JPH11186869A

JPH11186869A - 積層型厚み縦圧電共振子

Info

Publication number: JPH11186869A
Application number: JP9355606A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Kaida; 弘明開田
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1997-12-24
Filing date: 1997-12-24
Publication date: 1999-07-09
Also published as: NL1010853A1; CN1229309A; US6040652A; CN1192482C; NL1010853C2; DE19859209A1; DE19859209C2

Abstract

(57)【要約】【課題】斜対称モードに起因する不要リップルを効果
的に抑圧することができ、良好な共振特性を得ることが
できる、積層型厚み縦圧電共振子を提供する。【解決手段】複数の励振電極３〜５が圧電体層を介し
て厚み方向に重なり合っており、各励振電極３〜５に電
気的に接続されており、圧電体２の側面としての端面２
ｃ，２ｄに至るように形成された引出し電極３ａ，４
ａ，５ａを有し、引出し電極３ａ，４ａ，５ａを有する
厚み縦振動モードの高調波を利用した積層型厚み縦圧電
共振子において、励振電極３〜５が形成されている高さ
位置において、励振電極３〜５を中心として、引出し電
極３ａ〜５ａと対称な位置にダミー電極３ｂ，４ｂ，５
ｂを形成してなる、積層型厚み縦圧電共振子１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、厚み縦振動モード
の高調波を利用した厚み縦圧電共振子に関し、より詳細
には、圧電体層を介して厚み方向に重なり合う複数の励
振電極を有する積層型の厚み縦圧電共振子に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、厚み縦振動の高調波を利用した積
層型厚み縦圧電共振子が知られている。例えば、特開平
１−１７６１１０号公報には、図１０に分解斜視図で示
す積層型厚み縦圧電共振子が開示されている。この厚み
縦圧電共振子では、圧電体層５１の上面中央に励振電極
５２が形成されている。また、圧電体層５３の上面中央
に、励振電極５４が形成されている。他方、圧電体層５
３の下面中央には、圧電体層５３の下面を下方に投影し
て示すように、励振電極５５が形成されている。

【０００３】また、各励振電極５２，５４，５５には、
細長い引出し電極部５２ａ，５４ａ，５５ａが連ねられ
ており圧電体層５１または圧電体層５３の端縁に引き出
されている。

【０００４】この厚み縦圧電共振子では、図１１に示す
ように、励振電極５２，５４，５５が圧電体層５１，５
３を介して重なりあっている部分が振動部を構成し、励
振電極５４と、励振電極５２，５５との間に交流電圧を
印加することにより厚み縦振動の高調波で励振される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記厚
み縦圧電共振子では、駆動時に、斜対称モード（Ａモー
ド）の振動が発生し、リップルが共振特性上に表れると
いう問題があった。

【０００６】また、上記厚み縦圧電共振子の製造に際し
ては、図１２に示すように、圧電体層５１，５３を積層
した構成を面方向に複数連ねたマザーの圧電体５６を用
意し、マザーの圧電体５６を図１２の破線Ａ〜Ｃで厚み
方向に切断することにより、個々の厚み縦圧電共振子単
位の積層体を得ていた。なお、図１２において、５８は
圧電体５６内に形成された電極膜を示し、マザーの圧電
体５６の上面に形成されている励振電極５２及び引出し
電極５２ａについては、図示を省略してある。

【０００７】また、電極膜５８は、図１０に示した内部
に形成される励振電極５４及び引出し電極５４ａを形成
するために設けられている。なお、破線Ｂに沿って厚み
方向に切断することにより、引出し電極５４ａの端縁が
厚み縦圧電共振子５７の側面に確実に露出されることに
なる。

【０００８】すなわち、図１２に示すマザーの圧電体５
６を用意した後、破線Ｂで内部の電極膜５８を切断する
ことにより、引出し電極５４ａの端面を露出させていた
ため、破線Ｂ，Ｃで囲まれた圧電体部分を廃棄する必要
がある分だけ、圧電材料及び電極材料が無駄に消費さ
れ、コストの低減の妨げとなっていた。

