JPS58164137A - カソ−ド面清浄化手段を有するスパツタイオンポンプ - Google Patents
カソ−ド面清浄化手段を有するスパツタイオンポンプInfo
- Publication number
- JPS58164137A JPS58164137A JP4640382A JP4640382A JPS58164137A JP S58164137 A JPS58164137 A JP S58164137A JP 4640382 A JP4640382 A JP 4640382A JP 4640382 A JP4640382 A JP 4640382A JP S58164137 A JPS58164137 A JP S58164137A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- anode
- casing
- mesh
- rare gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本員＠はカソード興清浄化手段を有するスパッタイオン
ポンプに関する。
ポンプに関する。
従来ζＯ１１ポンプは一場が掛けられたボ／プケーシン
グ内に亙に対向”！（てｌ対のカソードを設けると共に
、その中間に丸形その他の筒状のアノードを設ける【−
紋とする１０で、その癖気違ｔａ−ポンツｔム「ガスそ
の−の希ガス中に於ける款電ＩＩ＆運等により活性化さ
れた後には通常の使用Ｗ＃に比べて＃３僑に上昇するが
、その癖気連ｔは使用時間の経過と共に低下して、再び
通常使用時の定常的な龍に戻ってし鵞う不都合か参る。
グ内に亙に対向”！（てｌ対のカソードを設けると共に
、その中間に丸形その他の筒状のアノードを設ける【−
紋とする１０で、その癖気違ｔａ−ポンツｔム「ガスそ
の−の希ガス中に於ける款電ＩＩ＆運等により活性化さ
れた後には通常の使用Ｗ＃に比べて＃３僑に上昇するが
、その癖気連ｔは使用時間の経過と共に低下して、再び
通常使用時の定常的な龍に戻ってし鵞う不都合か参る。
この癖気遮直の低下ＯＪｌ因嬬、ポンプのカソード向の
イオン衝撃Ｏｊｔ稙的小さい領域が不純物ガス鳳子によ
り次１１ＫＩＩわれていくえめであると考えられる。
イオン衝撃Ｏｊｔ稙的小さい領域が不純物ガス鳳子によ
り次１１ＫＩＩわれていくえめであると考えられる。
本員鴫はこうした不部会＊Ｓ消したイオンポンプ會提供
する【その目的とし良もので、―場が掛けられたポンプ
クークング内に％亙に対向さゼてｌ対のカソード【設け
ると共にその中間に丸形その他の筒状のアノードを設け
るようにしたものに於て、該アノードｔメツシュ状に形
成すると共に＃ポンプケーシング内にその外部からの過
電によｐ加熱されるＴｉその他の活性金属からなるゲッ
ターフィラメントを設け、さらに該ケーシングにＡｒガ
スその他の希ガスの導入管を設は九こと管４１像とする
。
する【その目的とし良もので、―場が掛けられたポンプ
クークング内に％亙に対向さゼてｌ対のカソード【設け
ると共にその中間に丸形その他の筒状のアノードを設け
るようにしたものに於て、該アノードｔメツシュ状に形
成すると共に＃ポンプケーシング内にその外部からの過
電によｐ加熱されるＴｉその他の活性金属からなるゲッ
ターフィラメントを設け、さらに該ケーシングにＡｒガ
スその他の希ガスの導入管を設は九こと管４１像とする
。
本発明の実施例ｔ−図面にり會説明すると、（ｌ）は磁
場か掛けられ九ポンプケーシング、（２）は酸ケーシン
グ（１）内に互に対向させて設は九ｌ対のカソード、（
３）は両力ソード（２１（り間に設けられた丸形その他
のアノードを示し、該アノード（３）はメツシュ状に形
成される。（４）は該ケーシング（１１内に設けたＴＩ
その他の活性金属からなるゲッタフィラメントを示し、
ｌ［フィラメント（４ｍ１１ケーシンダ（１１の外部か
らの過電によｐ、ＩＰＯ熱されるようにし九、（ｓｌは
Ａｒガスその他の希ガスをケーシング（１）内に導入す
る尋人管である。
場か掛けられ九ポンプケーシング、（２）は酸ケーシン
グ（１）内に互に対向させて設は九ｌ対のカソード、（
３）は両力ソード（２１（り間に設けられた丸形その他
のアノードを示し、該アノード（３）はメツシュ状に形
成される。（４）は該ケーシング（１１内に設けたＴＩ
その他の活性金属からなるゲッタフィラメントを示し、
ｌ［フィラメント（４ｍ１１ケーシンダ（１１の外部か
