JPS61243345A - レ−ザ−散乱・吸収検出器 - Google Patents
レ−ザ−散乱・吸収検出器Info
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- JPS61243345A JPS61243345A JP60084464A JP8446485A JPS61243345A JP S61243345 A JPS61243345 A JP S61243345A JP 60084464 A JP60084464 A JP 60084464A JP 8446485 A JP8446485 A JP 8446485A JP S61243345 A JPS61243345 A JP S61243345A
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- reflector
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- cell
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
- G01N21/51—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid inside a container, e.g. in an ampoule
Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はレーザー元の散乱元金検出して被測定安中の粒
子の大＠嘔や数或いはａ度等を検出するレーザー散乱−
吸収検出器に関するものである。
子の大＠嘔や数或いはａ度等を検出するレーザー散乱−
吸収検出器に関するものである。
（従来技術とその問題点）
周知のように超Ｌ８Ｉ （大規模集積回路）の生産や
生命化学の分野では、クリーンルームの清浄度の向上及
び維持がム要で１凱その測定や清浄度制御のセンサーと
してレーザー散乱検出器が用いられている。
生命化学の分野では、クリーンルームの清浄度の向上及
び維持がム要で１凱その測定や清浄度制御のセンサーと
してレーザー散乱検出器が用いられている。
第１図は従来のレーザー散乱検出器の第１の方式による
一例を示すもので、レーザー共振器を構成する全反射＊
１．２間にレーザー活性物質３と被測定粒子４を配置し
、被測定粒子４からの散乱光を集光用反射源５を用して
検出器６に入射させるようにしている。なお７はレーザ
ービームでめる。
一例を示すもので、レーザー共振器を構成する全反射＊
１．２間にレーザー活性物質３と被測定粒子４を配置し
、被測定粒子４からの散乱光を集光用反射源５を用して
検出器６に入射させるようにしている。なお７はレーザ
ービームでめる。
このレーザー散乱検出器は、気体、例えば空気中のチリ
やホコリの検出には使用出来るが、液体中の不純物粒子
や固体、例えばガラス中の気泡やゴミの検出には、液体
又は固体の元エネルギーの反射吸収作用によりパワーの
低下を招！！、その作用が著しく大′ｆ！ｉい時は、レ
ーザーの発振が停止し実用が困難でめった。
やホコリの検出には使用出来るが、液体中の不純物粒子
や固体、例えばガラス中の気泡やゴミの検出には、液体
又は固体の元エネルギーの反射吸収作用によりパワーの
低下を招！！、その作用が著しく大′ｆ！ｉい時は、レ
ーザーの発振が停止し実用が困難でめった。
これを改善し７’Ｃｉ２の方式のものとして、第２図に
示すように、一方の反射ｇ＆２′を最適透過率を持った
一部透過反射鏡として従来の高出力レーザー元を集光し
、この一部透過反射挑２′の外側に被測定粒子４を置い
て液体や固体中のゴミ或いは微粒子を測定する方法が提
案されている。
示すように、一方の反射ｇ＆２′を最適透過率を持った
一部透過反射鏡として従来の高出力レーザー元を集光し
、この一部透過反射挑２′の外側に被測定粒子４を置い
て液体や固体中のゴミ或いは微粒子を測定する方法が提
案されている。
と０ろが、この第２図に示すレーザー散乱検出器は、レ
ーザーの発振が停止することはないが、一部透過反射挑
２′から出るレーザー元エネルギーが小さいので、レー
ザー元吸収率の大きい液体や固体中のノミや微粒子の検
出には散乱光が微弱なため検出が困離であった。
ーザーの発振が停止することはないが、一部透過反射挑
２′から出るレーザー元エネルギーが小さいので、レー
ザー元吸収率の大きい液体や固体中のノミや微粒子の検
出には散乱光が微弱なため検出が困離であった。
そこでこの発明は、従来のレーザー散乱検出器では検出
出来なかった液体又は固体中の粒子の検出が可ｉ目とな
るものを提供することを目的とする。
出来なかった液体又は固体中の粒子の検出が可ｉ目とな
るものを提供することを目的とする。
（間趙点を解決するための手段〉
この目的音達成させるため、この発明は次のような構成
としている。
としている。
すなわち、この発明に・糸るレーザー散乱・吸収検出器
ｔｃ、第２図に示したレーザー散乱検出器にお−て、一
部透過反射説２′の外側に適宜の間隔を置いて反射鏡を
配置して第２のレーザー共振器を構成し、レーザー元エ
ネルギーを増巾することにより従来検出出来なかり７’