【０００９】従って、上述した従来の厚み縦圧電共振子
では、斜対称モードに起因するリップルが発生するこ
と、並びに量産に際し、圧電体及び電極材料を余分に消
費するためコストが高くつくことなどの欠点があった。

【００１０】本発明の目的は、斜対称モードに起因する
リップルを効果的に低減することができ、良好な共振特
性を得ることができる、積層型厚み縦圧電共振子を提供
することにある。

【００１１】本発明の他の目的は、斜対称モードに起因
するリップルが生じ難い積層型厚み縦圧電共振子を、安
価にかつ効率良く製造することを可能とする方法を提供
することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、厚み縦振動モードの高調波を利用した厚み縦圧電共
振子であって、矩形板状の圧電体と、前記圧電体の圧電
体層を挟んで厚み方向に重なり合う複数の励振電極と、
各励振電極に接続されており、当該励振電極と同一高さ
位置において圧電体の側面に引き出された引出し電極
と、少なくとも１つの前記励振電極が形成されている高
さ位置において、当該励振電極を挟んで該励振電極に接
続されている引出し電極と対称の位置に形成されている
ダミー電極とを備えることを特徴とする。

【００１３】請求項２に記載の発明では、複数の前記励
振電極が、前記圧電体の両主面に形成された第１，第２
の励振電極と、圧電体の内部に形成された内部励振電極
とを備えることを特徴とする。

【００１４】請求項３に記載の発明では、複数の前記励
振電極が圧電体内に形成されており、厚み方向最外側の
励振電極の厚み方向外側に圧電体層が存在する。請求項
４に記載の発明では、前記圧電体の平面形状が長辺と短
辺とを有するように、前記圧電体が細長いストリップ型
の圧電体により構成されている。

【００１５】請求項５に記載の発明では、前記第１，第
２の励振電極にそれぞれ接続されている引出し電極が、
第１，第２の励振電極と同じ幅で圧電体の側面に至るよ
うに引き出されている。

【００１６】請求項６に記載の発明では、前記圧電体の
平面形状が、長辺と短辺とを有する細長い矩形形状を有
し、前記第１，第２の励振電極に接続されている引出し
電極が圧電体の長手方向端部に位置する側面に引き出さ
れており、かつ第１，第２の励振電極が圧電体の幅方向
両端に至るように形成されている。

【００１７】請求項７に記載の発明は、請求項１に記載
の積層型厚み縦圧電共振子の製造方法であって、厚み方
向に圧電体層を介して重なり合う複数の励振電極と、各
励振電極に接続された電極膜とが面方向に分散されて複
数形成されたマザーの圧電体を用意する工程と、前記電
極膜を分割して前記引出し電極と、隣に位置する厚み縦
圧電共振子のダミー電極とを形成するように、前記マザ
ーの圧電体を厚み方向に切断し、個々の厚み縦圧電共振
子を得る工程とを備えることを特徴とする。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の非限定的な実施例
を説明挙げることにより、本発明を明らかにする。

【００１９】図１は、本発明の第１の実施例に係る積層
型厚み縦圧電共振子を示す斜視図である。本実施例の積
層型厚み縦圧電共振子１は、矩形板状の細長い圧電体２
を用いて構成されている。圧電体２は、例えば、ＬｉＴ
ａＯ₃、ＬｉＮｂＯ₃もしくは水晶などの圧電単結晶、
あるいはチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのような
圧電セラミックスにより構成される。圧電セラミックス
により圧電体２を構成する場合、圧電体２は厚み方向に
分極距離されている。

【００２０】圧電体２の上面２ａ上には、第１の励振電
極３が形成されている。また、下面２ｂ上には、第２の
励振電極４が形成されている。さらに、圧電体２の中間
高さ位置には、圧電体層を介して励振電極３，４と重な
り合うように内部励振電極５が形成されている。

【００２１】なお、励振電極３〜５は、圧電体層を介し
て厚み方向に互いに重なりあっている部分をいうものと
する。すなわち、本実施例では、励振電極３に連なっ
て、圧電体２の長さ方向端部の内の一方端面２ｃに至る
ように電極が形成されているが、この励振電極３に連な
る電極部分が、引出し電極３ａを構成している。同様
に、励振電極４に連なるように引出し電極４ａが形成さ
れている。また、励振電極５に連なるように、圧電体２
の他方端面２ｄに至る引出し電極５ａが形成されてい
る。

