JPS61235165A - サ−マルヘツドの製造方法 - Google Patents
サ−マルヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPS61235165A JPS61235165A JP7641285A JP7641285A JPS61235165A JP S61235165 A JPS61235165 A JP S61235165A JP 7641285 A JP7641285 A JP 7641285A JP 7641285 A JP7641285 A JP 7641285A JP S61235165 A JPS61235165 A JP S61235165A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- conductor
- resist
- thermal head
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
不発明は、短作東時閾で歩留りの為いサーマルヘッドの
製造方法に圓する〇 （発明の＊ｊｊｔ） 従来のサーマルヘッドの製造方法は１例えば籍公陥５５
−７１５５号公報に記載されるよ５に。
製造方法に圓する〇 （発明の＊ｊｊｔ） 従来のサーマルヘッドの製造方法は１例えば籍公陥５５
−７１５５号公報に記載されるよ５に。
積増形成した発熱抵抗体層と得体配置層を、くし形のホ
トマスクをもちいた写真食刻法で多数個の戚分次の積層
配−とし、レジストを除去した恢、削運した一分状の槓
増配嫌の導体配癲の一都ヲ、細量形のホトマスクをもち
いた写真食刻法で取り除き発熱抵抗体とするものである
。
トマスクをもちいた写真食刻法で多数個の戚分次の積層
配−とし、レジストを除去した恢、削運した一分状の槓
増配嫌の導体配癲の一都ヲ、細量形のホトマスクをもち
いた写真食刻法で取り除き発熱抵抗体とするものである
。
この方法では、細長形のホトマスクの価格が安く、ホト
マスクの整合も容易であるが、導体層のエツチングを２
工機に分けているため作業時間が負＜、レジストの欠陥
により導体配線の断祿が多く発生する。
マスクの整合も容易であるが、導体層のエツチングを２
工機に分けているため作業時間が負＜、レジストの欠陥
により導体配線の断祿が多く発生する。
本発明の目的は１作業時間が短か（歩留９の＾いサーマ
ルヘッドの製造方法を提供することにある。
ルヘッドの製造方法を提供することにある。
不発明は上記目的を遜属するために、積増形成した発熱
抵抗体層と導体配線層の５ち、導体配線間および１発熱
抵抗体上の導体配線層を写真食刻法の手法で同時に取り
除き、レジストを除去した恢、配緘閾の発熱抵抗体層を
写真食刻法の手法をもちいて賞側漱が、導体配線に接触
しないよ５に食刻することにより２！！属させるもので
ある。
抵抗体層と導体配線層の５ち、導体配線間および１発熱
抵抗体上の導体配線層を写真食刻法の手法で同時に取り
除き、レジストを除去した恢、配緘閾の発熱抵抗体層を
写真食刻法の手法をもちいて賞側漱が、導体配線に接触
しないよ５に食刻することにより２！！属させるもので
ある。
以下１本発明の冥り例を第１１乃至第３図により＃ｖＩ
述する。第１図乃至第３−は１本発明の一夾逓例を示す
サーマルヘッドの製造工程を示すｇＩｆ＋視断平図で、
先ずｇＩ図に示すように高抵抗の基散１の表面に、；＠
層またはスパッタリング等の手法で犀さくＬＯ５〜０．
２ μｍのＴａ、Ｎ Ｊａ−５ｉ 。
述する。第１図乃至第３−は１本発明の一夾逓例を示す
サーマルヘッドの製造工程を示すｇＩｆ＋視断平図で、
先ずｇＩ図に示すように高抵抗の基散１の表面に、；＠
層またはスパッタリング等の手法で犀さくＬＯ５〜０．
２ μｍのＴａ、Ｎ Ｊａ−５ｉ 。
Ｔａ−５ｉｎ、等からなる発熱抵抗体層２を形成した恢
、厚さα５〜２μｍのＡμ、 Ａｔ 等からなる導体
層３を形成し、さらにレジストバタン４をもちいて導体
層の不用部をエツチングする。
、厚さα５〜２μｍのＡμ、 Ａｔ 等からなる導体
層３を形成し、さらにレジストバタン４をもちいて導体
層の不用部をエツチングする。
次に、第２図に示すようにレジストバタン４を除去後、
レジストバタン５をもちいて発熱抵抗体層の不用部をエ
ツチングする。ここでレジストバタン５を除去丁れば、
第５図に示すよ５ＶＣ％熱抵仇体を形成する・ 上述の笑應例は１発熱抵抗体層と導体層の２層のみの例
であるが１発熱ａ汎体増と導体層の闇に、魚屑またはス
パッタリング等の手法で形成した。 ｉ’ｉ 、 Ｃｒ
等からなる拡散防止層を形成１°ることが央鴻されてお
り、この通合には、２４体層の食狗後枕けて拡散防止ｌ
曽を食刻丁ればよい。
レジストバタン５をもちいて発熱抵抗体層の不用部をエ
ツチングする。ここでレジストバタン５を除去丁れば、
第５図に示すよ５ＶＣ％熱抵仇体を形成する・ 上述の笑應例は１発熱抵抗体層と導体層の２層のみの例
であるが１発熱ａ汎体増と導体層の闇に、魚屑またはス
パッタリング等の手法で形成した。 ｉ’ｉ 、 Ｃｒ
等からなる拡散防止層を形成１°ることが央鴻されてお
り、この通合には、２４体層の食狗後枕けて拡散防止ｌ
曽を食刻丁ればよい。
この夾ＮＡ＠によれば１発熱抵抗体上の導体層と尋坏配
嫌閾の導体層を同時に食刻することができるため１作業
時間が短縮できる。また％導体層の食刻に便用するレジ
ストに欠陥かあると。
嫌閾の導体層を同時に食刻することができるため１作業
時間が短縮できる。また％導体層の食刻に便用するレジ
ストに欠陥かあると。
得体配線の＃鍼となるが、従来２工程あった導体層の食
刻工程が１工程となり、不良率が低減する。
刻工程が１工程となり、不良率が低減する。
また、上述の実施例では、導体層の食刻恢。
レジストバタン４を１去する例を示したが、レジストバ
