JPS6135937Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6135937Y2 JPS6135937Y2 JP1978106387U JP10638778U JPS6135937Y2 JP S6135937 Y2 JPS6135937 Y2 JP S6135937Y2 JP 1978106387 U JP1978106387 U JP 1978106387U JP 10638778 U JP10638778 U JP 10638778U JP S6135937 Y2 JPS6135937 Y2 JP S6135937Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- scattered light
- raman scattered
- slits
- fluorescence
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は螢光分光装置の感度較正装置に関す
る。
る。
螢光分光装置の感度較正方法には、標準光源を
用いる方法、標準となる螢光物質を用いる方法等
の他にラマン散乱光を利用して装置の感度を常に
一定に保つ方法がある。本考案はこのラマン散乱
光を利用する方法による装置に関する。
用いる方法、標準となる螢光物質を用いる方法等
の他にラマン散乱光を利用して装置の感度を常に
一定に保つ方法がある。本考案はこのラマン散乱
光を利用する方法による装置に関する。
ラマン散乱光を利用する方法は試料の溶媒の発
するラマン散乱光の強度を測定してこれが常に一
定となるように光電変換素子の感度或は増幅系の
利得を調節するものであるが、溶媒或はブランク
に含まれている盲螢光が邪魔になつてラマン散乱
光の正確な測定が困難であつた。盲螢光は第１図
に示すように平坦な波長分布を示し、ラマン散乱
光はこの盲螢光をベースラインとしてその上に乗
つた状態になつている。従つてラマン散乱光の中
心波長位置で測定しただけでは盲螢光とラマン散
乱光とを分離できず、しかも盲螢光レベルは溶媒
に含まれる種々な不純物によるので常時一定した
ものではないので実際上感度較正の妨害となるの
である。従つてラマン散乱光によつて感度較正を
行うにはその度毎にラマン散乱光の前後或る波長
範囲の散乱光を測定して第１図のカーブを求める
と云う操作をしなければならないから、ラマン散
乱光による感度較正を自動的にしようとすると装
置構成が大変複雑なものとなる。
するラマン散乱光の強度を測定してこれが常に一
定となるように光電変換素子の感度或は増幅系の
利得を調節するものであるが、溶媒或はブランク
に含まれている盲螢光が邪魔になつてラマン散乱
光の正確な測定が困難であつた。盲螢光は第１図
に示すように平坦な波長分布を示し、ラマン散乱
光はこの盲螢光をベースラインとしてその上に乗
つた状態になつている。従つてラマン散乱光の中
心波長位置で測定しただけでは盲螢光とラマン散
乱光とを分離できず、しかも盲螢光レベルは溶媒
に含まれる種々な不純物によるので常時一定した
ものではないので実際上感度較正の妨害となるの
である。従つてラマン散乱光によつて感度較正を
行うにはその度毎にラマン散乱光の前後或る波長
範囲の散乱光を測定して第１図のカーブを求める
と云う操作をしなければならないから、ラマン散
乱光による感度較正を自動的にしようとすると装
置構成が大変複雑なものとなる。
本考案は上述第１図に示すようなベース部分を
広く含んだラマン散乱光のプロフアイルを求めそ
れによつて盲螢光を除くと云う操作をなしにラマ
ン散乱光のみのレベルを測定することによつて感
度較正を行い得る装置を提供しようとするもので
ある。
広く含んだラマン散乱光のプロフアイルを求めそ
れによつて盲螢光を除くと云う操作をなしにラマ
ン散乱光のみのレベルを測定することによつて感
度較正を行い得る装置を提供しようとするもので
ある。
第２図は螢光分光装置の概略を示す平面図であ
る。Ｌは光源、Ｍ１は励起光分光器、Ｃは試料セ
ルで分光器Ｍ１を出た光によつて照射される。Ｍ
２は螢光分光器で試料セルＣに入射した励起光に
対し直角の方向に出た種々な光がＭ２に入射し、
Ｍ２により分光された光は出口スリツトＳを通つ
て光電変換素子Ｐに入射する。
る。Ｌは光源、Ｍ１は励起光分光器、Ｃは試料セ
ルで分光器Ｍ１を出た光によつて照射される。Ｍ
２は螢光分光器で試料セルＣに入射した励起光に
