JPH11192711A - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法と該インクジェット記録ヘッドを搭載するインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 成形材料や成形条件の振れによらず反りの少
ないフルラインタイプの長尺天板を低コストで歩留まり
良く製造することを可能とするインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法およびインクジェット記録ヘッドの提供。 【解決手段】 インクジェット記録ヘッドの製造方法
は、液体を吐出するための吐出エネルギー発生素子が複
数設けられた素子基板を形成する工程と、素子基板を一
方の面側に配した支持体を設ける工程と、素子基板の吐
出エネルギー発生素子のそれぞれに対応して設けられた
流路を形成するための溝が複数設けられた溝付き部材を
インジェクションによるインサート成型法で作製する工
程とを有し、さらにインサート成型法を実施した後に行
うゲート切断の位置を調整することで、前記ゲート切断
後の前記溝付き部材の反りを矯正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、記録液滴を飛翔さ
せて被記録媒体上に定着させて記録を行うインクジェッ
ト記録ヘッドに関するものであり、特に記録素子を記録
幅に対応した数だけ配列させて構成するフルラインタイ
プのインクジェット記録ヘッド、およびその製造方法、
さらに該インクジェット記録ヘッドを搭載するインクジ
ェット記録装置に関する。

【０００２】また、本発明は紙、糸、繊維、布帛、皮
革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス
等の被記録媒体に対し記録を行う、プリンター、複写
機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を
有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装
置と複合的に組み合わせた産業用記録装置に適用できる
発明である。

【０００３】なお、本発明における、「記録」とは、文
字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与
することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像
を付与することをも意味するものである。

【０００４】

【従来の技術】熱等のエネルギーをインクに与えること
で、インクに急峻な体積変化（気泡の発生）を伴う状態
変化を生じさせ、この状態変化に基づく作用力によって
吐出口からインクを吐出し、これを被記録媒体上に付着
させて画像形成を行なうインクジェット記録方法、いわ
ゆるバブルジェット記録方法が従来知られている。この
バブルジェット記録方法を用いる記録装置には、米国特
許第４，７２３，１２９号等の公報に開示されているよ
うに、インクを吐出するための吐出口と、この吐出口に
連通するインク流路と、インク流路内に配されたインク
を吐出するためのエネルギー発生手段としての電気熱変
換体が一般的に配されている。

【０００５】このような記録方法によれば、品位の高い
画像を高速、低騒音で記録することができると共に、こ
の記録方法を行うヘッドではインクを吐出するための吐
出口を高密度に配置することができるため、小型の装置
で高解像度の記録画像、さらにカラー画像をも容易に得
ることができるという多くの優れた点を有している。こ
のため、このバブルジェット記録方法は近年、プリンタ
ー、複写機、ファクシミリ等の多くのオフィス機器に利
用されており、さらに、捺染装置等の産業用システムに
まで利用されるようになってきている。

【０００６】ところで、インクジェット記録ヘッドのな
かでも、記録素子を記録幅に対応した数だけ配列させて
構成するフルラインタイプのインクジェット記録ヘッド
は、極めて高速に記録を行える点で従来のシリアルタイ
プのヘッドよりも優れており、今後の高速記録技術とし
て期待されている。

【０００７】前記フルラインタイプの記録ヘッドとして
は、様々なタイプのものが提案されている。

【０００８】代表的な記録ヘッド製造方法としては、以
下の工程を有するものがしられている。すなわち、
（ｉ）シリコンまたはガラスからなる基板上にフォトリ
ソ技術によって配線部および発熱素子部をパターニング
して素子基板（以降ヒーターボードと呼ぶ）を作成す
る。フルラインタイプの記録ヘッドでは、このヒーター
ボードを記録幅に対応した長さに形成するか、もしくは
小さなヒーターボードを複数配列して記録幅に対応した
長さにする工程と、（ｉｉ）前記ヒーターボード上にイ
ンクを吐出させるためのノズルやノズルにインクを供給
するための液室を形成する工程とを有する。ところで、
ノズルや液室の製法としては、注型材を用いて前記ヒー
ターボードの上にヒーターボードと一体になるようにノ
ズル・液室を形成する方法や、前記ヒーターボードとは
別体のノズル・液室を形成した天板をヒーターボードに
バネで押さえつける方法などがある。