タン４を減云せず就けてレジストバタン５を形成するこ
とも可能であり、この場合さらに作業時間が短軸できる
。
タン４を減云せず就けてレジストバタン５を形成するこ
とも可能であり、この場合さらに作業時間が短軸できる
。
上述の芙應例では、レジストバタン５の形状を込べなか
りたが、レジストバタン５は、纒体配麿層５をａ１５形
状が望ましい。これは１発熱抵抗体層２の貢狗液として
用いられるふつ酸と硝皺の混敵により、尋体配線表圓に
ふつ化物が形成される場合かあり、ふり化物を形成した
導体層表１の電気的コンタクトか患化】°るためである
。
りたが、レジストバタン５は、纒体配麿層５をａ１５形
状が望ましい。これは１発熱抵抗体層２の貢狗液として
用いられるふつ酸と硝皺の混敵により、尋体配線表圓に
ふつ化物が形成される場合かあり、ふり化物を形成した
導体層表１の電気的コンタクトか患化】°るためである
。
上述した来ＡｉＰｊからも明らかなように、不発Ｅ！Ａ
Ｋよれは、導体層のエツチングを１工程で英識すること
ができるので１作４時間の短軸と不良率の！諷に効果が
あり、１１に気的なコンタクトも良好である。
Ｋよれは、導体層のエツチングを１工程で英識すること
ができるので１作４時間の短軸と不良率の！諷に効果が
あり、１１に気的なコンタクトも良好である。
図はいずれも本発明の一実題例を示すもので、第１図乃
至帛３図は工程駐通毎のサーマルヘッドの腑祝＃圓図で
ある。 １・・・基板 ２・・・発熱抵抗体層３・・
・導１２ｐ膚４，５・・・レジストバタン６・・・発熱
抵抗体 第 １ 図 第 ３ 図
至帛３図は工程駐通毎のサーマルヘッドの腑祝＃圓図で
ある。 １・・・基板 ２・・・発熱抵抗体層３・・
・導１２ｐ膚４，５・・・レジストバタン６・・・発熱
抵抗体 第 １ 図 第 ３ 図
Claims (1)
- 発熱抵抗体層と導体配線層とを含む２以上の層から成り
、発熱抵抗体上の導体層不用部と、導体配線間の導体層
不用部とを、写真食刻法により同時に食刻し、発熱抵抗
体層の食刻にもちいるホトマスク形状を、導体層不用部
の食刻にもちいるホトマスクで導体配線間のみを食刻す
る形状と相似させるようにしたことを特徴とするサーマ
ルヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60076412A JPH0657454B2 (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60076412A JPH0657454B2 (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61235165A true JPS61235165A (ja) | 1986-10-20 |
| JPH0657454B2 JPH0657454B2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=13604515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60076412A Expired - Lifetime JPH0657454B2 (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0657454B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63183861A (ja) * | 1987-01-27 | 1988-07-29 | Seikosha Co Ltd | サ−マルヘツドの製造方法 |
| JPS63183862A (ja) * | 1987-01-27 | 1988-07-29 | Seikosha Co Ltd | サ−マルヘツドの製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5780074A (en) * | 1980-11-07 | 1982-05-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Preparation of thermal head |
| JPS59194859A (ja) * | 1983-04-19 | 1984-11-05 | Canon Inc | インクジェットヘッド |
-
1985
- 1985-04-12 JP JP60076412A patent/JPH0657454B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5780074A (en) * | 1980-11-07 | 1982-05-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Preparation of thermal head |
| JPS59194859A (ja) * | 1983-04-19 | 1984-11-05 | Canon Inc | インクジェットヘッド |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63183861A (ja) * | 1987-01-27 | 1988-07-29 | Seikosha Co Ltd | サ−マルヘツドの製造方法 |
| JPS63183862A (ja) * | 1987-01-27 | 1988-07-29 | Seikosha Co Ltd | サ−マルヘツドの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0657454B2 (ja) | 1994-08-03 |
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