JPS60217697A - 電子部品取り付け取り外し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

（産業上の利用分野） 本発明はプリント配線板等の基板、上へのＩＣチップ等
の電子部品（モジコール）の取りイ１す、取り外しを行
なうための加熱装置に関づるものである。 （従来技術） プリン１へ配線板等の基板上へのＩ　Ｃチップ等の電子
部品（モジュール）の取り（＝ＪｔＪ、取り外しの装置
は、次の２種に分類することがぐさる。１つは加熱ヘッ
ドを有しこのヘッドが各ターミナルに接触してハンダを
溶かりタイプで、他の１つは熱風を当てることによって
ハンダを溶か４タイプである。前者は通常では装置が複
雑であり、加熱ヘッドに一定間隔を有して配される複数
の触ａ１を電子部品のまわりの各ターミナルと正確に対
応するように並べて取り付け、この部品上のハンダを全
て同時に加熱り＝るようにしな

【）ればならない。この
後、この部品は基板から真空吸引もしくは他の機械的手
段により取り外される。このような装置としでは、例え
ば米国時ｆｌ′第３，３８２，５６４号の装置がある。 しかしながら、この種の装置を用いる場合には、電子シ
ステムがどんどん小型化されるのに応じてこの各システ
ム中の各電子部品も小型化しているため、各部品のター
ミナル間の間隔が極端に狭くなり、加熱ヘッドの各−指
針の位置決めに高精度が要求され、この位置決めが非常
に難しいという問題がある。さらに、この位置決めが適
正でないときには、ハンダが各ターミナルの間に流れて
、ショートを起こ１．シたり、部品に損傷を与えたりす
′るという問題がある。一方、後者の装置では部品の上
方から各ターミナルに熱風を吹きイリは各ターミナルの
ハンダを同時に溶かすようにしている。このような装置
としては、米国特許第４，３・６６、９２５号の装置が
ある。この装置を用いる場合に、各部品同士の間隔が広
く、上方から吹きつけられる熱風によって隣り合う部品
のターミナル上のハンダを溶か１おそれのない場合ぐあ
れば、十分満足の行く作動を行なわせることができる。 しかしながら、前述のように、各部品自体が小型化して
いるのみならず、プリント配線板上で各部品同士もさら
に近づいて配されるようになっているという問題がある
。このため、基板上への電子部品の取り付け、取り外し
を行なう際に、各部品のターミナル上もしくは基板のプ
リン！・導体上のハンダを溶かすために十分な熱を正確
に制御して均一に供給できることができるのみならず、
この熱を素早く且つ精度良く所定の個所へ導き、隣り合
う部品のターミナル上のハンダを溶かしたり、基板のプ
リント導体を損傷さけたすすることのないようにできる
装置がめられている。さらに、この装置を用いた場合電
子部品およびそのターミナルを基板のプリント導体の各
端部に合わｔ！Ｉ勾いに重なることなく正確に位１６決
めｒニーき、且つこの部品を取り外す時には溶融したハ
ンダが基板上の各プリント導体間に１４着りることのな
いＪ：うにＣきることが望ましい。 （発明の目的および構成） 本発明は上記事情に鑑み、プリント配線板への電子部品
の取り付け、取り外し川の優れた装置を提供りることを
目的とする。 本発明の装置は、基板上の部品のターミナルもしくはプ
リント導体上のハンダに熱風を精度良く導くためのノズ
ルを有することを特徴とする。 さらに、電子部品の各サイズに対応して前記ノズルを迅
速に交換することができるのみならず、各ノズルは上記
電子部品と別々にもしくは一緒に移動させることができ
、熱風源を遮断することなく基板の掃除等をできるよう
にしたことを特徴とする。 さらに、本発明の装置は前記熱風源の下方において、基
板および電子部品を、取り利けもしくは取り外しのため
の所定位置に迅速にＨつ正確に位置させるための位置決
め手段を有づることを特徴とする。 さらに、本発明の装置は、基板上に電子部品を位置せし
めたり基板上からこれを取り除いたりリ−るため、前記
熱風源およびノズルと同軸上に並んで配される真空吸引
手段を有することを特徴とする特 さらに、ヒーター内の通路中にこの通路内の通過空気へ
の熱伝達を促進させるためのスヂールウール等を配した
ことを特徴とづる。 さらに、電気部品の取り付１ノおよび取り外し用ユニッ
ト全体を作業位置と非作業位置との間で効率よく移動さ
ける機構を右Ｊることを特徴とし、この移動は垂直面内
において前記ユ：ツ１〜を９０’旋回さＵて行なわれ、
最初は作業位置がらほぼ垂直方向に移動し最後はほぼ水
平方向に移動して非作業位置に位置するようにｔＴって
いることを特徴とする。 さらに、上記部品取り（：Ｊｔ）取り外し用ユニットの
中のヒーターユニツ］〜からノズルロケータ装置を分離
させることかできる手段を右づることを特徴とする。 さらに、部品取り付は取り外しユヨットが作業位置と非
作業位置との間で旋回される時、該ユニットをほぼ垂直
方向を向いたまま保持ザるための手段を有４ることを特
徴とする。 さらに、真空吸引手段への負圧供給が断たれた時に、該
手段から該手段により吸引されていた半導体を外ずた゛
めの手段を有することを特徴とする。 さらに、部材同士が摺動運動するように案内°する弾性
キーを設け、この弾性キーによりキ一部分にあまり高精
度を要求されることのないようにしたことを特徴とする
。 さらに、固定部材に対して摺動部材を摺動方向と直角な
方向へ押し付ける弾性手段を設けて両部材にあまり高精
度が要求されないようにしたことを特徴とづる。 さらに、取り（＝ｊ　ｌ）用の新しい電子部品を部品取
り付は取り外し装置に対して正確に位置決め４るための
装置をイｊ？Ｉることを特徴とりる。 さらに、本発明の装置は、電子部品としてり一ドレスチ
ップキャリア（ＬＣＣ）およびフラグ１〜パツクキヤリ
アのいずれをも扱うことができるようにしたことを特徴
とする。 （実　施　例） 以下、図面により本発明の実施例について説明する。 １０は、絶縁基板への電子部品の取り４＝Ｊ　＜フ、取
り外しを行なうための本発明に係る装置全体である。 さらに詳しくは、第１図から第４図に承りように、装置
１０は、ベース１４を右するメインフレーｌ＼１２ど、
ベース１４に平行な７１クント部１６と、垂直部１８と
、ベース１４に平行で垂直部１８から延びるｉ〜ツブマ
ウントアーム２０とからなる。矩形断面のロツ１〜２２
が、ベース１４に形成された溝２４とベース１４に固定
されたクランプ２８に形成された溝２６との間に１１す
動自右に配される。固定ブロック３０は、１」ット２２
の一端に固定され、このブロック３０にＩＪ　！；ル仮
もしくはノ゛リント配線板３４の端部を支持りるＶ字状
の四部３２が形成され（いる。阜根３４の反対側端部は
はねクリップ３８のＶ字状の四部３６に支持される。な
お、ばねクリップ３８はロット２２の細端を摺動自在な
ブロック４０に固定される。ベース１４と螺合りるシＶ
）１−３９を右づるノブ３７が回されるとこれが基板３
４の下面と接触してこの中央部を支持りるようになって
いる。基板３４は通常はその上に複数の電子部品４２が
置かれ、この電子部品はその周囲に複数のターミナル４
４を有する（第９図参照）。ターミナル４４は、通常は
絶縁性のセラミック材料からなる基板上の種々の層間の
みならず表面上において内部配線ネッｉ〜ワークを形成
づる導体４６にハンダ付【プされる。電子部品４４は、
凹部３２．３６により支持された基板３４を勅かづこと
により一方向の位置決めがなされ、溝２４．２６内を摺
動りるロッド２２を摺動させることによって上記一方向
と直角な方向の位１ｕ決めがなされる。シャフト４８が
、その一端を１−ツブマウントアーム２０に固定されベ
ース１４に向かってト方に延びて配される。 ターミナル４４と導体４６とを接合づるハンダを加熱し
電子部品４２を基板３４から持ら上げるためのアセンブ
リ５０が、シャツ］・４８のまわりを水平および垂直に
可動となってシャフト４８に取り付りられている。アセ
ンブリ５０は、シャフト４８に対して回転自在で且つ摺
動自在なマウントブロック５０を有し、第３図において
想像線で承り位置まで回転可能で、ハンドル５４により
上下動可能となっている。マウント１０ツク５２はその
内部に円筒状空間５６と、この空間内の上部室６２と下
部室６４とを結ぶ通路を形成する半径方向内方に突出づ
”るリップ部！】８とを有する。電気抵抗を利用した加
熱部材６６がリップ部５８上に載って上部室６２内に配
される。加熱部材６６は円筒形状をしており、熱風を通
すため軸方向に延びた複数の貫通孔６８を有する（詳細
は後述）。 上部室６２の上端を閉じるためのプラグ７０がマウント
ブ″ロック５２に取り付けられる。このプラグ７０は円
周上に四部１２を有し、この凹部７２から人］」孔７４
が内部空間１６内へ延びている。ンウンｌ−’７目ツク
５２内を貫通するボア１８は一端が四部１２と連通し、
他端がチューブ８０と連通ずる（第５図参照）。ンウン
ト部１６に固定されハウジング８５内に配された空気供
給源としての空気ポンプ８４からの加圧空気がホース８
２を通ってチューブ８０に供給される。ポンプ８４の図
中布が加圧側８６で左が負圧側８８であり、それぞれの
側にフィルター９０が設けられる。ポンプ８４の駆動用
電気モータ（図示せず）のシャツ１−９２がその一端を
外方に突出させＣいる。このシャフト９２には可撓性ド
ライブシャフト（図示せず）を連結することができ、こ
れによって手動ドリル、ワイヤブラシホイールなどを作
動させ基板３４上での簡単な修理作業や清掃作業が行な
えるようになっている。上部室６２の残りの部分には断
熱材９３が詰め込まれ、加熱部材６６からの放熱を防止
し、貫通孔６８を通過する加熱効率を高める。下部室内
の空気温度を検出するため、１ナーミスタからなる感熱
部材９４が下部室６４に配されており、これによって加
熱部材６６での加熱ｍを制御して−に記空気温度を所定
値に保持づる。加熱部材回路への通電はコントロールパ
ネル９８上のスイッチ９６によって制御される。さらに
、加熱部材６６の作動の有無はランプ１００により表示
される。１ナーミスタ９４および加熱部材６６に繋がる
電線は、可撓性導管９５内に配される。 細長い真空チューブ１０２が、プラグ７０に対し摺動自
在で、加熱部材６６内の内孔６４を通るとともに下部室
６４を通って配され、第２図に示す第１の位置に位置す
る。真空チューブ１０２は、その上端部においてプラグ
７０とフィッティング１０８との間で作用する圧縮スプ
リング１０６により上記第１の位置に保持される。さら
に、真空チューブ１０２は、フィッティング１１８に一
端が連結された小−ス１１２によって、パネル９８上の
真空制御バルブ１１４を介してポンプ８４の負圧側８６
と連通され−Ｃいる。 真空制御バルブを作動させて真空チューブ１０２内に負
圧を発生させ、ボタン１１６を押しトげることにより、
後述するようにデユープの先端１０３からの負圧を利用
して電子部品４２の取り外しがｔｊなわれる。 次に、第２．６．７および８図に１．ｔづいて説明する
。ノズルル−（〜　１１８がマウント７１．１ツク５２
の下部室６４の聞１１部にリイドフシンジ１２０により
