JPS61120629A - 脱着可能な真空用冷却トラツプ - Google Patents
脱着可能な真空用冷却トラツプInfo
- Publication number
- JPS61120629A JPS61120629A JP24429484A JP24429484A JPS61120629A JP S61120629 A JPS61120629 A JP S61120629A JP 24429484 A JP24429484 A JP 24429484A JP 24429484 A JP24429484 A JP 24429484A JP S61120629 A JPS61120629 A JP S61120629A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid nitrogen
- piping
- trap
- cooling trap
- flange
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D8/00—Cold traps; Cold baffles
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は真空装置に用いる真空用冷却トラップ（シェラ
ウド）に関するものである。
ウド）に関するものである。
従来の真空用冷却トラップは、ＭＢＩＣ装置などの液体
窒素シェラウド、チタンサブリメーシ１ンポンプ用のト
ラップ、油拡散ポンプ用トラップ。
窒素シェラウド、チタンサブリメーシ１ンポンプ用のト
ラップ、油拡散ポンプ用トラップ。
四友極分析計用のシェラウドなどがある。これらの真空
用冷却トラップは図１に示すように冷却媒体である液体
窒素等°を溜めることのできる空間が設けられていた。
用冷却トラップは図１に示すように冷却媒体である液体
窒素等°を溜めることのできる空間が設けられていた。
しかし従来の液体窒素溜め込み式の真空冷却用トラップ
では容器が大きくなることや、トラップ自体の穴あけ、
複雑な形状が困難である。また容器が大きくなり、重い
た。めに脱着可能とすることが極、めで問題であった。
では容器が大きくなることや、トラップ自体の穴あけ、
複雑な形状が困難である。また容器が大きくなり、重い
た。めに脱着可能とすることが極、めで問題であった。
冷却トラップ自体を蒸着物質でよごした場合、取りかえ
ることは不可能であった。
ることは不可能であった。
本発明は従来の上記欠点を解決するため、二枚の熱伝導
性のよい基鈑間に液体窒素の通ることのできる配管パタ
ーンを設け、軽量で小型化が容易でかつ複雑な形状も容
易に行うことができ脱着可能な真空用冷却トラップを得
ることを目的としている。
性のよい基鈑間に液体窒素の通ることのできる配管パタ
ーンを設け、軽量で小型化が容易でかつ複雑な形状も容
易に行うことができ脱着可能な真空用冷却トラップを得
ることを目的としている。
上記問題点を解決するために、熱伝導性のよい二枚の基
板に配管パターンを設け、この配管パターンに接合でき
ない物質を塗布し、二枚の基板を加熱加圧して接合する
とともに、配管部の一端を閉じ、もう一方の趨部より加
圧して液体窒素を通すことのできる管を作ることができ
る。この配管された部分をトラップ部とすることができ
る。このトラップ部の両端に管を取りつけその先−にフ
ランジまたは脱着可能な接合部を設けて、軽量で複雑な
形状となる脱着可能な真空用冷却トラップとすることが
できる。
板に配管パターンを設け、この配管パターンに接合でき
ない物質を塗布し、二枚の基板を加熱加圧して接合する
とともに、配管部の一端を閉じ、もう一方の趨部より加
圧して液体窒素を通すことのできる管を作ることができ
る。この配管された部分をトラップ部とすることができ
る。このトラップ部の両端に管を取りつけその先−にフ
ランジまたは脱着可能な接合部を設けて、軽量で複雑な
形状となる脱着可能な真空用冷却トラップとすることが
できる。
以下にこの発明の実施例を図面に基づいて説明する。第
１図は従来から用いられている溜め込み式の真空用冷却
トラップである。ステンレス調からなる７テンジ１の二
ケ所に穴をあけ冷却トラップ４の取付けられた液体窒素
導入口２．他の口５を溶接６によって取付けられている
。液体窒素導入口より円筒状の冷却トラップに液体窒素
５が溜められていた。このような真空冷却トラップでは
溶接箇所も多くかつステンレス鋼材を用いているために
液体窒素のない部分はトラップ効果がかなり減少してい
た。複雑な形状も困難であるし、非常に重いものとなっ