対し直角の方向に出た種々な光がＭ２に入射し、
Ｍ２により分光された光は出口スリツトＳを通つ
て光電変換素子Ｐに入射する。
本考案は第２図における出口スリツトＳを特殊
な構造にしてラマン散乱光と盲螢光とを分離測定
可能としたものである。その原理を第３図によつ
て説明する。第３図は第１図でラマン散乱光を中
心とする或る幅の範囲を抽出したものである。今
出口スリツトとして中心スリツトＳ１とその両側
にラマン散乱光のピークの両側傾斜部に位置する
ように波長差でΔＷ離れた位置に配置されるスリ
ツトＳ２，Ｓ３の三個を用い、まずＳ２，Ｓ３を
同時に用いＳ１を除いておくと第３図でIa′，
Ib′と記入された光強度の光が光電変換素子Ｐに
入射する。そこでＳ２，Ｓ３のスリツト幅をＳ１
の半分としておくと、このときのＰの出力は
（Ia′＋Ib′）／２とみなすことができる。次にスリ
ツトＳ２，Ｓ３を除きＳ１を用いるとラマン散乱
光の中心部の高さIc′が測定できる。こゝで図か
ら明かなように、Ic′は強度Idの盲螢光の上に乗
つたラマン散乱光の強度で、真のラマン散乱光強
度IcはIc′−Id′であり、同様にしてラマン散乱光
の中心の両側Δｗにおけるラマン散乱光の真の強
度Ia，Ibは夫々Ia＝Ia′−Id、Ib＝Ib′−Idである
が、直接測定できるのはIa′，Ib′，Ic′である。そ
こで演算回路でIc′−（Ia′＋Ib′）／２を算出する
ことができる。こゝで盲螢光のレベルはラマン散
乱光を中心にその前後ΔＷの範囲では殆ど水平と
みなせるのでこのレベルをIdとするとIa′＝Ia＋
Id、Ib′＝Ib＋Id、Ic′＝Ic＋Idであるから、 Ic′−（Ia′＋Ib′）
／２＝Ic−（Ia＋Ib）／２＝Io……(1) となり上式には盲螢光レベルIdは含まれていな
い。従つてIoはラマン散乱光強度に完全に比例し
ており、このIoが一定となるように光電変換素子
Ｐの感度或は以後の増幅回路の利得を調節すれば
正し感度較正ができることになる。
な構造にしてラマン散乱光と盲螢光とを分離測定
可能としたものである。その原理を第３図によつ
て説明する。第３図は第１図でラマン散乱光を中
心とする或る幅の範囲を抽出したものである。今
出口スリツトとして中心スリツトＳ１とその両側
にラマン散乱光のピークの両側傾斜部に位置する
ように波長差でΔＷ離れた位置に配置されるスリ
ツトＳ２，Ｓ３の三個を用い、まずＳ２，Ｓ３を
同時に用いＳ１を除いておくと第３図でIa′，
Ib′と記入された光強度の光が光電変換素子Ｐに
入射する。そこでＳ２，Ｓ３のスリツト幅をＳ１
の半分としておくと、このときのＰの出力は
（Ia′＋Ib′）／２とみなすことができる。次にスリ
ツトＳ２，Ｓ３を除きＳ１を用いるとラマン散乱
光の中心部の高さIc′が測定できる。こゝで図か
ら明かなように、Ic′は強度Idの盲螢光の上に乗
つたラマン散乱光の強度で、真のラマン散乱光強
度IcはIc′−Id′であり、同様にしてラマン散乱光
の中心の両側Δｗにおけるラマン散乱光の真の強
度Ia，Ibは夫々Ia＝Ia′−Id、Ib＝Ib′−Idである
が、直接測定できるのはIa′，Ib′，Ic′である。そ
こで演算回路でIc′−（Ia′＋Ib′）／２を算出する
ことができる。こゝで盲螢光のレベルはラマン散
乱光を中心にその前後ΔＷの範囲では殆ど水平と
みなせるのでこのレベルをIdとするとIa′＝Ia＋
Id、Ib′＝Ib＋Id、Ic′＝Ic＋Idであるから、 Ic′−（Ia′＋Ib′）
／２＝Ic−（Ia＋Ib）／２＝Io……(1) となり上式には盲螢光レベルIdは含まれていな
い。従つてIoはラマン散乱光強度に完全に比例し
ており、このIoが一定となるように光電変換素子
Ｐの感度或は以後の増幅回路の利得を調節すれば
正し感度較正ができることになる。
第４図は本考案の一実施例の螢光分光器の出口
スリツト（第２図のＳ）を示す。１はスリツト板
でスリツトＳ１及びＳ２，Ｓ３が開口させてあ
る。スリツトＳ２，Ｓ３の幅は共にスリツトＳ１
の幅の半分であり、各スリツトの中心間の間隔は
第３図における波長差ΔＷに相当している。スリ
ツト板１の前面に上下に動かすことのできるマス
ク２が設けられている。このマスクは下向き凸字
形で上方に引上げられた図の位置では中央の下方
突出部によつてスリツトＳ１が覆閉され両側のス
リツトＳ２，Ｓ３が開通している。マスクを下方
へ下げた位置では全スリツトが覆われるがスリツ
トＳ１と対向する位置に窓３が穿つてあるので、
