JPS5994077A - 負荷インピ−ダンス測定装置 - Google Patents
負荷インピ−ダンス測定装置Info
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- JPS5994077A JPS5994077A JP57204024A JP20402482A JPS5994077A JP S5994077 A JPS5994077 A JP S5994077A JP 57204024 A JP57204024 A JP 57204024A JP 20402482 A JP20402482 A JP 20402482A JP S5994077 A JPS5994077 A JP S5994077A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高周波大電力用デバイスの負荷インピーダン
スを測定する負荷インピーダンヌ測定装置に関するもの
である。
スを測定する負荷インピーダンヌ測定装置に関するもの
である。
従来例の構成とその問題点
高周波大電力用デバイスを用いて増幅器等を設計する場
合、デバイスの負荷インピーダンスを測定し、増幅器と
しての負荷インピーダンス（一般には６０Ω）に整合す
る必要がある。しかし高周波大電力用デバイスの負荷イ
ンピーダンスは唯−無二に決まるものではなく、信号周
波数のみならず、入力レベル、出力レベル、直流電源電
圧によって変化し、また、一定入力信号、一定出力に対
しても負荷インピーダンスは無限に存在し、その負荷イ
ンピーダンスによって効率が変化する。したがって、高
周波大電力デバイスを用いて、例え−”ば増幅器を設計
する場合には、使用する信号周波数、入力レベル、出力
レベル、直流電源電圧を規定した上で、良好な効率の得
られる負荷インピーダンスを測定し設定する必要がある
。
合、デバイスの負荷インピーダンスを測定し、増幅器と
しての負荷インピーダンス（一般には６０Ω）に整合す
る必要がある。しかし高周波大電力用デバイスの負荷イ
ンピーダンスは唯−無二に決まるものではなく、信号周
波数のみならず、入力レベル、出力レベル、直流電源電
圧によって変化し、また、一定入力信号、一定出力に対
しても負荷インピーダンスは無限に存在し、その負荷イ
ンピーダンスによって効率が変化する。したがって、高
周波大電力デバイスを用いて、例え−”ば増幅器を設計
する場合には、使用する信号周波数、入力レベル、出力
レベル、直流電源電圧を規定した上で、良好な効率の得
られる負荷インピーダンスを測定し設定する必要がある
。
従来では、高周波デバイスの負荷インピーダンスの測定
法としては、置換法、ロードプル法等が挙げられるが、
従来の方法では測定インピーダンスを即座にモニタでき
ない、低インピーダンスのデバイスに対しては回路的に
不安定で発振しやすく測定が困難である等の問題がある
。
法としては、置換法、ロードプル法等が挙げられるが、
従来の方法では測定インピーダンスを即座にモニタでき
ない、低インピーダンスのデバイスに対しては回路的に
不安定で発振しやすく測定が困難である等の問題がある
。
第１図は従来の置換法による高周波デバイスの負荷イン
ピーダンスの測定系の動作状態の構成を示す。図におい
て大電力トランジスタ時の被測定デバイス１は、デバイ
スマウント治具２に固定され、入、出力に挿入された可
変インピーダンス回路であるインピーダンスチューナ３
，４等で入出力整合をとり、バイアスネットワーク６．
６で直流バイアスを印加する。高周波入力は高周波信号
源７よりアイソレータ８を経て供給し、入力電力。
ピーダンスの測定系の動作状態の構成を示す。図におい
て大電力トランジスタ時の被測定デバイス１は、デバイ
スマウント治具２に固定され、入、出力に挿入された可
変インピーダンス回路であるインピーダンスチューナ３
，４等で入出力整合をとり、バイアスネットワーク６．
６で直流バイアスを印加する。高周波入力は高周波信号
源７よりアイソレータ８を経て供給し、入力電力。
