JPS6114775A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents

ガスレ−ザ装置

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Publication number
JPS6114775A
JPS6114775A JP59135803A JP13580384A JPS6114775A JP S6114775 A JPS6114775 A JP S6114775A JP 59135803 A JP59135803 A JP 59135803A JP 13580384 A JP13580384 A JP 13580384A JP S6114775 A JPS6114775 A JP S6114775A
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JP
Japan
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laser
oil mist
vacuum pump
pump
discharge tube
Prior art date
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Granted
Application number
JP59135803A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH06101601B2 (ja
Inventor
Setsuo Terada
寺田　節夫
Shuzo Yoshizumi
吉住　修三
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP59135803A priority Critical patent/JPH06101601B2/ja
Publication of JPS6114775A publication Critical patent/JPS6114775A/ja
Publication of JPH06101601B2 publication Critical patent/JPH06101601B2/ja
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、加工用等として適用されるガスレーザ装置
に関するものである。
従来例の構成とその問題点 従来のガスレーザ装置は、第２図に示すように放電管１
にルーツブロア２を接続して放電管１内のレーザ媒質を
高速循環させる構成とし、レーザ媒質供給部７より新鮮
なレーザ媒質を一部補給しながら真空ポンプ６を用いて
一部排気して放電管１内を一定減圧状態にし、前記ルー
ツブロア２により放電管１内に一定にガス流を流し、放
電管ｌ内の電極８，８′に直流電源Ｅを印加し放電させ
てレーザ発振を行っている。
ところで、ルーツブロア２は、内部にロータ４を回転さ
せるロータ室３と駆動モータからの駆動力の伝達のため
のシャフトの外部との気密を保持するためにロータ室３
の両側にオイルシール３ａを介在させたオイルだめギヤ
ボックス５を設けている。このギヤボックス５は通常ガ
スレーザ装置のレーザガス循環系に内にオイルの混入を
防止するためにレーザガス循環系にと同一の真空ポンプ
６もしくは別の真空ポンプを用いて減圧状態とし、オイ
ルシール３ａからのオイルミストの混入を防止するよう
な方法が取られている。
しかしながら、通常定常時の運転でのレーザガス循環系
に内へのオイルミストの混入も運転、　（＊止を繰り返
すごとに真空ポンプ６とギヤボックス５を接続した経路
５ａ内にオイルミストが桟積されたり、同一の真空ポン
プ６によりロータ室３とギヤボックス５が同一低圧状態
であるため、ロータ室３とギヤボックス５内での圧力差
がなく、ギヤボックス５よりオイルシールを通ってロー
タ室３へのオイルミストが混入したり、真空ポンプ６′
ギヤボツクス５のオイルが逆流して接続経路６ａを通し
てレーザガス循環系に内にオイルミストが混入し、系内
の全反射ミラー、出力ミラーが汚染されたり、電極８．
８°へのオイルミストの付着により放電の不安を招き、
ひいてはレーザ出力の低下の原因となっていた。
発明の目的 この発明の目的は、前記従来の欠点を除去するもので、
レーザガス循環系内へのオイルミストの混入を防止し、
レーザ出力の低下を防止し、安定した出力を確実に得る
ことができるガスレーザ装置を提供することである。
発明の構成 この発明のガスレーザ装置は、前記の構成において、真
空ポンプの前記レーザ媒質の循環路への接続と前記真空
ポンプとの間にオイルミストセパレータを介在させたこ
とを特徴としている。これにより、真空ポンプの接続経
路を通ってギヤボックスからオイルミストが混入するこ
とを防止するとともに、オイルシールを通ってギヤボッ
クスからロータ室へのオイルの混入を防止することがで
きる。
実施例の説明 この発明の一実施例を第１図に基づいて説明する。すな
わち、１〜８．８°、　　Ｅ、　　Ｋは前記と同一の構
成要素であり、説明を省略する。９はオイルミストセパ
レータであり、前記真空ポンプ６の接続経路６ａに設け
られる。
オイルミストセパレータ９を図の位置に介在さもること
により、ギヤボックス５と真空ポンプ６の接続経路５ａ
内に存在するオイルミストおよび真空ポンプ６からの逆
流によるオイルミストのレーザガス循環系に内への流入
を防止するとともに、ギヤボックス５の圧力をレーザガ
ス循環系に内の圧力よりオイルミストセパータ９のフィ
ルタによって数Ｔｏｒｒ低く保持することができ、ギヤ
ボックス５とロータ室３の圧力差（数Ｔｏｒｒ　　によ
りロータ室３へのオイルの混入を防止することができる
。
発明の効果 この発明によれば、レーザガス循環系内へのオイルミス
トの混入を防止することができ、ミラーおよび放電電極
等のオイルによる汚染を防止することができ、安定した
レーザ出力を確実に得ることができるという効果がある
。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例のレーザガス循環系統を含
む概略図、第２図は従来例の概略図である。 １・・・放電管、２・・・ルーツブロア、５・・・ギヤ
ボックス、６・・・真空ポンプ、７・・・供給部、９・
・・オイルミストセパレータ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 放電管と、この放電管内を一定圧力状態に保持する真空
    ポンプと、前記放電管内のレーザ媒質を循環させるとと
    もにギヤボックスを前記真空ポンプで前記放電管と同時
    に減圧するルーツブロアと、前記真空ポンプの前記レー
    ザ媒質の循環路への接続部と前記真空ポンプとの間に介
    在されたオイルミストセパレータとを備えたガスレーザ
    装置。
JP59135803A 1984-06-29 1984-06-29 ガスレ−ザ装置 Expired - Lifetime JPH06101601B2 (ja)

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JPS6114775A true JPS6114775A (ja) 1986-01-22
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH021193A (ja) * 1988-03-03 1990-01-05 Fanuc Ltd レーザ発振装置
CN103107477A (zh) * 2013-01-23 2013-05-15 深圳市大族激光科技股份有限公司 抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法

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JPS60170278A (ja) * 1984-02-15 1985-09-03 Mitsubishi Electric Corp 高速軸流型レ−ザ装置

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