JPS60234991A - セパレ−タ利用の部分メツキ方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、マルチ方式の噴射式部分メッキ手段であって
、例えば通信機器用コンタクタ等電気部品の接点やＩＣ
用リート９フレームのボンディングエリア等を部分メッ
キする際に、第３の部材であるセパレータによりメッキ
液噴射ノズル及びマスク穴の配置間隔をその被メツキ部
の間隔に対応して自在に可変設定できるようにしたセパ
レータ利用の部分メッキ方法及びその装置に関する。

一般に、通信機器用交換器等に使用されるコンタクトや
プリント基板のリード部、或いはＩＣリードフレームの
ボンディングエリアや、多極接続用のコネクター等の電
気接点部は、通常フープ状にスリットされた銅又は銅合
金素材をプレス加工によって打抜き曲加工した後、部分
メッキ手段によりその先端コンタクト部に金ヤ銀、白金
、パラジウム等の貴金属を部分メッキ処理するものであ
る。

例えば第１図に図示の如く通信機器に用いられているコ
ンタクタ１は、材厚が０．１〜０．５酊程度のタフピッ
チ銅板を幅員１．０〜３．０　ｓｎ程度の側面Ｕ字形状
にプレス加工してコンタクタ本体２を形成し、その曲面
底部３に厚さ数μ１面積０．３〜数Ｕ！の極微小部分メ
ッキ層４を処理できれば機能上充分である。

処が在来の部分メッキ手段は、第２図に図示の如くアノ
ード極に設定したノズル５から加圧されたメッキ液をカ
ソード極に設定したワーク（この場合はコンタクタ本体
２の曲面底部３）に向けて噴射させ電解メッキ処理する
ものであシ、被メツキ部の設定はメッキパターンに対応
した開口部を有するマスク６によシマスキングするもの
であるが、そのメッキ精度及び品位は極めて高度を要す
る処から、メッキ設備製作上にかなｐ問題があった。

例えば上記コンタクタ１の場合、現物は加工間隔（ＰＯ
）が２．５４１＋ｍであシ、且つこれを４０本同時に部
分メッキする必要があるため、第３図に図示の如く各ワ
ークに、対応してノズル５も４０本も同じ間隔で配設し
なければならず、又、マスク６も同間隔で微細なマスク
穴７を穿設加工しなければならない。

つま９ワークの種類毎に専用化したノズル５及びマスク
７から成るメッキ装置を必要とするので、ワークの数だ
け専用メッキ装置を予め準備しなければならないことに
なる。

而かも、上記メッキ装置は、マスク６及びノズル５共、
耐熱性、耐薬品性及び耐久性を具備する素材、例えばセ
ラミックやステンレス鋼材等に微小精密加工をしなけれ
ばならないので、装置製造コストが嵩む上、ワークに対
応してその都度ノズル５やマスク６を交換し調整する必
要があるから、段取り工数が多大である。

又、ワークの被メッキ部間隔（Ｐｏ）が接近していルト
ノスル５の外径寸法も規制されるので、微小間隔の部分
メッキが不可能な場合もある。

このような問題は、前記した通信機器用コンタクタ１を
処理する場合に特に影譬が大きい。

即ち、被メッキ物であるコンタクタ本体２は、多品種多
量生産する物であゃ、その各品種毎の形態は相似的なも
のや、被メッキ域間隔だけの相違、或いは被メツキ面積
だけが異なるものが多い。又、加工に際しては第４図に
図示の如くフープ材にパイロット穴８及びコンタクタ本
体２の外形を例えば前記したように２５４龍間隔で打抜
いた後、先端を曲加工した段階でその曲面底部３に部分
メッキ処理な行ない、次いで切断工程に廻すのが一般的
である。

従って、マスク６は第５図に図示したように単発的なマ
スク穴７を連設したシ、或いはクシ形にマスク大川切欠
部９を連設したマスク板１０Ａに、平板状の側板１０Ｂ
を添設したマスク６（第６図参照）を利用することがで
きるが、これらの製造コストはかなシ嵩む上、コンタク
タ１の種類毎に準備しなければならない。

