JPS58144228U - 圧電素子流量計 - Google Patents

圧電素子流量計

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JPS58144228U
JPS58144228U JP1982039531U JP3953182U JPS58144228U JP S58144228 U JPS58144228 U JP S58144228U JP 1982039531 U JP1982039531 U JP 1982039531U JP 3953182 U JP3953182 U JP 3953182U JP S58144228 U JPS58144228 U JP S58144228U
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JP
Japan
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piezoelectric element
flow meter
fixing screw
ceramic
fixed
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Pending
Application number
JP1982039531U
Other languages
English (en)
Inventor
一 平塚
児玉　幸三
国枝　俊介
Original Assignee
日本原子力研究所
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Publication date
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    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/10—Nuclear fusion reactors

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案による圧電素子取付図（測定子部）。 第２図は、測定子部を組み込んだ組み合せ図。第３′図
は、マルチチャンネル方式による組み合せ図である。 第１図：■：取付フ？ンジ、■：固定ビス（大）、■：
セラミック台、■：固定ビス（小）、■：セラミック片
、■：圧電素子、■：電流導入端子、■ニスボーク部分
、■：リード線。 第２図：■：真空容器、■：測定子部、■：注入弁、■
：原料ガス（ボゾベ）、■：表示器（変換器）。 第３図：■：真空容器、■：測定子部、■：切換器、■
：表示器（変換器）。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 圧電素子をセラミックス台のスポーク部分にセラミック
    ス片を介して固定ビスで固定し、該セラミック台は固定
    ビスによってフランジに固定し、該圧電素子はリード線
    によって電流導入端子に接続されて成り圧電素子が衝撃
    により電極に発生する起電力を利用して真空容器内に注
    入するガスの流量を測定することを特徴とする圧電素子
    流量計。
JP1982039531U 1982-03-23 1982-03-23 圧電素子流量計 Pending JPS58144228U (ja)

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