【００２２】従って、励振電極３〜５が厚み方向に重な
り合っている部分、すなわち図１の破線Ｄで示す部分が
振動部を構成し、該振動部Ｄの外側に、上述した引出し
電極３ａ、４ａ、５ａが形成されている。

【００２３】引出し電極３ａ，４ａ，５ａは、それぞ
れ、励振電極３〜５と同一幅に形成される必要はなく、
励振電極３〜５よりも細い幅に形成されていてもよい。
もっとも、本実施例では、電極形成を容易とするため
に、励振電極３〜５及び引出し電極３ａ〜５ａのいずれ
もが、圧電体２の幅方向両端に至る幅に形成されてい
る。

【００２４】また、積層型厚み縦圧電共振子１では、圧
電体２の上面２ａ上において、励振電極３を挟んで引出
し電極３ａとは対称な位置に、ダミー電極３ｂが形成さ
れている。同様に、圧電体２の下面２ｂ上においては、
励振電極４を挟んで引出し電極４ａと対称な位置にダミ
ー電極４ｂが形成されている。さらに、圧電体２の中間
高さ位置、すなわち励振電極５が形成されている高さ位
置においては、励振電極５を挟んで引出し電極５ａと対
称な位置にダミー電極５ｂが形成されている。

【００２５】本実施例の厚み縦圧電共振子１の特徴は、
上記ダミー電極３ｂ，４ｂ，５ｂを設けたことにより、
斜対称モードに起因するリップルの発生を低減したこと
にある。これを、図２〜図６を参照して説明する。

【００２６】図２は、厚み縦圧電共振子１の図１の矢印
Ｅ−Ｅ線に沿う断面を略図的に示す図である。厚み縦圧
電共振子１では、励振電極３〜５を挟んで、それぞれ、
引出し電極３ａ，４ａ，５ａと対称な位置に上記ダミー
電極３ｂ，４ｂ，５ｂが形成されている。従って、電極
配置の対称性が高められるため、斜対称モードに起因す
る振動の発生を抑制することができる。

【００２７】すなわち、図１に示した積層型厚み縦圧電
共振子１では、励振電極５と、励振電極３，４との間に
交流電圧を印加することにより振動部Ｄが厚み縦振動の
２倍波により励振される。この場合の厚み縦圧電共振子
１の図１のＥ−Ｅ線に沿う断面における変位分布を有限
要素法で解析した結果を、図３（ａ）に示す。

【００２８】また、比較のために、上記厚み縦圧電共振
子１の斜対称モードでの振動の変位分布を有限要素法で
解析した結果を図３（ｂ）に示す。図３（ｂ）から明ら
かなように、斜対称モードで変位した場合の変位分布
は、圧電体２の中心に対して点対称となる。

【００２９】従って、本実施例のように、振動部Ｄから
引き出されている引出し電極３ａ〜５ａと、振動部Ｄを
介して対称な位置にダミー電極３ｂ〜５ｂを形成するこ
とにより、電極構造の対称性が高められ斜対称モードの
振動を抑制することができる。

【００３０】上記のように積層型厚み縦圧電共振子１に
おいて、斜対称モードに起因するリップルが低減される
ことを、具体的な実験例に基づき説明する。積層型厚み
縦圧電共振子１として、２．５×０．４×０．３ｍｍの
寸法のチタン酸鉛からなる圧電体２を用意し、振動部Ｄ
における励振電極３〜５の対向面積を０．４×０．６ｍ
ｍ、引出し電極３ａ，４ａ，５ａの圧電体２の長さ方向
に沿う寸法を１．５５ｍｍとし、ダミー電極３ｂ，４
ｂ，５ｂとして０．４×０．５ｍｍの寸法の電極を形成
したものを用意した。

