JPS6055001B2 - パタ−ン比較検査装置 - Google Patents
パタ−ン比較検査装置Info
- Publication number
- JPS6055001B2 JPS6055001B2 JP52146059A JP14605977A JPS6055001B2 JP S6055001 B2 JPS6055001 B2 JP S6055001B2 JP 52146059 A JP52146059 A JP 52146059A JP 14605977 A JP14605977 A JP 14605977A JP S6055001 B2 JPS6055001 B2 JP S6055001B2
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- JP
- Japan
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- positional deviation
- local area
- shift
- imaging device
- pattern comparison
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体部品、電子部品、マスクなどに用いら
れる回路、配線等のパターンについて比較検査するパタ
ーンの比較検査装置に関するものである。
れる回路、配線等のパターンについて比較検査するパタ
ーンの比較検査装置に関するものである。
フォトマスクなどの外観検査に比較検査法と呼ばれるも
のがよく用いられる。
のがよく用いられる。
これは２つの同一の形状を有する部分を比較し、不一致
があると、どちらか一方に欠陥があると判定するもので
ある。例えば、特開昭５０−１３１４５時に記載されて
いるように第１図に示す如くフォトマスク検査に用いら
れる２枚のマスク１、２を位置合せし、マスク１、２上
の同一の部分をレンズ３、４を介して撮像装置５、６で
撮像し、順次検査していく装置において、微小な特徴を
有する部分を抽出する判定器として、第２図に示すよう
な判定器７、８を用い、微小な部分が一方のマスクだけ
から検出されると、マスク１、２の何れか一方に欠陥が
あると判定するものである。第２図の判定器７、８は（
ａ）■（ｂ）■（ｃ）■（ｄ）■（ｅ）■（ｆ）のとき
、（ｐｉ）≠（ａ）（ｉ＝１〜ｎ）のものが１個でも成
立すると、微小部があるとするものであり、ｎ絵素以下
の幅の微小部を抽出できる。しかし、２枚のマスクの位
置合せの精度には限度があり、かつ映像信号の量子化誤
差などもあるため、実際には、第２図の判定器７、８を
第３図のように位置ずれ誤差をカバーできる範囲に配置
する。即ぢ判定器７（第２図）のｃに注目して説明する
。第２図、７のｃは第３図では７ａに相当し、かつ第３
図では７ａを左下端とする１つの判定器７のみが図示さ
れている。
があると、どちらか一方に欠陥があると判定するもので
ある。例えば、特開昭５０−１３１４５時に記載されて
いるように第１図に示す如くフォトマスク検査に用いら
れる２枚のマスク１、２を位置合せし、マスク１、２上
の同一の部分をレンズ３、４を介して撮像装置５、６で
撮像し、順次検査していく装置において、微小な特徴を
有する部分を抽出する判定器として、第２図に示すよう
な判定器７、８を用い、微小な部分が一方のマスクだけ
から検出されると、マスク１、２の何れか一方に欠陥が
あると判定するものである。第２図の判定器７、８は（
ａ）■（ｂ）■（ｃ）■（ｄ）■（ｅ）■（ｆ）のとき
、（ｐｉ）≠（ａ）（ｉ＝１〜ｎ）のものが１個でも成
立すると、微小部があるとするものであり、ｎ絵素以下
の幅の微小部を抽出できる。しかし、２枚のマスクの位
置合せの精度には限度があり、かつ映像信号の量子化誤
差などもあるため、実際には、第２図の判定器７、８を
第３図のように位置ずれ誤差をカバーできる範囲に配置
する。即ぢ判定器７（第２図）のｃに注目して説明する
。第２図、７のｃは第３図では７ａに相当し、かつ第３
図では７ａを左下端とする１つの判定器７のみが図示さ
れている。
７ａの絵素を中心に上下左右に１絵素のずれを許容する
設計とすれば、判定器（具体的には第５図に示す）は第
２図に示す７が、７ａの位置が７ｂ〜７１に対応する数
、合計９個必要となる。
設計とすれば、判定器（具体的には第５図に示す）は第
２図に示す７が、７ａの位置が７ｂ〜７１に対応する数
、合計９個必要となる。
