JPS60213056A - カラ−固体撮像装置 - Google Patents
カラ−固体撮像装置Info
- Publication number
- JPS60213056A JPS60213056A JP59070420A JP7042084A JPS60213056A JP S60213056 A JPS60213056 A JP S60213056A JP 59070420 A JP59070420 A JP 59070420A JP 7042084 A JP7042084 A JP 7042084A JP S60213056 A JPS60213056 A JP S60213056A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- color
- solid
- state imaging
- photoelectric conversion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/10—Integrated devices
- H10F39/12—Image sensors
- H10F39/15—Charge-coupled device [CCD] image sensors
- H10F39/156—CCD or CID colour image sensors
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（従来技術）
本発明はカラー固体撮像装置に関し、特にモノリシック
にカラーフィルタを積層したカラー固体撮像装置に関す
る。
にカラーフィルタを積層したカラー固体撮像装置に関す
る。
（従来技術）
従来、モノリシックにカラーフィルタｌｔ＃した固体撮
像装置としては、例えば実開昭５７−４１６６８に示さ
れるごとく、固体撮像装置に放射線感光性樹脂とゼラチ
ン、カゼイン等をパターン化した染色樹脂層を交互にモ
ノリシックに積層することによりカラーフィルタを形成
した後、ポンディングパッド部等の放射線感光性樹脂に
遠紫外線、電子線等を照射することにより部分的に除去
することにより作られている。
像装置としては、例えば実開昭５７−４１６６８に示さ
れるごとく、固体撮像装置に放射線感光性樹脂とゼラチ
ン、カゼイン等をパターン化した染色樹脂層を交互にモ
ノリシックに積層することによりカラーフィルタを形成
した後、ポンディングパッド部等の放射線感光性樹脂に
遠紫外線、電子線等を照射することにより部分的に除去
することにより作られている。
この従来の固体撮像装置において、カラーフィルタをモ
ノリシックに９層することに↓リウェーハ上で形成する
場合に、カラーフィルタの分光特性を各カラーフィルタ
ーを形成した後、測定する必要がある。この場合に、分
光特性の測定方法とし°〔次の２つの方法が用いられて
いる。
ノリシックに９層することに↓リウェーハ上で形成する
場合に、カラーフィルタの分光特性を各カラーフィルタ
ーを形成した後、測定する必要がある。この場合に、分
光特性の測定方法とし°〔次の２つの方法が用いられて
いる。
第１の方法は、素子上にモノリシックに形成したカラー
フィルタと同一条件でガラス板上にカラーフィルタを形
成し、分光された光を透過させ、その透過光の強度を測
定する方法である。この第ｌの方法では、実際の固体素
子上にモノリシックに形成したカラーフィルタにおいて
は表面段差のあるフォトセル上にカラーフィルタが形成
されるのに対して、カラス板に形成されるカラーフィル
タは平面上に形成されるため両者のカラーフィルタの断
面構造が異なっＣいる。このためカラーフィルタの光の
透過率の分光特性もガラス板と固体素子上では異なって
いる。このため、この第１の方法では固体素子の分光特
性を制御するのが困難である。
フィルタと同一条件でガラス板上にカラーフィルタを形
成し、分光された光を透過させ、その透過光の強度を測
定する方法である。この第ｌの方法では、実際の固体素
子上にモノリシックに形成したカラーフィルタにおいて
は表面段差のあるフォトセル上にカラーフィルタが形成
されるのに対して、カラス板に形成されるカラーフィル
タは平面上に形成されるため両者のカラーフィルタの断
面構造が異なっＣいる。このためカラーフィルタの光の
透過率の分光特性もガラス板と固体素子上では異なって
いる。このため、この第１の方法では固体素子の分光特
性を制御するのが困難である。