【０００９】ヒーターボードとは別体の天板を形成する
方法は、例えば特願平０６−０３４８１０号および特願
平０６−０６０９１４号に提案されている。この方法に
よれば、天板は、ヒータボードまたは該ヒータボードが
配置されたベースボードと同等の熱膨張係数を持つ支持
部材が内側に配置され、該支持部材の外側にノズル、液
流路、および液室となる凹部が形成された樹脂層が設け
られた構造を有するものとなる。したがって、ノズルや
液室を加工の容易な樹脂で作ることができ、かつヘッド
温度が変化してもヒーターボードと天板が同等の熱膨張
係数を持っているためヒーターボードと天板がずれない
という利点を持っている。

【００１０】ところで、上記従来の方法は、支持部材の
入った樹脂製天板をいわゆるインサート成形法で製造す
る際に、支持部材と樹脂との収縮率の差によって天板に
反りを生じてしまう。一般にインサート成形品の反りを
防止するためには、コア材の回りの樹脂の厚さを均一に
したり、樹脂の流れ方が均一になるようゲート位置を工
夫したり、種々の成形条件下で成形を試み、反りの少な
くなる条件を選択する。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の方
法をフルラインタイプのインクジェット記録ヘッドの製
造に適用する場合、該フルラインタイプのものに使用さ
れる長い天板では、上記のような反りを防止するための
方法を用いても成形材料や成形条件の微妙な振れによっ
て必ずある程度の反りが残るばかりか、その反りの方向
や大きさがまちまちとなるという解決すべき課題があ
る。インクジェット記録ヘッドの天板（ノズル）加工は
数μｍの精度が必要で、またヒーターボードの接合は１
０μｍ程度の精度が必要なので、通常のインサート成形
製品では問題にならないような小さな反りでも加工上大
きな障害になることが多い。

【００１２】したがって、本発明は、上記課題を解決
し、成形材料や成形条件の振れによらず反りの少ないフ
ルラインタイプの長尺天板を低コストで歩留まり良く製
造することを可能とするインクジェット記録ヘッドの製
造方法およびインクジェット記録ヘッドを提供すること
を目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明にもとづくインクジェット記録ヘッドの製造
方法は、液体を吐出するための吐出エネルギー発生素子
が複数設けられた素子基板を形成する工程と、前記素子
基板を一方の面側に配した支持体を設ける工程と、前記
素子基板の吐出エネルギー発生素子のそれぞれに対応し
て設けられた流路を形成するための溝が複数設けられた
溝付き部材をインジェクションによるインサート成型法
で作製する工程とを有するインクジェット記録ヘッドの
製造方法であって、前記インサート成型法を実施した後
に行うゲート切断の位置を調整することで、前記ゲート
切断後の前記溝付き部材の反りを矯正することを特徴と
する。好ましくは、前記インサート成型法を実施した直
後の前記溝付き部材の反り量を測定し、該反り量に対応
して予め設定されたゲート切断の位置を切断して、ゲー
ト切断後の溝付き部材の反りを矯正する。好ましくは、
前記ゲート切断後の前記溝付き部材の反り方向が常に一
定方向となるようにして、前記ゲート切断の位置を決定
する。好ましくは、前記吐出エネルギー発生素子は、電
気信号を受けることで熱を発生する発熱抵抗素子を有す
る電気熱変換体である。

【００１４】本発明にもとづくインクジェット記録ヘッ
ドは、液体を吐出するための吐出エネルギー発生素子が
複数設けられた素子基板と、前記素子基板を一方の面側
に配した支持体と、インジェクションによるインサート
成型法で作製され、かつ前記素子基板の吐出エネルギー
発生素子のそれぞれに対応して設けられた流路を形成す
るための溝が複数設けられた溝付き部材とを有し、さら
に、前記インサート成型法を実施した後に行うゲート切
断の位置を調整することで、前記ゲート切断後の前記溝
付き部材の反りが矯正されていることを特徴とする。好
ましくは、前記インサート成型法を実施した直後の前記
溝付き部材の反り量を測定し、該反り量に対応して予め
設定されたゲート切断の位置を切断して、ゲート切断後
の溝付き部材の反りを矯正する。好ましくは、前記ゲー
ト切断後の前記溝付き部材の反り方向が常に一定方向と
なるようにして、前記ゲート切断の位置を決定する。好
ましくは、前記吐出エネルギー発生素子は、電気信号を
受けることで熱を発生する発熱抵抗素子を有する電気熱
変換体である。