同様に第２図に示す判定器８の場合、第３図における８
ａの位置が８ｂ〜８１に対応する数、合計９個必要とな
り、全部で１媚の判定器が、装置規模を大きくするとい
う問題点があつ″た。
ａの位置が８ｂ〜８１に対応する数、合計９個必要とな
り、全部で１媚の判定器が、装置規模を大きくするとい
う問題点があつ″た。
本発明の目的は、上記した従来技術の問題点を解決し、
より簡略化した方法でパターンの比較検査をできるよう
にしたパターンの比較検査装置を提供するにある。この
目的のため、本発明は、特徴抽出の判定器を位置すれ分
だけ配置せすに各撮像装置に対し単に１つだけ配置し、
判定器出力をシフトレジスタへ入力し、シフトレジスタ
から位置ずれをカバーする局部メモリを切り出し、各判
定器出力を局部メモリ間で比較することにより、パター
ン検査を行なうことを特徴とするものである。
より簡略化した方法でパターンの比較検査をできるよう
にしたパターンの比較検査装置を提供するにある。この
目的のため、本発明は、特徴抽出の判定器を位置すれ分
だけ配置せすに各撮像装置に対し単に１つだけ配置し、
判定器出力をシフトレジスタへ入力し、シフトレジスタ
から位置ずれをカバーする局部メモリを切り出し、各判
定器出力を局部メモリ間で比較することにより、パター
ン検査を行なうことを特徴とするものである。
即ち本発明は、第１、及び第２の撮像装置で本来同一形
状部分を各々撮像し、一方の装置より抽出した特徴が他
方の装置から抽出されないとき、欠陥があるとするパタ
ーンの比較検査装置において、各撮像装置からの映像信
号を２値化して得られる各２値信号を第１、及び第２の
シフトメモリに入力し、第１、及び第２の局部エリアに
切出し、各局部エリアにおける該２値信号の状態により
所定の特徴の有無を判定する第１、及び第２の判定手段
を設け、該各判定手段の出力を第３、及び第４のシフト
メモリに入力し、各撮像装置により得られる画像の位置
のすれ量に対応する第３、及び第４の局部エリアに切出
し、該一方の局部エリアの中心絵素において特徴有のと
き、他方の局部エリアの少なくとも１絵素において特徴
無と検出されたとき欠陥として判定する手段を設けたこ
とを特徴とするパターンの比較検査装置である。以下本
発明の具体例を微小部を抽出するものとして、位置ずれ
が±１絵素である場合について以下に説明する。
状部分を各々撮像し、一方の装置より抽出した特徴が他
方の装置から抽出されないとき、欠陥があるとするパタ
ーンの比較検査装置において、各撮像装置からの映像信
号を２値化して得られる各２値信号を第１、及び第２の
シフトメモリに入力し、第１、及び第２の局部エリアに
切出し、各局部エリアにおける該２値信号の状態により
所定の特徴の有無を判定する第１、及び第２の判定手段
を設け、該各判定手段の出力を第３、及び第４のシフト
メモリに入力し、各撮像装置により得られる画像の位置
のすれ量に対応する第３、及び第４の局部エリアに切出
し、該一方の局部エリアの中心絵素において特徴有のと
き、他方の局部エリアの少なくとも１絵素において特徴
無と検出されたとき欠陥として判定する手段を設けたこ
とを特徴とするパターンの比較検査装置である。以下本
発明の具体例を微小部を抽出するものとして、位置ずれ
が±１絵素である場合について以下に説明する。
第４図，第５図に撮像装置７からの映像信号を２値化し
た後、この２値信号９から、判定器７の判定を行なう例
を示す。２値信号９はシフトレジスタ等で構成されるメ
モリであつてその長さが１走査線分の絵素数であるシフ
トメモリ１０を経由し、５×３絵素の局部メモリ１１に
映像の局部状態として遂次記憶されていく。
た後、この２値信号９から、判定器７の判定を行なう例
を示す。２値信号９はシフトレジスタ等で構成されるメ
モリであつてその長さが１走査線分の絵素数であるシフ
トメモリ１０を経由し、５×３絵素の局部メモリ１１に
映像の局部状態として遂次記憶されていく。
この局部メモリ１１に記憶された局部映像に対し、第５
図に示すような論理判定を行ない、微小部判定を行なう
ものである。第５図において、１２は排他的論理和回路
群であり、１３はＮＯＲ回路、１４は０Ｒ回路、１５は
ＡＮＤ回路である。（ａ）＝（ｂ）＝（ｃ）＝（ｄ）＝
（ｅ）＝（ｆ）が成立するとＮＯＲ回路１３の出力はい
わゆるハイレベル状態の６′ｒ゛になり、０Ｒ回路１４
はＰ１〜らがｆと異なるときのみ、出力を“１”にする
。よつて、微小部が存在すると、ＡＮＤ回路１５の入力
がともに゜゜１゛となつてその出力１６が゜゛１゛にな
