JPS61154948A

JPS61154948A - 液滴供給装置

Info

Publication number: JPS61154948A
Application number: JP60168696A
Authority: JP
Inventors: マイクル　エス．ビオラ
Original assignee: Polaroid Corp
Current assignee: Polaroid Corp
Priority date: 1984-12-26
Filing date: 1985-08-01
Publication date: 1986-07-14
Also published as: EP0185942A3; CA1246022A; EP0185942A2; US4550325A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、微小液滴の供給装置に関する。特に、インク
ジェットプリンタなどのさまざまな液滴供給の応用面に
有用な、要求に応じて液滴を供給しうる装置に関する。

［従来の技術］インクジェットプリンタに利用されているような、要求
に応じて微小液滴を形成し供給する装置は、通常液体源
と微小液滴供給用のノズルまたはオリフィスとに連結さ
れだ液溜チャンバを有する。

液滴が必要になると、液体はある方法で擾乱を与えられ
、所定体積の液体がノズルから滴状をなして供給される
。ある装置においては、滴状供給を起こさせるために、
液体に直接電界または磁界を作用させる。他の装置にお
いては、ノズルから所定量の液体を強制的に噴射させる
ために、液体チャンバの容積を瞬間的に減少せしめる。

優者の形式の装置においては、液体収容チャンバはいく
つかの壁部分によって画定されるが、少なくとも１つの
壁部分はある程度の可撓性を備えている。通常は圧電装
置の形式を有する電気的アクチュエータが可撓壁部分に
連結され、このアクチュエータが作動せしめられると、
７１Ｍ結された壁が撓みを起こして液体チャンバの容積
を減少させ、所定量の液体を強制的にノズルを通し滴状
にして送り出す。

撓んだ壁は、その後最初の位置に復帰し、補充用の液体
が供給源の溜から供給される。

従来は、信頼性と耐久性とをもった液滴供給器の製造に
は比較的多くの経費を要したが、その理由は、液滴供給
器を組立てている諸要素の物理的寸法が小さく、また、
一様な体積の微小液滴を繰返し供給しうる液体収容チャ
ンバをもった装置を製造するためには高精度の寸法が要
求されるからである。多くの液滴供給器は、電気的アク
チュエータの動作に応答して適正な容積減少を行ないつ
る小さい容積の液体収容チャンバを、公知の微小機械加
工、エツチング、および他の形削り技術により形成する
ことのできる材料である、各種の金属、セラミック、ガ
ラスで製造されてきた。しかし、容易にわかるように、
信頼性のある液滴供給器を生産するための、多くの機械
加工、形削り、または組立て段階を含む製造工程は、経
済的な大量生産には適さない。

そのため、プラスチックの射出成形により液滴供給器を
形成する方向で努力が重ねられてきた。

通常は、設計上、プラスチックの選択には、その弾性、
および高精度の寸法をもった小さい要素に成形される可
能性、および弾性をもった薄い壁部分に成形される可能
性が考處される。このようにして、射出成形に適した通
常のプラスチック樹脂から、従来の装置に比し効率的か
つ経済的に製造しうる、液滴供給装置への要求が高まっ
た。

１９８１年１月１３日公告の米国特許第４．２４５．２２７号は、内側および外側円筒部材を
有するインクジェットヘッドに関するもので、このヘッ
ドにおいては、単一ノズルの場合には、外側円筒部材の
みが圧電要素である。多ノズルアレイの場合には、内側
および／または外側円筒部材の双方が圧電部材でありう
る。圧電要素は電気的に励振されると半径方向に撮動し
てインク内に振動を発生させ、それによってインクがノ
ズルを通して噴射される。圧電要素はインクと直接接触
していることに注意すべきである。このような構造にお
いては、インクが非導電性のものであることが必要であ
る。

