JPS60130139A - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置Info
- Publication number
- JPS60130139A JPS60130139A JP58238554A JP23855483A JPS60130139A JP S60130139 A JPS60130139 A JP S60130139A JP 58238554 A JP58238554 A JP 58238554A JP 23855483 A JP23855483 A JP 23855483A JP S60130139 A JPS60130139 A JP S60130139A
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- JP
- Japan
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- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
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- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/70—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
- G11C29/78—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices
- G11C29/80—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved layout
- G11C29/808—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved layout using a flexible replacement scheme
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- G11C29/70—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
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- G11C29/84—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved access time or stability
- G11C29/846—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved access time or stability by choosing redundant lines at an output stage
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
- Static Random-Access Memory (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Dram (AREA)
- Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は半導体記憶装置、特に冗長セルを備える半導体
記憶装置に関する。
記憶装置に関する。
従来技術と問題点
半導体記憶装置は各々大容量化する傾向にあり、そして
大容量化する程、一部のメモリセルが不良である確率が
高くなる。勿論一部でも不良であればメモリ全体が不良
であり、これでは歩留りが悪くなるから、メモリセルを
余分に設けておいて、不良メモリセルがあればそれを余
分の(冗長)メモリセルで置き換える、という方法が採
用されている。
大容量化する程、一部のメモリセルが不良である確率が
高くなる。勿論一部でも不良であればメモリ全体が不良
であり、これでは歩留りが悪くなるから、メモリセルを
余分に設けておいて、不良メモリセルがあればそれを余
分の(冗長)メモリセルで置き換える、という方法が採
用されている。
第1図はか−る冗長セルを備える半導体記憶装置の一例
を示し、1o:x2はそのセルブロック、14.16は
冗長セル群である。セルブロック10.12は周知のよ
うに多数のワード線とビット線(又はロー線とコラム線
)の各交点にメモリセルを配置してなり、Yo〜Ynは
そのビット線を選択する信号である。ワード線は図示し
ないが横方向に延び、冗長セルは1ビット線分(1コラ
ム分)設けられ、選択信号Yaで選択される。18゜2
Oはデータバス、22.24はl10(入出力)バッフ
ァである。このメモリは2ビツト構成であり、あるアド
レスでメモリセルを選択するとセルブロック10.12
の該当メモリセルが読み出され、I/jDバッファ22
.24から各1ピント、計2ビットが同時に出力される
。
を示し、1o:x2はそのセルブロック、14.16は
冗長セル群である。セルブロック10.12は周知のよ
うに多数のワード線とビット線(又はロー線とコラム線
)の各交点にメモリセルを配置してなり、Yo〜Ynは
そのビット線を選択する信号である。ワード線は図示し
ないが横方向に延び、冗長セルは1ビット線分(1コラ
ム分)設けられ、選択信号Yaで選択される。18゜2
Oはデータバス、22.24はl10(入出力)バッフ
ァである。このメモリは2ビツト構成であり、あるアド
