JPS61120961A - 導電性フイルムの検査装置 - Google Patents
導電性フイルムの検査装置Info
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- JPS61120961A JPS61120961A JP24252184A JP24252184A JPS61120961A JP S61120961 A JPS61120961 A JP S61120961A JP 24252184 A JP24252184 A JP 24252184A JP 24252184 A JP24252184 A JP 24252184A JP S61120961 A JPS61120961 A JP S61120961A
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- Japan
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- current detector
- detector
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/045—Circuits
- G01N27/046—Circuits provided with temperature compensation
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１） 利用分野
本発明は導電性フィルムの面積抵抗を測定する検査装置
に関する。
に関する。
（２）従来技術
導電性フィルムにはプラスチックフィルム等の非導電性
基板上に、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケ
ル、クロム及びそれらを主成分とする各種金属の導電性
薄膜を形成した選択的光透過性シートまたは酸化インジ
ウム、酸化スズ等を厚さ２０００〜５０００人の導電性
薄膜に形成した選択的光透過性シートがある。これら可
視光域に透明で、赤外線波長域で選択的に反射する熱線
反射フィルム（通常電気抵抗は０．５〜２０Ω／口を示
す）として、ビル、住宅等の省エネルギー、太陽エネル
ギー利用などに有効である。
基板上に、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケ
ル、クロム及びそれらを主成分とする各種金属の導電性
薄膜を形成した選択的光透過性シートまたは酸化インジ
ウム、酸化スズ等を厚さ２０００〜５０００人の導電性
薄膜に形成した選択的光透過性シートがある。これら可
視光域に透明で、赤外線波長域で選択的に反射する熱線
反射フィルム（通常電気抵抗は０．５〜２０Ω／口を示
す）として、ビル、住宅等の省エネルギー、太陽エネル
ギー利用などに有効である。
またプラスチックフィルム等の上に上記酸化インジウム
、酸化スズ、パラジウム、金等からなる厚さ５０〜１０
００人の導電性薄膜を形成した、いわゆる導電性フィル
ムがある。このフィルムは電子写真記録、ＥＬランプ等
のディスプレー、光メモリ−、透明スイッチ、静電遮断
、太陽電池の光電変換素子及び面発熱体として広く使用
されている（通常５０Ω／口〜１０にΩ／口の電気抵抗
を示す）。
、酸化スズ、パラジウム、金等からなる厚さ５０〜１０
００人の導電性薄膜を形成した、いわゆる導電性フィル
ムがある。このフィルムは電子写真記録、ＥＬランプ等
のディスプレー、光メモリ−、透明スイッチ、静電遮断
、太陽電池の光電変換素子及び面発熱体として広く使用
されている（通常５０Ω／口〜１０にΩ／口の電気抵抗
を示す）。
これらの導電性フィルムの特性チェックには、前者の選
択的光透過性シートは、膜厚が重要な特性であり、透過
率及び赤外線反射率の検出器もしくはＸ線厚さ計等によ
り膜厚を測定していた。
択的光透過性シートは、膜厚が重要な特性であり、透過
率及び赤外線反射率の検出器もしくはＸ線厚さ計等によ
り膜厚を測定していた。
また後者の導電性フィルムは、その電気抵抗が重要な特
性値であり、フィルム表面に直接接触した電極間の表面
電気抵抗を測定し、導電性フィルムの電気抵抗としてい
た。
性値であり、フィルム表面に直接接触した電極間の表面
電気抵抗を測定し、導電性フィルムの電気抵抗としてい
た。
（３） 問題点及び発明の目的
従来実施されていた透過率及び赤外線反射率を測定する
方法は、検出する機器の価格が高いだけでなく、検出精
度も充分でない問題がある。またＸ線厚さ計による方法
は検出精度は高いが、機器の価格が非常に高く、使用管
理上も問題がある。
方法は、検出する機器の価格が高いだけでなく、検出精
度も充分でない問題がある。またＸ線厚さ計による方法
は検出精度は高いが、機器の価格が非常に高く、使用管
理上も問題がある。
一方導電性フイルムの表面に直接、電極を接触させて電
気抵抗を測定する方法は、フィルム表面にキズ、スクラ