１９８３年６月７日公告の米国特許第４，３８７．３８３号は、多ノズルインクジェットヘ
ッドに関するもので、このヘッドは、積重ねられたサン
ドイッチ状に配置された微小インク滴発生装置の７レイ
を備えている。このインクジェットヘッドは、インクの
供給源を有する第１空洞と、複数の微小滴発生装置を積
重ねられた配置で含む第２空洞とを備えており、微小滴
発生装置は、導電性要素と、前記第２空洞内にインクを
含有するための環状要素と、インクに接触する圧電要素
などのトランスジューサ要素と、を備えている。インク
としては、低導電率のインクが使用される。

１９８４年２月２８日公告の米国特許第４．４３４，４３０号は、インクジェットヘッドに関
するもので、このヘッドにおいては、圧電要素は合成樹
脂製の平面的振動板に接着されている。圧電要素が作動
せしめられると、振動板はその面に垂直に撓められ、そ
れによって隣接チャンバ内のインクを変位せしめる。別
の実施例においては、圧電要素は、振動板を２重にする
ことのできる高分子量の圧電材料によって形成される。

［発明の要約と目的］本発明の微小液滴供給装置は、少なくとも２つの間隔を
置いた壁によっである径路を沿って画定された液体収容
チャンバを有する、プラスチック樹脂ボデーを有する。

この液体チャンバと液体が通じるようにノズルが配設さ
れており、このノズルを通して、所定量の液体が滴状を
なして噴射される。液体チャンバを画定する壁の１つに
電気的アクチュエータの周面が連結されていて、これが
電気的に作動せしめられると、液体チャンバから所定体
積の液体がノズルを通過して微小滴の形で噴射されるよ
うになっている。

実施例においては、液滴供給器は射出成形可能なプラス
チック樹脂によって製造され、１端部を端部壁によって
閉鎖された円筒形壁を有する外側要素であって、内部に
同軸的に内側要素を収容するための端ぐり、すなわち空
洞を画定している該外側要素を有し、該内側要素もまた
１端部を端部壁によって閉鎖された円筒形壁を有してい
る。内側要素および外側要素の両回筒形壁の間には、環
状の液体収容チャンバが画定される。外側要素の円筒形
壁にはノズルが設けられ、液体が環状チャンバからノズ
ルを通過して滴状になって噴射されうるようになってい
る。円板状圧電要素の形式の電気的アクチュエータが、
内側要素の円筒形壁によって画定された端ぐり、すなわ
ち空洞内に同軸的に収容され、この圧電円板の周が内側
要素の円筒形壁に接着されることによって、アクチュエ
ータは液体チャンバに結合せしめられる。例えば、この
圧電アクチュエータに直流パルスを印加することにより
、アクチュエータをパルス動作させると、アクチュエー
タは半径方向に外向きに膨張したり、内向きに収縮した
りし、膨張段階においては、所定量の液体が渦状をなし
てノズルから噴射、　される。

本発明の装置は、微小インク滴が制御されつつ記録媒体
上へ送られるインクジェットプリンタに利用されるのに
特に適している。本発明の装置は、通常の射出成形技術
を用いて成形されつる、ガラス充填強化樹脂などのさま
ざまな合成プラスチック樹脂によって形成することがで
きる。

本発明の主たる目的は、従って、プラスチック樹脂から
従来装置に比し直接的かつ比較的経済的に製造されうる
、改良された液滴供給装置を提供することである。本発
明のその他線目的およびその他の応用範囲は、添付図面
を参照しつつ行なわれる以下の詳細な説明によって明ら
かにされる。

添付図面においては、同一部品は同一参照番号によって
指示されている。

［実施例］本発明の液滴供給装置は、ここでは液滴供給器と呼ばれ
、各図においては全体が参照番号１０によって指示され
ている。第１図に示されているように、好ましい形式の
液滴供給器１０は、軸１２を中心とするほぼ円筒形のボ
デーとして画定され、後に詳述されるノズル１４を備え
ており、このノズルから必要に応じて液滴１６を噴射す
るようになっている。流入液体用の供給導管１８は液滴
供給器１０に連結されており、インクなどの液体を適宜
の液体供給源（図示されていない）から供給する。実施
例においては、液滴供給器１０は８．０３Ｍ（０，３１
６インチ〉の呼び外径と、２．５４＃ＩＩＩＩ（０，１
００インチ）の軸方向の高さ、すなわち厚さとを有する
。

