JPS61201635A - 光フアイバ用母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ用母材の製造方法Info
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- JPS61201635A JPS61201635A JP3869185A JP3869185A JPS61201635A JP S61201635 A JPS61201635 A JP S61201635A JP 3869185 A JP3869185 A JP 3869185A JP 3869185 A JP3869185 A JP 3869185A JP S61201635 A JPS61201635 A JP S61201635A
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000005373 porous glass Substances 0.000 claims description 6
- 238000004334 fluoridation Methods 0.000 claims description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 2
- 210000004127 vitreous body Anatomy 0.000 abstract 2
- 229910003910 SiCl4 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910004014 SiF4 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 abstract 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 abstract 1
- FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N silicon tetrachloride Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)Cl FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N silicon tetrafluoride Chemical compound F[Si](F)(F)F ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000004017 vitrification Methods 0.000 abstract 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 22
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 10
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000004031 devitrification Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000003682 fluorination reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/08—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
- C03B2201/12—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine
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- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は元ファイバ用ガラス母材の製造方法に関し、詳
しくは多孔質ガラス体を高温炉中にて弗素添加・脱水・
透明化等を行う際に、該高温炉の炉芯管の劣化や消耗を
防止できるような製造方法に関する。
しくは多孔質ガラス体を高温炉中にて弗素添加・脱水・
透明化等を行う際に、該高温炉の炉芯管の劣化や消耗を
防止できるような製造方法に関する。
本発明の方法は各種の方法で作製した多孔質ガラス体に
ついて弗素添加・脱水・透明化等を行う工程において広
く利用できる。
ついて弗素添加・脱水・透明化等を行う工程において広
く利用できる。
元ファイバ用母材を製造するための高温炉の炉芯管材料
としては、従来石英が用いられており、例えば特開昭５
７−１７４５５号公禅に提案される構成は第２図の如く
である。第２図中１は回転及び上下動可能な軸２にと９
つけられた多孔質母材、３は電気炉、４はカーボン等の
発熱体、２５拡炉３内に内装された石英製の炉芯管、６
はガス供給口であって、石英製炉芯管２５内に例えばＨ
ｈａｔ、等のガスを供給する。
としては、従来石英が用いられており、例えば特開昭５
７−１７４５５号公禅に提案される構成は第２図の如く
である。第２図中１は回転及び上下動可能な軸２にと９
つけられた多孔質母材、３は電気炉、４はカーボン等の
発熱体、２５拡炉３内に内装された石英製の炉芯管、６
はガス供給口であって、石英製炉芯管２５内に例えばＨ
ｈａｔ、等のガスを供給する。
このように構成された高温炉で、弗素添加・脱水・透明
化を行うと不純物による吸収が無く、またＯＨ吸収の実
質的に無い元ファイバが得られる。
化を行うと不純物による吸収が無く、またＯＨ吸収の実
質的に無い元ファイバが得られる。
上記の方法の問題点は高温で使用するため、石英炉芯管
の寿命が短かいことである。以下、この点を説明する。
の寿命が短かいことである。以下、この点を説明する。
石英を１２００℃以上に加熱したときに、「失透」とい
う現象がおきることが知られている＠失透とは、ガラス
状態であった石英が結晶状態（クリストバライト）とな
ることで、失透がおこると石英炉芯管は白く、もろくな
る、さらに、失透した炉芯管を３００℃以下に冷却する
と、クリストバライト層に亀裂が入り、炉芯管が割れて
しまう。炉芯管の失透による破損を防ぐためには、常に
３００℃以上に炉芯管を保持する必要があるが、このこ
とは設備を維持していく上で困鼎である。以上の理由で
、石英炉芯管の寿命は制限を受け、元ファイバ用母材の
価格低減の妨げとなっている。
う現象がおきることが知られている＠失透とは、ガラス
状態であった石英が結晶状態（クリストバライト）とな
ることで、失透がおこると石英炉芯管は白く、もろくな
る、さらに、失透した炉芯管を３００℃以下に冷却する
と、クリストバライト層に亀裂が入り、炉芯管が割れて
しまう。炉芯管の失透による破損を防ぐためには、常に
３００℃以上に炉芯管を保持する必要があるが、このこ
とは設備を維持していく上で困鼎である。以上の理由で
、石英炉芯管の寿命は制限を受け、元ファイバ用母材の
価格低減の妨げとなっている。
本発明の目的扛、このような従来法による価格低減の妨
げを取り除くこと、すなわち石英炉芯管にかえて新規な
炉芯管を特定の条件で用いることにより、炉芯管の寿命
を延長でき、しかも従来法と同程度の高品質の元ファイ
バ用母材を製造する方法を提供することである。
げを取り除くこと、すなわち石英炉芯管にかえて新規な
炉芯管を特定の条件で用いることにより、炉芯管の寿命
を延長でき、しかも従来法と同程度の高品質の元ファイ
バ用母材を製造する方法を提供することである。
本発明は、多孔質ガラス体を高温に保たれた炉の中に保
持するか、または通過させ、弗素添加・脱水・透明化の
うちいずれか１以上の工程を行って元ファイバ用母材を
製造する方法において、上記高温炉の炉芯管として、８
１．Ｍ、をコーティングしたカーボン製炉芯管を用い、
かつ炉内をＮ！を含む雰囲気として行うことを特徴とす
る元ファイバ用母材の製造方法により上記の目的を達成
する。
持するか、または通過させ、弗素添加・脱水・透明化の
うちいずれか１以上の工程を行って元ファイバ用母材を
製造する方法において、上記高温炉の炉芯管として、８
１．Ｍ、をコーティングしたカーボン製炉芯管を用い、
かつ炉内をＮ！を含む雰囲気として行うことを特徴とす
る元ファイバ用母材の製造方法により上記の目的を達成
する。
本発明の好ましい実施態様としては、Ｎ２分圧を１ （
１” ｔｏｒｒ以上５００ ｔｏｒｒ以下に保つことが
挙げられる。
１” ｔｏｒｒ以上５００ ｔｏｒｒ以下に保つことが
挙げられる。
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明方法の実施態様を説明する図であって、
第２図に示した構成と異なるところは、炉芯管として、
表面に８１３Ｎ４をコーティングしたカーボン製炉芯管
１５を用いる点である。
第２図に示した構成と異なるところは、炉芯管として、
表面に８１３Ｎ４をコーティングしたカーボン製炉芯管
１５を用いる点である。
Ｓｉ３Ｎ４コートカーメン製炉芯管１５の下端に設けら
れたガス供給口６からは、例えばＨｅ、０１２゜０ｇ、