固定される。ノズル７”レー１−１１８は、第７図に示
すように頂角約３０°の逆円錐状の複数のノズルオリフ
ィス１２２を有する。このノズルオリフィス１２２は電
子部品の外周形状に合わ１７こ矩形状に配列されている
。ホルダー１２４がシャツ１〜４８に取り（＝１けられ
、このホルダー　１２４は垂直方向Ｊ３よび水平方向（
回転）の動きが可能になっている。ホルダー１２４は矩
形状の開口１２６を有し、これに近接して対向するガイ
ドビン１２８も有づる。基部１３２を有するロケータノ
ズル１３０のフランジ部１３１が開口１２６内に挿入さ
れ、ガイドビン１２８にココり保持される。基部１３２
は、後述する作用をなすノツチ１３４を有Ｊる。フラン
ジ部１３１には、電子部品４２の外周より若干大きいサ
イズの開口１３６が形成されている。アセンブリ５０を
持ち上げて回転させて他所へよけると、この開口　１３
６を通して上方がら電子部品４２を見ることができ、こ
のため間口１３６に合わせて電子部品４２を位置さぜる
ことができる。 ロケータノズル１３０は第１図に明瞭に示すようにノツ
チ１３４と係合するクリップ１３８でアセンブリ５０に
取り（、ｌ　ｌ）ることができ、このアセンブリ５０と
ともに回転させることができる。ロケータノズル１３０
を回転さゼると、次いで第９図Ｊ３よび第１０図に示す
゛ように位置決めプレート　１４０がガイドビン１２８
に保持されて取り付けられる。位置決めプレート　１４
０には、開口１４４の角に固定され、９０’の角度をな
し°【交差する２本のワイヤ１４２が取り付けられＣい
る。このため、電子部品４２の角をツイヤ１４２の真下
に位置させればこの電子部品４２を開口１４４の中央に
正確に位置させることができる。 電子部品４２を中央に位置させると、位置決めプレート
　１４０は取り外され、アセンブリ５０にロケータノズ
ル１３０が再び取り付Ｇノられ（これらが元の位置まで
戻され、後述の装置の作動の説明において詳述する電子
部品の取り（＝ｌけ、取り外しがなされる。プラッＩ−
〕Ａ−ム１４６が垂直部１８に固定され外方に延びてい
る。このプラットフォーム１４６は、アセンブリ５０が
回転され（他所へよりられた時、開口　１３６から流出
づる熱風を遮断して基板３４および電子部品４２を保護
りる。■クーツノスル１３６の開口１３６を基板３４の
上方の所定位置に正確にもン首させるため、シャフト４
８土に螺合Ｊるナラｌ−１４８が取り付けられ、このナ
ラ１−を回転しＣ上１・δＵることによりマウントブロ
ック５２のおよびこれに取り付けられる【」ケータノズ
ル１３６の゛Ｆ！ＩＪ限界位置を決めるようにしている
。 パネル９８上に設けられたタイマー　１５０は、所定の
時間をセラｉ〜でき、セット時間が経過した時に警告音
を発りる。タイマーの作動は、作動アーム１５４および
ローラ　１５６を有し、ブラクット　１５３により垂直
部１８に取り付けられたマイクロスイッチ１５２の作動
によって行なわれる。アセンブリ５０が作動位置まで下
動すると、マウントブロック５２のカム面１５８がロー
ラ　１５６と当接しスイッチ１５２を作動させる。 パネル９８上には電気出力用コンセント　１６０が設け
られ、ここからの電気出力を用いて、修理等に用いるハ
ンダゴテやハンダ清釦用の吸引器などの各種補助器具を
作動させることができるようにむつ゛（いる。 本装置への供給電力はコントローラ１６２によって調節
できる。パネル９８上には負圧取出口１６４および加圧
空気取出口１６６が設置〕られ、これらは基材３４上の
異物を吹き飛ばしたり吸引したり等して、基材３４上を
清浄にするため用いられるようになっている。 １−一」［ スイッチ９６を作動させヒーターニレメンＩ・６６に通
電させると、同時にポンプ８４も作動し加Ｌ１゛空気お
よび負圧が作り出される。コン］・Ｌｌ−ルバルブ１１
４によってチューブ１１２内への１１汁導入は止められ
、取りイ１（）もしくは取り外しの対象となる電子部品
の外周形状より若干大きい間し１１３Ｂを右ηるロケー
タノズル１３０が選択され、これがマウントブロック５
２に取り付番ノられる。次いＣ１ノルンブリ５０および
ロケータノズル１３０は回転されＣプラットフォーム１
３６が聞Ｉ−＋　１３６を覆う位ｒ１ま（下動され、こ
れに−二つ℃熱風によるＭ板３４の損傷を防止する。 電子部品４２を基板３４から取り外り場合には、位置決
めプレー１〜１４０はホルダー　１２４上に買かれ、基
板３４を凹部３２．３６に沿つ−Ｃ摺動させるとともに
ロッドを動かして基板３４をこの摺動と直角方向に動か
して、電子部品がワイｔｌ　１４２の下方所定位置に位
置させる。この位置決めの後、位置決めプレート　１４
０は取り外され、アセンブリ５０が回転されてロケータ
ノズル１３０がボルダ−１２４の開口１２６上に位Ｆｆ
ケしめられる。接合部のハンダを溶かすに十分な時間が
タイマー　１５０に設定され、アセンブリ　１３０おに
びロケータノズル１２４は手動され、重子部品４２のタ
ーミナル４４の上方においてナツト１４８により予め設
定されている位置に位置する。 この位置Ｃは、ロケータノズル１３０の開口１３６は基
板３４に対し熱風を外部へ流出させるのに必要十分なわ
ずかな距−１だけ離れて位置する。また、アセンブリ５
０の下動によりスイッチ１５２が作動しタイマーの作動
が始まる。この間、ポンプ８４からの加圧空気がボア７
８を通って四部１２内に流れ込み、この四部７２から入
口孔７４を通って加熱部材６６の上方の空間７６内へ流
れ込む。図中矢印で示すように、貫通孔６８内を通って
空気が下方へ流れるのに応じＣ１この空気は予じめ設定
されたハンダ溶融温度まで加熱される。このようにしく
加熱された空気は貫通孔６８を通って下部室６４へ流れ
込み、ここからノズルオリフィス１２２を通って複数の
ジェット流を形成して流れ出す。これらのジェット流は
ロケータノズル１３０の側壁に泊って開口１３６の方へ
案内される。このようにして熱風が聞［］　１３６の方
へ流されると、この熱風がターミナル４４と導体４６と
の間のハンダを加熱してこのハンダを溶かし、電子部品
４２の取り外しが可能な状態になる。なＪ３、この状態
になるのは、タイマー　１５０のセット時間経過の時で
、この経過は例えばタイマー１５０からの信号音によっ
て示される。この時に、真空制御バルブ１１４が作動し
、チューブ１０２を介してその端部１０３に負圧を生じ
させる。ボタン１１６を手で押して真空チューブ１０２
を押し下げることにより、端部１０３を電子部品４２に
当接させると、端部１０３の負圧により電子部品を吸引
保持し、兵学チューブ１０２がえの位置に戻る時、電子
部品４２は端部１０３に付着したまま保持される。次い
ぐ、アセンブリ５０およびロクータノズル１３０が上動
され、回転され、次いぐブラフ１〜ノオーム１４６上ま
で下動される。この時、電子部品４２の取り付【プられ
Ｃいた個所の清掃のためボルダ−１２４もアセンブリ５
０とともに回転移動される。 この個所が前述の補助機器によって清掃された後、新し
い電子部品が、ホルダー２４上に置かれた位置決めプレ
ート　１４０により位置決めされて導体４６上に置かれ
、アセンブリ５０Ｊ３よび１コケータノズル１３０が再
び下動されて、この新しい電子部品のハンダ付けが行な
われる。 次に第１１８図から第３０図により本発明の異なる実施
例について説明する。 第１１図に示すように、本実施例は、工作物操作ユニツ
ｔ−２００１コントロールユニツト２０２、電子部品取
り付は取り外し１．ユニット２０４、および顕微鏡ユニ
ット２０６を有している。操作ユニット２００はプリン
ト配線板２０ｇを支持するようになっている。通常はこ
のプリン１−配線板上には多数の半導体素子やモジュー
ルが取り付【ノられており、本図ではその１つを２０９
で示してＪ５す、このモジュール２０９は複数のターミ
ナル２１１を有する。プリント配線板２０８は支持ユニ
ット２１０により所定位置に保持される。支持ユニット
２１０は、両端がそれぞれプレート２１６．　２１８に
より連結された一対のレール２１２．　２１４を有する
。このレール２１２，２１４上にはそれぞれスライダ２
２０がｌＦ！動自在に取りイ］けられ、このスライダ２
２０は凍結バー２２２により連結される。このバー２２
２に旋回自在に取りイリけられたクランプ２２４により
プリント配線板がバー２２２に固定される。クランプ２
２４は、各バー２２２に取り付ｌプられた各一対のブラ
ヶッ１〜２２６−間に配された旋回ビン２２８に取り付
けられて旋回自在となっている。ローレッｌ−（＝Ｉノ
ブを右りるロックネジ２３０がクランプ２２４を介し′
Ｃバー２２２と螺合し、プリン１へ配線板２０８がクラ
ンプ２２４間に正しく位置決めされた後、Ｌ１ツクネジ
２３０によりクランプ２２４がロックされる。また、１
」−レフ１−４寸ノブを有するロックネジ２３２がスラ
イダ２２２ど螺合してレール２１２．　２１４と係合し
、レールに夕がｊしてプリント配線板２０８を「Ｊツク
保持りる。レール２１２゜２１４は、可動マウントプレ
ート　２３６に固定された一対のガイド２３４に摺動自
在に取り付けられ（いる。 位置の微調整はローレフトイ１ノブ３０を有する調整ネ
ジ２３８によって行なうようになっており、この調整ネ
ジ２３８はプレート２１６と接合するブラケツｌ−２４
２およびマウントプレート２３６の側１２２３６とを貫
通して螺合づる。このため、調整ネジ２３０を回ずと、
支持ユニット２１０のガイド２３４に沿った第１の方向
への位置の微調整を行なうことができる。 この第１の方向と直角方向の微調整は次のようにしく行
なう。可動マウントプレー１〜２３６は、静止ベース部
材２５０の側壁２４８の上部内面に取りイリけられた一
対のガイド、、２４６に摺動自在に取り付けられる。可
動マウントプレー１へ２４６は、ロー゛レットイ」ノブ
２５４を有し、マウントプレート　２４６の前壁２５４
およびベース部材２５０の前壁２５６と螺合づる調整ネ
ジ２５２によりガイド２４６に沿って廖動される。 第１１図に示づモジュール２０９は、入ラットーパック
キャリア°（ｆｌａｔ−ｐａｃ　ｃａｒｒｉｅｒ〉と呼
ばれるモジュールで、ターミナル２１１は可撓性を有し
、モジュール本体から外方へ延びる。 本発明の装置はこのようなタイプのモジュール用に限る
ものではなく、後述づ”るリードレスチップキャリア（
ＬＣＣ）と呼ばれるタイ／のモジュール用としても用い
られる。ＬＣＣモジュールのターミナルは通常はモジュ
ール本体から外方へ延びるのではなく、周縁部にＪ３い
て下刃に延びる。 コントロールノブツｌ−２０２は、コントロールノブ２
５８を有し、これによりハンダ付１ノを行なったり、ハ
ンダを溶かしたりする場合にターミナルへの熱風の供給
時間を制御することができる。コントロールノブ２６０
はコントロール回路（詳細は、第３０図に基づいて後述
する）と繋がり、この］ントロール回路によりヒーター
の通電電流を制御して熱風の温度制御を行なう。＝１ン
トロールノ１２６２は装置に１１３【ノる供給空気の圧
力を制御りるｌこめのもので、この制御される圧力はゲ
、−ジ２６４に表示される。〕ン１へロールノー！２６
