JPS60125727U - 半導体材料のキヤリヤ用クレイドル - Google Patents

半導体材料のキヤリヤ用クレイドル

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JPS60125727U
JPS60125727U JP1427784U JP1427784U JPS60125727U JP S60125727 U JPS60125727 U JP S60125727U JP 1427784 U JP1427784 U JP 1427784U JP 1427784 U JP1427784 U JP 1427784U JP S60125727 U JPS60125727 U JP S60125727U
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JP
Japan
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cradle
carrier
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semiconductor material
carriers
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JP1427784U
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JPH0525231Y2 (ja
Inventor
相合　征一郎
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黒谷　巌
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一例によるクレイドルの斜視図、第２
図はこのクレイドルに装着されるキャリヤの一例の斜視
図、第３図はクレイドル内にキャリヤが装着された状態
を示す斜視図、第４図はクレイドル背面部の横断面図、
第５図は従来の構造を示す第４図に類似の断面図である
。 図中、２・・・クレイドルの背面、５・・・クレイドル
の側壁、１２・・・キャリヤ、１４・・・キャリヤの脚
部、１５・・・クレイドルの段部、１６・・・傾斜した
壁部分。 第１図− 第３図

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）半導体材料を収納したキャリヤを受は入れて水切
    乾燥装置の所定位置に設置されるクレイドルにおいて、
    前記クレイドルの背面にはその間に前記キャリヤの脚部
    を受は入れるため互に平行で前記背面に直角の一対の段
    部が設けられていることを特徴とする半導体材料のキャ
    リヤ用クレイドル。
  2. （２）実用新案登録請求の範囲第１項に記載のクレイド
    ルにおいて、前記段部は傾斜した壁部分により前記クレ
    イドルの側壁に接続している半導体材料のキャリヤ用ク
    レイドル。
  3. （３）　　実用新案登録請求の範囲第１項に記載のクレ
    イドルにおいて、前記段部はプレス成形により一体に形
    成されている半導体材料のキャリ“ヤ用クレイドル。
JP1427784U 1984-02-02 1984-02-02 半導体材料のキヤリヤ用クレイドル Granted JPS60125727U (ja)

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JP1427784U JPS60125727U (ja) 1984-02-02 1984-02-02 半導体材料のキヤリヤ用クレイドル

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Publication Number Publication Date
JPS60125727U true JPS60125727U (ja) 1985-08-24
JPH0525231Y2 JPH0525231Y2 (ja) 1993-06-25

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5249504U (ja) * 1975-10-07 1977-04-08
JPS56150819A (en) * 1980-04-24 1981-11-21 Nec Kyushu Ltd Accomodating case of semicouductor substrate
JPS5954925U (ja) * 1982-10-01 1984-04-10 東邦化成株式会社 ウエ−ハ用回転乾燥装置

Patent Citations (3)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPS5954925U (ja) * 1982-10-01 1984-04-10 東邦化成株式会社 ウエ−ハ用回転乾燥装置

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Publication number Publication date
JPH0525231Y2 (ja) 1993-06-25

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