一方、ノズル５の方はマスク穴７に対応した個別のノズ
ル穴を加工するか、数個〜数十個のマスク穴７をカバー
する長溝状のノズル穴５Ａを穿設する。（第７図参照） この製造コストもマスク６以上に高くなる上、コンタク
タ１の種類毎に準備する必要がある。而かもメッキに際
しては、メッキ液流が干渉したり、乱流や渦流の発生及
びマスキング部分での滞留現象によって電流密度が著し
く劣化し、又マスキング部分のメッキ液浸潤によるハレ
ーシロンと相俟ってメッキ品位や効率が極端に低下する
惧れがあり、歩留りの低下と、段取り工数及び処理工数
の多大化と、設備費の嵩みが相俟ってメッキ処理コスト
が高くなると云う問題があった。

本発明は斜上の諸問題点に鑑み成されたもので、その第
１の目的とする処は、ワークの種類に対応して任意数の
部分的マスキング域を自在に可変設定できるようにし、
且つノズルからのメッキ液流束も各部分的マスキング載
録に対応する状態に分けるようにしてマルチ式部分メッ
キを可能ならしめ、メッキ処理段取り工数やメッキ処理
工数を大巾に低減させたセパレータ利用の部分メッキ方
法の提供にある。又、本発明の他の目的とする処は、単
ｌこスリ、トや長溝穴を形成しただけのマスクと、この
スリットや長溝穴と対峙したノズルの開口面に第３の部
材であるセパレータを立設し、且つ該セパレータをマス
クとノズルで挾持するようにして、マスクは固よりノズ
ルに対する複雑且つ精密な加工を要せずに多数の部分メ
ッキを同時処理可能とし、単一の装置で多種のワークに
対応できるようにした低摩な部分メッキ装置の提供にあ
る。

更に、本発明の他の目的とする処は、被メッキ物に当接
したマスク乃至マスクホルダーと外套−によって密閉空
間を形成し、且つこの中にノズルを配設すると共に負圧
状態を保持せしめ、上記セパレータの介装と相俟って高
品位の部分メッキを廉価に処理し得るようにした部分メ
ッキ装置の提供にある。

以下に本発明の実施例を第８図以下に基づき説明する。

先ずワーク１１の被メツキ域をマスキングするマスク１
２Ａは、マスクホルダー１３により保持させてあり、該
マスクホルダー１３の下段には、メッキ液を噴射するノ
ズル１４Ａを保持し且つメッキ液排除穴１５を有するノ
ズルホルダー１６を設け、更に該ノズルホルダー１６の
下段に配置され上記メッキ液排除穴１５と連通するチャ
ンバー１７を有し且つ底部に連通孔１８を有する外套−
１９と、該外套−１９の下段に連設され上記連通孔１８
と連通ずる気液分離器２０と、この気液分離器２０に連
結し、上記マスクホルダー１３及びノズルホルダー１６
乃至外套−１９のチャンバー１７内を負圧状態に保持す
る吸引機構２１とから成るものであり、気液分離器２ｏ
は図示しないメッキ液タンクにも接続し、このメッキ液
タンクに回収されたメッキ液は上記ノズル１４Ａに再供
給されるようにしである。（以上第８図参照）尚、上記
装置に於いて、外套画１９及び気液分離器２０や吸引機
構２１は固定式とし、ノズルホルダー１６及びマスクホ
ルダー１３は着脱交換自在としである。次に上記各部の
構造を詳述する。

先ずマスクホルダー１３は第９図で示されるように、ス
テンレス鋼等の素材で平形−状に形成さね、その表面側
には凹部２２が形成され、且っ該凹部２２の中央に所定
幅員の長溝％が形成されている。又、内面側は空胴で上
記長１１１１２３の処は第８図に図示の如く逆テーパー
状に形成されている。