らの過電によｐ、ＩＰＯ熱されるようにし九、（ｓｌは
Ａｒガスその他の希ガスをケーシング（１）内に導入す
る尋人管である。
尚、１示のものでは該アノード（Ｓ）【カソード方向の
開口を有するメツシュ状のアノード単体（３麿）ｔＩｌ
数伽連らねて構成するようにし、１次ゲッターフィラメ
ント（４１該ケーシング（１）の側方の絶縁子（７）を
介して導入した電極（８）に散付け゛ するようにした
。
開口を有するメツシュ状のアノード単体（３麿）ｔＩｌ
数伽連らねて構成するようにし、１次ゲッターフィラメ
ント（４１該ケーシング（１）の側方の絶縁子（７）を
介して導入した電極（８）に散付け゛ するようにした
。
該尋人管（Ｊｓｌには流量制御弁（６）を設けるものと
し。
し。
任意量の希ガスｔ＃ケーシング（１）内に尋人可能とし
た。（旬は真！童（２）に仕切弁ａ１１に介して接続さ
れる一ロ、斡（２）は磁石である。
た。（旬は真！童（２）に仕切弁ａ１１に介して接続さ
れる一ロ、斡（２）は磁石である。
その作−ｔａ＋する。該カソード（＄１１ （２１と該
メツシュ状のアノード（３１との間に為電圧が印加され
ると、該ケーシング（１）内の気体がイオン化されてこ
れかＴｉその他の活性物質から成るカソード（！ｌ （
！Ｊに価央し活性物質【スノ七ツタする。
メツシュ状のアノード（３１との間に為電圧が印加され
ると、該ケーシング（１）内の気体がイオン化されてこ
れかＴｉその他の活性物質から成るカソード（！ｌ （
！Ｊに価央し活性物質【スノ七ツタする。
スパッタ場れた活性物質はカソード（８）、アノードｌ
及びケーシング（１１の内向に耐着しゲッタ族として気
体分子勢の抽集作用を営み、ポンプと ＼して作動
する。而してこの場合スノｅツタされた活性物質はアノ
ード＋３）にａｔられることなくそのメツシｚｆ通過し
て均一多量にカソード（２）のｅ山に耐着するので七の
！ＩＩを従前のものよりも清浄に保つことが出来、同時
に気体分子、中性原子勢の運動がアノード（１）のメツ
シュＶ：弁して行ない得るのでその捕集率を高１１９排
気効率か向上する。
及びケーシング（１１の内向に耐着しゲッタ族として気
体分子勢の抽集作用を営み、ポンプと ＼して作動
する。而してこの場合スノｅツタされた活性物質はアノ
ード＋３）にａｔられることなくそのメツシｚｆ通過し
て均一多量にカソード（２）のｅ山に耐着するので七の
！ＩＩを従前のものよりも清浄に保つことが出来、同時
に気体分子、中性原子勢の運動がアノード（１）のメツ
シュＶ：弁して行ない得るのでその捕集率を高１１９排
気効率か向上する。
この状態で排気違ｇＬが低下した場合にはフイラメン）
（４１を通電加熱してその活性金属ｔ１ｉ！ｌｉ制的
に蒸発さぜカソード（２１（！ｌの表面に耐着さぞるこ
とが出来るもので、仁れによシカソード（２）の表向か
清浄化され低下し膀ちな排気連数を上昇させ特長時間良
好な排気【行なえる。ポンプの長時間に亘る使用の後に
はこれに例えばＡｒガスの希ガスを注入し放電旭通して
活性化するｔ菅し従来は該希ガスｔ−真空室１介してケ
ーシング内に導入していたか、本発明のものではレケー
シング（１）に設けた尋入管係）１介して直接希ガス會
尋人出来るので仕切弁Ｑ１を閉じれば真空室ａＯ内１に
高い希ガス圧力にさらすことなく放電処理出来使用上便
利である。
（４１を通電加熱してその活性金属ｔ１ｉ！ｌｉ制的
に蒸発さぜカソード（２１（！ｌの表面に耐着さぞるこ
とが出来るもので、仁れによシカソード（２）の表向か
清浄化され低下し膀ちな排気連数を上昇させ特長時間良
好な排気【行なえる。ポンプの長時間に亘る使用の後に
はこれに例えばＡｒガスの希ガスを注入し放電旭通して
活性化するｔ菅し従来は該希ガスｔ−真空室１介してケ
ーシング内に導入していたか、本発明のものではレケー
シング（１）に設けた尋入管係）１介して直接希ガス會
尋人出来るので仕切弁Ｑ１を閉じれば真空室ａＯ内１に
高い希ガス圧力にさらすことなく放電処理出来使用上便
利である。
このように本発明によるときは、アノード【メツシュ状
に！＃成すると共にゲッターフィラメントを設は九ので
従来の前記したような排気連成Ｏ低下１ｋｌＰｊ止出来
ると共に希ガスの尋人管ｔケーシング１Ｃ設けたので真
９室内の圧力ｒ低下することなくポンプの放電り生処理
を行なえその使用上＠！！利である勢の効果かある。
に！＃成すると共にゲッターフィラメントを設は九ので
従来の前記したような排気連成Ｏ低下１ｋｌＰｊ止出来
