化
し、かつ蒸着膜全体のＡｌの含有量比（Ａｌ含有量×１
００／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有量））が０．５〜１５ｗ
ｔ％であることを特徴とする請求項１〜請求項９のいず
れかに記載の金属蒸着フィルム。 - 【請求項１１】 Ａｌの含有量比が８〜１２ｗｔ％であ
ることを特徴とする請求項１０に記載の金属蒸着フィル
ム。 - 【請求項１２】 Ａｌの含有量比がＣ2 ＜Ｃ1 ≦Ｃ3 で
あることを特徴とする請求項１０に記載の金属蒸着フィ
ルム。 - 【請求項１３】 真空蒸着機内において高分子フィルム
表面にオイルを蒸発、またはオイルを塗布した後、金属
を蒸着する工程において、蒸発オイル量、または塗布オ
イル量を制御することを特徴とする請求項１〜請求項１
２に記載の金属蒸着フィルムの製造方法。 - 【請求項１４】 オイルを蒸発、またはオイルを塗布す
る際、オイル蒸発器内のオイル圧力を測定、制御するこ
とを特徴とする請求項１３に記載の金属蒸着フィルムの
製造方法。 - 【請求項１５】 真空蒸着機内において金属を蒸着後、
酸素原子を含むガスを用いた低温プラズマにて該金属蒸
着膜表面を処理することを特徴とする請求項１３または
請求項１４に記載の金属蒸着フィルムの製造方法。 - 【請求項１６】 請求項１〜請求項１０のいずれかに記
載の金属蒸着フィルムを用いてなることを特徴とするコ
ンデンサ。 - 【請求項１７】 コンデンサにおいて含浸剤としてマー
ジンを覆っているオイルと相溶するオイルを用いたこと
を特徴とする請求項１６に記載のコンデンサ。 - 【請求項１８】 マージンを覆っているオイルおよび含
浸剤のオイルがシリコーンオイルであることを特徴とす
る請求項１７に記載のコンデンサ。 - 【請求項１９】 シリコーンオイルがジメチルポリシロ
キサンオイルあるいはメチルフェニルシリコーンオイル
であることを特徴とする請求項１８に記載のコンデン
サ。 - 【請求項２０】 請求項１６〜請求項１９のいずれかに
記載のコンデンサが安全規格用コンデンサであることを
特徴とするコンデンサ。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10937697A JP3885280B2 (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 金属蒸着フィルム、その製造方法及びそれを用いたコンデンサ |
| TW087106268A TW422888B (en) | 1997-04-25 | 1998-04-23 | A metallized film, a production method thereof, and a capacitor using it |
| SG1998000849A SG75839A1 (en) | 1997-04-25 | 1998-04-23 | A metallized film a production method thereof and a capacitor using it |
| US09/064,669 US6018454A (en) | 1997-04-25 | 1998-04-23 | Metallized film, a production method thereof, and a capacitor using it |
| MYPI98001832A MY118617A (en) | 1997-04-25 | 1998-04-23 | A metallized film, a production method thereof, and a capacitor using it |
| DE69800198T DE69800198T2 (de) | 1997-04-25 | 1998-04-24 | Metallisierter Film, Herstellungsverfahren und ihn verwendender Kondensator |
| EP98107548A EP0880153B1 (en) | 1997-04-25 | 1998-04-24 | A metallized film, a production method thereof, and a capacitor using it |
| CNB981024971A CN1161806C (zh) | 1997-04-25 | 1998-04-25 | 金属蒸镀薄膜、其制造方法及使用它的电容器 |
| KR1019980014809A KR100557751B1 (ko) | 1997-04-25 | 1998-04-25 | 금속증착필름,그제조방법및그것을사용한콘덴서 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10937697A JP3885280B2 (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 金属蒸着フィルム、その製造方法及びそれを用いたコンデンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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