【００３１】比較のために、図４に略図的断面図で示す
ように、上記ダミー電極３ｂ，４ｂ，５ｂを形成しなか
ったことを除いては、上記実施例の積層型厚み縦圧電共
振子１と同様にして構成された積層型厚み縦圧電共振子
１０を用意した。

【００３２】上記積層型厚み縦圧電共振子１，１０のイ
ンピーダンス−周波数特性を、それぞれ、図５及び図６
に示す。図６から明らかなように、比較のために用意し
た積層型厚み縦圧電共振子１０では、共振周波数ｆｒと
反共振周波数ｆａとの間に矢印Ｅで示す大きなリップル
が表れていることがわかる。このリップルは、上記斜対
称モードに起因するものである。

【００３３】これに対して、図５から明らかなように、
本実施例の積層型厚み縦圧電共振子１では、矢印Ｇで示
すように、斜対称モードに起因するリップルが非常に小
さくされていることがわかる。

【００３４】なお、上記実施例の積層型厚み縦圧電共振
子１では、全ての励振電極３〜５に対し、引出し電極３
ａ〜５ａと対称な位置にダミー電極３ｂ〜５ｂを形成し
たが、少なくとも１つの励振電極３，４または５が形成
されている高さ位置において、引出し電極と対称な位置
にダミー電極を形成すれば、電極構造の対称性がダミー
電極が全く設けられていない厚み縦圧電共振子１０に比
べて高められるため、上記実施例と同様に斜対称モード
に起因するリップルを低減することができる。

【００３５】もっとも、上記実施例のように、全ての励
振電極３〜５が形成されている高さ位置において、それ
ぞれ、ダミー電極３ｂ〜５ｂを形成した場合には、電極
構造の対称性がより一層高められるため、図５に示した
ように斜対称モードに起因するリップルを大幅に小さく
することができ、好ましい。

【００３６】次に、積層型厚み縦圧電共振子１の製造方
法を説明する。圧電共振子１を得るに当たっては、量産
性を高めるために、通常マザーの圧電体を用意し、該マ
ザーの圧電体を厚み方向に切断することにより、圧電共
振子１を得る。すなわち、上記励振電極３〜５、引出し
３ａ〜５ａ及びダミー電極３ｂ〜５ｂが平面視した場合
にマトリクス状に連なって形成されているマザーの圧電
体を用意する。このマザーの圧電体を図７に略図的斜視
図で示す。なお、図７に示すマザーの圧電体１１では、
圧電体２の上面及び下面に形成されている電極の図示は
省略してある。すなわち、励振電極３，４、引出し電極
３ａ，４ａ及びダミー電極３ｂ，４ｂの図示は省略して
いることを指摘しておく。

【００３７】マザーの圧電体１１内には、中間高さ位置
に、電極１２が形成されている。図７に示す破線Ｈに沿
って厚み方向にマザーの圧電体１２を切断することによ
り、個々の厚み縦圧電共振子１における励振電極５及び
引出し電極５ａと、隣接する厚み縦圧電共振子１におけ
るダミー電極５ｂとが形成される。すなわち、マザーの
圧電体１１を得るにあたっては、励振電極５及び引出し
電極５ａと、引出し電極５ａの外側端に連なるように連
接する厚み縦圧電共振子のダミー電極５ｂとが一体化さ
れた電極膜１２を形成する。そして、マザーの圧電体１
２を破線Ｈに沿って厚み方向に切断することにより、す
なわち電極膜１２を分割することにより、一方の厚み縦
圧電共振子の励振電極５及び引出し電極５ａと、他方の
厚み縦圧電共振子のダミー電極５ｂとが形成される。

【００３８】同様に、厚み縦圧電共振子１の上面及び下
面に形成されている励振電極３，４、引出し電極３ａ，
４ａと、ダミー電極３ｂ，４ｂとを形成するための電極
膜を形成し、上記破線Ｈに沿って切断することにより、
一方の厚み縦圧電共振子の励振電極３，４及び引出し電
極３ａ，４ａと、隣り合う厚み縦圧電共振子のダミー電
極３ｂ，４ｂとが形成される。

