JPS61218922A - 圧覚センサ - Google Patents

圧覚センサ

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JPS61218922A
JPS61218922A JP60059641A JP5964185A JPS61218922A JP S61218922 A JPS61218922 A JP S61218922A JP 60059641 A JP60059641 A JP 60059641A JP 5964185 A JP5964185 A JP 5964185A JP S61218922 A JPS61218922 A JP S61218922A
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pressure
quadrant
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Tomonori Katano
智紀 片野
Mitsuo Kobayashi
光男 小林
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/16Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force
    • G01L5/161Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using variations in ohmic resistance
    • G01L5/1627Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using variations in ohmic resistance of strain gauges

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の属する技術分野] 本発明は圧覚センサに関し、詳しくは受圧板に作用する
荷重を互いに直交する3方向の分力に分解して検出可能
な3方向分力検知感圧モジュールの単位がアレイ状に配
置された圧覚センサに関する。
[従来技術とその問題点] この種の圧覚センサは、ロボットハンドなどにおいて把
持力の強さや面圧分布などを知る必要がある場合にその
触覚検知を得ようとする箇所に使用することを目的とし
て研究開発が進められてきた。
第8図はこのような圧覚センサの一例を示し、4こで1
8よび2は下部基板3の溝4に鉛直に保持された圧覚セ
ルであり、本例では2つの並列に配置されたこれらの圧
覚セル1および2間にそれぞれ受圧板5が設けられて1
単位としての圧覚センサモジュール6が構成されている
また、個々の圧覚セルlおよび2には例えば第9図に示
すようにその側面所定の位置に複数のストレンゲ−シフ
(以下でx1〜X4 、 Yl −Y4,14よびZ1
〜z4の符号を付す)が形成され、個々の受圧板5に作
用する荷重をこれらのストレンゲ−シフに伝達させるこ
とにより受圧板5に沿った水平分力Fx、Fyおよび受
圧板5に垂直な方向の分力Fzに分解させて検出させる
ことができ′る。
なお、これら個々のストレンゲ−シフにおいては検出す
べき方向分力に対し、比例しかつ互いに絶対値の等しい
応力(引張応力を正とする)が発生し、他方向分力に対
しては原則的に応力は発生しない、また、発生する場合
にはその応力は他方向分力に比例しかつ絶対値も等しい
、しかして、各方向分力検出用のストレンゲ−シフをそ
れぞれ4個ずつ使用し、かつ適当にホイートストンブリ
ッジ回路(以下、ブリッジ回路)を組むことにより、検
出方向分力に対して比例した電圧を出力させ、他方向分
力に対しては出力がなされないという特性が得られる。
よって、このような2つのセルlおよび2のブリッジ回
路からの一出力電圧を組合せることにより受圧板5に作
用する荷重のX、Y、Z方向の分力Fx、Fy 、Fz
を検出することができる。
しかし、1個のセルに12個ものストレンゲ−シフを配
置するこの方法では配線密度が高く、更に配線が図示は
しないが圧覚セル表面上で交差するクロスオーバーと呼
ばれる箇所ができてしまうために、信頼性、製造工数、
コストなどの面で問題があった。
そこで、1個のセルに分力”+Fy 、 Fz検出用ス
トレンゲ−シロをそれぞれ2つずつ配置し、2つのセル
1と2との間で1つのブリッジ回路を組み、Fx、Fy
 、 Fzをそれぞれ1つのブリッジ回路から検出する
ようにしたハーフブリッジ回路の圧覚センサが本願人に
よって提案されている。
第10A図および第10B図はこのようなハーフブリッ
ジ回路によって構成される圧覚センサの個々のセル1お