ッチ等が入り、フィルムの商品価値を低下させる問題が
ある。
気抵抗を測定する方法は、フィルム表面にキズ、スクラ
ッチ等が入り、フィルムの商品価値を低下させる問題が
ある。
このように従来方法はそれぞれ問題点を有しており、導
電性フィルムの特性を安価にかつ精度よく測定する方法
が望まれていた。
電性フィルムの特性を安価にかつ精度よく測定する方法
が望まれていた。
本発明は、かかる現状に鑑みなされたもので、安価に、
かつ精度良く、しかもフィルム表面に接触することなく
、導電性フィルムの重要な特性である面積抵抗を測定す
る検査装置の提供を目的とするものである。
かつ精度良く、しかもフィルム表面に接触することなく
、導電性フィルムの重要な特性である面積抵抗を測定す
る検査装置の提供を目的とするものである。
（４）発明の構成及び作用
上述の目的は以下の本発明により達成される。
すなわち本発明は導電性フィルムの特性検査において、
導電性フィルムを移動させ、渦電流検出器と温度検出器
と該検出器の出力信号を処理するデータ処理手段により
、導電性フィルムの面積抵抗を温度補正しつつ測定する
ように成したことを特徴とする導電性フィルムの検査装
置である。
導電性フィルムを移動させ、渦電流検出器と温度検出器
と該検出器の出力信号を処理するデータ処理手段により
、導電性フィルムの面積抵抗を温度補正しつつ測定する
ように成したことを特徴とする導電性フィルムの検査装
置である。
上述の本発明は、渦電流が導電性フィルムの面積抵抗と
比例の関係を有することにより、渦電流検出器の出力信
号により導電性フィルムの面積抵抗が測定できることを
見出すと共に、渦電流の出力信号が周囲温度の影響を受
けるために、温度検出器で周囲温度を測定して、渦電流
検出器の出力信号を温度補正することにより、高精度に
面積抵抗を測定できることを見出しなされたものである
。
比例の関係を有することにより、渦電流検出器の出力信
号により導電性フィルムの面積抵抗が測定できることを
見出すと共に、渦電流の出力信号が周囲温度の影響を受
けるために、温度検出器で周囲温度を測定して、渦電流
検出器の出力信号を温度補正することにより、高精度に
面積抵抗を測定できることを見出しなされたものである
。
以下、本発明の詳細を実施例に基いて図面により説明す
る。第１．第２図に実施例の全体斜視図とデータ処理手
段のブロック図を示す。第１図は導電性フィルムの品質
管理を行うための面積、抵抗を測定する検査装置の例で
ある。
る。第１．第２図に実施例の全体斜視図とデータ処理手
段のブロック図を示す。第１図は導電性フィルムの品質
管理を行うための面積、抵抗を測定する検査装置の例で
ある。
図において、巻出しロール５に巻かれている導電性フィ
ルム３が移送ロール４に支持されて、巻取ロール６に巻
かれる。１は渦電流検出器で、取着部材２により、導電
性フィルム３の上に、一定の間隔を離して支持部材であ
る後述のトラバース手段に設けている。なおここで渦電
流検出器とは、公知の通りコイルを巻いた強磁性体の測
定子に高周波電流を流すと交流磁力線が発生し、測定子
と一定間隔で配置された導電体に誘起される渦電流を測
定するもので、市販品をそのまま適用する。
ルム３が移送ロール４に支持されて、巻取ロール６に巻
かれる。１は渦電流検出器で、取着部材２により、導電
性フィルム３の上に、一定の間隔を離して支持部材であ
る後述のトラバース手段に設けている。なおここで渦電
流検出器とは、公知の通りコイルを巻いた強磁性体の測
定子に高周波電流を流すと交流磁力線が発生し、測定子
と一定間隔で配置された導電体に誘起される渦電流を測
定するもので、市販品をそのまま適用する。
ところで導電性フィルム３の渦電流は、前述の通り、そ
の面積抵抗にほぼ比例するので、渦電流検出器１の出力
信号から面積抵抗が測定できる。
の面積抵抗にほぼ比例するので、渦電流検出器１の出力
信号から面積抵抗が測定できる。
導電性フィルム３は基板のフィルムの上面または下面い
ずれに導電性薄膜が形成されていてもよい。
ずれに導電性薄膜が形成されていてもよい。
該基板フィルムが透明、不透明いずれでもよく、該基板
フィルムの材質はプラスチックフィルムであれば、いか
なるものでもよく、通常、その厚さは数μｍ−数−であ
る。渦電流検出器１と導電性フィルム３との距離、すな
わら、検出距離は通常０．１８〜１０ＩＨであるが、検
出距離が小さい程測定精度は高い。
フィルムの材質はプラスチックフィルムであれば、いか
なるものでもよく、通常、その厚さは数μｍ−数−であ
る。渦電流検出器１と導電性フィルム３との距離、すな
わら、検出距離は通常０．１８〜１０ＩＨであるが、検
出距離が小さい程測定精度は高い。
渦電流検出器１は周囲温度の影響を受けやすく、周囲温
度の変化により、渦電流検出器１の出力信号と面積抵抗
の関係が変化する。この欠点をなくすため温度検出器１
４により渦電流検出器１附近の温度を測定し、該温度検
出器１４からの信号に基づいて、第２図のデータ処理部
１２において、渦電流検出器１の出力信号に温度補正を
