JPS59194866A - 液体噴射記録ヘツド - Google Patents

液体噴射記録ヘツド

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JPS59194866A
JPS59194866A JP58069585A JP6958583A JPS59194866A JP S59194866 A JPS59194866 A JP S59194866A JP 58069585 A JP58069585 A JP 58069585A JP 6958583 A JP6958583 A JP 6958583A JP S59194866 A JPS59194866 A JP S59194866A
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弘人 松田
Makoto Shibata
誠 柴田
Hiroto Takahashi
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 インクジェット記録法（液体噴射記録法）は、記録時に
おける騒菩の発生が無視し得る程度に極めて小さいとい
う点高速記録が可能であり、而も所謂普通紙に定殖とい
う特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点において
最近関心を集めている。
その中で、例えば特開昭５４７５１８３７号公報、ドイ
ツ公開（ＤＯＬＳ）第２’８４３０６４号公報に記載さ
れている液体噴射記録法は、熱エネルギーを液体に作用
させて、液滴吐出の為の原動力を得るという点において
、他の液体噴射記録法とは、異なる特徴を有している。
即ち、上記の公報に開示されている記録法は、熱エネル
ギーの作用を受けた液体が急峻な体積の増大を伴う状態
変化を起し、該状態変化に基く作用力によって、記録ヘ
ッド部先端のオリフィスよシ液体が吐出されて、飛翔的
液滴が形成され、該液滴が被記録部材に付着し記録が行
われるという特徴がある。
殊に、ＤＯＬＳ　２８４３０６４号公報に開示されてい
る液体噴射記録法は、所謂ｄｒＯＴ）−ｏｎ　ｄｅｍａ
ｎｄ　記録法に極めて有効に適用されるばかシではなく
、記録ヘッド部をｆｕｌｌ　１ｉｎｅタイプで高密度マ
ルチオリフィス化された記録ヘッドが容易に具現化出来
るので、高解像度、高品質の画像を高速で得られるとい
う特徴を有している。
上記の記録法に適用される装置の記録ヘッド部は、液体
を吐出する為に設けられたオリフィスと、該オリフィス
に連通し、液滴を吐出する為の熱エイ・ルギーがイ夜体
に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流
路とを有する液吐出部と、熱エネルギーを発生する手段
としての電気熱変換体とを具備している。
そして、この電気熱変換体は、一対の電極と、これ等の
電極に接続し、これ等の電極の間に発熱する領域（熱発
生部）を有する発熱抵抗層とを具備している。これ等電
気熱変換体及び電極は、一般的に、前述した液体噴射記
録ヘッドの基板部分の上部層中に形成されている。この
様な液体噴射記録ヘッドの電気熱変換体の形成された基
板の構図面に従って従来例について説明する。
第１図（ａ）は、液体噴射記録ヘッドの基板の電気熱変
換体伺近の従来例に於ける平面部分図、第１図（ｂ）は
第１図（ａ）に一点鎖線ＸＹで示す部分で切断した場合
の切断面部分図である。
図に示される液体噴射記録ヘッドの基板１０１は、基板
支持体１０５上に、順次、下部層１０６゜発熱抵抗層１
０７．電極１０３．１０４　、第１の上部保護層１０８
．第２の上部保護層１０９．第３の上部保護層１１０を
積層して形成される。
前記発熱抵抗層１０７と電極１０３，１０４はエンチン
法等の方法を用いて、所定の形状（てパターニングされ
、しかも電気熱変換体１０２以外の部分では、同一形状
にパターニングされておシ、電気熱変換体１０２部分で
は、発熱抵抗層１０７上に電極は積層されず、発熱抵抗