ていた。第２図は本発明による平板型の真空冷却トラッ
プの一実施例である。
１図は従来から用いられている溜め込み式の真空用冷却
トラップである。ステンレス調からなる７テンジ１の二
ケ所に穴をあけ冷却トラップ４の取付けられた液体窒素
導入口２．他の口５を溶接６によって取付けられている
。液体窒素導入口より円筒状の冷却トラップに液体窒素
５が溜められていた。このような真空冷却トラップでは
溶接箇所も多くかつステンレス鋼材を用いているために
液体窒素のない部分はトラップ効果がかなり減少してい
た。複雑な形状も困難であるし、非常に重いものとなっ
ていた。第２図は本発明による平板型の真空冷却トラッ
プの一実施例である。
ステンレスまたはアルミニウムのフランジ１に液体窒素
導入用ボート７および排出用ボート用の穴をあけ各ボー
トを溶接により取付けることができる。液体窒素導入お
よび排出用ボートの材賀はフランジ１と同質とすること
が望ましい。二枚の熱伝導性のよい基板に冷却媒体を通
すことのできる配管パターン８を設けた冷却板９に接続
管と配管１１を接続し、熱伝導の悪いフランジ１２を間
通して導入管１３を接続することができる。冷却板９は
熱伝導性の良いアルミニウム、銅などを用いることがで
きる。周囲のチャンバー、フランジ１と冷却媒体からの
断熱効果を上げるために、冷却板９と同質材の配管１１
は、熱伝導の悪い接続フランジ１２と接続管１０と接続
する必要がある。
導入用ボート７および排出用ボート用の穴をあけ各ボー
トを溶接により取付けることができる。液体窒素導入お
よび排出用ボートの材賀はフランジ１と同質とすること
が望ましい。二枚の熱伝導性のよい基板に冷却媒体を通
すことのできる配管パターン８を設けた冷却板９に接続
管と配管１１を接続し、熱伝導の悪いフランジ１２を間
通して導入管１３を接続することができる。冷却板９は
熱伝導性の良いアルミニウム、銅などを用いることがで
きる。周囲のチャンバー、フランジ１と冷却媒体からの
断熱効果を上げるために、冷却板９と同質材の配管１１
は、熱伝導の悪い接続フランジ１２と接続管１０と接続
する必要がある。
接続フランジ１２はステンレス材を用いることができる
。真空チャンバーに取付けられるフランジ１は、真空チ
ャンバーと同質が望ましい。すなわちチャンバーが３０
８５０４では取付は用フランジ７は５ＵＳ３０４とする
ことができる。取付は用フランジ７が５Ｏ８３０４の場
合は接続フランジ１２がステンレス材を用いているので
シール材１４であるガスケットは銅ガスケットも用いる
ことができる。しかし熱収縮があるので銅被覆のヘリコ
ツレックスまたはメタルオーリングが望ましい。真空チ
ャンバーがアルミニウム合金の場合は、取付は用フラン
ジ７はアルミニウム合金を用い、シール材１４はアルミ
ニウム被覆のヘリコツレックスが用いられる。取付は用
フランジ７と接続フランジ１２との締付けはステンレス
材のボルト１５、およびナツト１６で締付けることがで
きる。上記のようなフランジおよび、シール材で脱着可
能な冷却用トラップとすることができる。第３図にチタ
ンサブリメーシ百ンポンプに用いられる円筒状の本発明
による脱着可能な冷却用トラップの他の実施例を示す。
。真空チャンバーに取付けられるフランジ１は、真空チ
ャンバーと同質が望ましい。すなわちチャンバーが３０
８５０４では取付は用フランジ７は５ＵＳ３０４とする
ことができる。取付は用フランジ７が５Ｏ８３０４の場
合は接続フランジ１２がステンレス材を用いているので
シール材１４であるガスケットは銅ガスケットも用いる
ことができる。しかし熱収縮があるので銅被覆のヘリコ
ツレックスまたはメタルオーリングが望ましい。真空チ
ャンバーがアルミニウム合金の場合は、取付は用フラン
ジ７はアルミニウム合金を用い、シール材１４はアルミ
ニウム被覆のヘリコツレックスが用いられる。取付は用
フランジ７と接続フランジ１２との締付けはステンレス
材のボルト１５、およびナツト１６で締付けることがで
きる。上記のようなフランジおよび、シール材で脱着可
能な冷却用トラップとすることができる。第３図にチタ
ンサブリメーシ百ンポンプに用いられる円筒状の本発明
による脱着可能な冷却用トラップの他の実施例を示す。
フランジ１に取り付は用７ツンジ７２％取付けられてい
る。フランジ１にはチタンサブリメ−シランポンプ取付
は用フランジ１７か設けられている。接続フランジ１２
は、第２図の実施例と同様の方法で作られた冷却トラッ
プを円筒状にした冷却トラップ１８か冷却用配管パター
ン８が設けられた冷却用トラップ部と接続管で接続され