又、該マスクホルダー１３の凹部２２には、アルミニウ
ム等の金属で成形し且つその外表面全域をフッ素樹脂等
の絶縁物でコーティングしたもの、或いはガラスやセラ
ミック又は硬質ゴム等の非導電性素材で成形された薄平
板状のマスク本体２４を複数並設して嵌入し、両マスク
本体２４の中央部に被メツキパターンの幅員に対応する
幅員（Ｗ、）のスリット２５が形成されるようにしであ
る。

即ち、両マスク本体Ｕの一方は平帯板状に形成され、且
つ他方は上記スリット２５０幅員（Ｗ、）に相当するコ
字形の切欠部が形成されていて、両者を継合わせるとこ
の切欠部分がスリット２５になる。

尚、このマスク本体２４のスリット２５もその底部を逆
テーパー状と成し、マスクホルダー１３の長溝ｎのテー
パ一部と連続する形態にしである。

一方、ノズルホルダー１６は上記マスクホルダー１３と
連結可能な平枠状に形成されていて、その中央には長＃
＃詔と対応する長方形有底―状の液供給溝２６が形成さ
れ、該液供給溝２６はその側壁に穿設されたメッキ液供
給穴２７と連通ずるようにしてあり、又液供給溝２６の
両側に長方形状のメッキ液排除穴１５を形成しである。

更に、このノズルホルダー１６に組込むノズル１４Ａは
、平板状の側板あと、前記マスク本体２４のスリット２
５と対応する長さの噴射溝２９が形成された平面コ字状
のノズル本体３０から成り、両者を合体しビス等により
緊締し、該噴射溝２９と前記液供給溝２６とを連通ずる
状態でノズル１４Ａをノズルホルダー１６に連結固定す
る。

又、上記ノズル１４Ａとマスクホルダー１３との間には
、ガラスやセラミック又は硬質ゴム等の絶縁物製剛体、
或いは、アルミニウム等の金属の外表面にフッ素樹脂等
の絶縁物をコーティングした素材により正面凸形に成形
されたセ、６レータ３１Ａを第１０図に図示の如く介装
してありて、該セ、Ｆレータ３１Ａの頂部３２の幅員（
ＷＯ）は前記マスク１３のスリット２５内に臨ませるこ
とができる寸法でｌ）、又底部３３は前記ノズル１４の
噴射溝２９を跨架できる幅上記セパレータ３１Ａは、ワ
ーク１１の被メツキ部数に応じ次数量だけ使用するもの
で、その配置間隔を被メツ、キ部の間隔に対応させ、ノ
ズル１４Ａとマスク１２人との間にシリコンゴム等のシ
ール材（図示せず）を介して挾持させるが、接着剤を用
いてノズル１４Ａに接着固定するか、或いはビス止め等
の機械的手段によシノズル１４Ａに固着しても良い。

特に本発明にあっては、ノズル１４Ａ、　１４Ｂ、　１
４Ｃとワーク１１との極間距離を接近させた方が良く、
セノξレータ３１　Ａ、　３１　Ｂ、　３１　Ｃ，３１
Ｄの固持の確実化は勿論であるが、この極間距離を１１
１ｍ１以下にすることで高電界強度が得られ、極微小部
分メッキが可能となる。

又、このセパレータ３１ＡＪこよシ仕切られたノズル開
口部面積は、同じく該セパレータ３１Ａで以って仕切ら
れたマスク開口部面積より大としである。

つまシ、マスク１２＾のスリットあの幅員（Ｗ、）と、
ノズル１４Ａの噴射溝２９０幅員（Ｗ、）とは、ｗ、＜
　ｗ、の関係がある。

次に外套−１９は、前記した如くそのチャンバξ−１７
の底部に設けられた連通孔１８乃至気液分離器２０を介
して真空ポンプ等の吸引機構２１に接続され、該吸引機
構２１の駆動により前記マスクホルダー１３乃至ノズル
ホルダー１６のメッキ液排除穴１５及び外套−１９のチ
ャンバー１７内を所定の負圧状態にすることができるよ
うにしである。