入力反射電力は双方向性結合器９を介してパワーメータ
１２．１３より、出力電力は双方向性結合器１０を介し
てパワーメータ１４より測定できる。
１２．１３より、出力電力は双方向性結合器１０を介し
てパワーメータ１４より測定できる。
１１は６０Ω終端抵抗である。この回路構成で特定の出
力電力を与えるように負荷インピーダンスを調整したの
ち、インピーダンスチューナ３，４を固定する。次に、
この高力条件のときの負荷インピーダンスを測定する方
法を説明する。
力電力を与えるように負荷インピーダンスを調整したの
ち、インピーダンスチューナ３，４を固定する。次に、
この高力条件のときの負荷インピーダンスを測定する方
法を説明する。
第２図は第１図における測定系の負荷インピーダンスの
測定状態の構成を示す０１１．′、８は６゜Ω終端抵抗
、３．４は第１図でインピーダンスを設定し固定したイ
ンピーダンスチューナ、５，６はバイアスネットワーク
、” ＋ ’ ６１ｒｊ；、第”図で用いたデ・・イス
マウント治具２の入、出力部に等価な補正用線路、１７
はインピーダンス測定器である。第１図に示す動作系で
所望の負荷状態に設定シたインピーダンスチューナ３，
４のインピーダンスハ、インピーダンスチューナ３，４
にバイアスネットワーク５，６を接続し、その他を５０
Ω終端抵抗１８．１１で等測的に代替し、第１図で用い
たデバイスマウント治具２の入、出力部に等価な補正用
線路１６．１６を介して規準面を設定し、インピーダン
ス測定器１７にて測定する。
測定状態の構成を示す０１１．′、８は６゜Ω終端抵抗
、３．４は第１図でインピーダンスを設定し固定したイ
ンピーダンスチューナ、５，６はバイアスネットワーク
、” ＋ ’ ６１ｒｊ；、第”図で用いたデ・・イス
マウント治具２の入、出力部に等価な補正用線路、１７
はインピーダンス測定器である。第１図に示す動作系で
所望の負荷状態に設定シたインピーダンスチューナ３，
４のインピーダンスハ、インピーダンスチューナ３，４
にバイアスネットワーク５，６を接続し、その他を５０
Ω終端抵抗１８．１１で等測的に代替し、第１図で用い
たデバイスマウント治具２の入、出力部に等価な補正用
線路１６．１６を介して規準面を設定し、インピーダン
ス測定器１７にて測定する。
しかしながら、上記の方法では、デノ・イスマウント治
具２を補正用線路１５．１６に付は換え、インピーダン
ス測定器１７で測定するだめ手数がかかる。特に負荷イ
ンピーダンスの測定ポイントが多い場合には、かなりの
時間を必要とする。インピーダンスチューナ３，４の設
定状態を各測定ポイント毎に記録しておき、再設定して
負荷インピーダンスを測定する手段を用いても、やはり
多くの時間と労力を要し、且つ再設定時の誤差や設定ミ
ヌも生じ得る。また、動作系で所望の負荷インピーダン
スを設定して瞬時にモニタできないだめ、例えばトラン
ジスタの等出力、あるいは等効率時の負荷インピーメ゛
ンスローカヌ（軌＃）全測定する、いわゆるロードプル
測定（こは適さない０第３図に第２の従来例を示す。こ
こでは簡単のためにデ・・イスの出力側の構成のみを示
す。図において、１９は被測定デ・・イスで、その出力
側に順次、双方向性結合器２０．バイアスネットワーク
２３．インピーダンスチューナ２４を接続し６０Ω終端
抵抗２５で終端する。また双方向性結合器２０を介して
可変位相器２１、インピーダンス及び出力電力の測定系
２２が接続される。
具２を補正用線路１５．１６に付は換え、インピーダン
ス測定器１７で測定するだめ手数がかかる。特に負荷イ
ンピーダンスの測定ポイントが多い場合には、かなりの
時間を必要とする。インピーダンスチューナ３，４の設
定状態を各測定ポイント毎に記録しておき、再設定して
負荷インピーダンスを測定する手段を用いても、やはり
多くの時間と労力を要し、且つ再設定時の誤差や設定ミ
ヌも生じ得る。また、動作系で所望の負荷インピーダン
スを設定して瞬時にモニタできないだめ、例えばトラン
ジスタの等出力、あるいは等効率時の負荷インピーメ゛
ンスローカヌ（軌＃）全測定する、いわゆるロードプル
