JPS60164210A - 容量式変換装置 - Google Patents

容量式変換装置

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JPS60164210A
JPS60164210A JP59019685A JP1968584A JPS60164210A JP S60164210 A JPS60164210 A JP S60164210A JP 59019685 A JP59019685 A JP 59019685A JP 1968584 A JP1968584 A JP 1968584A JP S60164210 A JPS60164210 A JP S60164210A
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JP
Japan
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capacitance
capacitor
variable capacitor
voltage
circuit
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JP59019685A
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Terutaka Hirata
平田 輝孝
Kiyoshi Odohira
尾土平 きよし
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Hokushin Electric Corp
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance

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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈発明の属する技術分野〉 本発明は、圧力、差圧等の被測定量に応じて可動電極が
変位し、電極間の容量が変化する可変コンデンサを用い
た容量式変換装置に関するもので、さらに詳しくは微小
変位による容量変化を直流の電圧または電流信号に変換
する容量式変換装置に関するものである。
〈従来技術〉 一般に容量変化を直流の電圧(tたは電流)信号に変換
する場合には、−第1図に示すように発振器11の発振
出力e□(周波数f、振幅E1pp)を、可、動電極1
2 が変位し電極12a、 12.間の容量C1が変化
する可変コンデンサ12に与え、その容量C□に応じて
流れる交流電流をダイオード13a、13bからなる整
流回路13で整流して直流電流Iを得、この直流電流■
を電流/電圧変換回路14で電圧信号EK変換している
。なお電流/電圧変換回路14は演算増幅器14 と、
その帰還回路に容量値がC2のコンデンサ14bと抵抗
値がRの抵抗14゜の並列回路を有している。
ところで可変コンデンサ12の容量C1が例えば10p
F程度の微小容量の場合には、整流回路13のダイオー
ドの2pF程度の並列容量CDや順方向電圧ED(ヨ0
.6V)の影響を受ける。すなわち、整流回路13で整
流して得た直流電流■け、 I −f (C1(Elpp−2ED’) −4EDC
D) (1)で与えられ、しかも発振器11の発振出力
e工の振幅E は通常3v 程度のものが用いられてい
る。
pp pp このため可変コンデンサ12の容量C1が微小であると
、並列容量CDと順方向電圧EDの影響を受けてSIN
が悪くなり、またダイオードの順方向電圧EDの温度係
数(2mV/’C)により温度変動の影響も受ける。こ
のように従来の容量式変換装置では、微小容量を精度よ
く直流信号に変換することは困難であった。
〈発明の目的〉 本発明の目的は、微小容量を精度よく直流の電圧または
電流信号に変換できる容量式変換装置を実現するにある
〈発明の構成〉 本発明は、可変コンデンサの容量変化をチャージコンバ
ータで交流電圧の振幅の変化として検出し、このチャー
ジコンバータの出方を可変コンデシサの容量よシ大きい
一定容量の固定コンデンサに印加して、この固定コンデ
ンサを流れる交流電流をダイオードを用いた整流回路で
整流するとともに、チャージコンバータの帰還回路に補
償用ダイオードを接続することを特徴としたものである
〈実施例〉 m2図は本発明装置の一実施例を示す接続図である。第
2図において第1図の従来例と異るところは、演算増幅
器15 とその帰還回路に容量値がC2のコンデンサ1
5bと抵抗値がR1の抵抗15oとの並列回路を有する
チャージコンバータ15の入カ回、18に可変=y y
 f yヶ□2を接続しア、可変3゛7デ。
す12の容量変化を交流電圧e2の振幅の変化として検
出した後、この交流電圧θ2を一定容Ic3の固定コン
デンサ16に印加し、固定コンデンサ16を流れる交流
電流を整流回路13で整流するとともに、チャージコン
バータ15の演算増幅器15 の出力端とコンデンサ1
5bと抵抗15bの並列回路の一端15゜との間に互い