尚、上記気液分離器２０の底部に連結されたメッキ液夕
／りは、図示しないノミイブ及び加圧用ポンプ機構を介
して前記ノズルホルダー１６のメッキ液供給穴２７に接
続してあって、メッキ液給送閉回路を構成してあシ、メ
ッキ液の循環使用を可能にしである。

紙上の構成に於いて、メッキ処理に先立ち、先ずワーク
１１の被メツキパター／に応じて必要数のセノξレータ
３１Ａを前記した手段によりノズルホルダー１６に配設
し、ノズル開口部の設定とマスキングを同時に完了させ
る一方、ワーク１１をカソード極側とし、又、ノズル１
４Ａをアノード極側にして夫々に所定の直流電圧を印加
する。

次いでワーク１１をマスク１２Ａに密着配置した後、吸
引機構２１を作動させマスクホルダー１３内及び外套−
１９のチャンバー１７内を負圧状態にする一方、メッキ
液加圧用のポンプ機構の駆動音こよって、メッキ液をノ
ズルホルダー１６のメッキ液供給穴２７乃至液供給溝２
６を経てセパレータ３１Ａによって仕切られた各ノズル
開口部から噴射させる。この時セパレータ３１Ａの頂部
３２はワーク１１のガイド９となシ、又側壁面が空気遮
断する状態となる。而してメッキ液はワーク１１の被メ
ツキ部に衝突し電解メッキが行なわれるが、使用済及び
余剰のメッキ液は負圧により強制排除される迄め、ノズ
ル１４Ａ及びマスク１３の近傍で滞留し背圧状態になる
ことを完全に防止し、且つメッキ液の強制吸引排除によ
シメソキ液は常に新鮮な状態であるから、メッキ電流密
度が上昇し高効率でメッキ処理が行なえる上、マスキン
グ部に於いてメッキ液がワーク１１とマスク１２Ａの間
に浸潤するのを防止できるのでハレーシコンの無い高品
位のメッキ層が得られる。

尚、ワーク１１０種類がリート９フレームのインナーｖ
−トｊのボンディングエリア等であって極微小部分メッ
キで済む場合は、被メッキ面とノズル１４Ａの間隔を１
１１Ｉ＋以下に極接近させてメッキ液を噴射させるが、
この場合でもこのわづかな隙間に滞留し易い余剰メッキ
液も負圧の為瞬間的に吸引排除され、被メッキ面には新
鮮なメッキ液が供給されるので、例えばメッキ面積が０
．３〜１．０削２でメッキ厚１μ程度のメッキ処理が可
能である。

上記の余剰乃至使用済のメッキ液は、気液混合状態で外
套１ｉ１９のチャンバー１７を経て気液分離器２０に流
入し、そこで分離されたメッキ液はメッキ液タンクに回
収される。

勿論、ワーク１１の順送とメッキ液加圧ポンプ機構とは
共に連動させることで、上記部分メッキな高速で連続処
理できる上、ワーク１１の種類を変更する場合は、セパ
レータ３１Ａの数及び配置間隔を適宜変更配設するだけ
で済むので、段取シエ数が大巾に低減できる。而かもマ
スク本体２４やノズル１４Ａ及びセパレータ３１Ａの構
造が極めて簡素化され且つ加工精度も緩和できるのでそ
の製造コスト及びメンテナンスコストが極めて廉価にな
り、メッキ効率の向上と相俟ってメッキ処理費の大巾な
低廉化が可能となる。