レスでメモリセルを選択するとセルブロック10.12
の該当メモリセルが読み出され、I/jDバッファ22
.24から各1ピント、計2ビットが同時に出力される
。
か−るメモリは製造した段階で試験を行ないセルブロッ
クに不良メモリセルが発見されるとそれを図示しないが
ROM (読取り専用メモリ)に書込んでおき、メモリ
使用時に該アドレスが入力されるとROM出力でYo”
Ynを出力するコラムデコーダを殺しく該デコーダの出
力を全てローレヘルにし)、代って冗長セル群を選択す
る信号Yaを発生する。ワード線はセルブロックも冗長
セル群も共通であるから、これで不良メモリセルに代っ
て冗長セル群の当該ワード線のメモリセルが選択される
。
クに不良メモリセルが発見されるとそれを図示しないが
ROM (読取り専用メモリ)に書込んでおき、メモリ
使用時に該アドレスが入力されるとROM出力でYo”
Ynを出力するコラムデコーダを殺しく該デコーダの出
力を全てローレヘルにし)、代って冗長セル群を選択す
る信号Yaを発生する。ワード線はセルブロックも冗長
セル群も共通であるから、これで不良メモリセルに代っ
て冗長セル群の当該ワード線のメモリセルが選択される
。
冗長セル群を多数段げておくとセルブロックに多数の不
良メモリセルが発生してもそれに対処できるが、不良メ
モリセルが発生しなければ冗長セル群は不要なものであ
り、無駄なものである。そこで通常は冗長セル群を1コ
ラム分または2〜3コラム分設げるにとどめる。そして
従来方式では冗長セル群は各セルブロックに所属させて
あり、第1図では冗長セル群14はセルブロック10に
、冗長セル群−16はセルブロック12に所属する。
良メモリセルが発生してもそれに対処できるが、不良メ
モリセルが発生しなければ冗長セル群は不要なものであ
り、無駄なものである。そこで通常は冗長セル群を1コ
ラム分または2〜3コラム分設げるにとどめる。そして
従来方式では冗長セル群は各セルブロックに所属させて
あり、第1図では冗長セル群14はセルブロック10に
、冗長セル群−16はセルブロック12に所属する。
この所属は、冗長セル群がどのデータバスに接続される
かに依り決まる。
かに依り決まる。
このように冗長セル群がセルブロックに所属してしまう
と、次のような問題がある。即ち冗長セル群は1コラム
分として、セルブロック10にコラムを異にする2個の
不良メモリセルが発生し、セルブロック12には不良メ
モうセルはなかったとすると、冗長セル群は2つ、不良
メモリセルも2つであるから充分対処できるのに所属が
異なるから冗長セル群16をセルブロック10に所属さ
せることはできず、結局救済できるのは冗長セル群14
による1メモリセルのみとなり、もう1つの不良メモリ
セルは救済できなくて、このメモリは不良品となってし
まう。
と、次のような問題がある。即ち冗長セル群は1コラム
分として、セルブロック10にコラムを異にする2個の
不良メモリセルが発生し、セルブロック12には不良メ
モうセルはなかったとすると、冗長セル群は2つ、不良
メモリセルも2つであるから充分対処できるのに所属が
異なるから冗長セル群16をセルブロック10に所属さ
せることはできず、結局救済できるのは冗長セル群14
による1メモリセルのみとなり、もう1つの不良メモリ
セルは救済できなくて、このメモリは不良品となってし
まう。
発明の目的
本発明はか\る点を改善し、冗長セル群を所属を変えて
使用可能にすることにより、少数の冗長セル群で多くの
不良セルに対処できるようにしようとするものである。
使用可能にすることにより、少数の冗長セル群で多くの
不良セルに対処できるようにしようとするものである。
発明の構成
本発明はメモリセル群が複数のセルブロックに分けられ
同じアドレスで複数のメモリセルが同時に選択される多
ビツト出力構成であって、不良メモリセル列と置き換え
可能な複数列の冗長セル列と、該冗長セル列の出力を各
セルブロックに対応するデータバスへ選択的に接続する
スイッチ回路とを有し、該スイッチ回路は該複数の冗長
セル列のうぢの任意の数の冗長セル列をいずれのセルブ
ロックに対応するデータバスへも切換接続可能に構成さ
れてなることを特徴とするが、次に実施例を参照しなが
らこれを説明する。
同じアドレスで複数のメモリセルが同時に選択される多
ビツト出力構成であって、不良メモリセル列と置き換え
可能な複数列の冗長セル列と、該冗長セル列の出力を各
セルブロックに対応するデータバスへ選択的に接続する
スイッチ回路とを有し、該スイッチ回路は該複数の冗長
セル列のうぢの任意の数の冗長セル列をいずれのセルブ
ロックに対応するデータバスへも切換接続可能に構成さ
れてなることを特徴とするが、次に実施例を参照しなが
らこれを説明する。
発明の実施例
第2図は本発明の実施例を示し、第1図と同じ部分には
同じ符号が付しである。これらの図を対比すれば明らか
なように、本発明では冗長セル群14.16はデータバ
ス18.20のいずれへも接続できるようにスイッチ8
1〜S3を設ける。このメモリを製造した直後では従来
方式と同様にするためスイッチS2.S3を閉じ、スイ
ッチs1は開いておく。セルブロック1oに不良メモリ
セルがなければ冗長セル群14は不使用であり、セルブ
ロックト0にその1コラム上で不良メモリセルがあれば
その不良メモリセルを冗長セル群14で代行できる。セ
ルブロック12側についても同様である。こ−までは従
来と同様であるが、セルブロック10に不良メモリセル
が2つのコラムに分散して発生し、セルブロック12に
は不良メモリがない場合を考えるに、が\るケースにば
従来方式では対処できないが、本発明では次のようにし