層１０７が熱発生部１１１を形成している。第１の上部
保護層１０８及び第３の上部保護層１１０は基板１０１
の全面にわたって積層されているが、第２の上部保護層
は電気熱変換体１０２上には積層されないようにパター
ニングされている。
上記の様に形成された基板の上層部に使用される拐料は
、その上層部の設けられるそれぞれの場所によって要求
される耐熱性、耐液性、熱伝導性及び絶縁性等の特性に
応じて選択される。第１図（ａ）及び第１図（ｂ）で示
した従来例に於ける第１の上部保護層１０８の主として
の役割は、共通電極１０３と選択電極１０４間の絶縁性
を保つことにあり。
第２の上部保護層１０９の主としての役割は、液浸透防
止と耐液作用にあり、第３の上部保護層１１０の主とし
ての役割は、耐液性と機械的強度の補強にある１、 以上述べてきた構成を有する基板を有してなる従来の液
体噴射記録ヘッドでは、頻繁な繰返し使用や長時間の連
続使用に際して、基板が連続的かつ長期的に液体とその
接液面に於て接触している場合、基板上に形成されてい
る上部保護層の剥離が生じ、絶縁性の低下、電極あるい
は電気熱変換体の破損、液流路あるいはオリフィスの変
形にょる液体供給障害あるいは液体の吐出不良等を招く
と言う問題点が指摘されている。
上記従来の液体噴射記録ヘッドの長期耐液性の劣化の原
因は、基板上に多数の微細な電気熱変換体を同時に形成
する為に、上部保護の形成される段階では、上部保護層
の形成されるその表面は段差部のある微細な凹凸状とな
っているために、この段差部に於ける上部保護層の被俊
性がかならずしも良好でなかつたり、形成される層にピ
ンホールなどの欠陥が生じ、これらの欠陥部を通して液
体の浸透が起ることによると考えられている。
本発明は、上記の諸点に鑑み成されたものであって、頻
繁なる繰返し使用や長時間の連続使用に於いて総合的な
耐久性に優れ、初期の良好な液滴形成特性を長期に亘っ
て安定的に維持し得る液体噴射記録ヘッドを提供するこ
とを主たる目的とする。
また、本発明の別の目的は、製造加工上に於ける信頼性
の高い液体噴射記録ヘッドを提供することでもある。
上記の目的は、以下の本発明によって達成される。
すなわち本発明は、液滴を吐出して飛翔的液滴を形成す
る為に設けられたオリフィスと、該オリフィスに連通し
、前記液滴を形成する為の熱エネルギーが液体に作用す
る部分である熱作用部を構成の一部とする液流路とを有
する液吐出部と、基板上に設けられた発熱抵抗層に電気
的に接続して、少なくとも一対の対置する電極が設けら
れ、これ等電極の間に熱発生部が形成されている電気熱
変換体とを具備する液体噴射記録ヘッドに於いて、少な
くとも前記電極上に無機絶縁材料で構成される第１の上
部保護層、有機材料で構成される第２の上部保護層とが
積層され、かつ、少なくとも前記熱発生部分の上部に無
機絶縁材料で構成される第１の上部層、無機付和で構成
される第３の上部層とが順に積層されている事を特徴と
する液体噴射記録ヘッドである。
以下、図面に従って本発明の液体噴射記録ヘッドが有す
る基板を具体的に説明する。
基板の電“気熱変換体付近の平面部分図、第２図（ｂ）
は、第２図（ａ）に一点鎖線Ｘ′ソで示された部分で切
断した場合の切断面部分図である。
第２図（ａ）及び第２図（ｂ）に示されている基板２０
１は、シリコン、ガラス、セラミンク等の徊相で構成さ
れる基板支持体２０５と、該基板支持体２０５上Ｋ　Ｓ
　ｉ　０２等で構成される下部層２０６と１発熱抵抗層
２０７と、該発熱抵抗層２０７の土面の熱発生部２１１
を除いた部分に積層された共通電極２０４及び選択電極
２ｏろと、熱発生部２１１と共通電極２０４及び選択電
極２ｏろとを覆う第１の上部保護層２０８と、それぞれ
の下部構造に応じて積層される第２の上部保護層２０９
または第３の上部保護層２１０とを具備している。
発熱部分ｄｇｆ２ｏ２は、その主要部として熱発生部２
１１を有し、熱発生部２１１は、基板支持体２０５上に
基板支持体側から順次、下部層２０６゜発熱抵抗層２ｏ