【００１５】本発明のインクジェット記録装置は、液体
を吐出するための吐出エネルギー発生素子が複数設けら
れた素子基板と、前記素子基板を一方の面側に配した支
持体と、インジェクションによるインサート成型法で作
製され、かつ前記素子基板の吐出エネルギー発生素子の
それぞれに対応して設けられた流路を形成するための溝
が複数設けられた溝付き部材とを有するインクジェット
記録ヘッドを記録手段として用い、さらに、該インクジ
ェット記録ヘッドは、製作時、前記インサート成型法を
実施した後に行うゲート切断の位置を調整することで、
に、前記ゲート切断後の前記溝付き部材の反りが矯正さ
れていることを特徴とする。好ましくは、前記インサー
ト成型法を実施した直後の前記溝付き部材の反り量を測
定し、該反り量に対応して予め設定されたゲート切断の
位置を切断して、ゲート切断後の溝付き部材の反りを矯
正する。好ましくは、前記ゲート切断後の前記溝付き部
材の反り方向が常に一定方向となるようにして、前記ゲ
ート切断の位置を決定する。好ましくは、前記吐出エネ
ルギー発生素子は、電気信号を受けることで熱を発生す
る発熱抵抗素子を有する電気熱変換体である。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下図面を参照しながら本発明の
実施形態を説明する。

【００１７】（実施形態１）図１は、インクジェット記
録ヘッドの一例の主要部の概略的構成を示す斜視図、図
２は部分分解斜視図である。なお、本実施形態例では、
インク吐出口の密度３６０ｄｐｉ（７０．５μｍ）のイ
ンクジェット記録ヘッドについて説明する。

【００１８】図１および図２に示すように、インクジェ
ット記録ヘッドは、ベースプレート３００と、該ベース
プレート３００上の一端部に沿って複数設けられたヒー
タボード１００と、天板２００と、インクジョイント８
００とを備える。また、天板２００は、押さえバネ６０
０によって該ヒータボード１００と密着し、かつヒータ
ボード１００とともに複数のインク吐出口（オリフィ
ス）２０３を形成する。さらに、インクジョイント８０
０は、インクタンク（不図示）と着脱自在に結合して該
インクタンクとインクジェット記録ヘッドのインク流路
とを連通させる。それによって、オリフィス２０３から
吐出された液体に見合う量のインクがインク流路（イン
ク供給路）に供給される。

【００１９】図２に示すように、上記ヒーターボード１
００上には、所定の位置に３６０ｄｐｉの密度で配設さ
れた１２８個の吐出エネルギー発生素子１０１と、外部
からの電気信号により任意のタイミングで吐出エネルギ
ー発生素子１０１を駆動させる信号パッド、その駆動の
ための電力等を供給するための電力パッド等として機能
する複数のパッド１０２とが設けられている。また、ヒ
ーターボード１００は、金属やセラミックといった材質
で作られたベースプレート３００の表面上に接着剤を用
いて接着固定されている。なお、この実施形態例のイン
クジェット記録ヘッドでは複数のヒータボード１００を
配列させているが、このような構成のみならず長尺状の
ヒーターボードを１つ、あるいは２つ組み合わせるよう
な構成であってもよい。

【００２０】つぎに、上記天板２００は、図３（ａ）な
いし（ｃ）に示すように、ヒーターボード１００上の吐
出エネルギー発生素子１０１に対応して設けられた複数
のノズル２０２と、各ノズル２０２に連通するとともに
各ノズル２０２に対応して設けられ、かつインクを記録
媒体に向けて吐出させるためのオリフィス２０３と、各
ノズル２０２に対してインクを供給するために各ノズル
２０２に連通した液室２０１と、該液室２０１に対して
インクタンク（不図示）から供給されたインクを流入さ
せるためのインク供給路を形成し、かつベースプレート
３００と天板２００の樹脂部分との熱膨張率の差を無く
すためにインサート成形されたパイプ２０５と、該パイ
プ２０５より液室２０１にインクを供給するためのイン
ク供給口２０６とから構成されている。また参照符号２
０７は、天板２００をインジェクション成形した際の樹
脂の流入口（ゲート）を切断した跡である。

