JPS59201756A - 研磨キヤリア - Google Patents
研磨キヤリアInfo
- Publication number
- JPS59201756A JPS59201756A JP58072722A JP7272283A JPS59201756A JP S59201756 A JPS59201756 A JP S59201756A JP 58072722 A JP58072722 A JP 58072722A JP 7272283 A JP7272283 A JP 7272283A JP S59201756 A JPS59201756 A JP S59201756A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- polishing
- holes
- guide plate
- guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/27—Work carriers
- B24B37/28—Work carriers for double side lapping of plane surfaces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、被加工物（シリコンウエハー、セラミック、
水晶ウエハ一等）を、回転している上定盤と下定盤との
間に挾み、研磨剤を供給しながら被加工物の両面を同時
に研磨する研磨装置の、該被加工物の案内と回転を与え
るために用いる研磨キャリアに関する。
水晶ウエハ一等）を、回転している上定盤と下定盤との
間に挾み、研磨剤を供給しながら被加工物の両面を同時
に研磨する研磨装置の、該被加工物の案内と回転を与え
るために用いる研磨キャリアに関する。
従来の研磨キャリアは第１図に示すような、歯車状の外
周部１と１個以上の被加工物案内孔２（以下案内孔２）
を有したものが一般的である。
周部１と１個以上の被加工物案内孔２（以下案内孔２）
を有したものが一般的である。
なお、厚味は被加工物により異なるが、水晶ウエハーの
加工では通常０．１ｍｍ〜０．２ｍｍである。
加工では通常０．１ｍｍ〜０．２ｍｍである。
この研磨キャリアを用いて被加工物を研磨するには、第
２図に示すように、研磨装置３の下定盤４上に太陽ギア
５とインターナルギア６に噛合うようにして研磨キャリ
ア７を載置し、被加工物８を該研磨キャリアの案内孔１
００にセットした後、上定盤９を下降させ、酸化セリウ
ム等の研磨剤１０を供給しながら下定盤４と上定盤９と
をそれぞれ反対方向に回転させる装置が用いられる。上
、下定盤４，９に挾まれた研磨キャリア７は歯車状の外
周部１０１を介し、太陽ギア５とインターナルギア６の
回転により自転しながら下定盤９の回転方向に回転する
。研磨キャリア７にセットされている被加工物８には４
方向の運動が与えられ、また両面を同時に等量ずつ研磨
するよう、上定盤８、下定盤９および研磨キャリア７の
回転比が設計されているので、研磨速度が速く、高度な
加工精度を得ることができる。
２図に示すように、研磨装置３の下定盤４上に太陽ギア
５とインターナルギア６に噛合うようにして研磨キャリ
ア７を載置し、被加工物８を該研磨キャリアの案内孔１
００にセットした後、上定盤９を下降させ、酸化セリウ
ム等の研磨剤１０を供給しながら下定盤４と上定盤９と
をそれぞれ反対方向に回転させる装置が用いられる。上
、下定盤４，９に挾まれた研磨キャリア７は歯車状の外
周部１０１を介し、太陽ギア５とインターナルギア６の
回転により自転しながら下定盤９の回転方向に回転する
。研磨キャリア７にセットされている被加工物８には４
方向の運動が与えられ、また両面を同時に等量ずつ研磨
するよう、上定盤８、下定盤９および研磨キャリア７の
回転比が設計されているので、研磨速度が速く、高度な
加工精度を得ることができる。
本発明は、以上の研磨装置、研磨方法により、さらに、
研磨速度が速く、さらに高度な加工精度を得るべく、研
磨キャリアの構造に着目し発明したものである。
研磨速度が速く、さらに高度な加工精度を得るべく、研
磨キャリアの構造に着目し発明したものである。
本発明の研磨キャリアを第３図に正面断面図と平面図で
示す。同図において本発明の研磨キャリアは歯車状の外
周部１１と少なくとも１個以上の孔１２を有する本体１
３と、該孔１２に滑合する円周部１４と被加工物案内孔
１．５（以下、案内孔１５）とを有する被加工物案内板
１６（以下、案内板１６）とから構成されている。
示す。同図において本発明の研磨キャリアは歯車状の外
周部１１と少なくとも１個以上の孔１２を有する本体１
３と、該孔１２に滑合する円周部１４と被加工物案内孔
１．５（以下、案内孔１５）とを有する被加工物案内板
１６（以下、案内板１６）とから構成されている。
以上のように本発明の研磨キャリアは、回転を伝える本
体１３と被加工物をセットする案内板１６とを分離した
ところに従来にない構造上の特徴がある。従来の研磨キ
ャリアにセットされた被加工物が、研磨キャリアの回転
に順じて４方向に運動が与えられてはいるものの、研磨
キャリア（本体）に直接案内孔が設けられていることに
より運動量に制約があるのに対し、第３図に示す本発明
の構造によれば、従来と同じく、研磨キャリアの本体１
３の回転に順じ孔１２に滑合している案内板１６が回転
するが、同時に該案内板１６が該孔１２に内接してさら
に自転するため該案内板１６にセットされる被加工物は
従来に比べ比類ない運動量が与えられることになる。こ
の運動量の拡大により単位時間当りの研磨量の拡大と、
非加工物の被研磨面を万遍なく研磨できることとの相乗
的作用により、当初の目的とした、研磨速度の向上と、
加工精度の向上を図ることができる。
体１３と被加工物をセットする案内板１６とを分離した
ところに従来にない構造上の特徴がある。従来の研磨キ