に逆極性に接続された補償用ダイオード15d、 15
8の並列回路を挿入し、かつ並列回路の一端15〜容量
値がC4の調整用コンデンサ15gを介してコモンに接
続した点である。
このように構成した本発明装置においては、チャージコ
ンバーター5の帰還回路の時定数02R1を発振器11
の発振周期1/f より充分に大きく傭べば、テ具シコ
ンバーター5の出力e2の振幅E2pPけ、補償用ダイ
オード1515 による電圧降下の振幅がd′e 2EDであるので、 となり、可変コンデンサー2の容量cに応じた値になる
。このチャージコンバーター5の出力eが固定コンデン
サ16に印加され、固定コンデンサ16を流れる交流電
流を整流回路13で整流して得た直流電流Iけ、次式の
如くなる。
■=f(C3(E2pp−2ED)−4CDED)(3
)(3)式に(2)式を代入すると、 となるので、固定コンデンサー6の容量c3を満足する
ように選べば、直流電流工け、となり、整流回路13の
ダイオードの並列容量CDや順方向電圧EDの影響を有
効に除去することができる@例えば、CD= 2pF 
、 ED−0,6V、 、f = 100kHz 。
EIPp= 3Vpp、 C2= 11iFであれば固
定;ンデンt1eの容量C3を100pF程度に選ぶこ
とKよシ、可変コンデンサ12の11pF程度の微小容
tc工を精度よく直流の電流または電圧信号に変換でき
る。なおチャージコンバーター5に設けた調整用コンデ
ンサー5は整流回路13のダイオード13a、13bの
1亨と補償用ダイオード1515の負荷とを整合させる
ためl e のもので、その容量c4は次式を満足するように選ばれ
ている。
03■C2+04(7) なお上述では、可変コンデンサー2をチャージコンバー
タ15の入力回路に接続する場合を例示したが、第5図
に示すように可変コンデンサー2をチャージコンバータ
ー5の帰還回路に接続し、コンデンサー5bを入力回路
に接続してもよい。この場合のチャージコンバーター5
の出力e2の振幅E2PPは、となる。またチャージコ
ンバーター5の帰ffi回路の抵抗15oの代りに、第
3図に示すように抵抗15.。
15 およびコンデンサー5jを用いたT形フィルタを
用いてもよい。
〈発明の効果〉 本発明においては、整流回路のダイオードの並列容量や
順方向電圧の影響を有効に除去でき、微小容量を精度よ
く直流信号に変換できる容量式変換装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来装置の一例を示す接続図、第2図は本発明
装置の一実施例を示す接続図、第3図は本発明装置の他
の実施例を示す接続図である。 11・・・発振器、12・・・可変コンデンサ、13・
・・整流回路、14・・・電流/電圧変換回路、15・
・・チャージコンバータ、16・・・固定コンデンサ、
15d、 158・・・補償用ダイオード、15 ・・
・調整用コンデンサ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被測定量に応じて容量が変化する可変コンデンサと、こ
    の可変コンデンサに発振出力を印加する発振器と、前記
    可変コンデンサが入力回路または帰還回路に接続され、
    その容量に応じた振幅の交流電圧を出力するチャージコ
    ンパ・−夕と、このチャージコンバータの出力が加えら
    れる一定容量の固定コンデンサと、この固定コンデンサ
    を流れる交流電流を整流するダイオードを用いた整流回
    路と、前記チャージコンバータの帰還回路に挿入される
    補償用ダイオードとを有し、前記固定コンテンツの容量
    を前記可変コンデンサの容量よシ大きく選んだことを特
    徴とする容量式変換装置。
JP59019685A 1984-02-06 1984-02-06 容量式変換装置 Granted JPS60164210A (ja)

Priority Applications (1)

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JP59019685A JPS60164210A (ja) 1984-02-06 1984-02-06 容量式変換装置

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JP59019685A JPS60164210A (ja) 1984-02-06 1984-02-06 容量式変換装置

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Publication Number Publication Date
JPS60164210A true JPS60164210A (ja) 1985-08-27
JPH0430528B2 JPH0430528B2 (ja) 1992-05-22

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ID=12006087

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