【００２１】天板２００は、ヒーターボード１００を複
数並べて設けられた吐出エネルギー発生素子列をほぼ覆
い被さる長さで構成されている。

【００２２】また、天板２００は各ノズル２０２とベー
スプレート３００上に並べられたヒーターボード１００
上の各吐出エネルギー発生素子１０１との位置関係が個
々に対応する所定の位置関係になるように合わせて接合
される。この際結合の方法として、バネ等により機械的
に押え込む方法で天板とヒーターボードを密着させる。
天板２００とヒーターボード１００の接合に必要な精度
は、ノズル列方向で±５μｍ、ノズル前後方向（インク
吐出方向）で１０μｍである。

【００２３】図４は、成形直後の天板２００を説明する
ためのもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）は模式的側面図
である。図４では、ゲート２０９を切断する前の天板２
００が示されている。天板２００の成型時には、成形材
料である樹脂は高温の液体の状態でゲート２０９の部分
から型（不図示）の中に入り、パイプ２０５の周囲を流
れてオリフィスプレート２０８に達する。型の中へすべ
て樹脂が行き渡ったら型の冷却を行い樹脂を固化させ
る。その後、樹脂を型から取り出す。この状態ではノズ
ル、オリフィスはまだ形成されておらず、ゲートを切断
した後でエキシマレーザーを用いて樹脂の加工を行い、
ノズル、オリフィスを形成する。

【００２４】樹脂は冷却され固化する際に収縮するの
で、図４に示すようなゲート２０９側に樹脂の多い不均
一な形状の場合は、樹脂の多いゲート側が多く収縮して
図４の矢印Ａの方向に破線Ｂで示すような弧を描く反り
が発生する。図４（ａ）中、ｘ軸、ｙ軸、およびｚ軸は
以下の説明を簡単に行うために便宜上設けた座標軸であ
る。ｘ軸はノズル列方向を表し、ｙ軸はノズル前後方向
（インク吐出方向）をあらわし、ｚ軸は上下方向を表
す。ここでは、上記反りは矢印Ａ方向にｘーｙ平面上で
生ずるものとする。このような座標軸を利用して、反り
の様子を図５（ａ）および（ｂ）に示す。図５（ａ）は
図４に示す反りの様子を示すもので、横軸はｘ軸方向に
延びるノズル列の長さを表し、一方縦軸はｙ軸方向に沿
った天板の反り（前後反り）を表し、図５（ｂ）はゲー
ト２０９を残らず切断した場合を示すもので、切断によ
って今までゲート部分の樹脂の収縮によって与えられて
いた力が解放される。図６に上記反りが緩和された天板
２００を示す。図６中、（ａ）は斜視図、（ｂ）は側面
図である。

【００２５】しかし、天板２００内のパイプ２０５の周
囲の樹脂分布はそもそも均一ではないし、成形材の材料
の振れや型温度、樹脂温度、冷却時間などの成形条件に
よって天板２００の反りは変化する。従って、単純に天
板の設計寸法になるように（すなわちゲートがなくなる
ように）ゲート部分を切断したのでは反り寸法が所望の
値にならないことが多い。

【００２６】反り寸法が大きいと以下の二つの理由で後
工程での加工が困難となる。

【００２７】第一に、図７に示すように、反りのあるイ
ンクジェット記録ヘッドの天板２００にレーザーでノズ
ル２０２を加工する際にはノズル１２８本単位で加工を
行っていくので、天板のＹ軸方向に反りがあると１２８
本の加工単位の継ぎ目に加工位置の段差が生じてしま
う。なお、図７は、天板２００にノズル・オリフィス加
工をしたものを図６（ｂ）の矢印Ｂ方向から見た図であ
る。