【００３９】従って、図１２に示したように、従来の厚
み縦圧電共振子の製造に際しては、引出し電極の端面を
圧電体の端面に露出させるために、破線Ｂ，Ｃで挟まれ
た圧電体部分及び該圧電体部分に含まれている電極材料
が無駄に消費されていたのに対し、本実施例の厚み縦圧
電共振子１を量産する場合には、このような圧電体材料
や電極材料の不要部分が生じないため、圧電体材料及び
電極材料の低減を図ることができ、ひいては、厚み縦圧
電共振子１のコストを低減することができる。

【００４０】なお、マザーの圧電体１１を得る工程につ
いては、従来より公知の積層セラミック技術を用いるこ
とができる。すなわち、電極膜１２に相当するように、
圧電体セラミックグリーンシート上に電極をスクリーン
印刷し、電極が印刷されたセラミックグリーンシート
を、励振電極３〜５及び引出し電極３ａ〜５ａ及びダミ
ー電極３ｂ〜５ｂが図１に示す位置関係となるように積
層し、マザーの圧電体を得、該マザーの圧電体を厚み方
向に加圧した後、破線Ｈに沿って切断することにより、
個々の厚み縦圧電共振子１単位の積層体チップを得る。
次に、上記のようにして得た積層体チップを焼成し、外
部電極６を蒸着、メッキもしくはスパッタリング等の適
宜の方法により形成することにより、積層型厚み縦圧電
共振子１を得ることができる。

【００４１】もっとも、厚み縦圧電共振子１の製造方法
は上記に限定されず、予め焼成された圧電板を隣り合わ
せることにより、圧電体２を得てもよい。また、上記実
施例の積層型厚み縦圧電共振子１では、圧電体２の上面
に励振電極３、引出し電極３ａ及びダミー電極３ｂが、
下面２ｂ上に励振電極４、引出し電極４ａ及びダミー電
極４ｂが形成されていたが、各励振電極、引出し電極及
びダミー電極は、圧電体内に埋設されていてもよい。

【００４２】図８及び図９は、このような励振電極、引
出し電極及びダミー電極が圧電体の内部に形成されてい
る変形例を示す各略図的断面図である。図８に示す積層
型厚み縦圧電共振子２１では、圧電体２２内に、励振電
極２３，２４が圧電体層２２ａを介して厚み方向に重な
り合うように形成されている。また、励振電極２３，２
４が重なり合っている振動部の外側に、励振電極２３に
連なるように引出し電極２３ａが、励振電極２４に連な
るように引出し電極２４ａが形成されている。引出し電
極２３ａ，２４ａは、それぞれ、圧電体２２の端面２２
ｃ，２２ｄに露出されている。

【００４３】また、励振電極２３，２４が形成されてい
る高さ位置においては、励振電極２３，２４を挟んで引
出し電極２３ａ，２４ａと対称な位置にダミー電極２３
ｂ，２４ｂが形成されている。

【００４４】従って、厚み縦圧電共振子２１において
も、ダミー電極２３ｂ，２４ｂが形成されていることに
より、電極構造の対称性が高められている。よって、斜
対称モードに起因するリップルを低減することができ、
共振特性を改善することができる。

【００４５】図９は、励振電極が圧電体内に形成されて
いる他の変形例に係る積層型厚み縦圧電共振子を示す略
図的断面図である。図９に示す積層型厚み縦圧電共振子
３１は、圧電体３２において励振電極３，４の厚み方向
外側に圧電体層３２ｅ，３２ｆが設けられていることを
除いては、第１の実施例に係る積層型厚み縦圧電共振子
１と同様に構成されている。積層型厚み縦圧電共振子３
１においても、ダミー電極３ｂ〜５ｂの形成により電極
構造の対称性が高められて第１の実施例の厚み縦圧電共
振子１と同様に斜対称モードに起因するリップルを低減
することができ、良好な共振特性を得ることができる。

【００４６】なお、上述した厚み縦圧電共振子１，２
１，３１では、いずれも、励振電極３〜５，２３，２４
は、平面形状が矩形の細長いストリップ状圧電体２の全
幅に至るように形成されていたが、本発明に係る積層型
厚み縦圧電共振子における励振電極の形状については図
示の例に限定されるものではない。