ャリアにセットされた被加工物が、研磨キャリアの回転
に順じて４方向に運動が与えられてはいるものの、研磨
キャリア（本体）に直接案内孔が設けられていることに
より運動量に制約があるのに対し、第３図に示す本発明
の構造によれば、従来と同じく、研磨キャリアの本体１
３の回転に順じ孔１２に滑合している案内板１６が回転
するが、同時に該案内板１６が該孔１２に内接してさら
に自転するため該案内板１６にセットされる被加工物は
従来に比べ比類ない運動量が与えられることになる。こ
の運動量の拡大により単位時間当りの研磨量の拡大と、
非加工物の被研磨面を万遍なく研磨できることとの相乗
的作用により、当初の目的とした、研磨速度の向上と、
加工精度の向上を図ることができる。
因に、本発明を水晶振動子のウエハー（厚さ０．１５ｍ
ｍ、３１ｍｍ×３４ｍｍ）について実施したところ、研
磨速度において約１．５倍、加工精度において約５倍（
平行度の平均値１．５Ｍｍが同０．３ｍｍ以下）の向上
が図れている。
ｍ、３１ｍｍ×３４ｍｍ）について実施したところ、研
磨速度において約１．５倍、加工精度において約５倍（
平行度の平均値１．５Ｍｍが同０．３ｍｍ以下）の向上
が図れている。
本発明の研磨キャリアは、本出願人の先願である実願昭
５４−６２８７３号および実願昭５５−９００８４との
組合せも可能であり、その構成を第４図、第５図に正面
断面図と平面図で示す。
５４−６２８７３号および実願昭５５−９００８４との
組合せも可能であり、その構成を第４図、第５図に正面
断面図と平面図で示す。
第４図において、１７は被加工物案内孔、１８は凹部を
示し、第５図において、１９は被加工物案内孔、２０は
補強、案内部を示す。
示し、第５図において、１９は被加工物案内孔、２０は
補強、案内部を示す。
第１図は研磨キャリアの従来例、（ａ）は平面図、（ｂ
）は断面図、 第２図は研磨装置の説明図、 第３図は本発明の実施例、（ａ）は平面図、（ｂ）は断
面図、 第４図、第５図は本発明のその他の実施例、第４図（ａ
）は平面図、（ｂ）は断面図、１１は外周部 １２は
孔 １３は本体１４は円周部 １５は被加工物案内孔 １６は被加工物案内板 １７は被加工物案内孔１８は凹
部 １９は被加工物案内孔 ２０は補強、案内部
）は断面図、 第２図は研磨装置の説明図、 第３図は本発明の実施例、（ａ）は平面図、（ｂ）は断
面図、 第４図、第５図は本発明のその他の実施例、第４図（ａ
）は平面図、（ｂ）は断面図、１１は外周部 １２は
孔 １３は本体１４は円周部 １５は被加工物案内孔 １６は被加工物案内板 １７は被加工物案内孔１８は凹
部 １９は被加工物案内孔 ２０は補強、案内部
Claims (1)
- 歯車状の外周部と少なくとも１個以上の孔を有する本体
と、該孔に滑合する円周部と被加工物案内孔とを有する
被加工物案内板とから構成される研磨キャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58072722A JPS59201756A (ja) | 1983-04-25 | 1983-04-25 | 研磨キヤリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58072722A JPS59201756A (ja) | 1983-04-25 | 1983-04-25 | 研磨キヤリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59201756A true JPS59201756A (ja) | 1984-11-15 |
Family
ID=13497527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58072722A Pending JPS59201756A (ja) | 1983-04-25 | 1983-04-25 | 研磨キヤリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59201756A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006289517A (ja) * | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Nitta Haas Inc | 被研磨物保持部材 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5555957U (ja) * | 1978-10-09 | 1980-04-16 | ||
| JPS5741164A (en) * | 1980-08-12 | 1982-03-08 | Citizen Watch Co Ltd | Dual carrier for lapping |
-
1983
- 1983-04-25 JP JP58072722A patent/JPS59201756A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5555957U (ja) * | 1978-10-09 | 1980-04-16 | ||
| JPS5741164A (en) * | 1980-08-12 | 1982-03-08 | Citizen Watch Co Ltd | Dual carrier for lapping |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006289517A (ja) * | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Nitta Haas Inc | 被研磨物保持部材 |
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