６は予熱ヒーターのｍ麿を制御１する。図示していない
が、予熱ヒーターはプリント配線板２０８の下方に置か
れ、例えばこの配線板２０８から取り外される部品の予
熱を行なう。押しボタン２６８は主ヒーターの作動用で
、特に、ヒーターボントロール回路からヒーターへの通
電をｒ７１１始させるためのものである。ヒータ一温度
がノブ２６０により設定された温度レベルに達すると、
温度はこのレベルに維持される。さらに、ボタン２６８
が押されて所定時間（通常では４５秒）経過すると、ヒ
ーターＩＩＩがノブ２６０により設定された温度レベル
に達したものとみなされ、例えばポンプ８４からヒータ
ーへの送風が開始される。 熱風の送風時間はノブ２５８により設定される。この設
定ＲｇｊＪだけ熱風が送られると、ランプ２７０が点滅
し゛Ｃ１作業者に対しａ）電子部品の取り外し作業の時
は負圧を作用させるべきであることを、ｂ）電子部品の
取り付番ブ作業の時は負圧を止めるべきであることを知
らＵる。押しボタン２７２は、ヒーターへの通電停止用
ボタンであり、ランプ２７４はヒーターの作動を示でた
めのものである。ボタン２１６は加圧空気を電子部品へ
送るためのスイッチであり、ランプ２７８は、この送風
を示すためのものである。ボタン２８０は負圧供給の０
Ｎ−ＯＦＦ用であり、ランプ２８１は負圧供給の有無を
示すだめのものである。スイッチ２８２はシステム全体
の０Ｎ−ＯＦＦ用で、スイッチ２８４は空気以外のガス
を用いる１１の切換用ｅある。すなわら、スイッチ２８
４の切換により、空気の供給もしくは他のガスの供給を
選択できる。 電子部品取り付（プ取り外しユニット２０４は、サポー
ト柱１７０を有し、このザボート相１７０上に取り付は
取り外し装置１７２が旋回自在に取り付けられる。この
装Ｍ１１２はＭＳ１図から第１０図にお１）るアセンブ
リ５０に相当し、プリント配線板等への取り付けおよび
取り外しがなＪれるモジュールのターミナル２１１へ熱
風を導り＠首である。さらに、この装置１７２には、プ
リント配線板への取り角【ブおにび取り外しがなされる
半導体モジュールもしくは電子部品を運ぶために用いる
負１■も受（）入れるようになっている。 装置１７２の詳細について第１７図から＄２６図により
以下に説明する。一般的に、装置１７２はヒーターユニ
ット　１７４およびノズルロケータユニット　１１６と
いう分離可能な２つの部分から成っており、ヒーターユ
ニットは熱風を半導体のターミナルに供給りるためおよ
びこのモジコールの運搬用の負圧を供給するためのもの
Ｃあり、ノズル［■ケータユニット　１７６は半導体モ
ジュールに対し′（ヒーターユニットをＭ度良く位置決
めするだめのものである。以下に詳述するように、ノズ
ルロケータユニット　１７６はヒーターユニット　１７
４から第１１図の矢印六方向に引っ張って分離可能であ
る。一般的に、ノズルロケータユニット　１７６は、両
側にマウントプレート　１８２．１８４を有する支持プ
レート　１８０に脱着自在に取り付けられたフレア部を
有するノズルロケータ　１７８を有する。支持プレート
１８２および１８４はヒーターユニット　１１４の側壁
に後述の手段により脱着自在に取り付けられており、こ
のためプレート　１８２に取り？’Ｊけられでいるハン
ドル１８６を矢印六方向に引っ張るだけでノズルロケー
タユニット　１１６をヒーターユニット　１７４から離
すことができる。プレート　１８２．１８４は、ビン１
９２．１９４を介してアーム１８８．１９０と回動自在
に結合しており、このためプレート　１８２．１８４は
ア−ム１８８．１９０を介Ｌ／　Ｔ　４ｊボート柱１７
０と回動自在に連結されている。なお、アーム１８８．
１９０はサポート柱１７０に対しビン１９６．１９８を
介して回動自在に連結されている。このため、ノズルロ
ケータユニット　１１６をアーム１８８．１９０をもと
に回動さゼて、第１１図に承り非作動位置からモジュー
ル２０９上方に移動させ、モジュール２０９に対しノズ
ルロケータユニット　１７６が第９図および第１０図の
場合と同様の位置関係を有するようづることができる。 次いで、このモジュールはノズルロケータユニット　１
７６の下方に正確に位置決めされる。 なお、位置決めの詳細につい−Ｃは後述り゛る。 一旦モジュール２０９がノズル上１ケータユニツ１〜１
１６に対して正確に位置されると、イの後取り（＝Ｊけ
取り外し装置１７２全体がモジュールの上方に位置した
場合に、モジュール２０９はこの装置１１２に対しても
正確に位置する゛ことになる。ここで、ハンドル１８６
を引き上げてノズルロケータユニット１１６を持ち上げ
、これをモジュール２０９およびサポート柱１７０を通
る垂直面内で回動させ第１１図に示す休止位置に戻プ。 このように、戻すとユニツ１−　１７６はヒーターユニ
ット　１１４の側方に位置しこのユニット　１１４に係
止して保持される。次いで、プリント配線板からモジュ
ール２０９を取）外すため、装置１１２全体をモジュー
ル２０９の上方まで下動させる。この下動は、ノズルロ
ケータユニット１７６に対して回動自在なアーム１８８
．　１９０および、ヒーターユニット　１１４の側壁に
回動自在に取り付【ノられたアーム１７１．　１７３に
よりなされる。この場合、ビン１７５．　１９５により
アーム１７１．　１７３の上端がヒーターユニット　１
７４の側壁に回動自在に連結され、ビン１７７、　１７
９によりアーム１７１．　１１３の下端がサポート柱１
７０の側壁に回動自在に連結されている。ハンドル１８
１はヒーターユニット１１４の側壁に取り（＝Ｊけられ
ており、これを引くと装置１１２全体（ヒーターユニッ
ト　１７４およびノズルロケータユニット　１１６も含
む）が第１１図に示す位置からモジュール２０９上方の
位置まで回動されて移動する。なお、モジュール２０９
の位置は、上述のノズルロケータユニット　１７６によ
る位置決めにより正確に定まつ−Ｃいる。 装置１７２の動き（もしくはノズルロケータユニット　
１１６単体の動き）は円軌跡の１／４の部分を通っ（゛
なされ、この場合第１１図の位置近傍のｆＪｓきは主と
して水平方向の動きで、しジュール２０９上方近傍の勤
ぎは主として垂直方向の動きとなる。 この動きの特性は種々の理由から特にｆ重要である。 例えば、ノズルロケータユニット１７６がヒーターユニ
ット１７４から離されその後再び結合される時に、この
離合はロケータユニット１７６がヒーターユニツｌ−１
７４に対して水平方向に動くことによって効率良く行な
われる。さらに、ロケータユニット１７６がモジュール
２０９の上りに位置４る１１４、通常はモジュールの上
方６〜１３ｍｍ（１／４〜１／２インチ）の位置にノブ
１８５を右りるクランプ部材１８３によって締結保持さ
れる。そしＣ、ノズルロケータ１７８に対りるモジュー
ル２０９の位置決めは、第８図に示した開口１３６に相
当するノズルロケータ１７８の開口からモジュール２０
９を見ながら行なわれる。このノズルロケータ１１８は
モジュール２０９もしくはプリント配線板２０ｇの上方
的６〜１３ｍ＋の位置に保持されているため、モジュー
ル２０９に対するノズルロケータ１１８の位置を正確に
合わせるためには、モジュール２０９近傍たおけるノズ
ルロケータ１７８の動きは垂直方向であることが重要で
ある。ざらに゛、モジュールを取り付１ノる時にこのモ
ジュールをノズルロケータ１７８が囲むＪ：うに位置し
、次いで、ノズルロケータ１７８をモジュールから離す
場合に、モジュールとの接触を避けるため最初はロケー
タノズルを垂直方向に動かすことが重要である。このよ
うに、本実施例に示した機構を用いて、装置１７２を第
１１図の位置とモジュール上方の位置との間で上述の動
きを行なわゼることにより得られる利点は多い。 取りイ１け取り外し装置１１２は、第１図から第１０図
に示したボタン１１６およびその回りの機構に相当する
機構１８９も有づる。さらに、モジュールサポート部材
１８７がサポート柱１１０上に取り付番ノられ、このサ
ポート部材１８１は後述するようにプリント配線板２０
８にモジュールを取り付ける際に用いられる。 顕微鏡ユニット２０６は、ベース２５０に取すイ、ＩＩ
プられたブロック２８８に取り（＝Ｊ　Ｇ）られる支社
２８６を有する。この支社２８６にはアーＡ２８ｇが回
動自在に取り付１ノられる。アーム２８８の先端にはシ
Ｖ′ノド２９０が固定される。このシ１１フト２９０に
は、プリント配線板２０８の上方へ回動させることがで
きるようにして、通常の顕微鏡２９２が取りイリりられ
ている。モジュール２０９の位置決めのためノズルロケ
ータ］ニツｈ１７６がモジコール２０９の上方に位置す
る時、顕微１１２９２を通してロケータノスル開口の端
部に対向してモジコールターミナルをのぞき、ノズルロ
ケータユニツ１〜１１６に対しＣモジュール２０９を正
確に位置さゼることがＣきる。さらに、この顕微１１Ｊ
１２９２はモジュールの取り（＝Ｊ　Ｔｊもしくは取り
外し作業の前後にＪ３いて、この作業を行なう部分の検
査にも用いられる。 次いで、第１２図から１６図を参照してモジュール取り
付は取り外し装置１７２を非作業位置まで上動させたり
、作業位置まで下動させたりづる機構についてさらに詳
しく説明する。第１２図においで非作業位置の状態を想
像線で示し、この位置では装置１１２は、！１１３図ａ
３よび第１４図に訂しく示すように、ばねラッチｔｉ　
ｈＭによりリポート社１１０に着脱自在に取りイ＝Ｊ　
ＧＪられている。ばね２９４が、ヒーターユニット１１
４にボルト２９８．３０’０で固定されたブロック２９
６によりヒーターユニット１７４に固定されている。ブ
ロック２９６はばね２９４を通すための空間３０２を有
している。サポート柱１７０はテーパー状端部３０６を
有する開口３０４を有し、一方ばね２９４は端部にフッ
ク部３０８を右する。装置１７２が非作業位置まで持ち
上げられると、スプリング２９４は開口３０４と当接し
、フック部３０８が開口３゜４によっ（互いに内方へ押
されながら開口３０４内に入り込む。ノック部３０８が
開口３０４を通って入り込むと、フック部３０．８はば
ね力で広がって装置１７２をこの位置に係止保持りる。 ブロック２９６は下部３１０を有し、この下部はばね２
９４が開口３０４内に入り込みすぎないようにするだめ
のストッパとして作用し、以上のようにして装Ｍ１１２
はサポート柱１７２に対して所定位置に保持される。な
お、装Ｎ１１２をこの非作業位置に保持りるために、上
記ラッチ機構の代わりにマグネットを用いてもよい。 前述のように、ノズルロケ−タコニラ１〜１７６に対し
てモジュール２０９を位置決めりる時には、ノズルロケ
ータユニット１１６をプリント配線板２０８の上方６〜
１３ｍｍの位置に締結保持するのが望ましい。この締結
保持を行なう手段は、アーム１８３およびノブ１８５に
加えて、ビン３１４（第１５図参照）によってアーム１
８８に回動自在に連結されたアーム３１２（第１２図お
よび第１６図参照）を有りる。このアーム３１２は長孔
３１６を有し、１ノボート打１７０に固定されたシャツ
（〜３１８がこの長孔３１６内に延びている。シｔ？）
ｉ〜３１８の両端３２０．３２２にはねじが形成されて