第２の方法は、分光された光を７オトセル部に照射して
反射光の強度を測定する方法である。しかし、この第２
の方法では、多重干渉効果等の問題があり、チーターの
再現性が極めて悪い。このように従来の固体撮像装置に
おいては、モノリシックに形成したカラーフィルタの分
光特性の制御性に大きな問題を有していた。従来の固体
撮像素子を用いた場合のカラーフィルタの分光特性の測
定を行なう際の問題点を図面を用いて説明する。
反射光の強度を測定する方法である。しかし、この第２
の方法では、多重干渉効果等の問題があり、チーターの
再現性が極めて悪い。このように従来の固体撮像装置に
おいては、モノリシックに形成したカラーフィルタの分
光特性の制御性に大きな問題を有していた。従来の固体
撮像素子を用いた場合のカラーフィルタの分光特性の測
定を行なう際の問題点を図面を用いて説明する。
第１図は従来のカラー固体撮像素子の一例の断面図、第
２図はガラス板上に形成したカラーフィルタの断面図で
ある。
２図はガラス板上に形成したカラーフィルタの断面図で
ある。
第１図に示すように、半導体基板ｌの一生面に固体撮像
素子の光電変換部２となる領域を設定し、その周りをフ
ィールド醒化膜３で囲み、多結晶シリコン電極４、層間
絶縁膜５．金属配線６．カバー酸化膜７．カラーフィル
タ８を順次形成する。
素子の光電変換部２となる領域を設定し、その周りをフ
ィールド醒化膜３で囲み、多結晶シリコン電極４、層間
絶縁膜５．金属配線６．カバー酸化膜７．カラーフィル
タ８を順次形成する。
前述の第１の方法は、このカラーフィルタと同一条件で
、第２図に示すように、ガラス板９の上にカラーフィル
タ１０を形成し、分光された光を透過させ、透過光の強
度を測定するのである。固体撮像素子上に形成されたカ
ラ−フィルタ５ｒｉｉ子面の凸凹の撮像を受けるのに対
し、ガラス板上罠形成されたカラーフィルタ１０は凸凹
がなく、影響を受けない。それ故、固体撮像素子上に作
られたカラーフィルタ８とガラス板上に作られたカラー
フィルタ１０とは透過率の分光特性は異っている。従っ
′Ｃ，ガラス板上に形成したカラーフィルタで以って固
体撮像素子上に形成したカラーフィルタの代用とするこ
とは正確な測定法ではない。
、第２図に示すように、ガラス板９の上にカラーフィル
タ１０を形成し、分光された光を透過させ、透過光の強
度を測定するのである。固体撮像素子上に形成されたカ
ラ−フィルタ５ｒｉｉ子面の凸凹の撮像を受けるのに対
し、ガラス板上罠形成されたカラーフィルタ１０は凸凹
がなく、影響を受けない。それ故、固体撮像素子上に作
られたカラーフィルタ８とガラス板上に作られたカラー
フィルタ１０とは透過率の分光特性は異っている。従っ
′Ｃ，ガラス板上に形成したカラーフィルタで以って固
体撮像素子上に形成したカラーフィルタの代用とするこ
とは正確な測定法ではない。
このように、従来のカラーフィルタの透過率の分光特性
の測定は、正確でないかあるいは再現性がなく、従って
、色再現性９色信号のＳ／Ｎ比の良好なカラー固体撮像
装置を製造することが難しいという欠点があった。
の測定は、正確でないかあるいは再現性がなく、従って
、色再現性９色信号のＳ／Ｎ比の良好なカラー固体撮像
装置を製造することが難しいという欠点があった。
（発明の目的）
本発明の目的は、上記欠点を除去し、カラーフィルタの
分光特性を正確に測定できるようにすることＫより色再
現性９色信号のＳ／Ｎ比等を制御性良く製造することが
できるカラー固体撮像装置を提供することにある。
分光特性を正確に測定できるようにすることＫより色再
現性９色信号のＳ／Ｎ比等を制御性良く製造することが
できるカラー固体撮像装置を提供することにある。
（発明の構成）
本発明のカラー固体撮像装置は、半導体基板に設けられ
た第１の光電変換素子と走査回路とＩｉＪ記第１の光電
変換素子の上に設けられた第１のカラーフィルタとを含
んで構成されるカラー固体ｍｈ部と、前記半導体基板に
設けられた第２の光電変換素子とトランスファゲート電
極と前記第２の光電変換素子上に設けられた第２のカラ
ーフィルタとを含んで構成される評価用素子部とを含ん
で構成される。
た第１の光電変換素子と走査回路とＩｉＪ記第１の光電
変換素子の上に設けられた第１のカラーフィルタとを含
んで構成されるカラー固体ｍｈ部と、前記半導体基板に
設けられた第２の光電変換素子とトランスファゲート電
極と前記第２の光電変換素子上に設けられた第２のカラ