７．第１の上部保護層２０８及び第３の上部保護層が積
層されて構成されておシ、同時に第３の保護層は少なく
とも発熱部分２０２の上部を覆うように積層されている
。従って発熱部分２０２の上部には、基板側から第１の
上部保護層２０８と第３の上部保護層２１０とが二層積
層された二重上部保護層が形成されている。
一方、発熱部分２０２以外の基板２０１は、基板支持体
２０５上に、その基板支持体２０５側から順次下部層２
０６９発熱抵抗層２０７．電極２０３゜２０４、少なく
ともこれ等電極上に第１の上部保護層２０８．第２の上
部保護層２０９が積層され基板２０１では、第２の上部
保護層２０９と第３の上部保護層２１０とはお互いに接
しない様に積層されてい名が、第３図に示す様に第３の
上部保護層２１０を第２の保護層２０９上にも重さねて
発熱部分２０２の上部より一回り広く覆う様に積層して
もよく、また第４図に示す様（（第３の上部保護層２１
０を第１の上部保護層２０８と第２の上部保護層２０９
との間に更に広く発熱部分２０２を覆う様に積層しても
よい。
少なくとも発熱部分２０２及び電極２０３　、２０４上
に積層される第１の上部保護層２０８の主な役割は、共
通電極２０４と選択電極２’０３間の絶縁性を保つこと
にあり、比較的熱伝導性及び耐熱性にも優れた、例えば
５ｉ０２等の無機酸化物やＳ　ｉ　３　Ｎ４した無機質
材料の他に酸化チタン、酸化バナジウム、酸化ニオブ、
酸化モリブデン、は化タンタル、酸化タングステン、酸
化クロム、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、酸化ラ
ンタン、酸化イツトリウム、酸化マンガン等の遷移金属
ｒｗ化物、更に酸化アルミニウム、酸化カルシウム、酸
化ストロンチウム、酸化バリウム、酸化シリコン、等の
金属酸化物及びそれらの複合体、窒化シリコン、窒化ア
ルミニウム、窒化ポロン、窒化タンタル等高抵抗窒化物
及びこれら暇化物、窒化物の複合体、更にアモルファス
シリコン、アモルファスセレン等の半導体などバルクで
は低抵抗であってもスパツタリング法、ＣＶＤ法、蒸着
法、気相反応法、液体コーティーング法等の製造過程で
高低抗化し得る薄膜７１２料を挙けることができ、その
層厚としては、一般に０１〜５μｍ、好ましくは０２〜
３μｍ、特に好丑しくはＯら〜３μｍとされるのが望ま
しい。
第２の上部保護層２０９は、発熱部分２０２上部以外の
基板２０１の上部保護層として、少なくとも電極２０３
，２．０４上に積層されており、直接液体と接触する部
分を有している。その主な役割は、液浸透防止と耐液作
用にある。更には、■成膜性が良いこと、■緻密な構造
でかつピンホールが少ないこと、■使用インクに対し膨
潤、溶解しないこと、■成膜したとき絶縁性が良いこと
、■耐熱性が高いこと等の物性を具備していることが望
ましい。そのような有機貿材料としては以下の樹脂、例
えば、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、芳香族ポリアミド
、付加重合型ポリイミド、ポリベンズイミダゾール、金
属キレート重合体、チタン酸エステル、エポキシ樹力旨
、フタル酸樹脂、熱脂１サイロツク樹脂、トリアジン樹
脂、ＢＴ樹脂（トリアジン樹脂とビスマレイミド例加重
合樹脂）等が挙げられる。又、この他に、ポリキ７リレ
ン樹脂及びその誘導体を蒸着して第２の上部保護層２０
９を形成することもできる。
更に、種々の有機化合物モノマー、例えばチオウレア、
チオアセトアミド、ビニルフェロセン１．３．５−　ト
１）　クロロベンセン、クロロベンセン、スチレン、フ
ェロセン、ピロリン、ナフタジン、ペンタメチルベンセ
ン、ニトロトルエン、アクリロニトリル、ジフェニルセ
レナイド、Ｐ−トルイジン、Ｐ−キソレン、Ｎ、Ｎ−ゾ
メチルーＰ−トルイジン、！・ルエン、アニリン、ジフ
ェニルマーキュリ−、ヘキサメチルベンゼン、マロンニ
トリル、テトラシアノエチレン、チオフェン、ベンセン
セレノ−２し、テトラシアノエチレン、エチレン、Ｎ−
ニトロンジフェニルアミン、アセチレン、１．２．４−
　トリクロロベンゼン、プロパン、等ヲ使用してプラズ
マ重合法によって成膜させて、第２の上部保護層２０９
を形成することもできる。
更に、高密度マルチオリフィスタイプの記録ヘッドの作
成に於ては、上記した有機材料とは別に微細フォトｌ）
ングラフィー加工が極めて容易とされる有＠賀材料を第
２の上部保護層２０９を形成する材料として使用するの
が望ましい。そのような有機拐料としては、具体的には
、例えばポリイミドインインドロキナゾリンジオン（商
品名：ＰＩＱ。
日立化成製）、ポリイミド樹脂（商品名：　ＰＹＲＡＬ
　ＩＮ　。
テュホン製）、環化ポリフリジエン（商品名：ＪｓＲ−
ＣＢＲ、日本合成ゴム製）、フォトニース（商品名：東
し製）、その他の感光性ポリイミド樹脂等が好しいもの
として挙られる。
発熱部分２０２上部に第１の上部保護層に次いで設けら
れる第３の上部保護層２１０の役割は、主に耐液性と機
械的強度の補強の付与にある。この第３の上部保護層は
、粘シがあって、比較的機械的強度に優れ、かつ第１の
上部保護層２０８に対して密着性と接着性のある、例え
ば第１の上部保護層２０８が５ｉ０２で形成されている
場合には、Ｔａ等の金属材料で構成される。このように
第１の上部保護層２０８上に金属等の比較的粘シがあっ
て機械的強度のある無磯材料で構成される第３の上部保
護層２１０を発熱部分２０２の上部に設けることによっ
て、熱発生部２１１の液体との接触面（熱作用面、不図
示）に於て液体吐出の際に生ずるキャヒテーンヨン作用
からの／ヨンクを充分吸収することができ、捷だ上部保
護層の被櫃性の低下やピンホール等の製造工程上で生じ
る上部保護層の欠陥の発生する確率が低くなり、発熱部
分２０２の寿命を格段に延ばす効果がある。
第３の上部保護層２１０を形成することのできる材料と
しては、上記のＴａの他に’Ｉ　Ｓｃ’、　Ｙなどの周
期律表第■ａ族の元素、Ｔｉ　、　Ｚｒ　、　Ｈｆなど
の第■ａの元素、■、Ｎｂなとの第Ｖａ族の元素、Ｃ１
・。
Ｍｏ、Ｗなどの第ＶＩａ族の元素、Ｆｃ　、　Ｃｏ　、
　Ｎｉなどの第１族の元素；　Ｔｉ　−Ｎｉ　、　Ｔａ
　−Ｗ　、　Ｔａ　−Ｍｏ　−Ｎｉ　、　Ｎｉ−Ｃｒ　
、　Ｆｅ−Ｃｏ　、　Ｔｉ−Ｗ、　Ｆｅ　−Ｔｉ　、　
Ｆｅ　−Ｎｉ　、　Ｆｅ−Ｃｒ　、　Ｆｅ　−Ｎｉ−Ｃ
ｒなどの上記金属の合金；　Ｔｉ　−Ｂ　、　Ｔａ−Ｂ
　、　Ｈｆ−Ｂ、Ｗ−Ｂなどの上記金属の硼化物；　Ｔ
ｉ　−Ｃ、Ｚｒ−Ｃ。
Ｖ−Ｃ、Ｔａ　−Ｃ、Ｍｏ　−Ｃ、Ｎｉ　−Ｃなどの上
記金属の炭化物；　Ｍｏ−３ｉ　、　Ｗ−８ｉ　、　Ｔ
ａ−３ｉなどの上記金属のケイ化物；　Ｔ　ｉ　−Ｎ　
、　Ｎｂ　−Ｎ　、　Ｔａ−Ｎなどの上記金属の窒化物
が挙げられる。第３の層は、これらの材料を用いて蒸着
法、スパッタリング法ＣＶＤ法等の手法により形成する
ことができ、その膜厚としては、一般に００１〜５μｍ
１好ましくは０１〜５μｍ１特に好ましくは０２〜３μ
ｍときれるのが望ましい。また、材料、膜厚の選択にあ
たっては、その比抵抗がインクの比抵抗や発熱抵抗層の
比抵抗及び電極層の比抵抗よシ大きなものが良く、例え
ば１オーム・センナメートル以下の層とすることが好ま
しいが、耐機械的衝撃性の強い５ｉ−Ｃなどの絶縁材も
好適に使用できる。
第３の上部保護層２・１０は、上記の層単独であっても
よいが、もちろんこれらの幾つかを組合わせることもで
きる。また、第３の上部保護層２１０を上記のもの単独
ではなく、第１の上部保護層２０８の材質と組み合わせ
て使用することも可能である。
下部層２０６は、主に熱発生部２１１より発生して設け
られるもので、熱作用部（木図示）に於いて液体に熱エ
ネルギーを作用させる場合には、熱発生部２１１より発
生する熱が熱作用部側により多く流れるようにし、発熱
部分１　ｊｆ−２０２ヘ、７）通電がＯＦＦされた際に
は、熱発生部２１１に残存している熱が、支持体２０５
側に速やかに流れるように構成材料の選択と、その層厚
の設計が成される。下部層２０６を構成する材料として
は、先に挙げだＳｉＯ２の他に酸化ジルコニウム、酸化
