JPS58101109U - 光学式寸法測定装置 - Google Patents

光学式寸法測定装置

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JPS58101109U
JPS58101109U JP19780681U JP19780681U JPS58101109U JP S58101109 U JPS58101109 U JP S58101109U JP 19780681 U JP19780681 U JP 19780681U JP 19780681 U JP19780681 U JP 19780681U JP S58101109 U JPS58101109 U JP S58101109U
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JP
Japan
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light beam
lens
scanning light
measuring device
optical
Prior art date
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JP19780681U
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JPS6136882Y2 (ja
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泰三 中村
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Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
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  • Optical Transform (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、光学式寸法測定装置の全体構成を示す、一部
ブロック線図を含む平面図、第２図Ａ。 Ｂは、本考案に係る光学式寸法測定装置の原理を説明す
るための、光学式寸法測定装置の平行走査光線ビーム発
生装置の光学系を示す平面図及び側面図、第３図は、本
考案に係る光学式寸法測定装置の実施例で用いられてい
るコリメータレンズの具体的構成を示す側面図、第４図
は、前記具体的構成例における角度条件を示す線図、第
５図は、同じく角度特性を示す線図、第６図は、同′じ
くｆθ誤差を示す線図、第７図は、゛同じく焦点ずれに
よる角度特性変化を示す線図である。 ２２・・・レーザビーム、１４・・・固定ミラー、１６
・・・回転ミラー、１７・・・回転走査ビーム、１８・
・・コリメータレンズ（ｆθレンズ）、２Ｇ・・・平行
走査ビーム、２２−・・集光レンズ、２４・・・被測定
物、２６・・・受光素子。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）入射光線ビームを反射して回転走査光線ビームと
    する回転ミラー、該回転走査光線ビームを平行走査光線
    ビームとするｆθレンズ、及び、該ｆθレンズを支持す
    ると共に、その焦点位置で前記回転ミラーを支持する光
    学系支持体を有してなる平行走査光線ビーム発生装置と
    、前記平行走査光線ビームの明暗を感知する受光素子と
    を有し、前記平行走査光線ビーム発生装置と受光素子の
    間に被測定物を置いたときの、被測定物により平行走査
    光線ビームが遮られて生じる暗部又は明部の時間の長さ
    から被測定物の寸法を測定するようにした光学式寸法測
    定装置において、前記光学系支持体を、光軸方向に膨張
    可能な通常の金属材料で形成すると共に、前記ｆθレン
    ズを、屈折率の温度係数が負であるアサーマルガラスで
    形成し、光学系支持体の熱膨′　　張による回転ミラー
    とｆθレンズ間の間隔の変化と、ｆθレンズの温度特性
    による焦点距離の変化が相殺されるようにしたことを特
    徴とする光学式寸法測定装置。
  2. （２）前記通常の金属材料が、線膨張係数１８．８　Ｘ
    １０−６の真鍮とされ、前記アサーマルガラスが、屈折
    率の温度係数−５，ｌＸｌ０　　’、線膨張係数１０９
    ×１０−７のＡＴＣ−１とされている実　−用新案登録
    請求の範囲第１項に記載の光学大寸　　　　７法測定装
    置。
JP19780681U 1981-12-28 1981-12-28 光学式寸法測定装置 Granted JPS58101109U (ja)

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JPS58101109U true JPS58101109U (ja) 1983-07-09
JPS6136882Y2 JPS6136882Y2 (ja) 1986-10-25

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5354049A (en) * 1976-10-27 1978-05-17 Nippon Chemical Ind Scanning photoelectric measuring apparatus
JPS5587903A (en) * 1978-12-27 1980-07-03 Toshiba Corp Laser measuring device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5354049A (en) * 1976-10-27 1978-05-17 Nippon Chemical Ind Scanning photoelectric measuring apparatus
JPS5587903A (en) * 1978-12-27 1980-07-03 Toshiba Corp Laser measuring device

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JPS6136882Y2 (ja) 1986-10-25

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