ーフィルタとを含んで構成される評価用素子部とを含ん
で構成される。
（実施例）
次Ｋ、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
第３図は本発明の一実施例の断面図である。
この実施例は、通常のカラー固体撮像素子として作用す
るカラー固体撮像部２０と、評価用素子部２０′とが同
一半導体基板２１に形成されることにより構成されてい
る。
るカラー固体撮像部２０と、評価用素子部２０′とが同
一半導体基板２１に形成されることにより構成されてい
る。
カラー固体撮像部２０は、光電変換部２３．多結晶シリ
コン電極２５２層間絶縁膜２６．金属配線２７．カバー
酸化膜２８から成る第１のうし電変換素子と、この上に
設けられた第１のカラーフィルタ２９と、第１の光電変
換素子を走査する几査回路（図示せず）とで構成される
。番号２２はフイールド酸化膜である。
コン電極２５２層間絶縁膜２６．金属配線２７．カバー
酸化膜２８から成る第１のうし電変換素子と、この上に
設けられた第１のカラーフィルタ２９と、第１の光電変
換素子を走査する几査回路（図示せず）とで構成される
。番号２２はフイールド酸化膜である。
評価用素子部２０′は、光を変換部２３′９層間絶縁膜
２６．カバー酸化膜２８から成る第２の光電変換素子部
と、この上に設けられた第２のカラーフィルタ２９′と
、拡散層２４とトランスファゲート電極２５′とでイｈ
成される。
２６．カバー酸化膜２８から成る第２の光電変換素子部
と、この上に設けられた第２のカラーフィルタ２９′と
、拡散層２４とトランスファゲート電極２５′とでイｈ
成される。
第２のカラーフィルタ２９′は第１のカラーフィルタ２
９と同一製造上程で製造され、しかも同様の凹凸のある
素子上に作られＣいる。従って、第１のカラーフィルタ
２９と第２のカラーフィルタ２９′の分光特性はほぼ同
じであり、第２のカラーフィルタ２９′の分光特性の測
定で第１のカラーフィルタ２９の分光特性を推定するこ
とができる。
９と同一製造上程で製造され、しかも同様の凹凸のある
素子上に作られＣいる。従って、第１のカラーフィルタ
２９と第２のカラーフィルタ２９′の分光特性はほぼ同
じであり、第２のカラーフィルタ２９′の分光特性の測
定で第１のカラーフィルタ２９の分光特性を推定するこ
とができる。
この点が、従来のカラス板の上にカラーフィルタを設け
て測定する方法と大きく異なる所であり、本発明による
測定がより正確なのである。
て測定する方法と大きく異なる所であり、本発明による
測定がより正確なのである。
次に、評価用素子部の動作について説明する。
第２の光電変換素子部２０′に分光された光を照射し、
一定時間電荷を光電変換部２３′に蓄積し、トランスフ
ァゲート電極２５′により引出し°τ拡散Ｎ２４に集め
、金属配線２７′で引出し、この電荷の値をめることに
より絹２のカラーフィルタの分光特性を測定することが
できる。
一定時間電荷を光電変換部２３′に蓄積し、トランスフ
ァゲート電極２５′により引出し°τ拡散Ｎ２４に集め
、金属配線２７′で引出し、この電荷の値をめることに
より絹２のカラーフィルタの分光特性を測定することが
できる。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、本発明によれば、カラーフ
ィルタの分光特性を正確に測定でき、古現性及び制御性
良く製造できるカラー固体撮像装置を得ることができる
。
ィルタの分光特性を正確に測定でき、古現性及び制御性
良く製造できるカラー固体撮像装置を得ることができる
。
第１図は従来のカラー固体撮像素子の一例の断面図、第
２図はカラス板上に形成したカラーフィルタの断面図、
第３図は本発明の一実施例の断面図である。 １・・・・・・半導体基板、２・・・・・・光電変換部
、３・・・・・・フィールド酸化膜、４・・・・・・多
結晶シリコン電極、５・・・・・・層間絶縁膜、６・・
・・・・金属配線、７・・・・・・カバー酸化膜、８・
・・・・・カラーフィルタ、９・・・・・・ガラス＆、
１０−−−−−−カラーフィルタ、２０・・・・・・カ
ラー固体撮像部、２０／・・・・・・評価用素子部、２
１・・・・・・半導体基板、２２・・・・・・フィール
ド酸化膜、２３．２３’・・・・・・光電変換部、２４
・・・・・・拡散層、２５・・・・・・多結晶／リコン
電極、２５１・・・・・・トランスファゲート電極、２
６ ・・・・層間絶縁膜、２７．２７’・・・・・・金