このときはスリツトＳ２，Ｓ３が閉じられスリツ
トＳ１が開く。
スリツト（第２図のＳ）を示す。１はスリツト板
でスリツトＳ１及びＳ２，Ｓ３が開口させてあ
る。スリツトＳ２，Ｓ３の幅は共にスリツトＳ１
の幅の半分であり、各スリツトの中心間の間隔は
第３図における波長差ΔＷに相当している。スリ
ツト板１の前面に上下に動かすことのできるマス
ク２が設けられている。このマスクは下向き凸字
形で上方に引上げられた図の位置では中央の下方
突出部によつてスリツトＳ１が覆閉され両側のス
リツトＳ２，Ｓ３が開通している。マスクを下方
へ下げた位置では全スリツトが覆われるがスリツ
トＳ１と対向する位置に窓３が穿つてあるので、
このときはスリツトＳ２，Ｓ３が閉じられスリツ
トＳ１が開く。
マスク２を高速で上下に動かすとそれにつれて
光電変換素子Ｐへの入射光量はIc′と（Ia′＋
Ib′）／２とに切換わり、Ｐの出力は脈動する。
そこでこの出力を適当に増幅した後マスク２の上
下と同期したパルス信号によりこの増幅出力から
Ic′に対応した信号と（Ia′＋Ib′）／２に対応した
信号とを別々にサンプリングし、両者を夫々平滑
化した後、これらを引算回路に印加し前者Ic′に
対応する直流信号から後者（Ia′＋Ib′）／２に対
応する直流信号を引算すると前記式(1)のIoが求ま
る。そこでこのIoを光電変換素子の感度調節信号
或は増幅回路の自動利得信号とする。
光電変換素子Ｐへの入射光量はIc′と（Ia′＋
Ib′）／２とに切換わり、Ｐの出力は脈動する。
そこでこの出力を適当に増幅した後マスク２の上
下と同期したパルス信号によりこの増幅出力から
Ic′に対応した信号と（Ia′＋Ib′）／２に対応した
信号とを別々にサンプリングし、両者を夫々平滑
化した後、これらを引算回路に印加し前者Ic′に
対応する直流信号から後者（Ia′＋Ib′）／２に対
応する直流信号を引算すると前記式(1)のIoが求ま
る。そこでこのIoを光電変換素子の感度調節信号
或は増幅回路の自動利得信号とする。
本考案は上述したように常時感度一定となるよ
うに制御する場合にも利用されるが、排水におけ
るフエノールの監視装置で螢光によりフエノール
を検出する構成の装置の月毎或は年毎の感度較正
と云つた場合にも用いられる。フエノールの螢光
による検出に当つては励起光の波長が254〜295mm
と短いため、被測定液中の他の不純物による盲螢
光レベルが高くなり、ラマン線の位置だけで散乱
光強度を測る方法では正しい感度較正は全く不可
能である。本考案によれば、盲螢光の影響を受け
ないで正確にラマン散乱光の強度に比例した信号
が得られるので正しい感度較正が可能となり、上
述のように盲螢光レベルの高い場合に用いて甚だ
有効である。
うに制御する場合にも利用されるが、排水におけ
るフエノールの監視装置で螢光によりフエノール
を検出する構成の装置の月毎或は年毎の感度較正
と云つた場合にも用いられる。フエノールの螢光
による検出に当つては励起光の波長が254〜295mm
と短いため、被測定液中の他の不純物による盲螢
光レベルが高くなり、ラマン線の位置だけで散乱
光強度を測る方法では正しい感度較正は全く不可
能である。本考案によれば、盲螢光の影響を受け
ないで正確にラマン散乱光の強度に比例した信号
が得られるので正しい感度較正が可能となり、上
述のように盲螢光レベルの高い場合に用いて甚だ
有効である。
第１図はラマン散乱と盲螢光との重なりを示す
グラフ、第２図は螢光分光装置の平面図、第３図
は、本考案の原理を説明するためのラマン散光の
プロフアイルのグラフ、第４図は本考案の一実施
例におけるスリツトの正面図である。 １……スリツト板、２……マスク、３……マス
クに穿たれた窓、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３……スリツト
開口。
グラフ、第２図は螢光分光装置の平面図、第３図
は、本考案の原理を説明するためのラマン散光の
プロフアイルのグラフ、第４図は本考案の一実施
例におけるスリツトの正面図である。 １……スリツト板、２……マスク、３……マス
クに穿たれた窓、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３……スリツト
開口。
Claims (1)
- 蛍光分光器の出口スリツトを中心位置のスリツ
トとその両側にラマン線のピークの両側の傾斜部
に位置する適宜波長差だけ隔てