JPS6047955A - 高温水素センサ−素子の製造方法 - Google Patents
高温水素センサ−素子の製造方法Info
- Publication number
- JPS6047955A JPS6047955A JP58156847A JP15684783A JPS6047955A JP S6047955 A JPS6047955 A JP S6047955A JP 58156847 A JP58156847 A JP 58156847A JP 15684783 A JP15684783 A JP 15684783A JP S6047955 A JPS6047955 A JP S6047955A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintered body
- sensor element
- platinum
- wall
- hydrogen sensor
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4073—Composition or fabrication of the solid electrolyte
- G01N27/4074—Composition or fabrication of the solid electrolyte for detection of gases other than oxygen
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は高温水素センサー素子の製造方法、特に焼成
方法に関するものである。
方法に関するものである。
従来、水素センサーとしては、水素の存在によるガスの
熱伝導度の上昇に基づいて間接的に水素社を検出する熱
伝導度型や燐酸化物塩ガラスを用いるものが知られてい
るが、高温域での正確な測定には適さない。そこで近年
ストロンチウム及びセリウムを母体とするプロトン導電
性固体酸化物焼結体を素子とし、該素子間の水素分圧差
によって生ずる電圧を検出することによって、生ずる電
圧を検出することによって２５０°Ｇ・〜／２５θ°Ｃ
という高温域で測定が可能な水素センサーが開発された
。
熱伝導度の上昇に基づいて間接的に水素社を検出する熱
伝導度型や燐酸化物塩ガラスを用いるものが知られてい
るが、高温域での正確な測定には適さない。そこで近年
ストロンチウム及びセリウムを母体とするプロトン導電
性固体酸化物焼結体を素子とし、該素子間の水素分圧差
によって生ずる電圧を検出することによって、生ずる電
圧を検出することによって２５０°Ｇ・〜／２５θ°Ｃ
という高温域で測定が可能な水素センサーが開発された
。
しかし、ストロンチウム及びセリウムを母体とした焼結
体、Ｓ ｒ ０１ ｔ Ｘ Ｍ Ｚ ０３ （１（ここ
でＭはＹ。
体、Ｓ ｒ ０１ ｔ Ｘ Ｍ Ｚ ０３ （１（ここ
でＭはＹ。
Ｓｒ、ｙｂ、Ｎｄ、Ｐｒ、Ｍｙまたは７．ｎを示し、ｚ
ｒ／ｉｏ、 ｓ以下の数値を示し、αはＯから０５の
数値を示九）は焼成幅度／２０θ°Ｃ〜／ざ００°Ｃに
おいて、極めて（他の物質と）反応性が高く、その水素
センサー機能の低下や変形１寸法精度などの歩留り上、
安定焼成が強く望まれていた。
ｒ／ｉｏ、 ｓ以下の数値を示し、αはＯから０５の
数値を示九）は焼成幅度／２０θ°Ｃ〜／ざ００°Ｃに
おいて、極めて（他の物質と）反応性が高く、その水素
センサー機能の低下や変形１寸法精度などの歩留り上、
安定焼成が強く望まれていた。
この発明は、前記焼結体と一切反応しない白金線（ｔた
は白金を主体とする金属線）を用いることによって、従
前の要望に応えたもので、焼結体の上部に１つまたなよ
２つ以」二の貫通孔分設け、該貫通孔に白金線または白
金を主体とした金属線を通し、あらかじめ焼成炉内の」
二部に設けられた耐火物製支持棒に連結し１． Ｒ１記
焼結体を宙づりの状態で焼成するこきを特徴とするもの
である。
は白金を主体とする金属線）を用いることによって、従
前の要望に応えたもので、焼結体の上部に１つまたなよ
２つ以」二の貫通孔分設け、該貫通孔に白金線または白
金を主体とした金属線を通し、あらかじめ焼成炉内の」
二部に設けられた耐火物製支持棒に連結し１． Ｒ１記
焼結体を宙づりの状態で焼成するこきを特徴とするもの
である。
次にこの発明を図面実施例について詳しく述べる０
先ず焼成炉は、焼成炉耐火壁／によって構成され、上部
に耐火突出壁／′を設け、それに高アルミナ質支持俸３
蕾架設す。一方、センサー素子焼結体５の」二部に貫通
孔乙を２個所膜け、白金線ｔを通して前記支持棒３と連
結し、センサー素子焼結体５を焼成炉内に宙吊り状態に
し、発熱体ｌによって焼成した。焼成後、貫通孔乙は力
ｙ）することによって製品は得られた。
に耐火突出壁／′を設け、それに高アルミナ質支持俸３
蕾架設す。一方、センサー素子焼結体５の」二部に貫通
孔乙を２個所膜け、白金線ｔを通して前記支持棒３と連
結し、センサー素子焼結体５を焼成炉内に宙吊り状態に
し、発熱体ｌによって焼成した。焼成後、貫通孔乙は力
ｙ）することによって製品は得られた。
この発明方法によれば、叙」二の構成によって焼成時の
問題を解消し、寸法精度並びに品質−に、例れたセンサ
ー素子を提供できるようになった優れた効果がある。
問題を解消し、寸法精度並びに品質−に、例れたセンサ
ー素子を提供できるようになった優れた効果がある。
図１６１はこの発明の実施例を示す縦断面図である。
Claims (1)
- ストロンチウム及びセリウムを母体とするプロトン導電
性固体酸化物焼結体を用いた高温水素センサー素子の製
造方法において、前記焼結体を、ゴ一部に通した白金線
または一白金を主体とした金属線によって宙づり状態と
して焼成炉内で焼成するとよを特徴とする高温水素セン
サー素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58156847A JPS6047955A (ja) | 1983-08-25 | 1983-08-25 | 高温水素センサ−素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58156847A JPS6047955A (ja) | 1983-08-25 | 1983-08-25 | 高温水素センサ−素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6047955A true JPS6047955A (ja) | 1985-03-15 |
Family
ID=15636669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58156847A Pending JPS6047955A (ja) | 1983-08-25 | 1983-08-25 | 高温水素センサ−素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6047955A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58144178A (ja) * | 1982-02-22 | 1983-08-27 | 東レ株式会社 | 透湿性、耐漏水性コ−テイング生地 |
| JPS6375183A (ja) * | 1986-09-11 | 1988-04-05 | 帝人株式会社 | 防水透湿性布帛 |
| KR20150015535A (ko) | 2012-07-06 | 2015-02-10 | 다이킨 고교 가부시키가이샤 | 투습 방수 포백 |
| KR20160143878A (ko) | 2012-07-06 | 2016-12-14 | 다이킨 고교 가부시키가이샤 | 투습 방수 포백 및 그 제법 |
-
1983
- 1983-08-25 JP JP58156847A patent/JPS6047955A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58144178A (ja) * | 1982-02-22 | 1983-08-27 | 東レ株式会社 | 透湿性、耐漏水性コ−テイング生地 |
| JPS6375183A (ja) * | 1986-09-11 | 1988-04-05 | 帝人株式会社 | 防水透湿性布帛 |
| KR20150015535A (ko) | 2012-07-06 | 2015-02-10 | 다이킨 고교 가부시키가이샤 | 투습 방수 포백 |
| KR20160143878A (ko) | 2012-07-06 | 2016-12-14 | 다이킨 고교 가부시키가이샤 | 투습 방수 포백 및 그 제법 |
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