よび2に設けられたストレンゲ−シフの配置を示し、本
例では、これらの図からも明らかなようにクロスオーバ
を発生させることなくそ21に配設される。
第12A図、第12B図および第12C図は上記のセル
lおよび2から荷重分力Fz、FxおよびFyを検出す
るために組まれたブリッジ回路である。
このように構成された圧覚センサにあっては、上述した
ように配線上のクロスオーバを無くすことができて、製
作上の信頼性を高めることができるのみならず、著しく
コストを低減することができるが、ストレンジゲージ7
の配置とブリッジ回路の組方如何によっては以下に述べ
るようにノイズの発生する虞があった。
すなわち、このようなノイズ発生の原因は分力Fllお
よびFyによって互いにFy検出用ブリー、ジ回路およ
びF重接出用ブリッジ回路からの出力電圧が干渉される
ことによるものであって、第13図は分力FlおよびF
yによってFx検出用のストレンえばΔRIIXI〜Δ
R+n6・・・等と記載されており、変化値AおよびB
はそれぞれ分力FXおよびFyに比例した正の値である
いま、第10A図および第108図のようにストレンゲ
ージが配置され、第12A図〜第120図のようにブリ
ッジ回路100A〜100Cが構成された場合にあって
、第12B図の回°路100Bからの出力電圧をex 
、印加電圧をe 、ゲージの抵抗値をRとすると。
・・・(1) よって、式(1)に第13図の分力Fxによって発生す
るゲージの抵抗変化値を代入すると、その出力電圧ex
(Fりは、 ・・・(2) となり、式(2)からも明らかなように、この出力電圧
e×(Fx)は分力Fxに比例したものである。
しかしながら、式(1)に第13図の分力Fyによって
生起されるゲージ抵抗変化値を代入すると、その出力電
圧e、(Fy)は、 ・・・(3) となり、この値は零とならず、すなわち、分力F冨の検
出にあたってその検出値には分力Fyの影響を受けるこ
とが分る。
ついで、FyY出用ブリッジ回路100Cからの出力電
圧eyに分力Fxが影響をおよぼす点について述べる。
第14図は分力FxおよびFyによって個々のFy検検
出スストレンゲージ発生する抵抗変化ΔRの値を表示し
たものであり、このうち分力Fyによってこれに比例し
て生起される変化値Cについてはストレンゲージの配置
された位置に応じて表に示すような正負のCの値となる
。すなわち、 ・・・(4) 式(4)に第14図の分力Fyによって発生するゲージ
の抵抗変化値を代入すると、その出力電圧ey(Fy)
は、 となり、出力電圧eY(Fy)もまた分力Fyに比例し
たものが得られる。
しかし、Fy検検出スストレンゲージ分力Fxのおよぼ
す影響については、第15A図に示すようにセンサモジ
ュールの受圧板5が分力F冨によって水平を保ったまま
変位させられると論理づけするならば第14図の(a)
の欄に表示されるように±0と見做してよい訳であるが
、実際には第158図に示すように、分力Fxによって
受圧板5と共にセル1@よび2が傾倒させられる傾向を
生じる。
すなわち、セル1および2を基板3によって一端が固定
支持された片持梁と見做せば、その自由端側に相当する
受圧板5に梁と直角方向の荷重がかけられた状態である
から、セルlおよび2には曲げモーメントが発生し、側
面11および21では基板3に垂直な中心線を境にして
モの左右で圧縮と引張とが生じ、しかもその応力は基板
3に近づくにつれて大きくなる。
そこで、これらを抵抗の変化値として示した場合、第1
4図の(b)欄で示されるように、基板3に近く配置さ
れるストレンゲージ11Y3,11Y4および21Y3
,21Y4における変化値りの方が基板3から遠い位置
のストレンゲージであるIIYI、11Y2および21
Y1,21Y2における。変化値dより大きくなり、し
かもこれらはいずれも分力Fxに比例した値となる。
上述したように、Fy検検出スストレンゲージ及ぼす分
力Fxの影響については二通りの解釈があり、第15A
図のような解釈によるならば、その出力奄圧eY(Fx
(α))は零と見做すことができるが。
第15B図のような変位の発生を考慮に入れた場合には
、第14図の(b)欄を式(0に代入することによって
、その出力電圧ey(Fxcb))は。
・・・(8) となり、eyもまた分力Fxによって影響を多少なりと
も受ける。
以上に述べたように、X方向の分力Fxを検出するにあ
たっては分力Fyの影響は受けるのみならず、Y方向の
分力Fy =の検出にあたっても分力Fxの影響を受け
、特にY方向に大きい荷重が加えられる場合の3分力の
正確な検出が困難なことから、この種のセンサはX方向
の荷重を主体とする用途に限定されざるを得ない傾向が
あった。
[発明の目的〕 本発明の目的は、上述したような問題点に鑑みて、用途
の限定されるようなことがなく、任意方向の荷重に対し
ても各分力荷重を正確に検出す♂ことの可能な圧覚セン
サを提供することにある。
[発明の要点] すなわち、本発明はユニット基板上に並列に配置され左
右および上下を対称形状となした2つの圧覚セルと、2
つの圧覚セルの上面に取付けられた受圧板とにより1つ
のセンサモジュールが構成され、受圧板に加えられる荷
重を、圧覚セルの側面に取付けられたストレンケージと
該ストレジゲージ間に構成されたブリッジ回路との組合
せにより圧覚セルの側面に平行な水平分力Fxと圧覚セ
ルの側面に直角な水平分力Fyと受圧板に垂直な方向の
垂直分力Fzとにそれぞれ分解して検出可能な圧覚セン
サにおいて、水平分力Fxx出用のブリッジ回路および
水平分力FyY出用のブリヤシ回路をそれぞれ2対のス
トレンゲージずつで構成し、水平分力Fx検出用の2対
のストレンゲージのうちの一対を一方の圧覚セルの外向
き側面における上半象限の左右対称位置に配置し、他の
一対を他方の圧覚セルの外向き側面における下半象限の
左右対称位置に配置し、水平分力Fv検出用の2対のス
トレンゲージのうちの一対を一方の圧覚セルの外向きの
側面における斜めに位置する象限の中心対称位置に配置
し、他の一対を他方の圧覚セルの外向きの側面における
斜めに位置する象限とは異なる斜め同士の象限の中心対
称位置に配置したことを特徴とするものである。
[発明の実施例] 第1A図および第18図は本発明の一実施例を示し、本
例では1つの圧覚センサモジュール6の構成セル1およ
び2を第8図と同様に配設すると共に、その外向きの面
11および21に図に示すようにX方向、Y方向および
Z方向の分力検出用ストレンゲージ17を配置する。
ここで、本発明にかかるストレンゲージ17の配置につ
いてその説明を分り易くするために、セル1および2の
側面11.12および21.22を、その中心を含む垂
直線および水平線によって4分割し、右上の象限を第1
象限Qlとして反時計回りの方向に左上の象限を第2象
限Q2、左下の象限を第3象限g3.右下の象限なw4
4費限Q4とする。
しかして、本例ではセルlの外側の面11における第1
象限Qlおよび第2象限Q2の中心寄りの位置に分力F
x検検出スストレンゲージ1x1および11x2を、更
にまたセル2の外側の面21における第3象限Q3およ
び第4象限Q4の上記対象位置に同じくストレンゲージ
21X3および21x4をそれぞれ配置し、これらに対
して第2A図に示すようにFxx出用ブリッジ回路20
0Bを構成する。
また、セル面11の第1象限Q1および第3象限Q3の
外寄りの位置に分力Fy検検出スストレンゲージ1YI
および11Y3を、更にまたセル面21の第2象限Q2
および第4象限Q4の上記と対象の位置にストレンゲー
ジ1IY2および11Y4をそれぞれ配置して、これら
に対して第2B図に示すようにFyY出用ブリッジ回路
200Cを構成する。
なお、分力Fz検出用のストレンゲージの配置に関して
は、先に説明した第10A図および第10B図と同様と
なし、また、そのF2検出用ブリッジ回路200Aの構
成についても第12A図の構成と同様とす畜。
次に、このように構成した圧覚センサによって分力Fx
検出用ブリッジ回路200Bの出力電圧exから分力F
yの干渉が排除されることを以下に説明する。
この場合、Fx検出用ブリッジ回路200Bからの出力
電圧6%  は次式で表わされる。
・・・(7) 式(7)に第14図の分力Fxによる個々の抵抗変化値
を代入することによって次式(8)が得られる。
・・・(8) すなわち、分力Fxに比例した出力電圧を得ることがで
きる。
ついで1回路200Bからの分力Fyにかかわる出力電
圧e(Fy)は式(7)に第14図の分力Fyによる抵
抗変化値を代入することによって次式(8)%式% すなわち、分力Fyからの干渉の排除されたことが分る
次に、分力FyY出用ブリッジ回路200Cの出力電圧
eyから分力Fxの干渉が排除されることを以下に述べ
る。
Fy検検出ツブ9フ2 eyは次式(10)で表わされる。
・・・(10) 式(10)に第14図の分力Fyによる個々の抵抗変化
値を代入することによって次式(11)が得られる。
・・・(11) すなわち、分力Fyに比例した出力電圧を得ることがで
きることを示す。
ついで1回路200Cか゛らの分力Fxにかかわる出力
電圧e  (Fx)は、式(10)に第14図の分力F
xによる抵抗変化値を代入することによって得られるが
、この場合、欄(a)の場合の値を代入すると、勿論零
となり問題はない.また欄(b)の値を代入すると、式
(12)が得られる。
・・・(12) すなわち、この場合にあっても分力Fxからの干渉の排
除されたことが分る。
第3A図および第3B図は本発明の他の実施例を示す.
本例は分力FyY出用のストレンゲージ11Y2および
11Y4をセルlの外側面!lでは第2象限Q2および
第4象限Q4に配置し、更にセル2の外側面21で社同
ストレンゲージ21Y!および21Y3を第1象限Q1
および第3象限Q3に配置したもの!ある。
したがって、この場合の分力Fyの検也用ブリッジ回路
300Cを第4図のように構成することによって、先に
式(10)で示したと全く同様に,その出力電圧eyは
次式(13)で示されることになり、この式(13)に
第14図の個々の抵抗変化値を代入することにより分力
Fxからの干渉の排除を全く同様にして証明することが
できる。
ay=−(−ΔR11Y2+ΔR +IY6+ΔR 2
J’/l−ΔR21y3) − etR ・・・(13) なお、分力FxおよびFzに関してはさきに述べたとこ
ろと同様であり,その説明を省略する。
第5A図および第5B図は本発明の更に他の実施例を示
す.本例は第1A図および第1B図の例に対して,その
分力Fx検出用のストレンゲージを外側面11の第3象
限Q3および第4象限Q4と,外側面21の第1象限Q
lおよび第2象限Q2に11X2およびIH4と21x
1および21x2として配置したものである。
二の場合、分力FyY出用ブリヤシ回路については第2
B図と同様であり、ただ分カFx検出用ブリッジ回路4
00Bは第8図に示すように構成される。
なお、この場合の出力電圧ex は次式(14)で示さ
れ、その出力電圧eメ  が分力Fyの干渉を受けない
ことは先に述べたと全く同様にして証明することができ
る。
61t!−(ΔRm4−ΔR1tyl+ΔRzlX l
−ΔR2l*z) qeLR ・・・(10 wI、7A図および第7B図は本発明の更に他の実施例
を示す1本例は1分力FxおよびFz検出用のストレン
ゲージの配置を第5A図および第5B図にならって同様
となし、分力FyY出用のストレンゲージを第3A図お
よび第3B図にならって配置したものである。
したがって、分力Fx検検出スストレンゲージ1X3.
11X4および21に1.2t!2間のブリッジ回路に
ついては第8図に示した回路400Bと同様となり、更
に分力Fy検検出スストレンゲージ1Y2゜11Y4お
よび21Y1,21Y3間のブリッジ回路については第
4図と同様に構成する。また、これらのブリッジ回路4
00Bおよび300Gからの出力電圧e×およびeyに
ついては、式(10および(13)で示されることにな
り、その効果については全く同様でありその説明を省略
する。
[発明の効果] 以上説明してきたように1本発明によれば、ユニット基
板上に並列に配置された2つの圧覚セルと、この圧覚セ
ル上面に取付けた受圧板とにより触覚センサモジュール
が構成される圧覚センサにおいて、その側面を、中心を
通る垂直線と中心を通る水平線とにより4つの象限に分
けたときに。
分力Fππ検出スストレンゲージ一対を一方の圧覚セル
の外側面の上半の象限における左右対象の位置に配置す
ると共に、同ストレンゲージの更に他の一対を他方の圧
覚セルの外側面の下半の象限における左右対称の位置に
配置し、分力Fv検検出スストレンゲージ一対を一方の
圧覚セルの外側面v7礪めに相対した象限における中心
対称位置に配置すると共に、同ストレンゲージの更に他
の一対を他方の圧覚セルの外側面の上記斜めに相対した
象限とは異なる斜め同士の象限における中心対称の位置
に配設し5上述した2対のFx検検出スストレンゲージ
間Fx検出用ブリッジ回路を設け、上述した2対のFy
検検出スストレンゲージ間Fy検検出ズブ9フ2 出用プリー、ジ回路およびFy検検出ズブ9フ2力Fy
およびFxの影響が混入するのを防止することができて
、ノイズの発生が防止され、また、従来のような配線の
クロスオーバを無くすことにより製造コストが低減され
、精度と共に信頼性の高い圧覚センサを提供することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1A図および第1B図は本発明圧覚センサの構成の一
例としてその個々のセルの外向きの側面に設けたストレ
ンゲージの配置を示す模式図、第2A図および第2B図
はこれらのストレンゲージmに設けた分力FXおよびF
vv出用ブリッジ回路の構成図。 第3A図および第3B図は本発明の他の実施例における
ストレンゲージの配置を示す模式図、第4図はその分力
FyY出用ブリッジ回路の構成図、 !sSA図およびJR5B図は本発明の更に他の実施例