ている。チタンサブリメーシゴンポンプ取付は用フラン
ジ１７にはチタンフィラメント１９がフィードスルーに
よって取付けられたフランジで＆［されている。フラン
ジ１がアルミニウム合金の場合チタンサブリメーション
取付＆を用フランジ部のシール材はアルミニウムのメタ
ルガスケットが望ましい。液体窒素導入管の外側には断
熱材２０を用いることができる。本発明による真空用冷
却トラップは液体窒素を導入口より導入して排出口より
余った液体窒素は液体窒素容器に戻すために循環的に導
入することができる。したがって真空冷却用トラップの
向き、姿正はどのような方向にでも取付けることができ
る。本発明による真空用冷却トラップはＭＢＦ！装置等
のシェラウドにも用いることができる。第４図に本発明
による脱着可能な真空用冷却トラップの脱着部の他の実
施例を示す。フランジ１にベローズ部２２ができた取付
は部を浴接する。冷却トラップ部２３はネジの切られた
接続管２４に接続することができる。接続管２４と取付
は部はシール材である小型のガスケット２５を接触させ
ボルト２６によりて締めつけてシールすることができる
。
る。フランジ１にはチタンサブリメ−シランポンプ取付
は用フランジ１７か設けられている。接続フランジ１２
は、第２図の実施例と同様の方法で作られた冷却トラッ
プを円筒状にした冷却トラップ１８か冷却用配管パター
ン８が設けられた冷却用トラップ部と接続管で接続され
ている。チタンサブリメーシゴンポンプ取付は用フラン
ジ１７にはチタンフィラメント１９がフィードスルーに
よって取付けられたフランジで＆［されている。フラン
ジ１がアルミニウム合金の場合チタンサブリメーション
取付＆を用フランジ部のシール材はアルミニウムのメタ
ルガスケットが望ましい。液体窒素導入管の外側には断
熱材２０を用いることができる。本発明による真空用冷
却トラップは液体窒素を導入口より導入して排出口より
余った液体窒素は液体窒素容器に戻すために循環的に導
入することができる。したがって真空冷却用トラップの
向き、姿正はどのような方向にでも取付けることができ
る。本発明による真空用冷却トラップはＭＢＦ！装置等
のシェラウドにも用いることができる。第４図に本発明
による脱着可能な真空用冷却トラップの脱着部の他の実
施例を示す。フランジ１にベローズ部２２ができた取付
は部を浴接する。冷却トラップ部２３はネジの切られた
接続管２４に接続することができる。接続管２４と取付
は部はシール材である小型のガスケット２５を接触させ
ボルト２６によりて締めつけてシールすることができる
。
５ 以上のような実施例において、冷却媒体を配管
した冷却用トラップとすることによって、転置で任意の
形状にすることができるので、脱着可能とすることがで
きる。脱着可能となることにより、ＭＥＫ装置の成長室
内のシェラウド等の蒸沿物買の汚れが多い場合、あるい
は故障が多い場合の冷却用トラップに用いることが有益
である。方向についても限定がなく装置の設計が容易と
なる。
した冷却用トラップとすることによって、転置で任意の
形状にすることができるので、脱着可能とすることがで
きる。脱着可能となることにより、ＭＥＫ装置の成長室
内のシェラウド等の蒸沿物買の汚れが多い場合、あるい
は故障が多い場合の冷却用トラップに用いることが有益
である。方向についても限定がなく装置の設計が容易と
なる。
また、冷却媒体も速やかになくすことができるので、使
用サイクルも短縮でき、真空用墓産機に有効である。
用サイクルも短縮でき、真空用墓産機に有効である。
第１図は従来から用いられている真空用冷却トラップの
一部断面図、第２図は本発明による平板型の真空用冷却
トラップの一部断面図、第５図はチタンサブリメーショ
ンポンプ用の真空用冷却トラップの概観図、第４図は他
の実施例での脱着部分の断面図である。 １・・・・・・・・・フランジ ２・・・・・・・・・液体窒素導入口 ５・・・・・・・・・他の口 ４・・・・・・・・・冷却トラップ ５・・・・・・・・・液体窒素 ６・・・・・・・・・溶接 ７・・・・・・・・・導入用ボート ８・・・・・・・・・配管パターン ９・・・・・・・・・冷却板 １０・・・・・・接続管 １１・・・・・・配 管 １２・・・・・・接続フランジ １４・・・・・・シール材 １７・・・・・・取付は用フランジ １９・・・・・・チタンフィラメント ２２・・・・・・ベローズ部 ２５・・・・・・冷却トラップ部 ２４・・・・・・接続管 以 上
一部断面図、第２図は本発明による平板型の真空用冷却
トラップの一部断面図、第５図はチタンサブリメーショ