て対処できる。即ちこの場合はスイッチS+を閉じ、ス
イッチS3を開く。このようにすると冗長セル群16が
セルブロック1oに所属するようになり、セルプロ・ツ
ク10の一方のコラムに属する不良メモリセルは冗長セ
ル群14で、他方のコラムに属する不良メモリセルは冗
長セル群16で代行でき、メモリを良品化することがで
きる。
同じ符号が付しである。これらの図を対比すれば明らか
なように、本発明では冗長セル群14.16はデータバ
ス18.20のいずれへも接続できるようにスイッチ8
1〜S3を設ける。このメモリを製造した直後では従来
方式と同様にするためスイッチS2.S3を閉じ、スイ
ッチs1は開いておく。セルブロック1oに不良メモリ
セルがなければ冗長セル群14は不使用であり、セルブ
ロックト0にその1コラム上で不良メモリセルがあれば
その不良メモリセルを冗長セル群14で代行できる。セ
ルブロック12側についても同様である。こ−までは従
来と同様であるが、セルブロック10に不良メモリセル
が2つのコラムに分散して発生し、セルブロック12に
は不良メモリがない場合を考えるに、が\るケースにば
従来方式では対処できないが、本発明では次のようにし
て対処できる。即ちこの場合はスイッチS+を閉じ、ス
イッチS3を開く。このようにすると冗長セル群16が
セルブロック1oに所属するようになり、セルプロ・ツ
ク10の一方のコラムに属する不良メモリセルは冗長セ
ル群14で、他方のコラムに属する不良メモリセルは冗
長セル群16で代行でき、メモリを良品化することがで
きる。
セルブロック12に2コラムに分散する不良メモリセル
が発生し、セルブロック1oに不良メモリセルは発生し
なかった場合はスイッチS1を閉じスイッチS2を開く
。これにより上記と同様に不良メモリセルに対処でき、
メモリを良品化することができる。
が発生し、セルブロック1oに不良メモリセルは発生し
なかった場合はスイッチS1を閉じスイッチS2を開く
。これにより上記と同様に不良メモリセルに対処でき、
メモリを良品化することができる。
スイッチ32.33は最初閉じており、必要に応して開
放するだけであるから、各結晶シリコンなどからなるフ
ユーズでよい。開くときは通電して又はレーザ光を照射
して該フユーズを溶断する5スイツチS1は最初は開い
ており、必要に応じて閉成するので、例えば第3図に示
す如き構成をとらせるとよい。この図でRは高抵抗、F
は多結晶シリコンなどからなるフユーズ、Qは電界効果
トランジスタ(FET)である。図示状態でトランジス
タQのゲートはフユーズFによりグランドへ接続されて
いるからオフであり、フユーズFは溶断すると該トラン
ジスタQばゲートが高抵抗Rを通して電源Vcへプルア
ップされ、オンする。フユーズFfc溶断しない状態で
は高抵抗R及びフユーズFを通して電源Vcがらグラン
ドへ電流が流れるが、抵抗Rを高抵抗にしておけばこの
電流はピコアンペア程度の僅少値にすることができる。
放するだけであるから、各結晶シリコンなどからなるフ
ユーズでよい。開くときは通電して又はレーザ光を照射
して該フユーズを溶断する5スイツチS1は最初は開い
ており、必要に応じて閉成するので、例えば第3図に示
す如き構成をとらせるとよい。この図でRは高抵抗、F
は多結晶シリコンなどからなるフユーズ、Qは電界効果
トランジスタ(FET)である。図示状態でトランジス
タQのゲートはフユーズFによりグランドへ接続されて
いるからオフであり、フユーズFは溶断すると該トラン
ジスタQばゲートが高抵抗Rを通して電源Vcへプルア
ップされ、オンする。フユーズFfc溶断しない状態で
は高抵抗R及びフユーズFを通して電源Vcがらグラン
ドへ電流が流れるが、抵抗Rを高抵抗にしておけばこの
電流はピコアンペア程度の僅少値にすることができる。
セルブロック及び冗長セル群は同じワード−アドレスで
選択されるので、簡単にはワード線を共通にするとよい
。第4図はその概要を示す図でWLはワード線、BLは
ビット線で、各々1本または1対のみ示す。MCはメモ
リセルで、第3図はSRAM (スタティックランダム
アクセスメモリ)を例にとっているので、フリップフロ
ップからなる。RDはローデコーダで、ワード線選択ア
ドレスAo−Anを受けてこれらが全てL(ロー)レヘ
ルのときワード線WLを渾択する。ワード線WLはセル
ブロック10、冗長セル群14.16、セルブロック1
2に跨って延びているので、これで各部のワード線が一
斉に選択されたことになる。
選択されるので、簡単にはワード線を共通にするとよい
。第4図はその概要を示す図でWLはワード線、BLは
ビット線で、各々1本または1対のみ示す。MCはメモ
リセルで、第3図はSRAM (スタティックランダム
アクセスメモリ)を例にとっているので、フリップフロ
ップからなる。RDはローデコーダで、ワード線選択ア
ドレスAo−Anを受けてこれらが全てL(ロー)レヘ
ルのときワード線WLを渾択する。ワード線WLはセル
ブロック10、冗長セル群14.16、セルブロック1
2に跨って延びているので、これで各部のワード線が一
斉に選択されたことになる。
I10バッファは詳しくはセンスアンプSA、入・力(
書込み)データバッファDINなどからなる。
書込み)データバッファDINなどからなる。
メモリには1アドレスで1メモリセルが選択され1ビツ
ト構成のものと、1アドレスで複数のメモリセルが同時
に選択されて複数ピント構成のものがある。第1図、第
2図は2ビツト構成のメモリを示すが、64KRAMな
どには8ビツトなど多ビツト構成のものもある。この場
合は第5図に示すようにセルブロック及びJ10バッフ
ァはそのビット数に対応する複数個になる。IOA、1