【００２８】レーザー加工は加工方向にテーパーが付く
ので、オリフィス加工ではオリフィスを開ける厚さが厚
いほど開口面積は小さくなる。ノズル位置に段差がある
と、第１ノズルと第１２８ノズルでオリフィス加工の厚
さが異なるのでオリフィスの開口面積にも段差を生じて
しまい、インクの吐出量が異なって記録濃度にむらがで
きてしまう。

【００２９】第二に、上述のように天板の接合は高い精
度が要求されるので、上下方向の反り量が大きいとヒー
ターボード１００と天板２００のアライメントや反り矯
正をしながらのバネでの押さえ込みが極めて困難にな
る。

【００３０】そこで、本発明者らはゲート切断位置と切
断前後の天板の反り量の変化に着目した。図８は、本実
施形態の天板における切断後のゲート残り量とゲート切
断前後の反り量の変化を表す図である。この図によれ
ば、ゲート切断（ゲート・カット）量を適切に調整する
ことで切断後の反りをほとんど０に出来ることがわか
る。すなわち、この天板はゲート残り量が３ｍｍの時に
天板２００の反りが最も少なくなり、その反り量は天板
全体で２０μｍ以内である。そのため、レーザー加工に
よって均一な流路やオリフィスを作成することができ、
インクの吐出にムラの無い良好な特性のヘッドを得える
ことができた。

【００３１】（実施形態２）天板を量産していくと、成
形剤のばらつきや型の違い、成形条件の振れなどによっ
て天板の反りに変化が生じる。従って常に均一な反りを
想定して同一の位置でゲート・カットを行っていては全
ての天板の反りを矯正しきれない。

【００３２】そこで、図９に第二の実施形態を示す。図
９においては、ゲート・カット前に各天板のＹ（前後）
方向の反りをレーザー測長機３０１を用いて測定する。
この天板についてあらかじめゲート・カット位置と反り
矯正量との関係を実験によって求めておき、測定した反
り量に応じてゲート・カットの位置を決定する。こうす
ることによって、反りのばらつきによらず全ての天板で
反りを無くすことができ、歩留まり良くヘッドを生産す
ることができる。

【００３３】また、同時にｚ軸（上下）方向の反りも測
定して、ｚ軸方向の反りも最小になるようゲート・カッ
ト位置を調整することで更に均一な天板を作ることがで
きる。

【００３４】（実施形態３）ゲート・カット後のノズル
・オリフィス加工では、もしゲート・カットで矯正しき
れない反りがあった場合は反り矯正を行いながら加工す
ることになる。

【００３５】上述の実施例では天板の反りが最少になる
ようにゲート・カット位置を調整したが、この場合は、
天板のばらつきによって、反りの方向がプラス方向かマ
イナス方向かが不定である。

【００３６】ノズル・オリフィス加工の際の反り矯正で
は、天板の中央部をどちらかの方向へ押して反り矯正を
行うのが治具上最も容易である。従って反りの方向が変
化すると、反り矯正が困難になる。

【００３７】そこで、本実施例ではカット後の天板の反
りが必ず同一の方向になるようにゲート・カット寸法を
決定する。

【００３８】こうするとノズル・オリフィス加工で反り
矯正が容易なので、更に均一な天板を作ることができ
る。

【００３９】（実施形態４）図１０は、前述した本発明
のインクジェット記録ヘッド１２０１を用いたインクジ
ェット記録装置の構成を説明するための模式図である。
本実施例におけるインクジェット記録ヘッドは、被記録
媒体１２２７の記録可能幅に対応した長さに３６０ｄｐ
ｉの間隔で吐出口を複数配したフルライン型のヘッドで
あり、イエロー（Ｙ），マゼンタ（Ｍ），シアン
（Ｃ），ブラック（Ｂｋ）の４色に対応した４つのヘッ
ド１２０１ａ〜１２０１ｄをホルダ１２０２により、被
記録媒体１２２７の搬送方向に沿ったｘ軸方向に所定の
間隔を持って互いに平行に固定支持されている。

【００４０】これらのヘッド１２０１ａ〜１２０１ｄに
対してそれぞれ駆動信号供給手段を構成するヘッドドラ
イバ１３０７から信号が供給され、この信号に基づいて
各ヘッド１２０１ａ〜ｄの駆動が成される。