タンタル、は化マグネシウム、酸化アルミニウム等の金
属酸化物（で代表される無機質材料が挙げられる。
発熱抵抗層２０７を構成する材料は、通電されることに
よって、所望通りの熱が発生するものであれば大概のも
のが採用され得る。
そのような材料としては、具体的には例えば窒化タンタ
ル、ニクロム、銀−パラジウム合金、シＩＪ　コン半導
体、或いは、ハフニウム、ランタン、ジルコニウム、チ
タン、タンタル、タングステン、モリブデン、ニオブ、
クロム、バナジウム等の金属及びその合金並びにそれら
の硼化物等が好ましいものとして挙げられる。
これ等の発熱抵抗層２０７を構成する材料の中、殊に金
属硼化物が優れたものとして挙げることができ、その中
でも最も特性の優れているのが硼化ハフニウムであシ、
次いで硼化ジルコニウム、硼化ランタン、硼化タンタル
、硼化バナジウム、硼化ニオブの順となっている。
発熱抵抗層２０７は、上記した材料を使用して、電子ビ
ーム蒸着やスパッタリング等の手法を用いて形成するこ
とができる。
発熱抵抗体層の層厚は、単位時間当りの発熱量が所望通
りとなるように、その面積、材質及び熱作用部の形状及
び大きさ、更には実際面での消費電力等に従って決定さ
れるものであるが通常の場合、０００１〜５μｍ１好適
には０．０１〜１μｍとされる。
電極２０３及び２０４を構成する材料としては、通常使
用されている電極材料の多くのものが有効に使用され、
具体的には例えば、ＡＩ　、　Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ。
Ｃｕ等の金属が挙げられ、これ等を使用して、蒸着等の
手法で所定位置に、所定の大きさ、形状、厚さで設けら
れる。
本発明の液体噴射記録ヘッドは、前述したような特徴的
構成を有する電気熱変換体がその上に電気熱変換体／Ｚ
Ｚによシ形成される熱発生部２１１に対応した液流路３
０５とオリフィス３０６を形成することによって完成さ
れる。尚、第３の上部保護層を熱発生部分の上部の必要
最小限の領域に設ける事は好ましい。
第５図は、完成した液体噴射記録ヘッドの一態様の内部
構造を示すだめの模式的分解図であシ、この例ではオリ
フィス３０６は、熱発生部の上方に設けられている。な
お、３ｏ７はインク流路壁。
３０８は共通液室、３０９は第２の共通液室を。
３１０は共通液室３０８と第２の共通液室３０９を連結
する貫孔、３１１は天板である。また、電気熱変換体の
配線部（でついては図示を省略しである。
第６図Ｑま、完成した他の態様の液体噴射記録ヘッド模
式図を示すもので、この例ではオリフィス３０６は液流
路の先端に形成されている。なお、３１２はインク供給
口を示す。この様な液体噴射記録ヘットは、その基板の
上部層が、その上部層の設けられるそれぞれの場所によ
って要求される耐熱性、　１ｉｒｌ液性、熱電導性及び
電気絶縁性等の特性に応じて適切に選択された徊料が積
層されて形成され、しかも何層にも種々の材料が積層さ
れて成る基板の上部層の各層間の密着性及び接着性に優
九でいるために、頻繁なる繰返し使用や長時間の連続使
用に於いて総合的な耐久性、特に耐液性に１愛れ、初期
の良好な液滴形成特性を長期にわたって安定的に維持で
きるものとなった。
以下参考例に従って本発明をさらに詳しく説明する。
参考例 Ｓ１ウエハーを熱酸化にょシ５μｍの厚さの５ｉ０２膜
を形成し基板とした。この基板にスパッタにより発熱抵
抗層としてＨｆＢ２を３ｏｏｏ犬の厚みに形成し、続い
てビーム蒸着（Ｃより、Ｔ１層５ｏＸ、Ａ１層１ｏｏｏ
、Ｋを順次堆積した。次にフォトリソ工程により所定の
同一形状に電極上発熱抵抗層を第２図（ａ）のような形
状にパターニングし、所定の位置と個数の電気熱変換体
（熱発生部、５０μｍ幅、１５０μｍ長さ）を形成した
。
電気熱変換体と電極とが形成された基板上にさらに’Ｉ
　５ｉ０２スパッタ層をハイレートスパッタにより２．
８μｍ堆積させ、続いてＴａ７７７２層を０５μ堆積し
た。
ここで再度、フォトリソ工程によ、！７、Ｔａスパッタ