【００４７】例えば、図１０に示した従来の厚み縦圧電
共振子のように、平面形状が矩形の圧電体の中央に略円
形や他の形状の励振電極を部分的に形成したものであっ
てもよい。

【００４８】

【発明の効果】請求項１に記載の発明に係る積層型厚み
縦圧電共振子では、少なくとも１つの励振電極が形成さ
れている高さ位置において、当該励振電極を挟んで該励
振電極に接続されている引出し電極と対称の位置にダミ
ー電極が形成されているため、該ダミー電極の形成によ
り電極構造の対称性が高められる。従って、斜対称モー
ドに起因するリップルを低減することができ、厚み縦振
動モードの高調波を利用した厚み縦圧電共振子におい
て、リップルが抑圧された良好な共振特性を得ることが
可能となる。

【００４９】請求項２に記載の発明では、上記複数の励
振電極として、圧電体の両主面に形成された第１，第２
の励振電極と、圧電体の内部に形成された内部励振電極
とを備えるため、すなわち励振電極が積層されている部
分の厚み方向外側に圧電体層が存在しないため、圧電体
層の積層数が少ないので低コストの厚み縦圧電共振子を
提供することができる。

【００５０】請求項３に記載の発明に係る積層型厚み縦
圧電共振子では、複数の励振電極が圧電体内において異
なる高さ位置に形成されており、厚み方向最外側の励振
電極の厚み方向外側に圧電体層が存在するため、振動部
の耐湿性が高められると共に、該外側の圧電体層の存在
により厚み縦圧電共振子の機械的強度を高めることが可
能となる。

【００５１】請求項４に記載の発明に係る厚み縦圧電共
振子では、圧電体の平面形状が長辺と短辺とを有するよ
うに圧電体が細長いストリップ型の圧電体により構成さ
れているので、従来の厚みすべり振動モードを利用した
圧電共振子のように、幅方向寸法が小さい圧電共振部品
を構成することが可能となり、圧電共振子の小型化を図
ることができる。

【００５２】請求項５に記載の発明では、第１，第２の
励振電極に接続されている引出し電極が、第１，第２の
励振電極と同じ幅で圧電体の側面に至るように引き出さ
れているので、第１，第２の励振電極と、第１，第２の
励振電極にそれぞれ接続されている引出し電極を、同一
工程において同時にかつ容易に形成することができる。

【００５３】請求項６に記載の発明に係る積層型厚み縦
圧電共振子では、圧電体が、長辺と短辺とを有する細長
い矩形形状を有し、第１，第２の励振電極が圧電体の幅
方向両端に至るように形成されているので、マザーの圧
電体を厚み方向に切断することにより容易に個々の厚み
縦圧電共振子を得ることができる。

【００５４】請求項７に記載の発明に係る積層型厚み縦
圧電共振子の製造方法によれば、厚み方向に圧電体層を
介して重なり合う複数の励振電極と、各励振電極に接続
さた電極膜とが面方向に複数形成されたマザーの圧電体
を用意し、上記電極膜を分割して、引出し電極と、隣に
位置する厚み縦圧電共振子のダミー電極とを形成するよ
うに、マザーの圧電体を厚み方向に切断することより個
々の厚み縦圧電共振子を得ることができる。従って、上
記電極膜の分割に際しての切断により、引出し電極が圧
電体の側面に確実に露出されると共に、そのために圧電
体材料及び電極材料を無駄に消費することがないため、
請求項１に記載の発明に係る厚み縦圧電共振子を効率良
く量産することができ、厚み縦圧電共振子のコストを低
減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る積層型厚み縦圧電
共振子を示す斜視図。

【図２】図１のＥ−Ｅ線に沿う部分を示す略図的断面
図。

【図３】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、厚み縦圧電共
振子における厚み縦振動モードの高調波で振動した場
合、及び斜対称モードで振動した場合の変位分布を有限
要素法で解析した結果を示す図。