おり、一端３２０にはシＶフ］〜３１８の位１信決め用
の２個のナツト３２４．３２４が螺合し、他端３２２に
はナツト３２６が螺合づる。両端にフランジ３２８を有
Ｊるスリーブ３３０内にシ亀シフｈ３１８が挿入されて
おり、シャフト３１８Ｊ＞よびスリーブ３３０は共に回
転はしないように固定されている。 ノブ１８５を有づるレバーアーム１８３はナラｉ〜３２
６に結合されている。このレバーアーム１８３を第１１
図において時泪方向に回すと、モジュール取り付は取り
外し装置１１２を任意の位置で締結保持づることができ
、これによりプリント配線板２０８の上方６〜１３ｍｍ
の位置に保持づることもできる。すなわち、上記のよう
にアーム１８３を同寸と、スリーブ３３０のフランジ３
２８およびアーム３１２をナツト３２６が締め句け、こ
のためアーム３１２がクランプされ、アーム３１２を介
して装置１７２が任意の位置で保持される。第１２図に
示づように、装置１７２が、上動して非作業位置にある
時は、長孔３１６のほぼ一端側近傍にシャツｌ−３１８
が位置し、並に下動して作業位置にある時は長孔３１６
の細端側近傍にシャフト３１８が位置づる。上記クラン
プはシャフト３１８が長孔３１６内の任意の位置で行な
えるので、装置１１２を非作業位置と作業位置との間の
任意の位置で保持することができる。 アーム１１１および１１３は完全な平行リンクであリ、
装置１７２の保持される位置に拘らず両アーム１７１．
１７３は平行に保たれる。また、アーム１８８１９０も
同様である。これは、第１２図に示Ｊように、サポート
柱１′１０上のビン１７７．１７９　、１９６．１９８
および装置１７２上のビン１７５．１９５．１９４．１
９２はそれぞれ垂直方向に１直線上に並んで位置するた
めである。この結果、′３Ａ置１７２はその位置に拘ら
ず常にプリント配線板２０８に対して垂直に保持される
。以下にＪ３いてモジュール支持ユニツ１〜１８７につ
いて説明りる時に詳説づるが、装置を垂直に保持するこ
とは、非作業位置におい℃も作業位置においても重要な
ことである。 次に、第１７図から第２６図によりモジュール取り付は
取り外し装置１７２について説明りる。この装置は、通
常は正方形断面を右りるケース３３２を右する。アーム
１７１．１７３をケース３３２に連結ツるビン１７７．
１７９はケース３３２の側壁の孔４６１１　、／１６６
へ挿入される。このケース３３２の上端内にはブロック
３３６が固定され、下端内にはノズルブロック３３６が
固定される。さらに、このケース３３２の中央部内には
ブロック３３８が固定される。断面が円形もしくは正方
形のヒーター３４０がブロック３３６のくぼみ３４１と
ブロック３３８りくぼみ３４２との間に配され、これら
のくぼみ３４１．３４２　上記されたシール３４４がヒ
ーター３４０の上下端において気密シールをなす。ケー
ス３３２の一側壁に開口３４６が形成されＣおり、ブロ
ック３３８の小孔３４９を通ってヒーター３４０に繋が
るワイヤ３４８を通すようになっている（第１１図およ
び′１Ｒ２１図）。さらに、このケース側壁にはもう１
つの開口３５０も形成されており、この間口３５０を通
ってエアホース３５２がコネクタ３５４と連結する。こ
のコネクタ３５４はブロック３３８とこのブロック３３
８の下方に位置する環状プレート３５７との間の空間３
５６と、ブロック３３８内を通ってコネクタ３５４から
空間３５６へ延びるパイプ３５１を介して連通りる（第
１７図および第２１図）。この空間３５６の外周には空
間内を気密保持するシール３５８が設けられている。 スリーブ３６０がヒーター３４０を取り囲むとともにヒ
ーター３４０から所定の間隔を置いて配されこのｌ！ｌ
隔により通Ｍ　３６２が形成されてＪ３す、この通路３
６２は上記空間３５６と、ブロック３３６とこのブロッ
ク３３６の上方に所定距離だ（）離れて位置覆る環状プ
レート３６６との間に形成された空間３６４とを連通さ
せる。この空間３６４の外周にも、空間内を気密保持す
るシール３６８が配されている。ブロック３３θには、
Ｍ６図のノズル孔１２２に相当する複数のノズル孔３７
０が形成され（いる。これらのノズル孔３７０は半導体
モジュール２０９の周縁のターミナル２１１の配列にほ
ぼ一致している。ざらに、このノズル孔３７０の大きさ
は変えてもよく、通常は、多層プリント配線板に（１５
Ｇｊる７−ス而もしくは電圧供給層と繋がるターミナル
に多くの熱が加えられるようにされる。というのは、〕
〕？−ス面Ｊよび電圧供給層はピー１−シンクとして作
用しこの層に繋がるターミナルの熱を急激に逃がしてし
まうからである。この意味から、ターミナルでのハンダ
を融かりにはヒートシンクとしく働くターミナルにより
多くの熱を加えるのが効果的である。 もちろん、ノズル孔３１０のサイズに関し他のバリエー
ションを用いてもよく、さらにノズル孔３７０の配列も
第６図のような正方形状の配列に限るものではない。 通路３６２には、好ましくはスチールウール等の材料３
６３が詰め込まれており、ヒーター３４０により加熱さ
れたスチールウール３６３はこの通路３６２を通る空気
の加熱のための接触面積を拡げる。これにより、ヒータ
ー３４０がら通過空気への熱伝達が向上づる。なお、こ
のスチールウール３６３に代わる材料としては、ヒータ
ー３４０がらの熱を直ぐに吸収し、通過空気との接触面
積を拡げることができるような材料であればよい。この
ようにして加熱された加圧空気は空間３６４内に入り、
ここで加圧されたままノズル孔３７０に入り、ジェット
流としてノズル孔３７０から吹き出される。これによっ
て、ジェット流となった前用は乱れを生ずることなく、
ノズルロケータ１１８の側壁に沿って流れ、モジュール
２Ｃ）９のターミナルに吹き付けられる。 ノズルロケータユニット１７６は、第１１図および第１
２図に基づいて説明したように、孔１８７においてアー
ム１８８．１９０がビン結合されるリイ、ドブレート１
８２．１８４を有りる。両ザイドプレート間に四角形状
の開ＩＪ３７４を右づる支持プレート１８０が固設され
る。なお、この開口３７４のサイズはブロック３１６上
のノズル孔３１０の配列形状より若干人きくされている
。支持プレート１８０は第２６図に示ずようにネジ３７
６により所定位置に取り付（）られている。サイドプレ
ート１８２．１８４および支持プレート１８０の間には
第１７図に示１ように内方に曲がったスプリング部材３
１８が配されている。ノズルロケータ１１８はプレート
１８０とスプリング部材３１８との間に挿入、引出し自
在であり、このスプリング部材３７８は挿入されたノズ
ル［Ｊクーラ１１８を保持するようになゲている。プレ
ーｈ１８０の後端にはストッパ３８０が取り（＝Ｊけら
れ、プレート１８０の下面に延びる部分（第１１図）が
、ノズルロケータ１１Ｂがロケータユニット１７６へ挿
入されるときの挿入量を制限するストッパどして作用り
る。 第２６図に示すように、ノズルロケータ１７８は図中矢
印Ｂ方向に出し入れでき、モジュール２０９のサイズに
応じてノズルロケータも交換できるようになっている。 但し、第１７図に承りように、［１ケータユニツト１１
８の下部開口のり一イズはモジュール２０９のサイズに
より変わるが、上部開口めサイズは部材３１２の開口３
１４のサイズと一致しＣいる。 第２６図に承りように、ハンドル１８６はサイドプレー
ト１８２にネジ３８４．３８６により固定される。 上述のように、ハンドル１８６は第１１図の矢印へ方向
に引っ張ってノズルロケータユニット１７６をヒーター
ユニット１７４からｌ！ＩＩ　吏ことができるようにな
っている。第１１図および第２４図に示１ように、ケー
ス３３２の両側壁に板バネ３９０がネジ３９２により固
定され、且つ板バネ３９０が若干スライドできるように
長孔３９４が設けられている。このため、ロケータユニ
ット１１６とヒーターユニット１１４とは板バネ３９０
との摩擦力で係止保持される。 次に、第１１図から第２３図８５よび第２５図により、
負圧を用いて半導体の取り付（プおよび取り外しを行な
う機構について説明する。この機構は、連結部３９８を
有する真空チューブ３９Ｇを備え、この連結部３９８は
コントロールコニット２０２ｂＬ＜は他の適当な負圧源
から延びるエアホース（図示せず）と繋がる。真空デユ
ープ３９６は、ブロック３３８の円形開口４００（第２
１′図）と、ヒーター３４０およびブロック３３６の聞
１」内に延びて配される。 可動プラグ４０２（第１７図および第２５図）が真空デ
ユープ３９６の下端に位置し、特に円筒状部材４０４が
デユープ３９６の底部に固定され（−いる。円筒状部材
４０４の下端４０６およびプラグ４０２の下端４゜８は
共にテーパ状となっている。このため、真空チューブ３
９６内に負圧がかからない限り、プラグ４０２は第２５
図の状態にある。しかしながら、真空デユープ３９６内
に負圧が作用するとプラグ４０２はチューブ３９６内に
おいて、例えば鎖線で示りように若干上動じ、チューブ
３９６のト端の開口４１０に負圧が作用する。以下に詳
述りるように、開口４１０に負圧が作用りると、この間
０４１０の部分でＥジュール２０９を吸引し、モジュー
ルの取り付りや、プリント配線板２０８からのモジコー
ルの取り外しの際にこの部分ぐモジュール２０９を吸着
保持する。 プラグ４０２はプリント配線板２０８にモジュールを取
り付Ｇ）るに際して特に有用である。すなわら、モジュ
ールをプリント配線板に取り（１けるのに先立ってモジ
ュールを所定の位置へ置くために負圧が用いられるが、
一旦モジュールがプリント配線板の所定位置に位置して
固定されると、負圧を止めデユープ３９６を上方へ持ち
」こげモジュールからＮ（を必要がある。本発明によれ
ば、負圧供給が停止されると、プラグ４０２は第２５図
の鎖線で示す位置からモジコールの上面上に自然落下し
、モジュールからデユープ３９６を離す。もし、プラグ
４０２を設けないと、負圧供給を停止しても残存負圧に
よりチューブ３９６とともにモジ」−ルも持ち上げられ
る可能性があるが、プラグ４０２によりこれを防止でき
るのである。 次に、真空チューブ３９６を上下動させる機構について
説明する。この機構は、内部にスロット４１４を有り゛
るプランジャ４１２を右しく第１８図）、このプランジ
ャ４１２は、ブロック３３４の間口に対して摺動自在な
スリーブ４１６内に移動可能に配される。スロット４１
４を通って延びるロッド４１８がスリーブ４１６に固定
され、プランジャ４１２の動きを制限している（第１７
．１８．２３図）。プランジャ４１２の下端面４２２と
スリーブ４１６の底部に固定されたプラグ４２４との間
に配されたスプリング４２０が、第１７図および第１８
図に示１ようにその（＝Ｉ勢力によりプランジャ４１２
を持ち上げ（いる。ネジ４２６がプラグ４２４と螺合し
て貫通し、連結部３９８とも螺合して、スリーブ４２２
と真空チュー１３９６とを結合させている。スリーブ４
１６はキー溝４３０を右しく第１８．２０．２３図）、
このキー溝４３０にＵ字状スプリング４３２が挿入され
、このスプリング４３２はネジ４３４によりブロック３