次に、本発明の他の実施例について説明する。

先ずマスク１４Ｂは、平板状のマスク板４１に長方形の
マスク穴４２を穿設し、これを前記セパレータ３１Ａ乃
至後述のセパレーターの頂部で所定間隔に仕切９被メ、
キ域を夫々正確にマスキングするようにしである。（第
１１図参照） 他方第２実施例に係るノズル１４Ｂは、予め被メツキ部
の配置間隔に対応して切欠溝５１を所定数連設したノズ
ル本体５２と、その切欠溝５１を閉塞可能゛な側板５３
とから成り、両者を連結固定する構造である。（第１２
図参照） 又、第３実施例に係るノズル１４Ｃは、ノズル本体ヌに
同じく被メツキ部の配置間隔に対応してノズル穴５５を
所定数連設してあり、必要に応じてノズル本体シの両側
壁面に直線状のガイド溝Ｉを刻設しである。（第１３図
参照） 更に、前記第１実施例に係るノズル１４Ａは、セパレー
タ３１Ａを装備させる際にこれを固定し易くするため、
ノズル本体３０及び側板あに夫々所定間隔で平行なホー
ルド溝５７を多数形成しても良い。

（第１４図参照） 勿論、これは第２実施例及び第３実施例の両ノズル１４
Ｂ、１４Ｃにも適用可能で、例えば第１５図に図示のよ
うに個別に形成されたノズル穴５の両隣シにホール４ド
溝５７を穿設したノズル１４Ｃ′としても良い。

次に第２実施例に係る七ノぞレータ３１Ｂは、材質も硬
質塩化ビニル樹脂やポリカーボネイト樹脂製で平坦な頂
部６１を有し底部６２はノズル１４Ａ、　１４Ｂ。

１４Ｃに跨設状態で装着可能としてあり、装着すると頂
部６１がマスク１２Ａ、　１２Ｂのマスキング面と同一
面になるようにしてあって、その側壁面６３で空気遮断
を行なうようにしである。、（第１６図参照）又、第３
実施例に係るセパレータ３１Ｃは、頂部例が突出してお
シその頂部側面なテーノで一面６５としてワーク１１の
移送案内し易いようにしてあり、且つ底部に脚部６６を
形成してあって、ノズル１４Ａ。

１４Ｂ、１４Ｃに嵌め込むことができるようにしである
。

（第１７図参照） 勿論、上記テーパー面団は必要不可欠なものでは無く、
平板状でも良い。

更に第４実施例に係るセパレータ３１Ｄは、平坦な頂部
伝を有し底部には脚部６を突設させその内側にはリゾ６
９を形成し、前記ノズル１４Ｃのガイド溝団に該リプ６
９を挿入しスライドさせるようにしである。（第１８図
参照） 以上説明したマスク１２Ａ、　１２Ｂとノズル１４Ａ、
　１４Ｂ。

１４Ｃ及びセパレータ３１Ａ、　３１Ｂ、　３１Ｃ，３
１Ｄの各組合せは、ワーク１１の種類に応じて適宜決定
するものであって、例えば前記したコンタクタ１の場合
は、第１．第３実施例のセノξレータ３１Ａ、３１Ｃを
用いて、ワーク１１のガイＶ及び位置決めを正確に設定
する一方、ＩＣ等のリードフレームのボンディングエリ
ア等にメッキする場合社、第２．第４実施例の七ノξレ
ータ３１Ｂ、３１Ｄを使用することになる。

尚、ノズルホルダー１６も第１実施例のそれに特定され
るものではなく、例えば第１９図に図示の如く、長方体
状の―状のホルダ一本体７１に、メッキ液給送ロア２を
穿設する一方、上部に前記ノズル１４Ｂの切欠溝５１や
、ノズル１４Ｃのノズル穴５に対応した透孔７３を連設
したものを１６’とし、これを外套１ｍ１９に取付け、
ホルダ一本体７１の外周空間部をメッキ液排除通路７４
としても良い。

又、前記ノズル１４Ａ、　１４Ｂ、　１４Ｃをノズルホ
ルダー１６．１６’に装着する場合、その表面にビス止
めや接着する以外に、ノズルホルダー１６．１６’へ埋
設するように嵌入しても良い。

尚、上記各実施例共、マスク及びマスクホルダーは、完
全密閉構造であり外気を遮断しているが、マスク及び／
又はマスクホルダーに外気導入溝を形成して、そこから
流入する外気流によシマスフ近傍のメッキ液の飛散を防
止したり、余剰メッキ液の強制排除等をしても良い。又
、外套−とマスク及びマスクホルダーで形成した密閉空
間内を負圧にしているが、これも、絶対必要条件ではな
く、該密閉空間内を通常の大気圧の状態にしても良いこ
と社勿論である。