測定（こは適さない０第３図に第２の従来例を示す。こ
こでは簡単のためにデ・・イスの出力側の構成のみを示
す。図において、１９は被測定デ・・イスで、その出力
側に順次、双方向性結合器２０．バイアスネットワーク
２３．インピーダンスチューナ２４を接続し６０Ω終端
抵抗２５で終端する。また双方向性結合器２０を介して
可変位相器２１、インピーダンス及び出力電力の測定系
２２が接続される。
高周波入力を加え、バイアスネットワーク２３で直流バ
イアスを印加した被測定デバイス１９はインピーダンス
チューナ２４で整合をとり所望の動作状態に設定される
。その状態が双方向性結合器２０を介し、可変位相器２
１で最適に設定された進行波、反射波の位相及びレベル
の差を測定しインピーダンス及び出力電力測定系でデノ
・イスの負荷インピーダンス、出力電力を得るものであ
る。
イアスを印加した被測定デバイス１９はインピーダンス
チューナ２４で整合をとり所望の動作状態に設定される
。その状態が双方向性結合器２０を介し、可変位相器２
１で最適に設定された進行波、反射波の位相及びレベル
の差を測定しインピーダンス及び出力電力測定系でデノ
・イスの負荷インピーダンス、出力電力を得るものであ
る。
この方式では、デバイスの動作系とインピーダンスの測
定系が同一であり、デバイス動作状態で所望の負荷状態
に設定しつつ、同時（・こ測定する負荷インピーダンス
を直視でき、ロードデル測定法として用いられる。
定系が同一であり、デバイス動作状態で所望の負荷状態
に設定しつつ、同時（・こ測定する負荷インピーダンス
を直視でき、ロードデル測定法として用いられる。
しかしながら、測定系のＶＳＷＲをできる限り小さく（
６０Ωに等しく）シカいと精度が悪く、デバイス１９と
インピーダンスチューナ２４の間は、双方向性結合器２
ｏを含めすべて６０Ω系しこ限定される。したがってデ
バイス１９の出力側の５００線路が長くなるため、デノ
・イス１９が発振領域に入ってし捷い、所望の動作状態
に設定できないことがある０捷だ、系の基準白の設定が
比較的難しい等の欠点がある。
６０Ωに等しく）シカいと精度が悪く、デバイス１９と
インピーダンスチューナ２４の間は、双方向性結合器２
ｏを含めすべて６０Ω系しこ限定される。したがってデ
バイス１９の出力側の５００線路が長くなるため、デノ
・イス１９が発振領域に入ってし捷い、所望の動作状態
に設定できないことがある０捷だ、系の基準白の設定が
比較的難しい等の欠点がある。
発明の目的
本発明は、以上のような従来の問題点を解決するために
なされたもので、負荷インピーダンスを測定する際に、
特に低インピーダンスの高周波デ・・イスに対しても安
定に、且つほぼ同時に負荷インピーダンスを直視しなが
ら測定することのできる負荷インピータンス測定装置を
提供することを目的とする。
なされたもので、負荷インピーダンスを測定する際に、
特に低インピーダンスの高周波デ・・イスに対しても安
定に、且つほぼ同時に負荷インピーダンスを直視しなが
ら測定することのできる負荷インピータンス測定装置を
提供することを目的とする。
発明の構成
この目的を達成するために本発明は、被測定デバイスに
対し、四端子定数が既知であるインピーダンス変換回路
（固定整合回路）可変のインピーダンス整合回路である
インピーダンスチューナ、及びその間に高周波スイッチ
、高周波スイッチ他端にインピーダンス測定器を備え、
インピーダンス変換回路の四端子定数と高周波スイッチ
を切換えてインピーダンス測定器により測定されるイン
ピーダンスを用いてデバイスの負荷インピーダンスを算
出するものである。
対し、四端子定数が既知であるインピーダンス変換回路
（固定整合回路）可変のインピーダンス整合回路である
インピーダンスチューナ、及びその間に高周波スイッチ
、高周波スイッチ他端にインピーダンス測定器を備え、
インピーダンス変換回路の四端子定数と高周波スイッチ
を切換えてインピーダンス測定器により測定されるイン
ピーダンスを用いてデバイスの負荷インピーダンスを算
出するものである。
実施例の説明