３４に固定されている。 このため、スリーブ４１６の回転が防止され（いる。 このように構成すると、スプリングの弾性によりスプリ
ングがキー溝内に拡がるためスリーブの回転を確実に止
めることかできるという利点がある。 これは構成上経済的であると同時に、スプリングおよび
キー溝の精度があまり高くなくても良いという利点があ
る。以下に述べるように、スリーブ４１６等はモジュー
ルの取り付けに用いるものであり、プリント配線板に対
しモジュールを正確に位置決めするためにはスリーブ４
１６の回転を防止することは必要不可欠である。さらに
、プシンジャ４１２のスロワ１−４１４を通って延びる
シレフト４１８がスリーブ４１６に対するプランジャ４
１２の回転を止めているので、プランジャ４１２も回転
できない。 スリーブ４１６が−しジュールの取り付は取り外しのた
めに適切なイｉ装置に調節されると、ロック用ネジ４３
６によりこのスリーブはこの位置でロックされる。なａ
３、ネジ４３６はブロック３３４の側部と螺合して円通
し、スリーブ４１６の側面に当接して、このスリーブ４
１６を所望の位置に保持する（第１１図および第２０図
）。 プランジャ４１２はスプリング４２０を介しＣスリーブ
４１２と弾性的に連結し、スリーブ４１２はネジ４２８
を介して連結部３９８と結合しているのぐ、プランジャ
４１２の動きは真空チューブ３９６に伝えられる。スロ
ット４３８（第１７．１８．２２図〉によって、連結部
３９８はボース３９９が取りイ１けられたまま上下動で
きるようになつ”（おり、このためこのスロット４３８
は連結部３９８の最大上下動にも対応できる長さを有し
Ｃいる。連結部３９８の下端４４２とブロック３３８の
突起部４４４との間にスプリング４４０が配されている
が、このスプリング４４０は１記スプリング４２０より
弱いスプリングである。 真空チューブ３９６を初かＵるにはＰＩ業者がグランジ
ャ４１２をｌ−力へ押μば良く、これにＪ、リスブリン
グ４４０がスプリング４２０より弱いため１．ｌ：１“
スプリング４４０が肚綿される。、このＪ、うにしく１
１Ｊ。 初はチューブ３９６の下端がノズルロクータ１７８の下
端まで下げられる。はぼこの１１１に、スＩ−ｌツト４
１４の上端４４６（第１１図）がシャツｌ−４１８と当
接しスリーブ４１６をプランジ１ｙ４１２とともに下動
させる。すなわち、この時にはプランジＶ４１２とスリ
ーブ４１６との相対運動がなくなる。ここぐ、押し下げ
力は強い方のスプリング４２０に作用し、このため作業
者はチューブ３９６がモジュールと接触Ｊる際により正
確な制御を行なうことができる。このように、チューブ
３９６の動き始めの時は作業者の押し下げ力は、比較的
弱い方のスプリング４４０に作用してチューブ３９６を
ロケータ１７８の下部開口端まで急速に下げる。次いで
、押し下げ力が強い方のスプリング４２０に作用して、
モジトルとヂ１−プ３９Ｇとが接触りる際に正確な制御
ができるようになっＣいる。なお、前；ホのように、ス
リーブ４１６はＩＪラックジ４３６によって任意の位置
でロック保持（・きる。 本発明にａ３い（は、真空チューブ３９６とこの真空デ
ユープが挿入されるブ［１ツク３３８の開孔４００、ヒ
ーター３４０の開孔およびブロック３３６の開孔との間
の精度があまり高くなくても良いようにづる機構を右し
ている。これを、第１７図おにび第２１図により説明す
る。ブロック３３８の突起部４４４に切欠き４４８が形
成されている。この切欠き４４８は開孔４００に繋がる
小さな開口４５０を有している。切欠き４４８の底部４
５２には曲りバネ４５４が取りｆＪｔプられ、この曲り
バネ４５４は開口４５０内に延び真空チューブ３９６を
開孔４００の片側に寄せて位置させる。このため、チュ
ーブ３９６は開孔４００内を自由に摺動できるが、スプ
リング４５４の１＝めに横方向への過痩の動きは抑えら
れ、開孔４００とチューブ３９６との間の精度はあまり
高くなくてもよいようになっている。同様なｍｓを下側
の１０ツク３３６の突起部４５６にも設けるのが望まし
い。 ブロック３３４．３３６．３３８は、Ｕ字状のクランプ
４５８によりケース３３２に固定される（第１９．２１
図）。このクランプ４５８はケース４４２の−ｈの側面
から反対側側面に貫通する小孔４６０．４６２内に延び
て配される。好ましくは、ブロック３３１１　、３３６
．３３８は、若干弾性のある材料、例えばセラミックペ
ーパーと呼ばれる材料、から作るのがよい。 このようにすると、第１７図の番号４６１で示すように
クランプ４５８はブロック３３４に若干食い込む。 なお、ケースにブ１］ツクを固定するのに伯の方法を用
いても良いのはもちろ／ｖである。 次に、第２１図から第２９図によりモジュールサポート
ユニット１８７についＣ詳述する。このユニットの目的
は、ノズル［：］　ｌ）−タ１７８に対するプリント配
線板の位置決めを行なっている時に、取り（１１）用新
モジュールの位置決めを行なうことである。 さらに詳しくは、ロケータ１１８がプリント配線板に対
し正確に位置決めされると、前述したようにロケータ１
７８はヒーターユニット１７４と貰び係止７る（第２１
図）。それがらりポートユニット１８１に置かれている
モジュールは真空チューブ３９６により運ばれるのであ
るが、この時にモジュール取りイ１け取り外しユニット
１７２を非作業位置まで持ら土げた状態（゛この取り角
【）取り外しユニット１７２に対するモジュールサポー
トユニット１８７の位置を正確に決めておけば、取り付
は取り外しユニッｊ−１７２に対ダるモジュールの位置
は結果的に正確となる。この時の位置関係を第２７図に
示す。 モジュールサポートユニット１８１は、さらに詳しくは
、第１６３よび第２段付き部材４７０．４７２を有し、
第１段付き部材４７０は第２段付き部材４７２の溝４７
３（第２９図）内に置かれる。各部材４７０．４７２は
それぞれ空間部４７４を有し、この空間部４７４の側方
には異なったサイズの半導体を交番プ入れる段部４１６
が形成されている。両部材４７０　、４７２はボルト４
７８で結合され（第２９図）、これによりモジュールは
その４辺が支持されるようになっている。第２段付き部
材４７２は長手部４８０を有し、この長手部４８０はシ
ャフト４８２に回動自在に連結され、シＩＰフ１〜４８
２は、ポルＩ〜４９０でザボー１−社１７０に固定され
たゾ［１ツク４８８の突起部４８４．４８６に固定され
ている。突起部４８６にａ月Ｊるシャフト４８２の上方
にはスプリング旬勢ｊ−゛ラント４９２が配され、長手
部４１１０の側ｆｊのくぼみ（図示ｌ！ヂ）と係合しで
［１／／−夕１８７を第２９図（゛実線Ｃ示Ｊ　＋、１
ら上げ位置に保持しζいる。作Ｚ者がこのリポートユニ
ツｈ１８７をトノノに押りと、７″ｊンＩ〜４０２の係
合が外れて、第２９図′Ｃ鎖線で承り下降位置にまで回
動りる。この“ト降位！δＣは、リボ−１−ユニット１
８１にモジュールを取り付りるのが容易Ｃある。 次いでユニット１８７は実線の位置まで持ら上けられる
とデテント４９２はくぼみと内び係合づる。 第３０図は−ｌフン〜［１−ルユニット２０２の］ンＩ
〜１］−ル回路を示リブロック図であり、この回路はヒ
ーター３４０用の温度フントロール回路５００を有し、
この回路はスイッチ２６８を閉じて作動し、スイッチ２
７２を閉じて非作動状態になる。ヒーター３４０の温度
セットは可変抵抗２６０により制御される。 前述のように、スイッチ２６８を閉じる×、通常２５秒
間に設定されＣいる固定タイマー５０２が作動を開始づ
る。この固定タイマー５０２の設定時間が経過りると、
このタイマー５０２からの出力が可変抵抗２５８にＪ：
り制御される可変タイマー５０４に人ツノされる。前述
のＪ：うに、この可変タイマー５０４は通常では１０〜
１５秒間に設定される。この設定時間が経過す”ると可
変タイＶ７−５（１４からの出力信号はライン５０５を
介してソレノイド５０６に伝えられ、このソレノイド５
０６により加圧空気が調圧バルブ２６２を介してヒータ
ー用空気通路３６２へ送られる。この時の圧力は満尺バ
ルブ２６２′ｃ−制御されこの圧力はゲージ２６２で測
定される。可変タイマー５０４の設定時間が経過すると
、直ぐにライン５０７を介して出力信号がフラッシュラ
ンプ２７０に出力される。ヒーター用空気通路３７２へ
の加圧空気の供給はスイッチ２１６を閉じて止められる
。 ポンプ８４からの負圧はソレノイド５０８を介しＣ真空
チューブ３９Ｇに作用りるが、このｉ圧のオン・オフは
スイッチ２８０によりなされ、まずスイッチ２８０を押
り−とソレノイド５０８が囲い０口圧が真空チューブ３
９６へ伝えられ、もう一度スイッチ２８０を押すとソレ
ノイド５０８が閉じて真空チューブ３９６への負圧伝達
が止められるようになつ（いる。 コントロールコニツ１〜２０２のパネル十での他の制御
についＣは既に述べたが、第３０図の回路中、公知のも
のについ−Ｃは説明を省略づる１゜コント［１−ルユニ
ット２０２とモジュール取り（１番〕取り外し装置１１
２とを繋ぐホースについＣは既述したが、これらのホー
スについＣは図示および説明の簡略化のため図示してい
ない。 作　動 本発明の装置は２通り作動、′りなわら、毛、ジュール
の取り外し作動および取りつけ作動、を行なう。まず、
モジュールの取り外しについてＦＪＩ明づる。第１１図
において、モジュール２０９を取り外り場合を想定′り
る。まず、；しジュール２０９を工作物操作ユニット２
００の中央部に位置せしめる。これは、まずプリント配
線板２０８のクランプ２２４間に３３　Ｇノる概略位置
決めを行ないネジ２３０によりクランプ２２４を締め（
＝Ｊける。これにより、モジュールの第１１図の゛Ｘ°
′方向に対４る概略の位置決めを行なうことができる。 次いで、プリント配線板２０８をレール２３４に沿つ−
Ｃ上記１１　Ｘ　１１方向と直角な′“Ｙ　Ｉ＋方向へ
動かして“Ｙ″方向概略の位置決めを行なう。 次いで、七ジュールの正確な位置決めを行なうため、作
業者はハンドル１８６を第１１図の矢印へ方向に引っ張
ってノス゛ルロクータコニット１７６をヒーターユニッ
ト１１４から１１゜これにより、ノズルロケータユニッ
ト１７６はほぼモジュール２０９の上方まで移動覆る。 この時、ロケータ１ニツト１７６をモジュール２０９の
上方６〜１３ｍｍの位置に位置せしめ、ロックレバ−１
８３を時計方向に回し−Ｃロケータコニット１７６をこ
の位置にｉ」ツク保持するのが望ましい。こうするとノ
ズルロケータ１７８のルア状になった聞１」を通してモ
ジュール２０９をのぞき込むことがＣき、この］１．）
の状伽が？Ａ８図に示されている。なａ３、第９図にＪ
３い（は、２本の交差するワイ゛１７１４２を右する位
置決め部材によりノズルロケータに対づるモジュールの
位置決めを行なつ（いるが、第１１図から第３０図の実
施例においてはこのような位置決め部材を用いる必要が
ない。この場合には、既述のように、ノズル１１ケータ
の下部開口がモジュール２０９の外周にりわずかに大き
くなるにうに選定されるからである。ノズルロケータ１
７８に対づるモジュール２０９の最終的な位置調整は、
まず°微調整ネジ２３８（第１１図）を操作してモジュ
ール２０９を”　ｘ　”方向に少しずつ動かしてｉｌ　