以上述べたように本発明によれば、ワークの被メツキ部
をマスキングするマスクには、スリットや長方形のマス
ク穴叫極めて簡単な加工のみを行ない、該スリットやマ
スク穴をワークに対応して所定間隔及び面積に仕切るセ
パレータをノズルに装着し、且つこれによって各被メッ
キ部夫々のメ、キ液噴射流路も形成するようにしである
から、メッキ装置の製造コストが廉価で済み、メッキ処
理時の段取シ工数の大巾削減が可能となシ、又、メッキ
精度や品位の高度維持ができるので歩留りも向上するた
めメッキ処理コストの低廉化が期し得る。

更に、コンタクタやリードフレーム等のように多種多様
性を有し且つ多量に高速処理を要するワークζこ対して
、その対応性に優れる上、メンテナンスやランニングコ
ストの点でも極めて有効的である等幾多の著効を奏する
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は部分メッキのワークの１つであるコンタクタの
部分拡大斜視図、第２図は同上コンタクタに部分メッキ
する場合の在来手段を示す要部拡大縦断面説明図、第３
図はマルチ式部分メッキの在来手段を示す部分縦断説明
図、第４図はマルチ式部分メッキの対象物品の１つであ
るコンタクタのプレス加工状態を示す部分斜視図、第５
図はマルチ式部分メッキに使用する在来のマスクの平面
図、第６図は同上マスクの他の実施態様を示す斜視図、
第７図はマルチ式部分メッキに多用される在来のノズル
を示す部分斜視図である。 第８図以下はいずれも本発明の部分メッキ装置の実施例
に係るもので、第８図は部分メッキ装置の概要構成を示
す縦断面図、第９図は同上部分メッキ装置の分解斜視図
、第１０図は同部分メッキ装置のセパレータの装着態様
を示す部分斜視図、第１１図は第２実施例に係るマスク
の斜視図、第１２図は第２実施例のノズルの斜視図、第
１３図は第３実施例のノズルの斜視図、第１４図は第１
実施例に係るノズルの他の実施態様を示すノズルの要部
斜視図、第１５図は同上第２実施例に係るノズルの他の
実施態様を示すノズルの要部斜視図、第１６図はセパレ
ータの第２実施例を示す拡大斜視図、第１７図はセノξ
レータの第３実施例を示す拡大斜視図、第１８図はセパ
レータの第４実施例を示す拡大斜視図、第１９図はノズ
ルホルダーの他の実施例を示す斜視図である。 １１　・・・　・・・　ワーク １２Ａ、　１２Ｂ・・　マスク １３　・・・・　・　マスクホルタ− １４Ａ、　１４Ｂ、　１４Ｃ・・ノズル１６、１６’　
・　ノズルホルダー １７　・・　チャンノＺ− １９・・・・・　外套― ２４　マスク本体 ２５　・・　・　・・　スリット ２９　・・　噴射溝 ３０．５２　・　ノズル本体 ３１Ａ、　３１Ｂ、３１Ｃ，３１Ｄ　・　セパレータ４
１　・　・・　・　マスク板 ４２　−・・　・・　マスク穴 ５３　・　側　板 ５５　・　ノズル穴 Ｉ　・　・　ガイド９溝 ５７　・　−ホールド溝 ７１　・　・　・・　ホルダ一本体 第１６図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１１マスクとノズルの間に第３の部材である絶縁物製
   のセパレータを任意数介装し、マスクによりマスキング
   された広域被メツキ部を所定数に区割してその各々を部
   分被メツキ部に設定し、且つノズルから噴射されるメッ
   キ液流束も所定数に分けてその夫々が上記部分被メツキ
   部をターゲットとするメッキ液流となるようにしたこと
   を特徴とする七）ξレータ利用の部分メッキ方法。 （２）　被メッキ物に密着するマスクに、広域範囲を包
   括してマスキングするためのスリットや長溝大勢を形成
   し、メッキ液を噴射するノズル側には絶縁物製のセパレ
   ータを任意数立設シ、該セパレータをマスクとノズルに
   より挟持せしめた部分メッキ装［、 （３１セノ九〜夕は、その頂部をマスクの長溝等から突