行ない、測定した面積抵抗の温度の影響を消去している
。
度の変化により、渦電流検出器１の出力信号と面積抵抗
の関係が変化する。この欠点をなくすため温度検出器１
４により渦電流検出器１附近の温度を測定し、該温度検
出器１４からの信号に基づいて、第２図のデータ処理部
１２において、渦電流検出器１の出力信号に温度補正を
行ない、測定した面積抵抗の温度の影響を消去している
。
第１図は渦電流検出器１を３個、導電性フィルム３の幅
方向に設けて、各々の渦電流検出器１を取付けている取
着部材２をトラバース装置の架台８の上に設けたトラバ
ースモータ９により、渦電流検出器１を導電性フィルム
面に平行で、かつ幅方向に所定距離、移動させて導電性
フィルム３の幅方向の面積抵抗の測定を可能にしている
。さらに渦電流検出器固有の特性として、面積抵抗の変
化に対する出力信号の応答遅れが大きく、導電性フィル
ムが走行中は渦電流検出器１の出力信号はその走行速度
により導電性フィルム３の走行方向の面積抵抗の変化に
追従できない場合がある。このため巻取モータ７を間欠
的に回転させて、導電性フィルム３の静止時の渦電流検
出器１の出力信号により、面積抵抗を測定するようにし
、導電性フィルム３の面積抵抗の変化に追従して測定で
きるようにすると共に、測定の高速化を計っている。
方向に設けて、各々の渦電流検出器１を取付けている取
着部材２をトラバース装置の架台８の上に設けたトラバ
ースモータ９により、渦電流検出器１を導電性フィルム
面に平行で、かつ幅方向に所定距離、移動させて導電性
フィルム３の幅方向の面積抵抗の測定を可能にしている
。さらに渦電流検出器固有の特性として、面積抵抗の変
化に対する出力信号の応答遅れが大きく、導電性フィル
ムが走行中は渦電流検出器１の出力信号はその走行速度
により導電性フィルム３の走行方向の面積抵抗の変化に
追従できない場合がある。このため巻取モータ７を間欠
的に回転させて、導電性フィルム３の静止時の渦電流検
出器１の出力信号により、面積抵抗を測定するようにし
、導電性フィルム３の面積抵抗の変化に追従して測定で
きるようにすると共に、測定の高速化を計っている。
第３図は渦電流検出器１の出力信号を処理するデータ処
理装置の１例で、３個の渦電流検出器１の出力信号をマ
ルチプレクサ−１０で順次切替え、その出力信号を増幅
器１１で増幅した後、データ処理部１２で演算処理し、
記録部１３で面積抵抗を記録するようにしている。デー
タ処理部１２は、前記渦電流検出器１附近の温度を測定
する温度検出器１４からの信号により温度補正を行なっ
ている。なお、温度補正は各温度での渦電流検出器と面
積抵抗の較正曲線をデータ処理装置に記憶させ、測定温
度により較正曲線を選択し、この較正曲線により面積抵
抗を冑ることにより行なっている。ざらにデータ処理部
１２は前記導電性フィルム３の静止時の面積抵抗を測定
しようとする場合に巻取モータ７の停止信号により、巻
取モータ７の停止時に測定データを取込むようにしてい
る。
理装置の１例で、３個の渦電流検出器１の出力信号をマ
ルチプレクサ−１０で順次切替え、その出力信号を増幅
器１１で増幅した後、データ処理部１２で演算処理し、
記録部１３で面積抵抗を記録するようにしている。デー
タ処理部１２は、前記渦電流検出器１附近の温度を測定
する温度検出器１４からの信号により温度補正を行なっ
ている。なお、温度補正は各温度での渦電流検出器と面
積抵抗の較正曲線をデータ処理装置に記憶させ、測定温
度により較正曲線を選択し、この較正曲線により面積抵
抗を冑ることにより行なっている。ざらにデータ処理部
１２は前記導電性フィルム３の静止時の面積抵抗を測定
しようとする場合に巻取モータ７の停止信号により、巻
取モータ７の停止時に測定データを取込むようにしてい
る。
また本実施例では導電性フィルム３の品質管理を行うた
めの検査装置に適用したものであるが、本発明は蒸着、
スパッタリング等の従来公知の方法による導電性薄膜を
プラスチックフィルム基板上に形成せしめる際にも、オ
ンラインで特性値を測定し、フィードバック回路を組ん
で制御することにも適用できる。
めの検査装置に適用したものであるが、本発明は蒸着、
スパッタリング等の従来公知の方法による導電性薄膜を
プラスチックフィルム基板上に形成せしめる際にも、オ
ンラインで特性値を測定し、フィードバック回路を組ん
で制御することにも適用できる。
第１図及び第２図は本発明の実施態様の説明図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、導電性フィルムの面積抵抗を検査する導電性フィル
ムの検査装置において、導電性フィルムを移送する移送
手段と、導電性フィルムの移送路上に支持部材により設
けられた、少なくとも１個の前記面積抵抗を測定する渦
電流検出器と、測定雰囲気温度を検出する温度検出器と
、渦電流検出器と温度検出器からの信号に基づいて、測
定された面積抵抗を温度補正するデータ処理手段とから