、Ｘ　１１方向の微調整を行ない、次いで、微調整ネジ
２５２を操作して″“Ｙ　”方向の微調整ケ行なう。こ
れにＪ：す、ノス゛ル［」ケータ１７８に対するモジュ
ール２０９の位置決めが完了（る。ロックレバ−１８３
を緩めた後、ハンドル１８６を引き十けてノズルロケー
タ１７８を第１１図に示す位置まで回動させヒーターユ
ニット１７４に再び係止さＶる。 次いで、ヒータｒユニツ１〜１１４およびノズルロケー
タユニット１７Ｇからなるモジトル取り（＝ｌけ取り外
し装置１１２をハンドル１８１を引っ張ってモジュール
２０９の上方に位置せしめ、この結果上記装置１７２は
モジコール２０９に対して正確に位置づる。 作業者は次いでコン］−ロールユニット２０２のボタン
２６８を押して、ヒーター３４０への通電を開始させる
。この後、例えば２５秒経過づるとバルブが聞いて空気
通路３６２を介してヒーターコニツ１〜３４０へ空気が
送られる。前述のように、この空気通路３６２にはスヂ
ールウール等の材料が詰め込まれているのでヒーター３
４０からの熱は空気通路３６２を通る空気へ効率よく伝
達される。この空気はノズル３７０を通過してモジュー
ル２０９のターミナルへ吹き（Ｊ　ｉＪられる。この加
熱空気はノブ２５８により設定された時間だり、通電１
０〜１５秒間、ターミナルのハンダ上に吹き付けられ、
このハンダを次第に溶かづ。 ノブ２５８の設定時間が経過づると、ランプ２７０が点
灯して作業者はプリント配線板からモジュール２０９を
取り外すべきであることを知る。そこで、作業者はボタ
ン２７０を押しＣ負圧を発生さμ、次いでプランジャ４
１２を押して真空チューブ３９６をモジュール上まで下
動させる。次いＣ１Ｖランジヤ４１２を離す−と、スプ
リング４４０によってプランジャ４１２は元の位置に戻
る。次いで、ハンドル１８１を引いて取り付【プ取り外
し装＠１７２を非作業位置まで持ち上げる。ここで、ボ
タン２７２．２７６．２８０を作動させて、ヒーターへ
の通電を停止し、加圧空気およびロバの供給も停＋１ニ
ー！ｌる。もらろｌυ、負圧供給が停止されると、プリ
ン１〜配線扱から取り外されたモジュール２０９も１Ｉ
Ｉ１１される。 このようにし乙、七ジ］−ル２０９を取り外した後、プ
リン！〜配Ｉ！！１仮のヒジ：ｌ−ル２（）９があった
個所の上方に顕微鏡コニツｌ−２０６を位置けしめ、こ
の部分を修理する必要があるか否かを検査づる。 なお、この顕微鏡ユニツｌ−２０６はノズルロケータ１
１６に対してモジコール２０９０位置の微調整を行なう
時にも使われる。 もし、モジュール２０９が取り外された個所に新しいモ
ジュールを直ぐに取り（１１プるなら、取りイ］け取り
外し装置１７２を下動させる前に、プリン１へ配線板２
０８上に新しいモジュールを手で置いてもよい。しかし
ながら、新しいモジュールをサポート１８７のモジコー
ル載置用の段部に置く方が望ましい。上述のように、取
り付【プ取り外し装置１７２が非作業位置にある時は、
゛１ノボートユニット１８７を回動させてこの上に新し
いモジュール２０９を置き易いようにしてもよい。さら
に、上述のように取りイー遺り取り外し装置１７２に対
してモジュールを正確に位置決めできるので、モジュー
ル２．Ｃ９はリポート１８１上に置くのが好ましい。 新しい［ジュール２０９を手（・位置決めしようと、サ
ポート１８７の助けを借りて位置決・めしようと、装置
１７２は、古いモジュールを取り外Ｊ前に正確に位置決
めされているためこのまま直ぐに用いることができる。 もちろん、ノズルロケータ１７８に対づるモジュールの
位置決めがなされ（−いないならば、モジュールを取り
外り際に行なったのと同じようにしＣ正確な位置決めを
しなければなう４ｉい。 作業者は次い（゛ボタン２８０を押しｒ■空ヂ７−ブ３
９６内に負圧を作用さＵる。その後、プランジＶ４１２
を押して真空デユー１３９６をザボー１〜ユニット１８
７上に置かれたモジトルの上面に当接さμφ。次いで、
プランジャ４１２を若干」二げ（ノズルロケータ１７８
で囲まれた空間内まてしジュールを持ち上げる。次いで
、［］ツクネジ４３６を締めｆりりてモジュールをこの
（Ｍ　Ｆ、（’Ｃ保１：′Ｊりる。次に、ハンドル１８
１を引い（駅ｉｌ″Ｎ７２をｌリント配線板２０８の上
方まで回動さＵる。本例ζ・は、しジュールはＬＣＣタ
イプでそのターミナルはノズル１］／７−タ１７８の底
部開口の周辺より外には延びり゛、モジコールはノズル
ロケータ１７８の内部空間内へ引き込むことができる場
合について説明覆る。後述のように、フラットパックキ
ャリアの場合には上記作業手順は若干界なる。 このように、ハンドル１８１が引かれて装置１１２が、
プリン１〜配線扱１の新しい七ジュールを取り付ける個
所まで移動された時に、ノズルロケータ１７８の下端は
ノリント配線板２０８上に乗った状態になる。次いＣ１
作業者はロックネジ４３６を緩め、プランジャ４１２を
押してモジュール２０９をプリント配線板２０８に当接
するまで下動させる。この位置で、ロックネジ４３６を
再び締め付け、尼ジュールをこの位置に保持ひる。なお
、この時は負圧は作用させたままにする。次に、ボタン
２６８を押づとヒーターは所定温度まで加熱され、その
後自動的にこのヒーターを通って空気が送られ、この加
熱空気にＪζリハンダが溶かされ、モジ−７−ル２０９
はこのハンダが冷えるとプリント配線板と接続される。 ランプ２７０の点対Ｃ作業者は、ハングが溶【ノ、モジ
ュール取りイ」け取り外し装置１７２を非作業位置よで
持ら上げるべきであることを知る。そしＣ１まずボタン
２７２．２７６．２８０を押して、ヒーターの通電を停
止し、ヒーターへの空気供給および真空デユープ３９６
への負圧供給を停止でる。 第２５図について説明したように、この時プラグ４０２
は新しいモジュール２０９上に落下し、モジュール２０
９と真空チューブ３９６とを若干だり１１゜次いで、ロ
ックネジ４３６を緩めプランジャ４１２を上動させると
、デユープ３９６はモジュール２０９から離れて持ち上
げられる。 以上にＬＣＣモジュールについでの作業を説明したが、
フラットパックキャリアモジュールについての作業は下
記の点が異なる。すなわら、七ジュールがノズルロケー
タ１１８の下端間に１に置かれた時、モジコール本体は
この間口内に入るが、ターミナル２１１は間口周辺の下
部を超え（外Ｉｊに延びるようになっＣいる。このため
、モジトルがプリント配線板への取り句りのためナボー
トユニット１８１から持ら上げられた時には、このモジ
ュールはロケータ１７８の内部空間に引き込まれること
はなく、弾性ターミナルがロケータ１１８の下部開口周
縁と接触りるまＣ持ち上げられる。そしＣネジ４３６を
締めイ」けてモジュールを上記位置のまま保持し、この
モジュールをプリント配線板２０８上に移動させる。プ
リント配線板上にモジュールが移動されると、ノズルロ
ケータ１７８の下端周縁が弾性ターミナルの方へ押しく
＝ＪけられＣプリント配線板上でターミナルが貞直ぐに
延ばされ、プリント配線板への取りｆＪｉブを容易にす
る。 本発明においては、プレート１１８に形成されたノズル
オリフィス１２２のうらのいくつかは他のオリフィスよ
り大きく、上記いくつかのオリフィスに対向するターミ
ナルに仙のターミナルより多くの熱を与えるようにした
ことも特徴とする。通常は、より多くの熱を与えるター
ミナルとしては、アース面もしくは、多層プリント配線
板の電圧供給層とつながるターミナルである。なぜなら
、これらはヒートシンクとして作用しこれらにつながる
ターミナルから急速に熱を奪い取るからである。 例え♂、第６図を参考に説明する。オリフィス１２２は
想像線で示１四角形状に沿って配されるが、ここでアー
スＪ３よび電圧供給ターミナルが、図中番号１２２で示
すオリフィスを含む横方向に並んだオリフィスの下に位
置すると仮定する。この場合、これらのオリフィスおよ
びこれらと隣接する１〜２個のオリフィスが他より大き
く形成されＣアースおよび電源供給ターミナルへの熱の
供給が増大される。このようにすることにより、アース
および電源供給ターミナルのハンダと他のターミノ−ル
のハンダとを同時に溶かりことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の取りイリＣ）取り外し装置の正面図、 第２図は第１図の矢印２−２に沿った上記装置の断面図
、 第３図は第１図の装置の平面図、 第４図は第１図の装置を矢印４−４方向に視た側面図、 第５図は第２図の矢印５−５に沿ったヒーター装置の断
面図、 第６図は第２図の矢印６−６に沿ったノズルの断面図、 第７図は第６図の矢印７−７に沿ったノズルの拡大断面
図、 ＮＸ８図は第２図の矢印８−８に沿ったＬ１クータノズ
ルの平面図、 第９図はボルダ−に位置決めプレートを載置した状態を
承り平面図、 第１０図は第９図の矢印１０−１０に沿った断面図、第
１１図は本発明に係る装置の異なる実施例を示１斜視図
、 第１２図は第１１図の装置の一部を示す側面図、第１３
図、第１５図および第１６図はそれぞれ第１２図の矢印
１３−１３．１５−１５．１６−１６に沿った断面図、
第１４図は第１３図に示す部分の側面図、第１７図は第
１１図の装置の取り付は取り外しユニットの断面図、 第１８図から第２３図はそれぞれ第１７図の矢印１８−
１８．１９〜１９．２０−２０．２１−２１．２２−２
２おにび２３−２３に治った所１７ｉｉ図、 第２４図は第１７図のロケ−タコニットとヒーターユニ
ットを係止保持する板ばねまゎりを示づ側面図、 第２５図は第１７図の真空チューブ内に置かれたプラグ
を示ｆ拡大断面図、 第２６図は第１１図のノス′ルロケータユニットの側面
図、 第２１図は取り付番ノ取り外し装置が非作業位置にある
時でのこの装首どモジトル→ノボー１−ユニットとの位
置関係を示づ側面図、 第２８図ａ３よびｕ１２９図はそれぞれモジトルリポー
トユニットの平面図Ｊ３Ｊ：び側面図、ＷＸ３０図は本
発明の］ント「１−ル」ニットにｄ３１ノる回路を示す
ブロック図である。 １２・・・メインフレーム　１４・・・ベース３４・・
・基板　４２・・・電ｒ部品 ６６・・・加熱部材　８４・・・空気ボン／１０２．３
９（ｉ・・・秦′亀空ｆユーブ１４０・・・位置決めプ
レー）− ２００・・・工作物操作」ニラ１〜 ２０２・・・−１ンｉ〜１−１−ルニ１−ツ１−２０６
・・・顕微鏡コニツｈ　２０Ｂ・・／リン１〜配線板Ｆ
ＩＧ、２２ ＦＩＧ、２４ （自　発）−Ｊ二Ｉｔ？、ｉにンｉ１ｉ　、ｉＪニー４
特許庁長官　殿　昭和６０Ｍ４月３日 １、事件の表示 １−’＋願昭６０−３６２５４号 ２、発明の名称 電子部品取り付り取り外しＨｔ＆ ３、補正をづる者 事件との関係　Ｑｈ　Ｒ’ｌ出願人 住　所　アメリカ合衆国　メリー”ノンＩ〜州　２０７
０７Ｌ１ウレル　１ルソース　−１１−！１８９３名　
称　ベース　インコーポレーブット４、代理人 東京都港１メ六本木５’１ＩＪ２ｆＲ１号はうらいＡゝ
）ヒル　７階 （７３１８）弁理士　柳　８Ｊ　征　史（ほか１名）５
、補正命令の日付　な　し ６、補正により増加覆る発明の数　な　し７、補正の対
象　明細内、図面および優先＃Ｉ＆Ｉ明出８、補正の内