第２図の分解図と、第３図および第４図の詳細図に示さ
れているように、液滴供給器１０は、相補的な外側要素
２０および内側要素と、電気的７クチユエータ２４と、
ノズル１４とから組立てられる。

外側要素２ｏは中心軸の回りに対照的に形成され、同心
的な穴２８を形成された円形端部壁２６を有する。円筒
形壁３０は、端部Ｗ１２６から軸方向に延長して端部表
面３２で終っている。端部壁２６と円筒形壁３０とは、
後述される内側要素２２を収容するだけの呼び内径と深
さとをもった端部閉鎖空洞すなわち端ぐりを画定する。

半径方向に整列した穴３６および同軸的端ぐり３８（第
３図）は円筒形壁３０に形成されたもので、ノズル１４
を収容するようになっており、もう１つの穴４０（第２
図）は液体供給導管１８との連結用に設けられたもので
ある。面取りされた表面４２（第３図）は円筒形壁３０
の内側端縁部に形成され、後述のように液滴供給器１０
の組立て、密閉を容易にする。

内側要素２２も外側要素２０と同様に軸１２を中心に対
称的に形成され、同心的に形成された穴４６をもった円
形端ｉ壁４４を有する。穴４６の周囲には軸１２を中心
として同心的に隆起した円形のボスすなわちパッド４８
が形成されており、これは後述のように、組立てられた
液滴供給器１０内に電気的アクチュエータ２４を配置し
やすくする。円筒形壁５ｏは円形端部壁４４から軸方向
に延長し端部平表面５２で終る。円形端部壁４４は外側
要素２０の円筒形１３０の内径より小さい外径を有する
ので、内側要素２２は外側要素２０内に両者間のＩｉ１
問すなわち呼び遊隙嵌合によって収容されうる。内側要
素２２の円筒形壁５゜の外径は、外側要素２０の円筒形
壁３０の内径より小さいので、後に詳述されるように、
内側要素２ｏと外側要素２２とが相互に組立てられた時
には、環状のチャネルすなわちチャンバ５４（第６図）
が画定される。壁５０の端部平表面５２は、外側要素２
０の端部壁２６に当接して環状チャンバ５４の全長を画
定するように設計されている。

実施例においては、外側要素２０および内側要素２２０
円筒形壁３０および５０のそれぞれの内径および外径は
、８．０３ｇｍ　（０，３１６インチ）および７．８７
ａ１１１（０，３１０インチ）であり、半径方向の厚さ
０．０７６ａｍ（０，００３インチ）をもった環状チャ
ンバ５４が形成される。さらに、壁５０は０．７６ｍ＋
（０，０３０インチ）の軸方向の長さを有し、環状チャ
ンバ５４の軸方向の長さを画定している。

電気的アクチュエータ２４（第２図）は、軸１２を中心
として形成された圧電円板として画定され、中央孔５６
と円形周表面５８とを有する。

後述のように、パルスを用いた電気的励振により電気的
アクチュエータ２４は半径方向外向きに膨張する。実施
例においては、電気的アクチュエータ２４に外径は内側
要素２２の円筒形壁５０の内径に公称上等しく形成され
、またその軸方向の厚さは０．５０８ａｍ＋　（０，０
２０インチ）である。

実施例の場合、円筒形壁５ｏの内径は７．３７＃ｌ１１
１（０，２９０インチ）であり、外径は前述のように７
．８７ｍｍ（０，３１０インチ）であるから、内側壁の
半径方向の厚さは０．２５ｍ（０，０１０インチ）となり、この半径方向の厚さは、
アクチュエータと液体チャンバとの間に薄い（例えば０
．０２５ｍ＋（０，００１インチ））可撓性金属壁を用
いた従来装置と較べると比較的に厚い。電気的アクチュ
エータ２４は、両面上に電極（図示されていない）を形
成されており、これらの電極は、電気的アクチュエータ
２４を励概して半径方向外向きに膨張させるための電気
的エネルギを供給する導１１（図示されていない）を接
続するのに使用される。