Ｍｔ、 ８１Ｆ４等が導入される。その他第２図と同
符番は、第２図と同じを意味する。
れたガス供給口６からは、例えばＨｅ、０１２゜０ｇ、
Ｍｔ、 ８１Ｆ４等が導入される。その他第２図と同
符番は、第２図と同じを意味する。
カニポン炉表面への８１． ｎ、・−ティングは通常の
ａｖｐ法あるいはプラズマＣｖＤ法により、ｓｌの原料
としては８１０Ａ４．８１１１１４． ＢＬＨＯＬ、等
が用いられ、またＮｏ原料としてｄＮＨｓを使用する。
ａｖｐ法あるいはプラズマＣｖＤ法により、ｓｌの原料
としては８１０Ａ４．８１１１１４． ＢＬＨＯＬ、等
が用いられ、またＮｏ原料としてｄＮＨｓを使用する。
蒸着温度に通常のＯＶＤ法の場合、１０００℃〜１８０
０℃程度、プラズマＯＶＤ法による場合は３００℃〜１
０００℃程度である。
０℃程度、プラズマＯＶＤ法による場合は３００℃〜１
０００℃程度である。
また８ １．１４のコーティング厚さは１μｍ以上が好
ましく、特に好ましくは１０μｍ以上である。
ましく、特に好ましくは１０μｍ以上である。
以上のような構成により、多孔質ガラス体の弗素化・脱
水・透明化を行うにあたり、本発明において扛、炉内を
Ｎ、を含む雰囲気として行う。
水・透明化を行うにあたり、本発明において扛、炉内を
Ｎ、を含む雰囲気として行う。
上記ち雰囲気のＮ１分圧としては、１０＝ ｔｏｒｒ以
上３００ ｔｏｒｒ以下とすることが好ましい・Ｎ１分
圧が１０″″” ｔｏｒｒに未たない場合は、Ｅｌ ｉ
、 Ｎ４の揮散がおこ夕、炉芯管の寿命が短かくなり、
Ｓ ＯＯｔｏｒｒを越える場合には元ファイバ用母材中
Ｋ Ｍｓの気泡が取りこまれ、曳好な元ファイバ用母材
を得ることができないからである。
上３００ ｔｏｒｒ以下とすることが好ましい・Ｎ１分
圧が１０″″” ｔｏｒｒに未たない場合は、Ｅｌ ｉ
、 Ｎ４の揮散がおこ夕、炉芯管の寿命が短かくなり、
Ｓ ＯＯｔｏｒｒを越える場合には元ファイバ用母材中
Ｋ Ｍｓの気泡が取りこまれ、曳好な元ファイバ用母材
を得ることができないからである。
本発明方法の作用の第１としては、炉芯管の基材として
カーボンを使用しているため、高温に保持した場合、炉
芯管が劣化するととが無い。
カーボンを使用しているため、高温に保持した場合、炉
芯管が劣化するととが無い。
そのため、昇降温の速さに注意しさえすれば、何回でも
昇降温することが可能である。第２にカーボン表面を８
１３１４でコーティングしているため、炉芯管基材のカ
ーボンの酸化がおとらずカーボン中に含まれている不純
物が元ファイバ用母材中に侵入することが無い。第３に
炉内をＮ、雰囲気としているため、８１３Ｎ４の揮散が
おこらず、炉芯管が高温で長時間使用できるということ
が挙げられる。
昇降温することが可能である。第２にカーボン表面を８
１３１４でコーティングしているため、炉芯管基材のカ
ーボンの酸化がおとらずカーボン中に含まれている不純
物が元ファイバ用母材中に侵入することが無い。第３に
炉内をＮ、雰囲気としているため、８１３Ｎ４の揮散が
おこらず、炉芯管が高温で長時間使用できるということ
が挙げられる。
実施例１
第１図の装置を用いて、元ファイバ用母材を５０本透明
化した。その後一旦電気炉の電源を切り、カーボン炉芯
管を室温まで冷却した。その後再びカーボン炉芯管を加
熱し、１０００℃まで昇温させたが、カーボン炉芯管は
破損しなかった。これによりカーボン炉芯管が優れた耐
熱性、耐衝撃性を有することがわかる。
化した。その後一旦電気炉の電源を切り、カーボン炉芯
管を室温まで冷却した。その後再びカーボン炉芯管を加
熱し、１０００℃まで昇温させたが、カーボン炉芯管は
破損しなかった。これによりカーボン炉芯管が優れた耐
熱性、耐衝撃性を有することがわかる。
実施例２
第１図の構成を用い、８１３ Ｎ４コーテイング炉芯管
を、Ｎ、を含まない雰囲気で、１５００℃にて２４時間
保持したところ、８１３Ｎ４コーテイングは全て揮散し
てしまった。この時のＳｉ３Ｎ４コーテイングの膜厚は
２μであった。
を、Ｎ、を含まない雰囲気で、１５００℃にて２４時間
保持したところ、８１３Ｎ４コーテイングは全て揮散し
てしまった。この時のＳｉ３Ｎ４コーテイングの膜厚は
２μであった。
実施例３
第１図の構成を用い、ＣＪ１４／ｌｈ ／Ｈｅ −３’
ＩＩ ／１％７９６％の雰囲気で元ファイバ用母材の脱
水を行い、しかる後透明化したところ、気泡を含まない
良好な元ファイバ用母材が得られた。
ＩＩ ／１％７９６％の雰囲気で元ファイバ用母材の脱
水を行い、しかる後透明化したところ、気泡を含まない
良好な元ファイバ用母材が得られた。
この元ファイバ用母材を線引後特性を測定したところ、