【００４１】各ヘッド１２０１ａ〜1 ２０１ｄには、吐
出液としてＹ，Ｍ，Ｃ，Ｂｋの４色のインクがそれぞれ
１２０４ａ〜１２０４ｄのインク容器から供給されてい
る。

【００４２】また、各ヘッドの下方には、内部にスポン
ジ等のインク吸収部材が配されたヘッドキャップ１２０
３ａ〜１２０３ｄが設けられており、非記録時に各ヘッ
ドの吐出口を覆うことでヘッドの保守を成すことができ
る。

【００４３】符号１２０６は、先の各実施例で説明した
ような各種、非記録媒体を搬送するための搬送手段を構
成する搬送ベルトである。搬送ベルト１２０６は、各種
ローラ１２１１により所定の経路に引き回されており、
モータドライバ１３０５に接続された駆動用ローラによ
り駆動される。

【００４４】本実施例のインクジェット記録装置におい
ては、記録を行う前後に被記録媒体に対して各種の処理
を行う前処理装置１２５１および後処理装置１２５２を
それぞれ被記録媒体搬送経路の上流および下流に設けて
いる。

【００４５】前処理および後処理は、記録を行う被記録
媒体の種類やインクの種類に応じて、その処理内容が異
なるが、例えば、金属、プラスチック、セラミック等の
被記録媒体に対しては、前処理として、紫外線およびオ
ゾンの照射を行い、その表面を活性化することでインク
の付着性の向上を図ることができる。また、プラスチッ
ク等の静電気を生じやすい被記録媒体においては、静電
気によってその表面にごみが付着しやすく、このごみに
よって良好な記録が妨げられる場合がある。このため、
前処理としてイオナイザ装置を用い、被記録媒体の静電
気を除去することで、被記録媒体からごみの除去を行う
とよい。また、被記録媒体として布帛を用いる場合に
は、滲み防止、先着率の向上等の観点から布帛にアルカ
リ性物質、水溶性物質、合成高分子、水溶性金属塩、尿
素、およびチオ尿素から選択される物質を付与する処理
を前処理として行えばよい。前処理としては、これに限
らず、被記録媒体の温度を記録に適切な温度にする処理
等であってもよい。

【００４６】一方、後処理は、インクが付与された被記
録媒体に対して熱処理、紫外線照射等によるインクの定
着を促進する定着処理や、前処理で付与し未反応で残っ
た処理剤を洗浄する処理等を行うものである。

【００４７】

【発明の効果】以上述べたように、本発明のインクジェ
ット記録ヘッドおよびその製造方法を用いると、ゲート
切断後の天板の反りを無くすことができるため、加工む
らの無い均一な特性を持ったインクジェット記録ヘッド
を提供することが可能となる。また、該インクジェット
記録ヘッドを搭載するインクジェット記録装置は従来の
ものに比べて良好な画像記録を達成することが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にもとづくインクジェット記録ヘッドの
一例の主要部の概略的構成を示す斜視図である。

【図２】本発明にもとづくインクジェット記録ヘッドの
一例の主要部の概略的構成を示す部分分解斜視図であ
る。

【図３】本発明にもとづくインクジェット記録ヘッドの
天板の完成状態を示す図で、（ａ）ないし（ｃ）はそれ
ぞれ異なる方向から見た図である。

【図４】本発明にもとづくインクジェット記録ヘッドの
成形直後の天板を説明するためのもので、（ａ）は斜視
図、（ｂ）は模式的側面図である。

【図５】本発明にもとづくインクジェット記録ヘッドの
天板の反りを説明するための表で、横軸はｘ軸方向に延
びるノズル列の長さを表し、一方縦軸はｙ軸方向に沿っ
た天板の反り（前後反り）を表し、さらに（ａ）は図４
に示す反りの様子を示す図、（ｂ）はゲートを残らず切
断した場合を示す図である。