以下に本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第４図は本発明の一実施例を示すもので被測定デバイス
２６（以下ＤＵＴと呼ぶ）は分離して各々の四端子パラ
メータを測定可能な人、出力インピーダンス変換回路（
以下固定整合回路と記す）２７゜２８に固定される。
２６（以下ＤＵＴと呼ぶ）は分離して各々の四端子パラ
メータを測定可能な人、出力インピーダンス変換回路（
以下固定整合回路と記す）２７゜２８に固定される。
出力固定整合回路２８と出力側インピーダンスチューナ
２９の間には高周波スイッチ３ｏを設け、高周波スイッ
チ３ｏの他端にはコントローラ３１で制御されるネット
ワークアナライザ３２（Ｓパラメータ計を含む）が接続
される。直流・・イアスはバイアスキノｌ−ワーク３３
．３４を介して、高周波入力は高周波信−号源３５より
アイソレーク４１を経て供給する。入力整合は入力イン
ピータンスチューナ３６で行なうＯ入力及び入力反則電
力は双方向性結合器３７を介してパワーメーク３８゜３
９から出力電力はパワーメータ４０より測定できる。
２９の間には高周波スイッチ３ｏを設け、高周波スイッ
チ３ｏの他端にはコントローラ３１で制御されるネット
ワークアナライザ３２（Ｓパラメータ計を含む）が接続
される。直流・・イアスはバイアスキノｌ−ワーク３３
．３４を介して、高周波入力は高周波信−号源３５より
アイソレーク４１を経て供給する。入力整合は入力イン
ピータンスチューナ３６で行なうＯ入力及び入力反則電
力は双方向性結合器３７を介してパワーメーク３８゜３
９から出力電力はパワーメータ４０より測定できる。
以」ユのように構成された本実施例の測定装置について
以下その動作を説明する０規定の高周波入力及び直流ノ
・イアスを加え、高周波スイッチ３０を出力側固定整合
回路２８に接続した時、入力側のインピーダンスチュー
ナ３６で人力を適当な整合状態に設定し、出力側インピ
ーダンスチューナ２９によりＤＵＴ２６の負荷を変えて
所望の動作状態に設定することができる。次に高周波ス
イッチ３０をネットワークアナライザ３２に接続し、設
定した出力インピーダンスチューナ２９のインピーダン
スを測定し、その値を予め評価しコントローラ３１にデ
ータとして記憶した出力側の固定整合回路２８０四端子
定数の負荷としてコントローラ３１で計算し、０ＵＴ２
６の負荷インピーダンスとして得るものである。第５図
は、被測定デバイスの固定整合回路、及びインピーダン
スチューナよりなる２つの整合回路と５０Ω負荷抵抗の
接続を示す構成図である。４２は固定整合回路（第４図
の２８に対応）、４３はインピーダンスチューナ（第４
図の２９に対応）、４４ば５０Ωで表わし、高周波スイ
ッチを切り換えて測定されるインピーダンスチューナ４
３のＳパラメータ（Ｓ＋＋）値を３＋＋ｍとするとＤＵ
Ｔから見たＳパラメータ（Ｓ＋ １ ）値５１ｊｉは（
，１）式５式％（１） として求める。まだ、負荷インピーダンスＺＬ は変換
式（２） ％式％（２） （Ｚｏ、’系のインピーダンス、通常５０Ω）を用いて
得ることができる。
以下その動作を説明する０規定の高周波入力及び直流ノ
・イアスを加え、高周波スイッチ３０を出力側固定整合
回路２８に接続した時、入力側のインピーダンスチュー
ナ３６で人力を適当な整合状態に設定し、出力側インピ
ーダンスチューナ２９によりＤＵＴ２６の負荷を変えて
所望の動作状態に設定することができる。次に高周波ス
イッチ３０をネットワークアナライザ３２に接続し、設
定した出力インピーダンスチューナ２９のインピーダン
スを測定し、その値を予め評価しコントローラ３１にデ
ータとして記憶した出力側の固定整合回路２８０四端子
定数の負荷としてコントローラ３１で計算し、０ＵＴ２
６の負荷インピーダンスとして得るものである。第５図
は、被測定デバイスの固定整合回路、及びインピーダン
スチューナよりなる２つの整合回路と５０Ω負荷抵抗の
接続を示す構成図である。４２は固定整合回路（第４図
の２８に対応）、４３はインピーダンスチューナ（第４