属配線、２８・・・・・・カバー酸化膜、２９・・・・
・・第１のカラーフィルタ、２９′・°°・・ｖ、２の
カラーフィルタ。
２図はカラス板上に形成したカラーフィルタの断面図、
第３図は本発明の一実施例の断面図である。 １・・・・・・半導体基板、２・・・・・・光電変換部
、３・・・・・・フィールド酸化膜、４・・・・・・多
結晶シリコン電極、５・・・・・・層間絶縁膜、６・・
・・・・金属配線、７・・・・・・カバー酸化膜、８・
・・・・・カラーフィルタ、９・・・・・・ガラス＆、
１０−−−−−−カラーフィルタ、２０・・・・・・カ
ラー固体撮像部、２０／・・・・・・評価用素子部、２
１・・・・・・半導体基板、２２・・・・・・フィール
ド酸化膜、２３．２３’・・・・・・光電変換部、２４
・・・・・・拡散層、２５・・・・・・多結晶／リコン
電極、２５１・・・・・・トランスファゲート電極、２
６ ・・・・層間絶縁膜、２７．２７’・・・・・・金
属配線、２８・・・・・・カバー酸化膜、２９・・・・
・・第１のカラーフィルタ、２９′・°°・・ｖ、２の
カラーフィルタ。
Claims (1)
- 半導体基板に設けられたｆａｌの光電変換素子と走査回
路と前記第１０光電変換素子の上に設けられた第１のカ
ラーフィルタとを含んで構成されるカラー固体Ｏ＆像部
と、前記半導体基板に設けられた第２の光電変換素子と
トランスファゲート電極と前記＠２の光電変換素子上に
設けられた第２のカラーフィルタとを含んで構成される
評価用素子部とを含むことを特徴とするカラー固体撮像
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59070420A JPS60213056A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | カラ−固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59070420A JPS60213056A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | カラ−固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60213056A true JPS60213056A (ja) | 1985-10-25 |
Family
ID=13430960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59070420A Pending JPS60213056A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | カラ−固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60213056A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02114664A (ja) * | 1988-10-25 | 1990-04-26 | Dainippon Printing Co Ltd | カラー撮像素子の製造方法 |
| JPH03201247A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-09-03 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録再生装置のローディングポール駆動機構 |
-
1984
- 1984-04-09 JP JP59070420A patent/JPS60213056A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02114664A (ja) * | 1988-10-25 | 1990-04-26 | Dainippon Printing Co Ltd | カラー撮像素子の製造方法 |
| JPH03201247A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-09-03 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録再生装置のローディングポール駆動機構 |
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