Ｃ液俸又は固体中の粒子の検出上可能としたものである
。
ｔｃ、第２図に示したレーザー散乱検出器にお−て、一
部透過反射説２′の外側に適宜の間隔を置いて反射鏡を
配置して第２のレーザー共振器を構成し、レーザー元エ
ネルギーを増巾することにより従来検出出来なかり７’
Ｃ液俸又は固体中の粒子の検出上可能としたものである
。
（実施例）
ＷＪ３図は、本発明に係るレーザー散乱・吸収検出器の
概略図でろる。
概略図でろる。
１はＷＪｌの反射鏡でレーザー元反射単１００チのもの
である。２′は第２の反射鏡で、レーザー元の散乱検出
を目的とし友最適の透過′４１に待つものである。８は
第３の反射鏡で、レーザー元反射率ｔｏｏｓのものでろ
る。
である。２′は第２の反射鏡で、レーザー元の散乱検出
を目的とし友最適の透過′４１に待つものである。８は
第３の反射鏡で、レーザー元反射率ｔｏｏｓのものでろ
る。
３はＷＪｌｏ反射ｆｊｉｌとｇ２ｏ反射ｍ２’間に設け
たレーザー活性Ｗ質％９は第２の反射鏡２′と第３の反
射鏡８間に設けた破検査液体を収容するセルである。
たレーザー活性Ｗ質％９は第２の反射鏡２′と第３の反
射鏡８間に設けた破検査液体を収容するセルである。
こ＼ではレーザー活性物質３は気体（例えばＨｅ−Ｎｅ
）であり放電管１０中に封じられており、電極や回路は
省略してるる。
）であり放電管１０中に封じられており、電極や回路は
省略してるる。
ｇ２の一部透過反射ｆｉ ２／を透過した第２のレーザ
ービーム７′はセル９ｔ−横断し、セル９甲の液体に含
まれる被測定粒子によって散乱し次レーザー１Ｕ１１（
７）ｆｉ元レンズにより巣元され、ピンホール板１２の
ピンホールを通って１３の検出器に入射し、検出される
。なお、気体中のノミやホコリを検出する場合はレーザ
ービーム７′ヲ横切るように流し、固体中の気泡を検出
する場合は、第２と！＠３の反射蜆間の画定領域に置く
ようにする。
ービーム７′はセル９ｔ−横断し、セル９甲の液体に含
まれる被測定粒子によって散乱し次レーザー１Ｕ１１（
７）ｆｉ元レンズにより巣元され、ピンホール板１２の
ピンホールを通って１３の検出器に入射し、検出される
。なお、気体中のノミやホコリを検出する場合はレーザ
ービーム７′ヲ横切るように流し、固体中の気泡を検出
する場合は、第２と！＠３の反射蜆間の画定領域に置く
ようにする。
第２のレーザービーム７′はｉ２０反射反射鏡と第３の
反射鏡８よす構成されるレーザー共振器によって増巾さ
れ、レーザー光束が強められ、第２図に示した従来のレ
ーザー散乱検出器のそれの約１５倍になり、従来のレー
ザー散乱検出器では検出出来なかつｆｃ′ｒＬ体又は固
体中の粒子、気泡号の検出が出来る。
反射鏡８よす構成されるレーザー共振器によって増巾さ
れ、レーザー光束が強められ、第２図に示した従来のレ
ーザー散乱検出器のそれの約１５倍になり、従来のレー
ザー散乱検出器では検出出来なかつｆｃ′ｒＬ体又は固
体中の粒子、気泡号の検出が出来る。
第２の反射％ｌ１ｔ２′の最大透過率は５反射［１，２
’で構成されるレーザー共振器のレーザーの発振が停止
しない透過率であり、最適透過率は、レーザービーム１
′が最も強くなる透過率である。
’で構成されるレーザー共振器のレーザーの発振が停止
しない透過率であり、最適透過率は、レーザービーム１
′が最も強くなる透過率である。
第３の反射鏡８の曲率は、レーザー発振器によって決ま
る光束の物性と第２の反射鏡２′から第３の反射鏡８ま
での距離と光学素子の特性から決定される。
る光束の物性と第２の反射鏡２′から第３の反射鏡８ま
での距離と光学素子の特性から決定される。
測定領域のレーザー光束１′は、レーザー光束の特性と
、第２の反射鏡２′のＭｚ面（第３図に２いて左側の而
）の曲率と、第３の反射鏡８の曲率の整合によって決定
される。
、第２の反射鏡２′のＭｚ面（第３図に２いて左側の而
）の曲率と、第３の反射鏡８の曲率の整合によって決定
される。
また、測定領域内にレンズ等を挿入することによっても
元来の太さを決定できる。
元来の太さを決定できる。
こ＼では、被測定粒子による散乱光の検出を集光レンズ
１１とピンホール板１２ｔ−介して検出器１３によって
検出するように構成したもの全例示したが、この方法の
みに限定されるものではなく第１図に示したような公昶
の果光用反射説を使用したり、公矧の散乱セルｔ−使う
等目出でろる。
１１とピンホール板１２ｔ−介して検出器１３によって
検出するように構成したもの全例示したが、この方法の
みに限定されるものではなく第１図に示したような公昶
の果光用反射説を使用したり、公矧の散乱セルｔ−使う
等目出でろる。
（本発明の効果）
本発明によれば、気体中のゴミやホコリの検出は勿論の
こと、従来検出出来なかった液体や固体中の微粒子や気
泡の検出が可能となり、天用上磯症の優れたレーザー散
乱・吸収検出器全提供することができる。
こと、従来検出出来なかった液体や固体中の微粒子や気
泡の検出が可能となり、天用上磯症の優れたレーザー散
乱・吸収検出器全提供することができる。
又市販されているブリニスター窓が設けられた外部説レ
ーザーや、内Ｓ鋭し−ザー、又は偏光がランダムな内部
説レーザーを用いても従来より優れた検出器を作製出来
る。
ーザーや、内Ｓ鋭し−ザー、又は偏光がランダムな内部
