JPS5824439Y2 - ボンデング装置の目合せ装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、ボンデング装置に使用する目合せ装置に関す
るものである。

ボンディング装置は熱圧着、超音波振動などを利用して
、例えば集積回路（一般にＩＣと称す）のリード線接合
などに使われていることは周知の通りである。

ＩＣの接合作業に当っては、スポットライトを用いて接
合点の目合せを行い、位置の情報をコンピューターに記
憶させ、そのデータに従って関連する機構を自動制御し
て接合作業を行っている。

すなわち、接合点の位置が決まるとコンピューターに記
憶し、その位置に超音波で駆動された接合用の振動チッ
プを持ってゆき、ＩＣ本体とリード線とを接合する。

この場合、接合の対象となるＩＣの寸法は非常に小さい
ので、ミクロン単位の精度で位置を決めないと、接合が
不具合となって不良品を発生する原因となる。

従来の目合せ装置は、構造上の配慮が不充分のため、目
合せて装置の取付部において熱伝導による寸法の偏差を
生じ、その量が３０μ程度に達する不都合がある。

すなわち、目合せ作業を始めてからしばらくの間は、冷
却しているので充分の精度で位置を決めることができる
が、作業を継続している間に段々と支持アームに熱が伝
わり、その結果、熱膨張のため寸法に狂いを生じ、した
がって正規の位置からずれた点をコンピューターに記憶
することになり、正しい接合ができなくなる欠点を避け
られなかった。

目合せしたデータを処理し、そのデータに基づいて接合
作業を自動的に制御する操作は、すべて電子技術によっ
て寸法の狂いがなく正確に制御できるから、作業継続中
に正しく目合せすることができさえすれば、その後の接
合作業は必然的に何等の心配なく正確を期すことができ
る。

要は、目合せ装置から支持アームに熱が伝わるのを阻止
し、熱膨張を発生しないように構造上の配慮すればよい
。

本考案はか・る観点に立脚し、目合せ装置から支持部に
熱が伝わらないようにしたもので、次に実施例によって
説明する。

第１図は実施例の構造であり、右半分は断面を示し、１
はレンズ収納筒体、２は放熱作用を速進するためのフィ
ン付保持体、３は光源格納筒体、４はファンであり、こ
れらは一体となるように結合され、保持台５を介して支
持アーム６に取りつけられている。

レンズ収納筒体１の下方にはレンズ７を内蔵し、その周
辺には適当個所の風穴８を設けてあり、筒体の中間部に
スリット９が挿入されている。

筒体の上部に連接して、放熱をかねて前記保持体１を固
定するための複数の鍔を配した取付部を形成し、その底
部に風穴１０が設けである。

保持体２の中間部にはレンズ１１が内蔵されており、保
持２と筒体１とは、両者の間に空間１２を形成するよう
にして、適宜に決めた複数個のビス１３で結合されてい
る。

筒体３の内部には、ソケット１４に照明用の光源ランプ
１５が取付けており、筒体の外周は３点ビス１６で固定
し、上部には排気用のファン４が置がれている。

以上の構造であるから、外気は風穴８を通って筒体１と
保持体２および筒体３の内部に入り、さらに筒体３の内
部には、矢印Ａのように外気が人って冷却作用を行うと
共に、保持体２の形成する放熱フィンによって熱が外部
に放熱される。

また、保持体２は空間１２をつくって筒体１と結ばれて
いるから、保持体２から熱が直接筒体１に伝導するのが
避けられる。

かくして支持アーム６に熱が伝わるのが著しく少くなり
、したがって熱膨張による寸法の狂いが阻止され゛る。

なお頂上にファンを設けて、内部の空気を外部に強制的
に送り出すようにしであるが、このファンは欠くべから
ざるものではなく、必要に応じて準備すればよいことは
申すまでもない。

第２図は、保持体２の最上部の形状を示し、３方にアー
ム１７を出し、このアームに筒体１をとめ、アーム以外
の部分から外気が流入するようになっている。

以上の通り本考案の構造は、空気による内部冷却と、併
せて、中間に設けた保持体２の放熱効果による熱伝導の
軽減と、さらに筒体１の上部において間隙をつくって空
間を設けるようにして中間保持体２を固定することによ
って、直接に接触することを避け、熱伝導の遮断効果を
期したもので、この結果、作業中に位置出しの狂いを生
ずることがなくなり、連続して安全確実な作業を遂行す
ることができ、実用上の効果は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例の構造を示す。 １・・・・・・レンズ収納筒体、２・・・・・・フィン
付保持体、３・・・・・・光源格納筒体、４・・・・・
・ファン、５・・・・・・保持台、６・・・・・・支持
アーム、７・・・・・・レンズ、８・・・・・・風穴、
９・・・・・・スリット、１０・・・・・・風穴、１１
・・・・・・レンズ、１２・・・・・・空間、１３・・
・・・・ビス、１４・・・・・・ソケット、１５・・・
・・・光源ランプ、１６・・・・・・ビス。 第２図は保持体２の最上部。 １７・・・・・・アーム。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. レンズ収納筒体１の上部において、放熱用フィンを設け
   た保持体２との間に空間を設けるようにして固定し、保
   持体２の上部に光源格納筒体３を連結せしめ、これらを
   一体の構造にしたことを特徴とするボンディング装置の
   目合せ装置。