第５図に断面図として示されているノズル１４は、ノズ
ル軸６０を中心に円筒形に形成されており、その入口部
６２は次第に縮径さ゛れて出口オリフィス６４に至る。

実施例の場合の出口オリフィスは、０．０５ないし０．
０８ｍ（０，００２ないし０．００３インチ）の直径を
有する。ノズル１４は端ぐり３８内に収容され、接着剤
、溶剤、超音波などを用いる接着技術によって、そこに
保持される。

本発明においては、内側要素２２が、また好ましくは外
側要素２０も共に、射出成形技術によって成形されうる
ガラス充填プラスチック樹脂などのプラスチック樹脂に
よって製造される。従って、円筒形壁５０は射出成形さ
れつるのに十分な厚さをもたなくてはならないが、また
同時に、電気的アクチュエータ２４からのパルスがノズ
ル１４がら液滴を噴射するのを妨げないような十分な薄
さをももたなくてはならない。好ましいプラスチックと
しては、スチレンアクリロニトリルおよび５０％のガラ
ス充填ポリ硫化フェニレンがあるが、後者のプラスチッ
クは、所望の剛性をもった外側要素と内側要素とを与え
うる。さらに、ポリ炭酸エステル、ポリスチレン、アク
リロニトリル／ブタジェン／スチレンを含む広範囲のプ
ラスチックも同様に使用に適する。外側要素および内側
要素は、同じ材料からも、また異なった材料からも製造
されうる。あるいは、外側要素は、インクジェットプリ
ンタヘッドの製造に用いられる通常の金属のような金属
によって製造してもよい。

液滴供給器１ｏの組立てにおいては、まず円形の電気的
アクチュエータ２４を内側要素２２の円筒形壁５０によ
って画定された端ぐり内へ挿入するのであるが、その際
、電気的アクチュエータが位置きめバッド４８上に置か
れ、またその円形の周５８が円筒形壁５０の内径表面に
係合するようにする。電気的アクチュエータ２４は膨張
と収縮の双方を行なうので、電気的アクチュエータ２４
の周表面５８と円筒形壁５０の内径表面とは、相互に機
械的に連結または接着されていることが重要である。実
施例においては、電気的アクチュエータ２４の周表面５
８は、内側壁５０の内径表面に溶剤接着される。溶剤接
着は、スチレンアクリロニリトルプラスチックの場合に
は、メチルエチルケトンなどの溶剤を、２表面間の境界
面付近に塗布し、プラスチックを一時的に軟化させて電
気的アクチュエータ材の小孔その他の間隙内に流入させ
ることによって行なわれる。溶剤が蒸発すると、プラス
チックは再び硬化し、第６図に示されている電気的アク
チュエータ２４の周表面５８と内側壁５０との間の点描
部６６によって概略的に示された、堅固な機械的接合を
形成する。別の実施例においては、紫外線硬化性接着剤
が使用される。電気的アクチュエータ２４は、位置きめ
パッド４８には接着されたり、取付けられたすせず、上
述の接着工程が行なわれている間、単に位置きめパッド
４８上に置かれることによって、正確な位置に保持され
る。

電気的アクチュエータ２４の組込みがすんだ内側要素２
２は、外側要素２ｏ内に挿入される。その際、面取りさ
れた表面４２は、内側壁５０の端部平表面５２が第６図
に示されているように外側要素２００円形端部壁２６に
当接するに至るよう、両要素を案内する働きをする。壁
５０の端部表面５２は、円形端部”１２６の当接表面に
接着され、液体を通さない密閉部を形成する。第６図に
、端部表面５２と端部壁２６との間の点描部６８として
概略的に示されているこの接着部は、好ましくは超音波
接着によって行なわれるが、溶剤接着または接着剤接着
も適している。内側要素２２および外側要素２０のそれ
ぞれの円筒形壁の外径表面と内径表面とは、溶剤ｉ着ま
たは接着剤ｉ看によって接着されて液体を通さない密閉
部を形成する。