容 １）手出き明細書をタイプ滓出に補正しまり。 （内容に変更なし） ２）図面を墨入れ図面に補正しまり。 ３）優先権証明書を補充しまづ。 ９、添４９書類 １）タイプ浄書明細書　１通 ２）図面　１通 ３）優先権証明書および同訳文　各２通（自　発）手続
ンｒｌｉ　−ｉＥ　−Ｉ’！特許庁長官　殿　昭和６０
年４　Ｊ１３　Ｅｌ特願昭６０−３６２５４号 ２、発明の名称 電子部品取り付【ノ取り外し装置 ３・、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住　所　アメリカ合衆国　メリーランド州　２０７０７
０ウレル　ブルワーズ　」−８９８９２名　称　ペース
　インコーボレーｉツド６、補正により増加する発明の
数　６ ７、補正の対象　明ＩＩＩの［特許請求の範囲Ｊの欄８
、補正の内容　特許請求の範囲を別紙の通り補正します
。 特許請求の範囲 １つ周縁に複数のターミナルを有する電子部品の基板上
への取り付けおよび取り外しを行なう電子部品取り付は
取り外し装置において、 少なくとも１つの内部貫通流体通路を有して該流体通路
を流れる流体を加熱するヒータ一手段を備えてなる部品
取り付は取り外し手段と、前記流体通路から流出する加
熱流体を前記基板上の前記ターミナルに流し該ターミナ
ル上でハンダを溶かず手段と、 前記部品取り付は取り外し手段を、基板上方に位置して
ハンダの溶融作業をなす作業位置と、基板から離れて位
置する非作業位置との間で移動させる移動手段とを備え
てなり、 前記作業位置および前記非作業位置は、前記基板とほぼ
直角方向のほぼ垂直面内に位置し、前記移動手段は、前
記部品取り付は取り外し装置が前記作業位置に近ずく際
もしくは前記作業位置から離れる際に前記部品取り付は
取り外し装置を前記基板に対しほぼ垂直方向に移動させ
、前記部品取り付は取り外し装置が前記非作業位置に近
ずく際もしくは前記非作業位置から離れる際に前記部品
取り（＝Ｉけ取り外し装置を前記基板に対しほぼ水平方
向に移動さＶ゛る手段を備え、前記部品取り付は取り外
し装置の移動はほぼ前記垂１面内で１１なわれるように
なっていることを特ｒｐｉ２：りる電子部品取り付番プ
取り外し装置。 ２）前記移動手段が前記部品取り付は取り外し手段を円
軌跡に冶って約９０度移動させる手段Ｃあることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の装置。 ３）前記移動手段が前記部品取り付は取り外し手段を、
少なくとも前記作業位置および前記非作業位置において
前記基板に対し垂ｎに保持りる機構を有していることを
特徴とする特Ｒ’１Ｍ求の範囲第１項記載の装置。 ４）前記垂直に保持りる１旧よ前記作業位置と非作業位
置との間の全ての位置にＪ３かて前記部品取り付は取り
外し手段を前記基板に対して垂直に保持する機構である
ことを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の装置。 ５）前記部品取り付１ノ取り外し手段のサポートユニッ
トを有し、一端が前記ヒータ一手段に回動自在に連結さ
れるとともに他端が前記サポートユニツ１〜に回動自在
に連結された第１および第２アームを有し、これらのノ
アームの前記ヒータ一手段に連結された前記一端および
前記部品取り付は取り外し手段に連結された前記他端が
それぞれ垂直方向に一直線上に並んで配され、前記作業
位置と前記非作業位置との間の全ての位置において前記
部品取り付は取り外し装置を前記基板に対して垂直に保
持するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第４
項記載の装置。 ６）前記部品取り付【ノ取り外し手段が、前記流体通路
から前記ターミナルへ加熱空気を導く複数のノズルと、
該ノズルを前記ターミナルの位置に対応する前記基板上
の所定位置に位置決めづるノズルロケータと、該ノズル
ロケータを前記ヒータ一手段と着脱自在に′係合させる
手段とを有することを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の装置。 ７）前記ノズルロケータを前記ヒータ一手段から離脱し
て前記作業位置に移動させる手段と、前記ノズルロケー
タに対する前記基板の位置を調整Ｊる手段とを有し、前
記ノズルロケータに形成された、下端が前記電子部品よ
り若干大きい間口を通しく前記電子部品をのぞいて前記
基板の位置を調整し、前記ノズルロケータおよび前記ヒ
ータ一手段に対する正確な位置決めを行なうようにした
ことを特徴とする特許請求の範囲第６項記載の装置。 ８）前記ノズルロケータを前記作業位置および前記非作
業位置を含むすべての位置でクランプ保持づる手段を有
することを特徴とする特許請求の範囲第７項記載の装置
。 ９）前記ノズルロケータを、前記ヒータ一手段と係合す
る前記非作業位置から前記基板との位置決めを行なう前
記作業位置へ移動させるノズルロケータ移動手段を有し
、該手段は、前記ノズルロケータが前記基板表面へ近づ
く際および前記基板表面から離れる際に前記ノズルロケ
ータをほば垂直方向に移動させ、前記ノズルロケータが
前記非作業位置へ近づく際および前記非作業位置から離
れる際にｆｉＪ記ノズノズクータをほぼ水平方向に移動
させることを特徴とする特許請求の範囲第７項記載の装
置。 １０）前記ノズルロケータ移動手段が、前記ノズル０ケ
ータを前記基板とほぼ直角な前記垂直面内において円軌
跡に治って約９０°移動させる手段であることを特徴と
する特許請求の範囲第９項記載の装置。 １１）前記ノズルロケータ移動手段が、一端が前記ノズ
ルロケータに回動自在に連結されるとともに他端が前記
部品取り付は取り外し手段の前記サポートユニットに回
動自在に連結される第１および第２アームを有し、これ
らのアームの前記ノズルロケータとの連結点および前記
サポートユニットとの連結点がそれぞれ垂直方向に一直
線上に並んで配され、前記作業位置、＃Ｊ記非作業位Ｍ
およびこれら両位置の間の全ての位置において前記ノズ
ルロケータを前記基板表面に対して垂直に保持するよう
にしたことを特徴とする特許請求の範囲第１０項記載の
装置。 １２）一端が前記ヒータ一手段に回動自在に連結され、
他端が前記サポートユニットに回動自在に連結される第
３および第４アームを有し、これらのアームの前記ヒー
タ一手段との連結点および前記サポートユニットとの連
結点がそれぞれ垂直方向に一直線上に並／υで配され、
前記第１　ａ３よび第２ノ！−ムの前記ノズルロケータ
との連結点および前記第３および第４アームのｌ１ｉｉ
記ヒ一タ一手段との連結点が垂直方向に一直線上に並ん
で配８れ、前記第１、第２．第３おＪ、び第４アームの
前記リポートユニットとの連結点が垂直方向に一直線上
に並んで配され、前記ヒータ一手段および前記ノズルロ
ケータは共に前記作業位置、前記非作業位置ａ３よびこ
れら両位置の間の全ての位置において前記に！板に対し
垂直方向に保持されるようにしたことを特徴とする特許
請求の範囲第１１項記載の装置。 １３）前記ヒータ一手段が前記作業位置に位置りる時に
、前記ヒータ一手段を前記号ボー］・ユニットに着脱自
在に係合させる手段を有することを特徴とする特許請求
の範囲ｆｆ１１項記載の装置。 １４）大きな表面積を有覆る多孔の熱吸収材料が前記流
体通路内に配され、前記流体通路内を−れる流体への前
記ヒータ一手段からの熱伝達効率を良くするようにした
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の装置。 １５）前記熱吸収材料がスチールウールであることを特
徴とする特訂品求の範囲第１４項記載の装置。 １６）前記ヒータ一手段はその内部に垂直方向に往復動
自在に取り付けられた真空チューブを有し、該真空チュ
ーブは負圧源と連結し、前記電子部品の取り付けおよび
取り外しのために前記電子部品と当接できるようになっ
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の装
置。 １７）前記真空チューブはその下端に可動プラグを有し
、該可動プラグは前記真空デユープ内に負圧が作用して
いない時には前記真空チューブの下端に位置し、負圧が
作用りると前記真空デユープ内でわずかに持ち上げられ
、次いで負圧の作用が止まった時には前記真空チューブ
の下端に落下して、前記真空チューブの下端に吸引保持
されている電子部品に軽く当たり、負圧の作用の停止時
に真空チューブから電子部品を１！１１　Ｌ易くし／ｊ
ことを特徴とする特許請求の範囲第１６項記載の装置。 １８）前記ヒータ一手段が前記真空デユープがその中を
摺動する貫通孔が形成された少なくとも１つの支持部材
を有し、該貫通孔の側部には切欠きが形成され、該切欠
きには前記真空チューブを前記貫通孔の片側へ押し付１
ノる手段が設【プられ、前記真空チューブおよび前記貫
通孔の精度を高めることなく前記真空デユープの過度の
横方向の動きを抑えられるようにしたことを特徴とする
特許請求の範囲第１６項記載の装置。 １９）前記ヒータ一手段が、この内部にＪ３いＣ垂直方
向の往復動自在に取り付けられたプランジャと、該プラ
ンジャを摺動自在に支持し且つ前記ヒータ一手段に対し
て垂直に往復動自在なスリーブをイｊし、該プランジャ
と前記真空チューブを連結して該プランジャの垂直方向
の動きを前記真空チューブに伝える連結部材と、前記プ
ランジャと前記スリーブとの相対回転を防止する第１回
転防止手段と、前記スリーブの前記ヒータ一手段に対す
る回転を防止４る第２回転防止手段とを有し、該第２回
転防止手段が、前記スリーブに形成されたキー溝と、該
キー構内に広がるようにし゛Ｃ前記ヒータ一手段に取り
付【プられたほぼ１１字状の可撓性スプリングとからな
り、該スプリングの可撓性のために該スプリングが前記
キー構内に広がるので、前記キー横および前記スプリン
グの精度があまり高くなくても前記スリーブの前記ヒー
タ一手段に対する回転を防止できるようにしたことを特
徴とする特許請求の範囲第１６項記載の装置。 ２０）異なったサイズの電子部品を受容できるモジュー
ルサポートユニットを有し、該モジュールサポートユニ
ット 前記非作業位置にある時に、前記部品取り付【プ取り外
し手段の中心軸とほぼ一致する中心軸を有し、前記モジ
ュール４ノボートユニツト上に電子部品が置かれると、
該電子部品は前記部品取りｆりけ取り外し装置に対して
所定位置に正確に位置するようにしたことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の装置。 ２１）前記電子部品がリードレス・チップ・キ１ｔリア
（ＬＣＣ）であることを特徴とする特ＢＴ請求の範囲第
１項記載の装置。 ２２）゛前記電子部品がフラット−バック・キトリノｌ
′ｃあることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
装置。 ２３）前記流体が空気であることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の装置。 ２４）前記ヒータ一手段への通電を開始して該ヒータ一