層を電気熱変換体上部だけＶＣ１１９０μｍ１長さ２０
０μｍのパターンで残るようにエツチングを行ない、そ
の電気熱変換体上部のパターン以外の部分をフォトニー
ス（東し製）被膜層によって覆われるようにした。
この様に形成された基板上に厚さ５０μｍの感光性樹脂
ドライフィルムを積層し、所定のパターンマスクによる
露光、現像を行ない液流路と共通液室を設け、更ＶＣエ
ポキシ系接着剤イ２を介してガラス製の天井板を積層し
、第５図の模式図に示されるような液体１貝射記録ヘン
ドを作製した。
この液体噴射記録ヘットを用いて１日当り５×１０７回
、２０日間作動させて耐久回数試験を行なった。本発明
の液体噴射記録ヘッドでは、耐久回数１０９回を安定し
て達成でき、しかも６００Ｃ１１ケ月の記録液中に記録
ヘッドを浸漬して行なった記録ヘッドの耐記録液性試験
に於ても、記録液浸漬後の記録ヘッドの基板上部層に異
常が観察されず、ヘッドの１６千ｍもなく、浸漬以前の
良好な記録特性を維持でき、総合的耐久性ＶＣ優れたも
のであった。
比較のための従来の構造を有する基板を用いて実施例と
同様に作製した液体噴射記録ヘッドでは、上記連続使用
試験では、１０７回以上の耐久回数をほとんど達成でき
ず、また耐記録液性試験では、基板の上部層の基板から
の剥離現象が生じ、液流路あるい（−１ニオリフイスの
変形が起き、また記録ヘッドに電圧が印加された使用状
態に於て、電極か溶解し断線に至るなどの障害が発生し
た。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）は、液体噴射記録ヘットの基板の電気熱変
換体付近の従来例に於ける平面部分図、第１図（ｂ）は
第１図（ａ）　Ｋ一点鎖線ＸＹで示す部分で切断した場
合の切断面部分図、第２図（ａ）、第３図及び第４図は
、本発明の液体噴射記録ヘッドの基板の電気熱変換体付
近の平面部分図、第２図（ｂ）は第２図（、）に一点鎖
線Ｘ′Ｙ′で示す部分で切断した場合の切断面部分図、
第５図は本発明の液体噴射記録へソドの一態様の内部構
造を示すだめの模式的分解図、第６図は本発明の他の態
様の液体噴射記録ヘッドの模式図である。 １０１．２０１：基板　１ｏ２：’屯気熱変換体１０３
．２０３：（選択）電極 １０４．２０４：（共通）電極 ｌＯ５，２０５二基板支持体 １０６．２０６：下部層 １０７．２０７：発熱抵抗層 １０８．２０８：第１の上部保護層 １０９，２０９：第２の上部保護層 １１０．２１０：第３の上部保護層 １１１．２１１：熱発生部 ２０２：発熱部分　　　３ｏ５：液流路３０６：オリフ
ィス　　３ｏ７：インク流路壁３０８：共通液室 ３０９：第二の共通液室 ３１０：共通液室連結貫孔 ３１１：天井　　　　　３１２：インク供給口特許出願
人　　キャノン株式会社 （ａ） １１１図 ＠；２ｍ １１４　　　図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 液滴を吐出して飛翔的液滴を形成する為に設けられたオ
    リフィスと、該オリフィスに連通し、前記液滴を形成す
    る為の熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用
    部を構成の一部とする液流路とを有する液吐出部と、基
    板上に設けられた発熱抵抗層に電気的に接続して、少な
    くとも一対の対置する電極が設けられ、これ等電極の間
    に熱発生部が形成されている電気熱変換体とを具備する
    液体噴射記録ヘッドに於いて、少なくとも前記電極上に
    無機絶縁材料で構成される第１の上部保護層、有機材料
    で構成される第２の上部保護層とが積層され、かつ、少
    なくとも前記熱発生部分の上部に無機絶縁材料で構成さ
    れる第１の上部層、無機材料で構成される第３の上部層
    とが順に積層されている事を特徴とする液体噴射記録ヘ
    ッド。
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