【図４】比較のために用意したダミー電極を有しない積
層型厚み縦圧電共振子を説明するための略図的断面図。

【図５】第１の実施例に係る積層型厚み縦圧電共振子の
インピーダンス−周波数特性を示す図。

【図６】比較のために用意した積層型厚み縦圧電共振子
のインピーダンス−周波数特性を示す図。

【図７】第１の実施例に係る厚み縦共振子の製造に際し
て用意されるマザーの圧電体を説明するための略図的斜
視図。

【図８】本発明の積層型厚み縦圧電共振子の変形例を示
す略図的断面図。

【図９】本発明の積層型厚み縦圧電共振子の他の変形例
を示す略図的断面図。

【図１０】従来の厚み縦圧電共振子の一例を説明するた
めの分解斜視図。

【図１１】従来の積層型厚み縦圧電共振子を説明するた
めの断面図。

【図１２】従来の積層型厚み縦圧電共振子の量産に用い
られるマザーの圧電体を説明するための略図的斜視図。

【符号の説明】

１…積層型厚み縦圧電共振子２…圧電体２ａ…上面２ｂ…下面２ｃ，２ｄ…圧電体の側面としての端面３…第１の励振電極３ａ，４ａ，５ａ…引出し電極３ｂ，４ｂ，５ｂ…ダミー電極４…第２の励振電極５…励振電極２１…積層型厚み縦圧電共振子２２…圧電体２２ａ…圧電体層２２ｃ，２２ｄ…圧電体の側面としての端面２２ｅ，２２ｆ…圧電体層２３，２４…第１，第２の励振電極２３ａ，２４ａ…引出し電極２３ｂ，２４ｂ…ダミー電極３１…積層型厚み縦圧電共振子３２ａ，３２ｂ…圧電体層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】厚み縦振動モードの高調波を利用した厚
み縦圧電共振子であって、矩形板状の圧電体と、前記圧電体の圧電体層を挟んで厚み方向に重なり合う複
数の励振電極と、各励振電極に接続されており、当該励振電極と同一高さ
位置において圧電体の側面に引き出された引出し電極
と、少なくとも１つの前記励振電極が形成されている高さ位
置において、当該励振電極を挟んで該励振電極に接続さ
れている引出し電極と対称の位置に形成されているダミ
ー電極とを備えることを特徴とする、積層型厚み縦圧電
共振子。
【請求項２】複数の前記励振電極が、前記圧電体の両
主面に形成された第１，第２の励振電極と、圧電体の内
部に形成された内部励振電極とを備えることを特徴とす
る、請求項１に記載の積層型厚み縦圧電共振子。
【請求項３】複数の前記励振電極が圧電体内に形成さ
れており、厚み方向最外側の励振電極の厚み方向外側に
圧電体層が存在する、請求項１に記載の積層型厚み縦圧
電共振子。
【請求項４】前記圧電体の平面形状が長辺と短辺とを
有するように、前記圧電体が細長いストリップ型の圧電
体により構成されていることを特徴とする、請求項１〜
３のいずれかに記載の積層型厚み縦圧電共振子。
【請求項５】前記第１，第２の励振電極にそれぞれ接
続されている引出し電極が、第１，第２の励振電極と同
じ幅で圧電体の側面に至るように引き出されている、請
求項２に記載の積層型厚み縦圧電共振子。
【請求項６】前記圧電体の平面形状が、長辺と短辺と
を有する細長い矩形形状を有し、前記第１，第２の励振
電極に接続されている引出し電極が圧電体の長手方向端
部に位置する側面に引き出されており、かつ第１，第２
の励振電極がが圧電体の幅方向両端に至るように形成さ
れている、請求項５に記載の積層型厚み縦圧電共振子。
【請求項７】請求項１に記載の積層型厚み縦圧電共振
子の製造方法であって、厚み方向に圧電体層を介して重なり合う複数の励振電極
と、各励振電極に接続された電極膜とが面方向に分散さ
れて複数形成されてマザーの圧電体を用意する工程と、前記電極膜を分割して前記引出し電極と、隣に位置する
厚み縦圧電共振子のダミー電極とを形成するように、前
記マザーの圧電体を厚み方向に切断し、個々の厚み縦圧
電共振子を得る工程とを備えることを特徴とする、積層
型厚み縦圧電共振子の製造方法。