第６図には、この接着部も、これらの表面付近の点描部
７０によって示されている。さらに、面取りされた表面
４２と内側部材２２との間に画定されたグループ（参照
番号なし）内にも密封剤のビ−ド７２（第６図には点線
で示されている）を付与し、液体を密封する効果を高め
ることができる。

電気的アクチュエータ２４に対する電気的接続は、中央
孔２８および４６を通して導電性ばねクリップまたは類
似の装置を挿入し、電気的アクチュエータの導電面に係
合せしめることによって行なわれる。

例えば、液滴供給器１０がインク滴の形成に用いられる
場合の動作に際しては、インク源（図示されていない）
から導管１８を経て液滴供給器１ｏヘインクが供給され
、このインクは環状チャンバ５４およびノズル１４の入
口部６２に満たされる。待機状態においては、インクは
オリフィス６４から発射されない。１つまたはそれ以上
のインク滴が所望される時には、選択された振幅および
持続時間の直流パルスのような電気的励蚤信号が電気的
アクチュエータ２４に印加され、これを第６図および第
７図に矢印７４で示されているように、半径方向外向き
に膨張させて、所定体積のインクをオリフィス６４から
、通常６０ないし７０ミクロンの直径をもったインク滴
１６の形式で噴射する。電気的アクチュエータ２４を選
択されたパルス繰返数て繰返すパルスによって励振すれ
ば、連続的なインク滴１６の列が得られる。液滴の噴射
が行なわれる正確な機構は完全には理解されていない。

そのわけは、電気的アクチュエータ２４をインクが満た
された環状チャンバ５４から隔てている内側壁５０が、
必要な程度の撓みを生じうる通常は金属である薄い壁の
みがインク含有のチャンバの容積を減少させうるものと
信じられてきた従来装置に比し、比較的厚くかつ柔軟で
ありうるからである。眞述のように、実施例におけるプ
ラスチック壁の厚さは、従来技術における金属壁の厚さ
の１０倍ある。驚くべきことには、この比較的厚く、か
つ柔軟なプラスチック壁は、電気的アクチュエータの膨
張を吸収すなわち弱化することなく、実際には十分な力
を伝達してインク滴の噴射を行なうことがわかった。

電気的アクチュエータに対する電気的接続のし方によっ
て、圧電要素の場合、電気的パルスの印加が前述のよう
に半径方向外向きの膨張を起こすこともあり、また逆に
、初めに印加されていた電圧が除去された時に半径方向
外向きの膨張が起こることもある。後者の場合には、電
気的アクチュエータは、電圧が印加されている期間中に
収縮した静止状態にあることになる。印加されている電
圧が除去されると、液滴を噴射する膨張が起こる。

［発明の効果］本発明の液滴供給器は、低コストの大量生産に適する射
出成形技術を用いて、比較的安価なプラスチック材から
成形されうる。電気的アクチュエータの周と、環状イン
クチャンバとの間の内側壁は、従来装置に比して比較的
厚く（例えば０．２５＃ｌ＃＋　（０，０１０インチ）
）することができるので、従来装置の製造経費を増大さ
せていた壁の厚さの精度の重要性は、本発明の液滴供給
器においては軽減される。本発明の液滴供給装置は、以
上においてはインク滴噴射器として説明されたが、容易
にわかるように、この装置は各種化学薬品の滴状供給を
含む多くの他の液滴供給用にも適している。

本発明においては、使用されるインクは導電性のもので
も、非導電性のものでもよい。溶剤を基材とするインク
が使用される場合には、インク滴噴射器の部品として耐
溶剤性のプラスチック樹脂製のものが選択される。