におけるストレンゲージの配置を示す模式図、wSe図
はその分力Fxx出用ブリッジ回路の構成図、 第7A図および第7B図は本発明の更に他の実施例にお
けるストレンゲージの配置を示す模式図、第8図は本発
明の適用が可能な従来の圧覚センサの構成の一例を示す
斜視図。 第9図はそのセルの側面に配設されたストレンゲージの
配置を示す斜視図、 第10A図および第10B図は従来の圧覚センサの他の
構成例としてその圧覚セルの外側面に設けたストレンゲ
ージの配置を示す模式図、 第11図はその圧覚センサのセンサモジュールの厖迦・
図、 第12A図、第128図および第120図はそのストレ
ンゲージ間に設けた分力Fz、FxおよびFy検出用ブ
リッジ回路の構成図、 第13図はそのFX検出用ブリッジ回路の個々のストレ
ンゲージにおいて、分力FxおよびFyによって発生す
る抵抗変化値をそれぞれテーブルにして示す図、 第14図はそのFy検出用ブリッジ回路の個々のストレ
ンゲージにおいて、分力FTおよびFxによって発生す
る抵抗変化値をそれぞれテーブルにして示す図。 第15A図および第158図は分力Fxによってセンサ
モジュールが変形する2つの形態をそれぞれ模式に示す
線図である。 1.2・・・圧覚セル。 3・・・基板、 4・・・溝、 5・・・受圧板。 6・・・センサモジュール。 7.1?、Xi  −X4.Yl  〜Y4.ZI  
N22・・・ストレンゲージ、 Fx、Fy 、Fz ・・・分力、 11.12,21.22・・・側面、 ΔR111しΔR+lXZ IΔR11す、ΔRn神。 ΔRZIkllΔR2JXL *ΔRzrx3 *ΔR
ml +ΔRnvしΔR1+vz、ΔR1lvff 、
ΔRIIYQIΔR1J%/l  *  ΔRSIYL
、  ΔR>vje  ΔRIJQ・・・抵抗変化値。 100A、l00B、1000.2008.2000・
・・ブリッジ回路、 11XI、11X2,11X4,21X1,21X3,
21X4 。 11Y1.11Y3,11Y4,21Y1,21Y2.
21Y4,11211123.2121,2123,2
2X3,22X4・・・ストレンゲージ、 Ql−04・・・象限。 第1A図 第1B図 りl 第3A図 //Z/ 第3B図 ワl 第4図 第6図″ 第5A図 !! 第58図 第7A図 第78図 第8図 第9図 第1OA図 第10B図 第11図 第12A図  第12B図  第12C図ノIYI 第13図 (A、BnIFk’4”tL Fx、Fy分力r:me
争几た正の41)第14図 (CI″sFy分力、  、l、v(d<D)n Fx
分力1τ比伜几た正、のイ直)第15A図    第1
5B図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ユニット基板上に並列に配置され左右および上下を対称
    形状となした2つの圧覚セルと、該2つの圧覚セルの上
    面に取付けられた受圧板とにより1つのセンサモジュー
    ルが構成され、前記受圧板に加えられる荷重を、前記圧
    覚セルの側面に取付けられたストレンケージと該ストレ
    ンゲージ間に構成されたブリッジ回路との組合せにより
    前記圧覚セルの側面に平行な水平分力Fxと前記圧覚セ
    ルの側面に直角な水平分力Fyと前記受圧板に垂直な方
    向の垂直分力F_2とにそれぞれ分解して検出可能な圧
    覚センサにおいて、前記水平分力Fx検出用のブリッジ
    回路および前記水平分力Fy検出用のブリッジ回路をそ
    れぞれ2対のストレンゲージずつで構成し、前記水平分
    力Fx検出用の2対のストレンゲージのうちの一対を一
    方の前記圧覚セルの外向き側面における上半象限の左右
    対称位置に配置し、他の一対を他方の前記圧覚セルの外
    向き側面における下半象限の左右対称位置に配置し、前
    記水平分力Fy検出用の2対のストレンゲージのうちの
    一対を一方の前記圧覚セルの外向きの側面における斜め
    に位置する象限の中心対称位置に配置し、他の一対を他
    方の前記圧覚セルの外向きの側面における前記斜めに位
    置する象限とは異なる斜め同士の象限の中心対称位置に
    配置したことを特徴とする圧覚センサ。
JP60059641A 1985-03-26 1985-03-26 圧覚センサ Granted JPS61218922A (ja)

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