る。第４図，第５図は判定器７のものを示すが、判定器
８のものも同様に構成することができる。いま、位置ず
れが±１絵素と仮定しているが、従来の方法によればこ
のずれをカバーするには第６図のように判定器からの２
値化信号９″をシフトメモリ１『を介して局部メモリ１
「に記憶させ、かつ、第５図の回路を９個用意する必要
がある。しかし、本発明においては、位置ずれをカバー
する分だけの判定器を用意する代りに第５図に示す回路
を有する判定器は、７，８に対応させて各々１つだけ用
意し、第５図におけるＡＮＤ回路１５の出力１６を第７
図のように、シフトレジスタ等で構成するその長さが１
走査線分の絵素数であるシフトメモリ１７へ入力し、さ
らに容量が３×３の局部エリア１８を切り出すことによ
り行なう。局部エリア１８の特定位置エリアＡ２２に判
定器７あるいは判定器８から、第２図におけるＣの位置
が第３図における７ａの位置に、あるいは第２図におけ
るｄの位置が第３図における８ａの位置に切出されて得
られる判定出力が入力されているとすると、Ａｉｊ（１
＝１〜３，ｊ＝１〜３，ｉ＝ｊ≠２）には、判定器７あ
るいは判定器８から、第２図、ｃの位置が第３図７ｂ〜
７１の位置に、あるいは第２図、ｄの位置が第３図、８
ｂ〜８１の位置にシフトして切出されて得られる判定出
力が入力されており、局部エリア１８（第７図）には位
置ずれをカバー・する範囲における微小部の有無が記憶
されていることになる。したがつて、撮像装置５からの
映像信号に対し、判定器７の判定を行ない、第７図のよ
うな局部エリアを切り出したときの局部エリアの状態を
Ａｉｊ（ａ１）（１＝１〜３，ｊ＝１〜３）、撮像装置
６からの映像信号に対し、判定器７の判定を行ない第７
図のような局部エリアを切り出したときの局部エリアの
状態をＡｉｊ（Ａ２）（１＝１〜３，ｊ＝１〜３）とし
、また更に撮像装置５からの映像信号に対し、判定器８
の判定を行ない第７図のような局部エリアを切り出した
ときの局部エリアの状態Ａｉｊ（ｂ１）（１＝１〜３，
ｊ＝１〜３）、撮像装置６からの映像信号に対し、判定
器８の判定を行ない第７図のような局部エリアを切り出
したときの局部エリアの状態Ａｉｊ（Ｂ２）とすると、
比較検査により、欠陥を判定する具体例は第８図のよう
に構成される。この第８図において、１９，２０はＮＯ
Ｒ回路であり、それぞれ±１絵素の位置ずれの範囲内に
おいて各映像信号から微小部が検出されると、出力が゛
゜０゛となり、微小部が存在しないと゜゜１゛となる。
２１〜２４はＡＮＤ回路であり、ＡＮＤ回路２１，２２
は撮像装置５からの映像信号において、判定器７，８に
より微小部が検出されたとき、位置ずれをカバーする範
囲において、撮像装置６からの映像信号から微小部が検
出されないときにその出力が゜“１゛となり、また、Ａ
ＮＤ回路２３，２４は撮像装置６からの映像信号におい
て判定器７，８により微小部が検出されたとき、位置ず
れをカバーする範囲内において撮像装置５からの映像信
号から微小部が検出されないときにその出力が゜゜１゛
となる。
図に示すような論理判定を行ない、微小部判定を行なう
ものである。第５図において、１２は排他的論理和回路
群であり、１３はＮＯＲ回路、１４は０Ｒ回路、１５は
ＡＮＤ回路である。（ａ）＝（ｂ）＝（ｃ）＝（ｄ）＝
（ｅ）＝（ｆ）が成立するとＮＯＲ回路１３の出力はい
わゆるハイレベル状態の６′ｒ゛になり、０Ｒ回路１４
はＰ１〜らがｆと異なるときのみ、出力を“１”にする
。よつて、微小部が存在すると、ＡＮＤ回路１５の入力
がともに゜゜１゛となつてその出力１６が゜゛１゛にな
る。第４図，第５図は判定器７のものを示すが、判定器
８のものも同様に構成することができる。いま、位置ず
れが±１絵素と仮定しているが、従来の方法によればこ
のずれをカバーするには第６図のように判定器からの２
値化信号９″をシフトメモリ１『を介して局部メモリ１
「に記憶させ、かつ、第５図の回路を９個用意する必要
がある。しかし、本発明においては、位置ずれをカバー
する分だけの判定器を用意する代りに第５図に示す回路
を有する判定器は、７，８に対応させて各々１つだけ用
意し、第５図におけるＡＮＤ回路１５の出力１６を第７
図のように、シフトレジスタ等で構成するその長さが１
走査線分の絵素数であるシフトメモリ１７へ入力し、さ
らに容量が３×３の局部エリア１８を切り出すことによ
り行なう。局部エリア１８の特定位置エリアＡ２２に判
定器７あるいは判定器８から、第２図におけるＣの位置
が第３図における７ａの位置に、あるいは第２図におけ
るｄの位置が第３図における８ａの位置に切出されて得
られる判定出力が入力されているとすると、Ａｉｊ（１
＝１〜３，ｊ＝１〜３，ｉ＝ｊ≠２）には、判定器７あ
るいは判定器８から、第２図、ｃの位置が第３図７ｂ〜
７１の位置に、あるいは第２図、ｄの位置が第３図、８
ｂ〜８１の位置にシフトして切出されて得られる判定出
力が入力されており、局部エリア１８（第７図）には位
置ずれをカバー・する範囲における微小部の有無が記憶
されていることになる。したがつて、撮像装置５からの
映像信号に対し、判定器７の判定を行ない、第７図のよ
うな局部エリアを切り出したときの局部エリアの状態を
Ａｉｊ（ａ１）（１＝１〜３，ｊ＝１〜３）、撮像装置
６からの映像信号に対し、判定器７の判定を行ない第７
図のような局部エリアを切り出したときの局部エリアの
状態をＡｉｊ（Ａ２）（１＝１〜３，ｊ＝１〜３）とし
、また更に撮像装置５からの映像信号に対し、判定器８
の判定を行ない第７図のような局部エリアを切り出した
ときの局部エリアの状態Ａｉｊ（ｂ１）（１＝１〜３，
ｊ＝１〜３）、撮像装置６からの映像信号に対し、判定
器８の判定を行ない第７図のような局部エリアを切り出
したときの局部エリアの状態Ａｉｊ（Ｂ２）とすると、
比較検査により、欠陥を判定する具体例は第８図のよう
に構成される。この第８図において、１９，２０はＮＯ
Ｒ回路であり、それぞれ±１絵素の位置ずれの範囲内に
おいて各映像信号から微小部が検出されると、出力が゛
゜０゛となり、微小部が存在しないと゜゜１゛となる。
２１〜２４はＡＮＤ回路であり、ＡＮＤ回路２１，２２
は撮像装置５からの映像信号において、判定器７，８に
より微小部が検出されたとき、位置ずれをカバーする範
囲において、撮像装置６からの映像信号から微小部が検
出されないときにその出力が゜“１゛となり、また、Ａ
ＮＤ回路２３，２４は撮像装置６からの映像信号におい
て判定器７，８により微小部が検出されたとき、位置ず
れをカバーする範囲内において撮像装置５からの映像信
号から微小部が検出されないときにその出力が゜゜１゛
となる。
よつてＡＮＤ回路２１〜２４の出力を０Ｒ回路２５て論
理和すれば欠陥判定出力２６をとり出すことができる。
以上説明したように本発明によれば、従来の方法では装
置規模が大きくなる原因の１つである第５図に示す部分
を１つに減らすことが可能になる。
理和すれば欠陥判定出力２６をとり出すことができる。
以上説明したように本発明によれば、従来の方法では装
置規模が大きくなる原因の１つである第５図に示す部分
を１つに減らすことが可能になる。
特に位置ずれが具体例に述べた±１絵素のものよりも大
きい、±２絵素、±３絵素と大きくなればなるほど本発
明による効果は大きくなるこ・″左が判る。即ち本発明
によれば、画像に相対的に位置ずれが生じてもこの微小
欠陥を正確にかつ高能率でもつて検出することができる
優れた実用的な作用効果を奏する。
きい、±２絵素、±３絵素と大きくなればなるほど本発
明による効果は大きくなるこ・″左が判る。即ち本発明
によれば、画像に相対的に位置ずれが生じてもこの微小
欠陥を正確にかつ高能率でもつて検出することができる
優れた実用的な作用効果を奏する。
第１図は同一マスクの外観を撮像して欠陥を検出する比
較検査装置、第２図は微小部抽出を行う検出用局部エリ
アであつて、異なる絵素列による２能様を示す図、第３
図は第２図の絵素列を±１絵素の位置ずれ誤差を許容す
べく配置することの説明図、第４図は第２図の一方の絵
素列に対応する判定器の入力部分の具体的構成であつて
、２つのシフトメモリから成るシフトメモリの組と検出
用局部エリアとを示す図、第５図は第４図の検出用局部
エリアに記憶された２値信号間の論理演算を行う判定手
段の具体的構成を示す図、第６図は従来技術によつて位
置すれを許容する判定器を構成する場合、撮像装置から
２値化して得られた信・号を入力する部分の具体的構成
図、第７図は第３図の如く検出用局部エリアを±１絵素
ずらして第５図の判定手段に入力することで、該手段の
出力信号をシフトメモリの組を通して位置ずれ対応局部
エリアに入力することを示す図、第８図は２つ・の撮像
装置に対応する第７図の位置すれ対応局部エリアからの
信号を比較判定する欠陥検出手段を示す図である。 １，２・・・・・・マスク、５，６・・・・・・撮像装
置、７，８，１１・・・・・・検出用局部エリア、１０
，１７・・・・・・フシフトメモリの組、１２・・・・