図の２９に対応）、４４ば５０Ωで表わし、高周波スイ
ッチを切り換えて測定されるインピーダンスチューナ４
３のＳパラメータ（Ｓ＋＋）値を３＋＋ｍとするとＤＵ
Ｔから見たＳパラメータ（Ｓ＋ １ ）値５１ｊｉは（
，１）式５式％（１） として求める。まだ、負荷インピーダンスＺＬ は変換
式（２） ％式％（２） （Ｚｏ、’系のインピーダンス、通常５０Ω）を用いて
得ることができる。
入力電力、入力反射電力、出力電力は第４図において各
パワーメータ３８，３９．４０により測定できる。
パワーメータ３８，３９．４０により測定できる。
以上のように本実施例によれば、高周波スイッチ３０と
ＤＵＴ２６の間に出力側固定整合回路２８を設け、ＤＵ
Ｔ２６を安定動作領域に近づけることにより、高周波ス
イッチ３ｏの切り換えで測定インピーダンスを設定とほ
ぼ同時に直視でき、且つ衝めてインピーダンスの低いデ
バイスに対しても安定な整合回路を有する測定系を得る
ことができる。また固定整合回路２８の四端子定数は、
予め評価し、コントローラ３１にデータとして記憶させ
ておくため、高周波スイッチ３ｏとネットワークアナラ
イザ３２の間に固定整合回路２８とインピーダンス的に
等価な回路を再現する必要がなく、固定整合回路２８を
カット・アンド・トライで最適化することもできる。
ＤＵＴ２６の間に出力側固定整合回路２８を設け、ＤＵ
Ｔ２６を安定動作領域に近づけることにより、高周波ス
イッチ３ｏの切り換えで測定インピーダンスを設定とほ
ぼ同時に直視でき、且つ衝めてインピーダンスの低いデ
バイスに対しても安定な整合回路を有する測定系を得る
ことができる。また固定整合回路２８の四端子定数は、
予め評価し、コントローラ３１にデータとして記憶させ
ておくため、高周波スイッチ３ｏとネットワークアナラ
イザ３２の間に固定整合回路２８とインピーダンス的に
等価な回路を再現する必要がなく、固定整合回路２８を
カット・アンド・トライで最適化することもできる。
なお、以上の実施例では、直流バイアスをバイアスネッ
トワーク３３．３４を介して供給しているが、入、出力
固定整合回路２７．２８に直流バイアス回路を付加して
もよい。この場合、固定整合回路の四端子パラメータと
しては、直流バイアス回路を含めた値を予め評価するこ
とになる。このように構成すれば、バイアスネットワー
クを省略して同様の測定をすることができる。またコン
トローラを用いているために複数の測定を同時に行なえ
、測定の自動化も可能である。
トワーク３３．３４を介して供給しているが、入、出力
固定整合回路２７．２８に直流バイアス回路を付加して
もよい。この場合、固定整合回路の四端子パラメータと
しては、直流バイアス回路を含めた値を予め評価するこ
とになる。このように構成すれば、バイアスネットワー
クを省略して同様の測定をすることができる。またコン
トローラを用いているために複数の測定を同時に行なえ
、測定の自動化も可能である。
発明の詳細
な説明したように本発明は、被測定デバイスである高周
波デバイスの入、出力端子近傍にインピーダンス変換回
路を有し、且つ整合回路を含む動作系とインピーダンス
測定系を高周波スイッチにより即座に切り換えるように
したものであるたメ、インピーダンスの低いデバイスに
対しても安定な回路が得られると共に、測定インピーダ
ンスを設定とほぼ同時に直視しながら測定することがで
きる。しかも、インピーダンス変換回路は西端子パラメ
ータを予め評価し、コンＩ・ローラに記憶させておくた
め、カット・アンド・トライで素子や直流バイアス回路
を外付けし厳密な再現の困難なものも使用でき、高周波
スイッチとインピーダンス測定器（ネットワークアナラ
イザ等）の間にインピーダンス的に等価な回路を基準面
設定のために再現する必要もない等の利点を有する。
波デバイスの入、出力端子近傍にインピーダンス変換回
路を有し、且つ整合回路を含む動作系とインピーダンス
測定系を高周波スイッチにより即座に切り換えるように
したものであるたメ、インピーダンスの低いデバイスに
対しても安定な回路が得られると共に、測定インピーダ