   出せしめ、部分メッキ域の設定とワークのガイドとを兼
   備せしめたことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載
   の部分メッキ装置。 ＜４）　セパレータは、その頂部を平坦に形成し、且つ
   該平坦面をマスクの長溝等内のみに臨ませ、平面的なワ
   ークに密着せしめて部分被メツキ域を設定するようにし
   たことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の部分メ
   ッキ装置。 （５）　セパレータは、その底部を平坦に形成しノズル
   開口部表面に載置固定するようにしたことを特徴とする
   特許請求の範囲第２項記載の部分メッキ装置。 （６）　セパレータは、その底部にノズルの幅員より広
   い間隔で複数の脚部を突設し、ノズル開口部に跨設せし
   め固定するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲
   第２項記載の部分メッキ装置Ｉｔ。 （７）　マスクは、複数の長方形平板状マスク板を所定
   の間隙を残して並設し、該間隙で被メツキ部の全域を包
   括してマスキングするようにしたことを特徴とする特許
   請求の範囲第２項記載の部分メッキ装置。 （８）　マスクは、平板状のマスク本体に、被メツキ部
   の広域が包括してマスキング可能な長溝穴を穿設したこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の部分メッキ
   装置。 （９）　ノズルは、上記広域包括マスキング範囲より稍
   々長いコ字形切欠部が形成されたノズル本体に、平板状
   の側板を添合して長溝穴状のノズル穴を形成せしめたこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の部分メッキ
   装置。 ａ鋳　ノズルは、所定数の狭幅コ字形状切欠溝がクシ形
   に連設されたノズル本体に、平板状の側板な添合して多
   数のノズル穴を連設せしめたことを特徴とする特許請求
   の範囲第２項記載の部分メッキ装置。 （Ｉυ　ノズルは、一体的に成形されたノズル本体に、
   任意数のノズル穴を連設して穿設させたことを特徴とす
   る特許請求の範囲第２項記載の部分メッキ装置。 Ｑの　ノズルには、前記セパレータが嵌合可能なホール
   ト９溝を任意数連設させたことを特徴とする特許請求の
   範囲第２項記載の部分メッキ装置。 ０階　ノズルには、その側壁面に水平直線状のガイド溝
   を形成し、且つセパレータの脚部内側には該ガイド溝に
   係入するリプを突設させたことを特徴とする特許請求の
   範囲第６項記載の部分メッキ装置。 （１４セパレータは、ガラス又はセラミック等の絶縁性
   剛体素材で成形させたことを特徴とする特許請求の範囲
   第３項乃至第６項のいづれかに記載した部分メッキ装置
   。 （ｌ！９　セパレ＝りは、金属製素材で成形し且つその
   外表面全部をフッ素樹脂等の耐熱耐薬品性素材によりコ
   ーティングしたことを特徴とする特許請求の範囲第３項
   乃至第６項のいづれかに記載した部分メッキ装置。 αｅ　ワークに密着させ広域の被メツキ域が設定可能な
   マスクを着脱交換自在に保持するマスクホルダーと、メ
   ッキ液噴射ノズルを固定保持し、且つメッキ液排除部を
   有し上記マスクホルダーに連結可能なノズルホルダーと
   、該ノズルホルダーと連結され前記マスクホルダーと相
   俟って密閉空間を形成する外套−と、該外套−に連通し
   上記密閉空間内を所定の負圧値に維持する吸引機構とを
   具備し、且つ前記ノズルとマスクの間に任意数のセ・ξ
   レータを立設挾持させて成る部分メッキ装置。