JPS593539U - イオン注入用可変ホルダ− - Google Patents

イオン注入用可変ホルダ−

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JPS593539U
JPS593539U JP9834182U JP9834182U JPS593539U JP S593539 U JPS593539 U JP S593539U JP 9834182 U JP9834182 U JP 9834182U JP 9834182 U JP9834182 U JP 9834182U JP S593539 U JPS593539 U JP S593539U
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JP
Japan
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holder body
block
holder
vertical groove
drive shaft
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JP9834182U
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石垣　秀樹
山田　隆秀
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Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
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Publication date
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Publication of JPS593539U publication Critical patent/JPS593539U/ja
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Granted legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す裏面の斜視図、第２図
は第１図の表面の斜視図、第３図は使用状態を示す側面
図である。 １・・・ホルダ一本体、５・・・駆動軸、７，８・・・
可動ブロック、１１．１２・・・下部ブロック、１９゜
２２・・・コマ、２５〜２８・・・ガイド溝、・３２・
・・重錘、３３・・・爪、３４・・・たて溝。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回動自在なホルダ一本体の裏面に水平な駆動軸を設け、
    該駆動軸に二つの可動ブロックを設けると共に駆動軸の
    正逆の回転で可動ブロックが互いに近づき域は遠ざかる
    ようになし、また可動ブロックの下方に、可動ブロック
    に追従し、しかも上下動自在な下部ブロックを設け、他
    方ホルダ一本体の表面にその中央を境としてその左右各
    側に二つのガイド溝を設け、該ガイド溝にウェハーを受
    けるコマを設け、該コマを夫々そのコマに対応する前記
    可動ブロック及び下部ブロックに連結し、さらにホルダ
    一本体の上下中央にたて溝を設け、ホルダ一本体の裏面
    に前記たて溝に沿って上下摺動自在な重錘を設け、かつ
    該重錘に前記たて溝を挿通してホルダ一本体の表面に突
    出するウェハー排出用の爪を設けたことを特徴とするイ
    オン注入用可変ホルダー。
JP9834182U 1982-06-30 1982-06-30 イオン注入用可変ホルダ− Granted JPS593539U (ja)

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JP9834182U JPS593539U (ja) 1982-06-30 1982-06-30 イオン注入用可変ホルダ−

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JP9834182U JPS593539U (ja) 1982-06-30 1982-06-30 イオン注入用可変ホルダ−

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Publication Number Publication Date
JPS593539U true JPS593539U (ja) 1984-01-11
JPH0347330Y2 JPH0347330Y2 (ja) 1991-10-08

Family

ID=30233534

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JP9834182U Granted JPS593539U (ja) 1982-06-30 1982-06-30 イオン注入用可変ホルダ−

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JPH0347330Y2 (ja) 1991-10-08

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