なることを特徴とする導電性フィルムの検査装置。 ２、前記移送手段が導電性フィルムを所定ピッチで間欠
的に移送する移送手段であり、停止時の導電性フィルム
の面積抵抗を測定するようになした特許請求の範囲第１
項記載の導電性フィルムの検出装置。 ３、前記支持部材が渦電流検出器を導電性フィルム面に
平行で、かつその幅方向に所定距離移動させるトラバー
ス手段である特許請求の範囲第１項もしくは第２項記載
の導電性フィルムの検査装置。 ４、渦電流検出器が導電性フィルムの幅方向に複数個所
定間隔で設けられた特許請求の範囲第３項記載の導電性
フィルムの検査装置。 ５、前記データ処理手段が複数個の渦電流検出器を切換
えるマルチプレクサーとその出力をデータ処理する共通
のデータ処理部とからなる特許請求の範囲第４項記載の
導電性フィルムの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24252184A JPS61120961A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | 導電性フイルムの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24252184A JPS61120961A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | 導電性フイルムの検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61120961A true JPS61120961A (ja) | 1986-06-09 |
Family
ID=17090339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24252184A Pending JPS61120961A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | 導電性フイルムの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61120961A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003084020A (ja) * | 2001-06-21 | 2003-03-19 | Toyobo Co Ltd | 非接触式表面抵抗測定装置 |
| KR20090121220A (ko) * | 2008-05-20 | 2009-11-25 | 지멘스 악티엔게젤샤프트 | 전기적 도전성 재료로 만들어진 검사 물체에서 맴돌이 전류 디스플레이들, 특히 크랙들을 결정 및 평가하기 위한 방법 |
| US7812623B2 (en) | 2001-06-21 | 2010-10-12 | Toyo Boseki Kabushiki Kaisha | Transparent conductive film roll and production method thereof, touch panel using the same, and non-contact surface resistance measuring device |
| JP2012032180A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Toshiba Corp | 渦電流探傷装置、方法、及びプログラム |
| KR20140008997A (ko) * | 2010-05-31 | 2014-01-22 | 아르셀로미탈 인베스티가시온 와이 데사롤로 에스엘 | 주행 스트립 상의 코팅 층의 두께를 측정하기 위한 방법 및 장치 |
| WO2015183243A1 (en) * | 2014-05-27 | 2015-12-03 | Rolith, Inc. | Anti-counterfeiting features and methods of fabrication and detection |
-
1984
- 1984-11-19 JP JP24252184A patent/JPS61120961A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2014211455A (ja) * | 2008-05-20 | 2014-11-13 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフトＳｉｅｍｅｎｓ Ａｋｔｉｅｎｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ | 導電性材料からなる試験対象物における特に亀裂の渦電流表示を判定して評価する方法 |
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