１．５μで１．０ ｄＢ／Ｋｍ以下の特性が得られ、不
純物の存在も認められなかった。またこの条件で元ファ
イバ用母材を５０本連続して作成した後、８１３１４コ
ーテイング炉芯管の表面を観察した結果、８１ｓ Ｎ４
膜が認められた。
１．５μで１．０ ｄＢ／Ｋｍ以下の特性が得られ、不
純物の存在も認められなかった。またこの条件で元ファ
イバ用母材を５０本連続して作成した後、８１３１４コ
ーテイング炉芯管の表面を観察した結果、８１ｓ Ｎ４
膜が認められた。
実施例４
第１図の構成を用い、ｌｉ、 ／’ｆｌ ６ｘ ５ Ｑ
％１５０Ｉｓの雰囲気で、元ファイバ用母材の透明化を
行った結果、母材中心軸にそって、気泡が取り残され、
良好な母材ができなかった。
％１５０Ｉｓの雰囲気で、元ファイバ用母材の透明化を
行った結果、母材中心軸にそって、気泡が取り残され、
良好な母材ができなかった。
実施例５
第１図の構成を用い、８ ｉ ＩＦ４ ／Ｎｊ／ＨｅＷ
３ ’ｊ ／１ ％ ７９６％の雰囲気、温度１６５
０℃で元ファイバ用母材の？添加・透明化を行った。そ
の結果、気泡を含まない良好な元ファイバ用母材が得ら
れた。この元ファイバ用母材を線引後特性を測定し九と
ころ、１．５５ ｐでａ ７ ｄＢ／Ｋｍ以下の特性が
得られ、不純物の存在も認められなかった。また、この
条件で元ファイバ用母材を５０本連続して作成した後、
炉芯管の表面を観察した結果、８１ｓ ｍ４膜が認めら
れた。
３ ’ｊ ／１ ％ ７９６％の雰囲気、温度１６５
０℃で元ファイバ用母材の？添加・透明化を行った。そ
の結果、気泡を含まない良好な元ファイバ用母材が得ら
れた。この元ファイバ用母材を線引後特性を測定し九と
ころ、１．５５ ｐでａ ７ ｄＢ／Ｋｍ以下の特性が
得られ、不純物の存在も認められなかった。また、この
条件で元ファイバ用母材を５０本連続して作成した後、
炉芯管の表面を観察した結果、８１ｓ ｍ４膜が認めら
れた。
以上の説明及び実施例の結果から明らかなように、本発
明の方法は、炉芯管の劣化・破損がなく繰り返し使用可
能であシ、かつ従来の石英炉芯管使用の方法で得られる
のと同程度に高品質な元ファイバ用母材が得られるとい
う効果を奏する。従って、本発明の方法は、元ファイバ
用母材の製造コストを低減できる、型巣上非常に有利な
方法である。
明の方法は、炉芯管の劣化・破損がなく繰り返し使用可
能であシ、かつ従来の石英炉芯管使用の方法で得られる
のと同程度に高品質な元ファイバ用母材が得られるとい
う効果を奏する。従って、本発明の方法は、元ファイバ
用母材の製造コストを低減できる、型巣上非常に有利な
方法である。
第１図は本発明の実施態様を説明する図、第２図は従来
法を説明する図である。
法を説明する図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）多孔質ガラス体を高温に保たれた炉の中に保持する
か、または通過させ、弗素添加・脱水・透明化のうちい
ずれか１以上の工程を行って光ファイバ用母材を製造す
る方法において、上記高温炉の炉芯管として、Ｓｉ＿３
Ｎ＿４をコーティングしたカーボン製炉芯管を用い、か
つ、炉内をＮ＿２を含む雰囲気として行うことを特徴と
する光ファイバ用母材の製造方法。 ２）Ｎ＿２を含む雰囲気はＮ＿２分圧が１０＾−＾２ｔ
ｏｒｒ以上３００ｔｏｒｒ以下である特許請求の範囲第
（１）項に記載される光ファイバ用母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3869185A JPS61201635A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3869185A JPS61201635A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61201635A true JPS61201635A (ja) | 1986-09-06 |
Family
ID=12532321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3869185A Pending JPS61201635A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61201635A (ja) |
-
1985
- 1985-03-01 JP JP3869185A patent/JPS61201635A/ja active Pending
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