2A、・・・・・・12Dがそのセルブロック、22A
。
ト構成のものと、1アドレスで複数のメモリセルが同時
に選択されて複数ピント構成のものがある。第1図、第
2図は2ビツト構成のメモリを示すが、64KRAMな
どには8ビツトなど多ビツト構成のものもある。この場
合は第5図に示すようにセルブロック及びJ10バッフ
ァはそのビット数に対応する複数個になる。IOA、1
2A、・・・・・・12Dがそのセルブロック、22A
。
24A、・・・・・・24DがI10八ソファである。
本例では第2図の回路を4組設けたとしてあり、これで
8に×8ビット構成の64KRAMとすることができる
。14A、16A、 ・・・・・・16Dは各セルブロ
ックに対する冗長セル群である。この方式では冗長セル
群14A、16Aはセルブロック10Aまたは12Aへ
切換え接続することができるが他のセルブロック例えば
12Dへは切換え接続できない。この点を改善し、冗長
セル群はどのブロックへも接続可能として融通性を増す
には、多少複雑にはなるがデータバス18,2oに沿っ
てその切換え接続のための配線を設ければよい。
8に×8ビット構成の64KRAMとすることができる
。14A、16A、 ・・・・・・16Dは各セルブロ
ックに対する冗長セル群である。この方式では冗長セル
群14A、16Aはセルブロック10Aまたは12Aへ
切換え接続することができるが他のセルブロック例えば
12Dへは切換え接続できない。この点を改善し、冗長
セル群はどのブロックへも接続可能として融通性を増す
には、多少複雑にはなるがデータバス18,2oに沿っ
てその切換え接続のための配線を設ければよい。
発明の詳細
な説明したように本発明では冗長セル群をセルブロック
に専従させずに他のセルブロックへも切換え接続可能と
してので、冗長セル群の数を増すことなくセルブロック
の不良メモリセル多発Qこ対処でき、甚だ有効である。
に専従させずに他のセルブロックへも切換え接続可能と
してので、冗長セル群の数を増すことなくセルブロック
の不良メモリセル多発Qこ対処でき、甚だ有効である。
第1図は従来例を示すブロック図、第2図は本発明の実
施例を示すブロック図、第3図はスイッチの具体例を示
す回路図、第4図はメモリの一部の詳細を示す回路図、
第5図は本発明を多ビツト構成のメモリに適用した例を
示すブロック図である。 図面で10.L2はセルブロック、14.16は冗長セ
ル群、81〜S3はスイッチ、18,20はデータバス
である。 出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 青 柳 稔 手続補正書(自発) 昭和59年12月21日 1、事件の表示 昭和58年特許願第238554号− 2、発明の名称 半導体記憶装置 3補正をする渚 事件との関係 ゛特許出願人 住 所 神奈川県用崎市中原区上小田中1015番地名
称 (522)富士通株式会社 代表者 山 本 卓 眞 4、代理人 〒101 6、補正により増加する発明の数 、 な し7、補正
の対象 明細書の特許請求の範囲の欄 および発明の詳細な説明の欄 8、補正の内容 別紙のとおり 別 紙 (1)本願明細書の特許請求の範囲を次の様に補正する
。 「 メモリセル群が複数のセルブロックに分けられ同じ
アドレス信号で複数のメモリセルが同時に選択される多
ビツト出力構成であって、不良メモリセル列と置き換え
可能な複数列の冗長セル列と、 該冗長セル列を各セルブロックに対応するデータバスへ
選択的に接続するスイッチ回路とを有し、該スイッチ回
路は該冗長セル列をいずれのセルブロックに対応するデ
ータバスへも切換接続可能に構成されてなることを特徴
とする半導体記憶装置。」 (2)同第5頁4行の「アドレス」を「アドレス信号」
に補正し、同頁7行の「の出力」及び同頁9〜10行の
「複数の〜の数の」をそれぞれ削除する。
施例を示すブロック図、第3図はスイッチの具体例を示
す回路図、第4図はメモリの一部の詳細を示す回路図、
第5図は本発明を多ビツト構成のメモリに適用した例を
示すブロック図である。 図面で10.L2はセルブロック、14.16は冗長セ
ル群、81〜S3はスイッチ、18,20はデータバス
である。 出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 青 柳 稔 手続補正書(自発) 昭和59年12月21日 1、事件の表示 昭和58年特許願第238554号− 2、発明の名称 半導体記憶装置 3補正をする渚 事件との関係 ゛特許出願人 住 所 神奈川県用崎市中原区上小田中1015番地名
称 (522)富士通株式会社 代表者 山 本 卓 眞 4、代理人 〒101 6、補正により増加する発明の数 、 な し7、補正
の対象 明細書の特許請求の範囲の欄 および発明の詳細な説明の欄 8、補正の内容 別紙のとおり 別 紙 (1)本願明細書の特許請求の範囲を次の様に補正する
。 「 メモリセル群が複数のセルブロックに分けられ同じ
アドレス信号で複数のメモリセルが同時に選択される多
ビツト出力構成であって、不良メモリセル列と置き換え
可能な複数列の冗長セル列と、 該冗長セル列を各セルブロックに対応するデータバスへ
選択的に接続するスイッチ回路とを有し、該スイッチ回
路は該冗長セル列をいずれのセルブロックに対応するデ
ータバスへも切換接続可能に構成されてなることを特徴
とする半導体記憶装置。」 (2)同第5頁4行の「アドレス」を「アドレス信号」
に補正し、同頁7行の「の出力」及び同頁9〜10行の
「複数の〜の数の」をそれぞれ削除する。
Claims (1)
- メモリセル群が複数のセルブロックに分けられ同じアド