ンスを設定とほぼ同時に直視しながら測定することがで
きる。しかも、インピーダンス変換回路は西端子パラメ
ータを予め評価し、コンＩ・ローラに記憶させておくた
め、カット・アンド・トライで素子や直流バイアス回路
を外付けし厳密な再現の困難なものも使用でき、高周波
スイッチとインピーダンス測定器（ネットワークアナラ
イザ等）の間にインピーダンス的に等価な回路を基準面
設定のために再現する必要もない等の利点を有する。
このよう（こ、この装置は自動化に適した大電力トラン
ジスタの負荷インピーダンスを効率よく測定可能ならし
めるもので、その工学的価値はきわめて大きい。
ジスタの負荷インピーダンスを効率よく測定可能ならし
めるもので、その工学的価値はきわめて大きい。
第１図は従来の高周波デバイスの負荷インピーダンス測
定系のデバイスの動作状態のブロック図、第２図は従来
の高周波デバイスの負荷インピーダンス測定系における
インピーダンス測定状態のブロック図、第３図は従来の
もう１つの高周波デノくイスの負荷インピーダンス測定
系のブロック図、第４図は本発明の実施例における測定
系の構成を示すブロック図、第５図は被測定高周波デノ
・イヌの負荷の接続を示すブロック図である。 １．１９．２６・・・・・被測定デバイス、２・・・・
・・デバイスマウント治具、３，４，２４，２９，３６
゜４３・・・・・・インピーダンスチューナ、５，６，
２３゜３３．３４・・・・・バイアスネットワーク、７
．３５・・・・・高周波信号源、８，４１・・・・・ア
イソレータ。 ９．１０，２０．３７・・・・・・双方向性結合器、１
１゜１８．２５・・・・・５０Ω終端抵抗、１２，１３
゜１４．３８，３９．４０川・・終端型パワーメータ、
１５・・・・・・入力側補正用線路、１６・・・・・・
出力側補正用線路、１７・・・・・・インピーダンス測
定器、２１・・・・・・可変位相器、２２・・・・・・
インピーダンス及び電力測定系、２７・・・・・・入力
側インピーダンス変換回路（固定整合回路）、２８・・
・・・・出力側インピーダンス変換回路（固定整合回路
）、３Ｑ・・・・・・高周波スイッチ、３１ ・−−−
コントローラ、３２・・・・・・ネットワークアナライ
ザ、４２・・・・・・固定整合回路、４４・・・・・・
５０Ω負荷。
定系のデバイスの動作状態のブロック図、第２図は従来
の高周波デバイスの負荷インピーダンス測定系における
インピーダンス測定状態のブロック図、第３図は従来の
もう１つの高周波デノくイスの負荷インピーダンス測定
系のブロック図、第４図は本発明の実施例における測定
系の構成を示すブロック図、第５図は被測定高周波デノ
・イヌの負荷の接続を示すブロック図である。 １．１９．２６・・・・・被測定デバイス、２・・・・
・・デバイスマウント治具、３，４，２４，２９，３６
゜４３・・・・・・インピーダンスチューナ、５，６，
２３゜３３．３４・・・・・バイアスネットワーク、７
．３５・・・・・高周波信号源、８，４１・・・・・ア
イソレータ。 ９．１０，２０．３７・・・・・・双方向性結合器、１
１゜１８．２５・・・・・５０Ω終端抵抗、１２，１３
゜１４．３８，３９．４０川・・終端型パワーメータ、
１５・・・・・・入力側補正用線路、１６・・・・・・
出力側補正用線路、１７・・・・・・インピーダンス測
定器、２１・・・・・・可変位相器、２２・・・・・・
インピーダンス及び電力測定系、２７・・・・・・入力
側インピーダンス変換回路（固定整合回路）、２８・・
・・・・出力側インピーダンス変換回路（固定整合回路
）、３Ｑ・・・・・・高周波スイッチ、３１ ・−−−
コントローラ、３２・・・・・・ネットワークアナライ
ザ、４２・・・・・・固定整合回路、４４・・・・・・
５０Ω負荷。
Claims (4)
- （１）被測定デバイスの少なくとも出力側に設けられた
インピーダンス変換回路と、被測定デバイスに直流バイ
アスを供給する直流バイアス手段とを有し、前記インピ
ーダンス変換回路は高周波スイッチを介してインピーダ
ンスチューナに接続され、高周波スイッチの他端はイン