ると共に希ガスの尋人管ｔケーシング１Ｃ設けたので真
９室内の圧力ｒ低下することなくポンプの放電り生処理
を行なえその使用上＠！！利である勢の効果かある。
１向は本発明ポンプの１例の截断儒向−である。
ロト・・ポンプケーシング。
（！ｌ ｌ！ｌ・・・カソード、 （１）・・・ア
ノード、＋４）・・・ゲッターフィラメント、 （６１・・・尋人管。 外２名
ノード、＋４）・・・ゲッターフィラメント、 （６１・・・尋人管。 外２名
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｌＷ＆場が掛けられたポンプクーシング内に、互に対向
させてｌ対のカソード會設けゐと共にその中間に丸形そ
の他の筒状の７ノードを設けるようにしたｔのに蒙て、
該アノードをメツシュ状に形成すると共Ｋｌ［ポンツケ
ーシング内にその外部からの通電によｐ加熱きれるＴ１
その他の活性金属からなるゲッターフィラメントを設け
、さらＫｌ［ケーシングにムｒガスその他の希ガスの導
入管を設は九ことｔＩｆ１１黴とするカソード面清浄化
手段會有するスパッタイオンポンプ。 ２１１１導入管ＫＦｉ希ガスの流量ｔａＩＩする可変流
量１１１ＩＩｌｌＩ弁を設は九仁とｔ畳黴とする特許請
求の範囲１１１項記載のカソード向清浄化手段Ｖａｔ為
スノ臂ツタイオンポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4640382A JPS6011423B2 (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | カソ−ド面清浄化手段を有するスパツタイオンポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4640382A JPS6011423B2 (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | カソ−ド面清浄化手段を有するスパツタイオンポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58164137A true JPS58164137A (ja) | 1983-09-29 |
| JPS6011423B2 JPS6011423B2 (ja) | 1985-03-26 |
Family
ID=12746183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4640382A Expired JPS6011423B2 (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | カソ−ド面清浄化手段を有するスパツタイオンポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6011423B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2580866A1 (fr) * | 1985-04-23 | 1986-10-24 | Novatome | Pompe ionique a courant proportionnel au debit |
| JP2006134798A (ja) * | 2004-11-09 | 2006-05-25 | Ulvac Japan Ltd | スパッタイオンポンプ |
-
1982
- 1982-03-25 JP JP4640382A patent/JPS6011423B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2580866A1 (fr) * | 1985-04-23 | 1986-10-24 | Novatome | Pompe ionique a courant proportionnel au debit |
| JP2006134798A (ja) * | 2004-11-09 | 2006-05-25 | Ulvac Japan Ltd | スパッタイオンポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6011423B2 (ja) | 1985-03-26 |
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