【図６】本発明にもとづくインクジェット記録ヘッドを
構成する反りが緩和された天板を示すもので、（ａ）は
斜視図、（ｂ）は側面図である。

【図７】本発明にもとづくインクジェット記録ヘッドを
構成する反りが緩和された天板にノズル・オリフィス加
工をしたものを図６（ｂ）の矢印Ｂ方向から見た図であ
る。

【図８】本発明にもとづくインクジェット記録ヘッドを
構成する天板における切断後のゲート残り量とゲート切
断前後の反り量の変化を説明するための表である。

【図９】インクジェット記録ヘッドを構成する天板の反
りを測定する方法の一例を説明するための斜視図であ
る。

【図１０】本発明にもとづくインクジェット記録ヘッド
を記録手段として用いたインクジェット記録装置の構成
を説明するための模式的斜視図である。

【符号の説明】

１００ ヒーターボード １０１ 吐出エネルギー発生素子 １０２ パッド ２００ 天板（溝付き部材） ２０１ 液室 ２０２ ノズル ２０３ オリフィス ２０５ パイプ ２０６ インク供給口 ２０７ ゲート切断跡 ２０８ オリフィスプレート ２０９ ゲート ３００ ベースプレート ３０１ レーザー測長機 ４００ ＰＣＢ ６００ 押さえバネ ８００ インクジョイント

フロントページの続き (72)発明者 小泉 寛 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 但馬 裕基 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 青野 清美 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体を吐出するための吐出エネルギー発
   生素子が複数設けられた素子基板を形成する工程と、前
   記素子基板を一方の面側に配した支持体を設ける工程
   と、前記素子基板の吐出エネルギー発生素子のそれぞれ
   に対応して設けられた流路を形成するための溝が複数設
   けられた溝付き部材をインジェクションによるインサー
   ト成型法で作製する工程とを有するインクジェット記録
   ヘッドの製造方法であって、 前記インサート成型法を実施した後に行うゲート切断の
   位置を調整することで、前記ゲート切断後の前記溝付き
   部材の反りを矯正することを特徴とするインクジェット
   記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のインクジェット記録ヘ
   ッドの製造方法であって、 前記インサート成型法を実施した直後の前記溝付き部材
   の反り量を測定し、該反り量に対応して予め設定された
   ゲート切断の位置を切断して、ゲート切断後の溝付き部
   材の反りを矯正することを特徴とするインクジェット記
   録ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載のインクジェッ
   ト記録ヘッドの製造方法であって、 前記ゲート切断後の前記溝付き部材の反り方向が常に一
   定方向となるようにして、前記ゲート切断の位置を決定
   することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造
   方法。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれか一項に記載
   のインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、 前記吐出エネルギー発生素子は、電気信号を受けること
   で熱を発生する発熱抵抗素子を有する電気熱変換体であ
   ることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方
   法。
5. 【請求項５】 インクジェット記録ヘッドであって、 液体を吐出するための吐出エネルギー発生素子が複数設
   けられた素子基板と、前記素子基板を一方の面側に配し
   た支持体と、インジェクションによるインサート成型法
   で作製され、かつ前記素子基板の吐出エネルギー発生素
   子のそれぞれに対応して設けられた流路を形成するため
   の溝が複数設けられた溝付き部材とを有し、さらに、 前記インサート成型法を実施した後に行うゲート切断の
   位置を調整することで、前記ゲート切断後の前記溝付き
   部材の反りが矯正されていることを特徴とするインクジ
   ェット記録ヘッド。
6. 【請求項６】 請求項５に記載のインクジェット記録ヘ
   ッドであって、 前記インサート成型法を実施した直後の前記溝付き部材
   の反り量を測定し、該反り量に対応して予め設定された
   ゲート切断の位置を切断して、ゲート切断後の溝付き部
   材の反りを矯正することを特徴とするインクジェット記
   録ヘッド。
7. 【請求項７】 請求項５または６に記載のインクジェッ
   ト記録ヘッドであって、 前記ゲート切断後の前記溝付き部材の反り方向が常に一
   定方向となるようにして、前記ゲート切断の位置を決定
   することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
8. 【請求項８】 請求項５ないし７のいずれか一項に記載
   のインクジェット記録ヘッドであって、 前記吐出エネルギー発生素子は、電気信号を受けること
   で熱を発生する発熱抵抗素子を有する電気熱変換体であ
   ることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
9. 【請求項９】 請求項５ないし８のいずれか一項にもと
   づくインクジェット記録ヘッドを記録手段として用いる
   ことを特徴とするインクジェット記録装置。