ピーダンス測定系に接続されており、前記高周波スイッ
チにより、インピーダンスチューナに対して被測定デバ
イスとインピーダンス測定系とを選択的に切り換えるこ
とにより負荷インピーダンスを測定するように構成した
ことを特徴とする負荷インピーダンヌ測定装置。 - （２）直流バイアヌ手段がバイアスネットワークでアリ
、インピーダンスチューナを介してインピーダンス変換
回路に接続されていることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の負荷インピーダンス測定装置 - （３）インピーダンス変換回路に直流バイアス手段を付
加したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の負
荷インピーダンヌ測定装置。 - （４） インピーダンス測定系がコントローラ制御さ
れることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の負荷
インピーダンス測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57204024A JPS5994077A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 負荷インピ−ダンス測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57204024A JPS5994077A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 負荷インピ−ダンス測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5994077A true JPS5994077A (ja) | 1984-05-30 |
| JPH0370789B2 JPH0370789B2 (ja) | 1991-11-08 |
Family
ID=16483493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57204024A Granted JPS5994077A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 負荷インピ−ダンス測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5994077A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102175937A (zh) * | 2011-01-19 | 2011-09-07 | 中兴通讯股份有限公司 | 终端工作电流调试系统及方法 |
| CN101598751B (zh) | 2008-06-03 | 2012-09-05 | 优仪半导体设备(深圳)有限公司 | 高功率射频模块动态阻抗的一种测量方法及其测量装置 |
| JP2017058269A (ja) * | 2015-09-17 | 2017-03-23 | 株式会社アドバンテスト | 測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体 |
-
1982
- 1982-11-19 JP JP57204024A patent/JPS5994077A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101598751B (zh) | 2008-06-03 | 2012-09-05 | 优仪半导体设备(深圳)有限公司 | 高功率射频模块动态阻抗的一种测量方法及其测量装置 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0370789B2 (ja) | 1991-11-08 |
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