・・排他的論理和回路群、１３，１９，２０・・・・・
・ＮＯＲ回路、１４，２５・・・・・・０Ｒ回路、１５
，２１〜２４・・・・・・ＡＮＤ回路、１８・・・・・
・位置ずれ対応局部エリア。
較検査装置、第２図は微小部抽出を行う検出用局部エリ
アであつて、異なる絵素列による２能様を示す図、第３
図は第２図の絵素列を±１絵素の位置ずれ誤差を許容す
べく配置することの説明図、第４図は第２図の一方の絵
素列に対応する判定器の入力部分の具体的構成であつて
、２つのシフトメモリから成るシフトメモリの組と検出
用局部エリアとを示す図、第５図は第４図の検出用局部
エリアに記憶された２値信号間の論理演算を行う判定手
段の具体的構成を示す図、第６図は従来技術によつて位
置すれを許容する判定器を構成する場合、撮像装置から
２値化して得られた信・号を入力する部分の具体的構成
図、第７図は第３図の如く検出用局部エリアを±１絵素
ずらして第５図の判定手段に入力することで、該手段の
出力信号をシフトメモリの組を通して位置ずれ対応局部
エリアに入力することを示す図、第８図は２つ・の撮像
装置に対応する第７図の位置すれ対応局部エリアからの
信号を比較判定する欠陥検出手段を示す図である。 １，２・・・・・・マスク、５，６・・・・・・撮像装
置、７，８，１１・・・・・・検出用局部エリア、１０
，１７・・・・・・フシフトメモリの組、１２・・・・
・・排他的論理和回路群、１３，１９，２０・・・・・
・ＮＯＲ回路、１４，２５・・・・・・０Ｒ回路、１５
，２１〜２４・・・・・・ＡＮＤ回路、１８・・・・・
・位置ずれ対応局部エリア。
Claims (1)
- １ 第１及び第２の撮像装置で、本来同一形状である部
分を各々撮像し、一方の装置より抽出した特徴が他方の
装置から抽出されないとき欠陥があるとするパターンの
比較検査装置において、前記各々の撮像装置からの映像
信号を２値化して得られる各々の２値信号を入力する第
１及び第２のシフトメモリと、前記シフトメモリの内容
を切出して記憶する第１及び第２の検出用局部エリアと
、前記各々の検出用局部エリアにおける前記２値信号の
状態により所定の特徴の有無を判定する第１及び第２の
判定手段と、前記各々の判定手段の出力信号を入力する
第３及び第４のシフトメモリと、前記各々の撮像装置に
より得られる画像の位置ずれ量に対応するメモリ内容を
切出し記憶する第１及び第２の位置ずれ対応局部エリア
と、前記一方の撮像装置に連なる位置ずれ対応局部エリ
アの中心絵素において特徴有のとき、前記他方の撮像装
置に連なる位置ずれ対応局部エリアの全絵素において特
徴無と検出されたとき、欠陥有と判定する手段とを設け
たことを特徴とするパターンの比較検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52146059A JPS6055001B2 (ja) | 1977-12-07 | 1977-12-07 | パタ−ン比較検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52146059A JPS6055001B2 (ja) | 1977-12-07 | 1977-12-07 | パタ−ン比較検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5479066A JPS5479066A (en) | 1979-06-23 |
| JPS6055001B2 true JPS6055001B2 (ja) | 1985-12-03 |
Family
ID=15399144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52146059A Expired JPS6055001B2 (ja) | 1977-12-07 | 1977-12-07 | パタ−ン比較検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6055001B2 (ja) |
-
1977
- 1977-12-07 JP JP52146059A patent/JPS6055001B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5479066A (en) | 1979-06-23 |
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