手段の温度を所望の温度まで上昇させる手段と、前記通
電の開始後所定時間が経過した時に前記流体通路へ加圧
流体を流１手段と、調整自在な設定時間だけ前記流体通
路を介して加熱流体を流しハンダを溶かり手段とを有づ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の装置。 ２５）前記設定時間だけ前記加熱流体が流された時、作
業者にハンダが溶番ブたことを知ら「る信号を発する手
段を有りることを特徴とする特許請求の範囲第２４項記
載の装置。 ２６）ハンダが溶けた後、前記基板から前記電子部品を
取り除くため前記電子部品に負圧を作用させる手段を有
４ることを特徴とする特許請求の範囲第２４項記載の装
置。 ２７）前記電子部品を前記基板に取り付ける際に、前記
電子部品をハンダが溶かされている間前記基板上の所定
位置に保持Ｊる眼用手段と、ハンダが溶けた後に前記部
品取り付は取り外し手段を前記電子部品から１ｉｉｌｌ
　Ｖ−７，−め負圧の供給を停止する手段とを有づるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第２４項記載の装置。 ２８）周縁に複数のターミナルを有する電子部品の基板
上への取り付けおよび取り外しを行なう電子部品取り（
＝Ｊけ取り外し装置において、少なくとも１つの内部貫
通流体通路を有して該流体通路を流れる流体を加熱づる
ヒータ一手段と、前記流体通路から流出する加熱流体を
前記基板上の前記ターミナルに流し、該ターミナル上で
ハンダを溶かす手段とからなり、 前記流体通路内には、大きな表面積を有する多孔の熱吸
収材料が配され、前記ヒータ一手段から前記流体通路内
の流体への熱伝達を促進させるようにしたことを特徴と
する装置。 ２９）前記熱吸収材料がスチールウールであることを特
徴とする特許請求の範囲第２８項記載の装置。 ３０）周縁に複数のターミナルを有りる電子部品の基板
上への取り付けおよび取り外しを１゛ｊなう電子部品取
り付は取り外し装置において、 少なくとも１つの内７ｉｌＳＰＩ通流体通路をイｊして
該流体通路を流れる流体を加熱するヒータ一手段と、前
記流体通路から流出りる加熱流体を前記基板上の前記タ
ーミナルに流し、該ターミナル上でハンダを溶かす手段
とからなり、 前記ヒータ一手段はその内部に垂直方向に往復動自在に
取り付けられた真空チューブを有し、該真空チューブは
負圧源と連結し、前記電子部品の取り付けおよび取り外
しのために飼配電子部品と当接できるようになっており
、 前記真空チューブはその下端に可動プラグを有し、該可
動プラグは前記真空チューブ内に負圧が作用していない
時には前記真空チューブの下端に位置し、負圧が作用づ
ると前記真空チューブ内でわずかに持ち上げられ、次い
で負圧の作用が止まった時には前記真空チューブの下端
に落下して、前記真空チューブの下端に吸引保持されて
いる電子部品に軽く当たり、負圧の作用の停止時に真空
チューブから電子部品を離し易くしたことを特徴とする
装置。 ３１）周縁に複数のターミナルを有づる電子部品の基板
上への取り付けおよび取り外しを行なう電子部品取り付
は取り外し装置において、 少なくとも１つの内部貫通流体通路を有して該流体通路
を流れる流体を加熱するヒータ一手段を備えてなる部品
取り付は取り外し手段と、前記流体通路から流出する加
熱流体を前記基板上の前記ターミナルに流し、該ターミ
ナル上でハンダを溶かす手段とからなり、 前記ヒータ一手段はその内部に垂直方向に往復動自在に
取り付けられた真空チューブを有し、該真空チューブは
負圧源と連結し、前記電子部品の取り付けおよび取り外
しのために前記電子部品と当接できるようになっており
、 前記ヒータ一手段が前記真空チューブがその中を摺動す
る貫通孔が形成された少なくとも１つの支持部材を有し
、該貫通孔の側部には切欠きが形成され、該切欠きには
前記真空チューブを前記Ｖ」通孔の片側へ押しく＝Ｉけ
る手段が設けられ、前記真空チューブおよび前記貫通孔
の粘度を＾めることなく前記真空チューブの過度の横方
向の動きを抑えられるようにし／ｊことを特徴とりる装
置。 ３２）周縁に複数のターミナルを有（る電子部品の基板
上への取りイ１けおよび取り外しを１ｊなう電子部品取
り付り取り外し装置において、 少なくとも１つの内部貫通流体通路を右して該流体通路
を流れる流体を加熱するヒータ一手段を備えてなる部品
取り付は取り外し手段と、前記流体通路から流出する加
熱、流体を前記基板上の前記ターミナルに流し、該ター
ミナル上でハンダを溶かす手段とからなり、 前記ヒータ一手段はその内部に垂直方向に往復動自在に
取り付けられた真空デユープを有し、該爽窒チューブは
負圧源と連結し、前記電子部品の取り“付けおよび取り
外しのために前記電子部品と当接できるようになってお
り、 前記ヒータ一手段が、この内部において垂直方向の往復
動自在に取り付りられたプランジャと、該プランシトを
摺動自在に支持し且つｎｏ記上ヒータ一手段対して垂直
に往復動自在なスリーブを有し、該プランジャと前記真
空デユープを連結して該プランジャの垂直方向の動きを
前記真空チューブに伝える連結部材と、前記プランジャ
と前記スリーブとの相対回転を防止する第１回転防止手
段と、前記スリーブの前記ヒータ一手段に対する回転を
防止づる第２回転防止手段とを有し、該第２回転防止手
段が、前記スリーブに形成されたキー−溝と、該キー溝
内に広がるようにして前記ヒータ一手段に取すイリ【プ
られたほぼＵ字状の可撓性スプリングとからなり、該ス
プリングの可撓性のために該スプリングが前記キー構内
に広がるので、前記キー構および前記スプリングの精度
があまり高くなくても前記スリーブの前記ヒータ一手段
に対する回転を防止できるようになっていることを特徴
とする装置。 ３３）前記スリーブ内での前記プランジャの垂直方向の
動きの上限および下限を規定する手段と、通常は前記プ
ランジャを前記上限位置まで持ら上げるように付勢する
第１付勢手段と、前記真空チューブを前記ヒータ一手段
内で上動さＶるＪ、うに付勢する第２付勢手段とを有し
、第２イ」柏手段の付勢力は第１付勢手段のＩＩ勢力よ
り〜ｂ弱く、前記プランジャが前記スリーブ内で押し下
げられると前記第２付勢手段がまり゛圧縮され、前記ス
リーブ内で前記プランジャが前記下限位置に達するまで
、前記真空チューブが前記ヒータ一手段の下端の方へ下
げられ、この後前記プランジャがさらに押し下げられる
と、前記プランジャと具に前記スリーブも押し下げられ
て前記第１付勢手段が圧縮され、前記真空チューブを前
記電子部品に当接さＵる際に作業者が正確な制御が行な
えるようにしたことを特徴とする特許請求の範囲Ｗ４３
２項記載の装置。 ３４）周縁に複数のターミナルを有する電子部品の基板
上への取り付けおよび取り外しを行なう電子部品取り付
は取り外し装置において、 少なくとも１つの内部貫通流体通路を有して該流体通路
を流れる流体を加熱するヒータ一手段と、前記流体通路
から流出する加熱流体を前記基板上の前記ターミナルに
流し、該ターミナル上でハンダを溶かす手段とからなり
、 前記ヒータ一手段を、基板上方に位置してハンダの溶融
作業をなづ作業位置と、基板から離れて位置する非作業
位置との間で移動さゼる移動手段と、 異なったサイズの電子部品を受容できるモジュールサポ
ートユニットとを有してなり、該モジュールサポートユ
ニットは、前記ヒータ一手段が前記非作業位置にある時
に、前記ヒータ一手段の中心軸とほぼ一致乃る中心軸を
有し、前記モジュールサポートユニット上に電子部品が
置かれると該電子部品は前記ヒータ一手段に対して所定
位置に正確に位置するようにしたことを特徴とする装置
。 ３５）前記モジュールサポートユニットが回動自在であ
り、前記ヒータ一手段から離れるように回動させること
ができ、前記ヒータ一手段が前記非作業位置に位置する
時に、前記モジュールサポートユニットへの電子部品の
装着が容易になるようにしたことを特徴とする特許請求
の範ｌｌｌ１第３４項ＪＰ載の装置。 ３６）周縁に複数のターミナルを有Ｊる電子部品の基板
上への取り付けＪ３よび取り外しを行なう電子部品取り
イ１番ノ取り外し装置賀にＪ３いて、少なくとも１つの
内部貫通流体通路を有して該流体通路を流れる流体を加
熱づるヒータ一手段を備えてなる部品取り付り取り外し
手段と、前記流体通路から流出する加熱流体を前記基板
上の前記ターミナルに流し、該ターミナル上でハンダを
溶かず手段とがらなり、 前記ヒータ一手段への通電を開始して該ヒータ一手段の
温度を所望の温度ま（・上昇させる手段と、前記通電の
開始後所定時間が経過した時に前記流体通路へ加圧流体
を流す手段と、 調整自在な設定時間だけ前記流体通路を介して加圧流体
を流しハンダを溶かす手段と を備えてなる装置。 ３１）前記設定時間だけ前記加熱流体が流された詩、作
業者にハンダが？ＩＦ＃′ｊたことを知らせる信号を発
する手段を有することを特徴とする特許請求の範囲第３
６項記載の＠置。 ３８）ハンダが溶けた後、前記基板から前記電子部品を
取り除くため前記電子部品に負圧を作用させる手段を有
づることを特徴とする特許請求の範囲第３６項記載の装
置。 ３９）前記電子部品を前記基板に取り付ける際に、前記
電子部品をハンダが溶がされている間前記基板上の所定
位置に保持する吸引手段と、ハンダが溶けた後に前記部
品取り付は取り外し手段を前記電子部品から離すため負
圧の供給を停止する手段とを有することを特徴とする特
許請求の範囲第３６項記載の装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 周縁に複数のターミノ−ルを右する電子部品の基板上へ
   の取りイ１けおよび取り外しを行なう電子部品取り付は
   取り外し装置において、 少なくとも１つの内部貫通流体通路を右して該流体通路
   を流れる流体を加熱するじ一タ一手段を備えてなる部品
   取り旬は取り外し手段と、前記流体油シ“８から流出り
   る加熱流体を前記３＋＆Ｉｋ上の前記ターミナルに流し
   該ターミナル上（）＼ンダを溶かり手段と、 前記部品取り（＝Ｊ（プ取り外し手段を、基板上方に位
   置してハンダの溶融作業をなり作業位めと、基板から離
   れて位置りる非作業位；６との間Ｃ移動させる移動手段
   とを備えてなり、 前記作業位置および前記非作業位置は、前記基板とほぼ
   直角方向のほぼ垂直面内に位置し、前記移動手段は、前
   記部品取り付り取り外し装置が前記作業位置に近ずく際
   もしくは前記作業位置から離れる際に前記部品取り付は
   取り外し装置を前記基板に対しほぼ垂直方向に移動させ
   、前記部品取り（ｑけ取り外し装置が前記非作業位置に
   古ずく際もしくは前記非作業位置から離れる際に前記部
   品取り（Ｊ　ｔ−Ｊ取り外し装置を前記基板に対しほぼ
   水平方向に移動させる手段を備え、前記部品取り付（ブ
   取り外し装置ａの移動はほぼ前記垂自面内で行なわれる
   Ｊ、うになっていることを１１徴と４る電子部品取り付
   ｔノ取り外し装置。