レスで複数のメモリセルが同時に選択される多ビツト出
力構成であって、不良メモリセル列と置き換え可能な複
数列の冗長セル列と、該冗長セル列の出力を各セルブロ
ックに対応するデータバスへ選択的に接続するスイッチ
回路とを有し、該スイッチ回路は該複数の冗長セル列の
うちの任意の数の冗長セル列をいずれのセルブロックに
対応するデータバスへも切換接続可能に構成されてなる
ことを特徴とする半導体記憶装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58238554A JPH0666394B2 (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | 半導体記憶装置 |
| DE8484308728T DE3485084D1 (de) | 1983-12-16 | 1984-12-14 | Halbleiterspeichergeraet. |
| EP84308728A EP0146357B1 (en) | 1983-12-16 | 1984-12-14 | Semiconductor memory device |
| KR1019840007976A KR910002965B1 (ko) | 1983-12-01 | 1984-12-14 | 여분 셀로 대치 가능한 반도체 메모리장치 |
| US06/682,515 US4660179A (en) | 1983-12-16 | 1984-12-17 | Semiconductor memory device with switching for redundant cells |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58238554A JPH0666394B2 (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | 半導体記憶装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60130139A true JPS60130139A (ja) | 1985-07-11 |
| JPH0666394B2 JPH0666394B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=17031964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58238554A Expired - Lifetime JPH0666394B2 (ja) | 1983-12-01 | 1983-12-16 | 半導体記憶装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4660179A (ja) |
| EP (1) | EP0146357B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0666394B2 (ja) |
| KR (1) | KR910002965B1 (ja) |
| DE (1) | DE3485084D1 (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62217498A (ja) * | 1986-03-06 | 1987-09-24 | Fujitsu Ltd | 半導体記憶装置 |
| JPS6425398A (en) * | 1987-07-20 | 1989-01-27 | Nec Corp | Semiconductor memory |
| JPH0337894A (ja) * | 1989-07-04 | 1991-02-19 | Fujitsu Ltd | 半導体メモリ |
| US5265055A (en) * | 1988-10-07 | 1993-11-23 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor memory having redundancy circuit |
| US5392247A (en) * | 1991-09-19 | 1995-02-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor memory device including redundancy circuit |
| US5446692A (en) * | 1992-02-14 | 1995-08-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor memory device having redundancy memory cells shared among memory blocks |
| US5617365A (en) * | 1988-10-07 | 1997-04-01 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device having redundancy circuit |
| US5983358A (en) * | 1996-09-27 | 1999-11-09 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor memory having redundancy circuit |
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