以上の説明から、本発明によって、主要目的を完全に達
成した極めて効果的な液滴供給器が実現されたことがわ
かる。また、本発明の範囲から逸脱することなく、図示
されている実施例に対して改変および／または変更を施
しうることも同様に明らかである。従って、以上の説明
および添付図面の内容は単に実施例に関するものであっ
て、限定的な意味を有するものではなく、本発明の真の
精神および範囲は特許請求の範囲によって定められる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の液滴供給装置の斜視図、第２図は、
第１図の液滴供給装置の部分切取分解斜視図、第３図は
、第２図の３−３線における、第１図の液滴供給装置の
外側要素の部分側面断面図、第４図は、第２図の４−４
線における、第１図の液滴供給装置の内側要素の部分側
面断面図、第５図は、液滴供給ノズルの側面断面図、第
６図は、第１図の６−６線における、組立てずみ液滴供
給装置の部分側面断面図、第７図は、第６図の７−７線
における、液滴供給装置の平面断面図である。１０・・・液滴供給器、１２・・・軸、１４・・・ノズ
ル、１６・・・液滴、１８・・・液体供給導管、２０・・・外側要素、２２・
・・内側要素、２４・・・電気的アクチュエータ、２６
．４４・・・円形端部壁、３０．５０・・・円筒形壁５
４・・・環状チャンバ、