説レーザーを用いても従来より優れた検出器を作製出来
る。
こ＼では、レーザー散乱光検出による粒子の測定につい
て説明したが２本発明にか＼る検出器は気体、液体、固
体を測定領域に挿入する事によってレーザービーム強度
の減衰より吸収を効率よく測定することもできる。
て説明したが２本発明にか＼る検出器は気体、液体、固
体を測定領域に挿入する事によってレーザービーム強度
の減衰より吸収を効率よく測定することもできる。
第１図及び第２図はそれぞれ従来のレーザー散乱検出器
の概略縦断面図、第３図は不発明の一実施例の主要部を
示す概念図でめる。 １・・・ｉｌの反射鏡％ ２′・・・第２の反射鏡、８
・・・第３の反射鏡、３・・・レーザー活性切質、９・
・・セル、１０・・・放電管、１ｍ−・・条光レンズ、
１２・・・ぎンホール板、１３・・・検出器。 第１図 第２図 ７″ 第 ６ 図
の概略縦断面図、第３図は不発明の一実施例の主要部を
示す概念図でめる。 １・・・ｉｌの反射鏡％ ２′・・・第２の反射鏡、８
・・・第３の反射鏡、３・・・レーザー活性切質、９・
・・セル、１０・・・放電管、１ｍ−・・条光レンズ、
１２・・・ぎンホール板、１３・・・検出器。 第１図 第２図 ７″ 第 ６ 図
Claims (1)
- 相対する一対の全反射鏡間に一部透過反射鏡を配置し、
前記一方の全反射鏡と一部透過反射鏡間にレーザー活性
物質を配置し、他方の全反射鏡と一部透過反射鏡間を測
定領域として、気体、液体、固体のレーザー散乱・吸収
状態を検出することを特徴とするレーザー散乱・吸収検
出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60084464A JPS61243345A (ja) | 1985-04-22 | 1985-04-22 | レ−ザ−散乱・吸収検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60084464A JPS61243345A (ja) | 1985-04-22 | 1985-04-22 | レ−ザ−散乱・吸収検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61243345A true JPS61243345A (ja) | 1986-10-29 |
Family
ID=13831345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60084464A Pending JPS61243345A (ja) | 1985-04-22 | 1985-04-22 | レ−ザ−散乱・吸収検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61243345A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4926836A (en) * | 1987-07-31 | 1990-05-22 | Mitsubishi Kinzoku Kabushiki Kaisha | Method of and apparatus for dressing cutting edge of cut-off wheel |
| US5864399A (en) * | 1996-03-08 | 1999-01-26 | Met One, Inc. | Method for counting particles in a fluent stream |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS509483A (ja) * | 1973-05-23 | 1975-01-30 | ||
| JPS50104980A (ja) * | 1974-01-25 | 1975-08-19 |
-
1985
- 1985-04-22 JP JP60084464A patent/JPS61243345A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS509483A (ja) * | 1973-05-23 | 1975-01-30 | ||
| JPS50104980A (ja) * | 1974-01-25 | 1975-08-19 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4926836A (en) * | 1987-07-31 | 1990-05-22 | Mitsubishi Kinzoku Kabushiki Kaisha | Method of and apparatus for dressing cutting edge of cut-off wheel |
| US5864399A (en) * | 1996-03-08 | 1999-01-26 | Met One, Inc. | Method for counting particles in a fluent stream |
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