ンポンプ用の真空用冷却トラップの概観図、第４図は他
の実施例での脱着部分の断面図である。 １・・・・・・・・・フランジ ２・・・・・・・・・液体窒素導入口 ５・・・・・・・・・他の口 ４・・・・・・・・・冷却トラップ ５・・・・・・・・・液体窒素 ６・・・・・・・・・溶接 ７・・・・・・・・・導入用ボート ８・・・・・・・・・配管パターン ９・・・・・・・・・冷却板 １０・・・・・・接続管 １１・・・・・・配 管 １２・・・・・・接続フランジ １４・・・・・・シール材 １７・・・・・・取付は用フランジ １９・・・・・・チタンフィラメント ２２・・・・・・ベローズ部 ２５・・・・・・冷却トラップ部 ２４・・・・・・接続管 以 上
Claims (2)
- （１）任意に成形できる熱伝導性のよい２枚の基板の少
くとも一方に配管パターンを設け、この配管パターンに
接合ができない物質を塗布し、前記２枚の基板を接合し
配管部を加圧して、２枚の基板の間に配管を設けトラッ
プ部とし、外部より導入および排出用の管を接合し、前
記導入、排出用の管に脱着可能な接合部を設けた脱着可
能な真空用冷却トラップ。 - （２）脱着可能な接合部に小型フランジとヘリコフレッ
クス、メタルオーリングからなることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の脱着可能な真空用冷却トラップ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24429484A JPS61120629A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | 脱着可能な真空用冷却トラツプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24429484A JPS61120629A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | 脱着可能な真空用冷却トラツプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61120629A true JPS61120629A (ja) | 1986-06-07 |
Family
ID=17116599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24429484A Pending JPS61120629A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | 脱着可能な真空用冷却トラツプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61120629A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110230588A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-09-13 | 中国科学院物理研究所 | 真空获取装置、包括其的真空装置、以及抽真空方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61103532A (ja) * | 1984-10-26 | 1986-05-22 | Fude Ishimaru | 真空チエンバ− |
-
1984
- 1984-11-19 JP JP24429484A patent/JPS61120629A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61103532A (ja) * | 1984-10-26 | 1986-05-22 | Fude Ishimaru | 真空チエンバ− |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110230588A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-09-13 | 中国科学院物理研究所 | 真空获取装置、包括其的真空装置、以及抽真空方法 |
| CN110230588B (zh) * | 2019-06-13 | 2020-11-20 | 中国科学院物理研究所 | 真空获取装置、包括其的真空装置、以及抽真空方法 |
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