Claims

【特許請求の範囲】

（１）周表面でもって境界された平形の電気的アクチュ
エータを画定する装置と、該電気的アクチュエータを前記周表面に連結された第１
プラスチック樹脂壁と該第１壁から間隔をおいた第２壁
とを少なくとも有する液体収容チャンバを画定する装置
と、該液体収容チャンバと液体が通じるようになっているノ
ズル装置と、を備えており、前記平形の電気的アクチュエータが電気的励振に応答し
て前記第１壁に対し周辺に向かう力を印加することによ
り前記ノズルを経て所定量の液体を滴状にして供給する
ようになっている、液滴供給装置。
（２）特許請求の範囲第１項において、前記電気的アク
チュエータが円板として画定され、前記液体収容チャン
バが前記第１および第２のプラスチック樹脂壁により環
状部として画定されている、液滴供給装置。
（３）特許請求の範囲第１項において、前記第１壁が前
記電気的アクチュエータの前記周表面に接着されている
、液滴供給装置。
（４）特許請求の範囲第３項において、前記第１壁が前
記電気的アクチュエータの前記周表面に溶剤接着されて
いる、液滴供給装置。
（５）特許請求の範囲第１項において、前記電気的アク
チュエータが圧電装置である、液滴供給装置。
（６）特許請求の範囲第１項において、前記液体収容チ
ャンバを液体源に連結する装置をさらに備えている、液
滴供給装置。
（７）特許請求の範囲第６項において、前記液体がイン
クである、液滴供給装置。
（８）特許請求の範囲第７項において、前記インクが導
電性インクである、液滴供給装置。
（９）特許請求の範囲第１項において、前記プラスチッ
ク樹脂がスチレンアクリロニトリルである、液滴供給装
置。
（１０）特許請求の範囲第１項において、前記プラスチ
ック樹脂がポリ硫化フェニレンである、液滴供給装置。
（１１）第１および第２プラスチック樹脂要素と、円板
状の電気的アクチュエータと、ノズル装置とを備え、前記第１、第２のプラスチック樹脂要素はそれぞれ円形
端部壁と軸方向に延長する円筒形壁とを有し、該軸方向
に延長する円筒形壁がそれぞれの内径および外径の寸法
によって画定され、前記第１要素の前記軸方向に延長す
る円筒形壁が前記第２要素の前記軸方向に延長する円筒
形壁の内側に収容されて両該円筒形壁の間に環状の液体
収容チャンバを画定するようになっており、前記ノズル装置は、前記環状液体収容チャンバと液体が
通じるようになっており、前記電気的アクチュエータは第１要素の前記軸方向に延
長する円筒形壁の内径表面に接着された曲線状周面によ
り境界されており、かつ電気的励振に応答して前記第１
要素の前記軸方向に延長する円筒形壁に対し周辺に向か
う力を印加することにより前記ノズルを経て所定量の液
体を滴状にして供給するようになっている、液滴供給装
置。
（１２）特許請求の範囲第１１項において、前記電気的
アクチュエータが円板として画定されている、液滴供給
装置。
（１３）特許請求の範囲第１１項において、前記電気的
アクチュエータの前記曲線状周面が前記第１要素の前記
軸方向に延長する円筒形壁の内径表面に溶剤接着されて
いる、液滴供給装置。
（１４）特許請求の範囲第１１項において、前記電気的
アクチュエータが圧電装置である、液滴供給装置。
（１５）特許請求の範囲第１１項において、前記液体収
容チャンバを液体源に連結する装置をさらに備えている
、液滴供給装置。
（１６）特許請求の範囲第１５項において、前記液体が
インクである、液滴供給装置。
（１７）特許請求の範囲第１６項において、前記インク
が導電性インクである、液滴供給装置。
（１８）特許請求の範囲第１１項において、前記プラス
チック樹脂がスチレンアクリロニトリルである、液滴供
給装置。
（１９）特許請求の範囲第１１項において、前記プラス
チック樹脂がポリ硫化フェニレンである、液滴供給装置
。
（２０）間隔をおいた少なくとも２つのプラスチック樹
脂壁の間の曲線的径路に沿って画定された液体収容チャ
ンバを内部に有するプラスチック樹脂ボデーを画定する
装置と、該チャンバと液体が通じるようになっているノズルを画
定する装置と、前記プラスチック樹脂壁の一方に連結された曲線的周を
有し、作動したとき前記チャンバ内のある量の液体が前
記ノズルを通過して液滴を形成するようになっている電
気的アクチュエータと、を備えた、液滴形成装置。
（２１）特許請求の範囲第２０項において、前記チャン
バが閉曲線的径路に沿って画定されている、液滴形成装
置。
（２２）特許請求の範囲第２０項において、前記チャン
バが環状チャンバであり、前記間隔をおいた少なくとも
２つの壁が相互に同心的になっている、液滴形成装置。
（２３）特許請求の範囲第２０項において、前記電気的
アクチュエータが前記壁の一方に対し溶剤接着されてい
る、液滴形成装置。
（２４）特許請求の範囲第２０項において、前記電気的
アクチュエータが圧電装置である、液滴形成装置。
（２５）特許請求の範囲第２０項において、前記液体収
容チャンバを液体源に連結する装置をさらに備えている
、液滴形成装置。
（２６）特許請求の範囲第２０項において、前記液体が
インクである、液滴形成装置。
（２７）特許請求の範囲第２６項において、前記インク
が導電性インクである、液滴形成装置。
（２８）特許請求の範囲第２０項において、前記プラス
チック樹脂がスチレンアクリロニトリルである、液滴形
成装置。
（２９）特許請求の範囲第２０項において、前記プラス
チック樹脂がポリ硫化フェニレンである、液滴形成装置
。
（３０）周表面で境界された平形の電気的アクチュエー
タと、該電気的アクチュエータの前記周表面に連結された第１
プラスチック樹脂壁と該第１壁から間隔をおいた第２壁
とを有する液体収容チャンバを画定する装置と、該液体収容チャンバと液体が通じるようになっているノ
ズル装置と、を備え、前記平形の電気的アクチュエータが電気的励振に応答し
て前記第１壁に対し周辺に向かう力を印加することによ
り前記ノズルを経て所定量の液体を滴状にして供給する
ようになっており、前記第１壁が射出成形により形成す
るには十分な厚さであるが、前記ノズルからの前記液体
の前記電気的アクチュエータによる供給を妨げる程厚く
はない厚さをもっている、液滴供給装置。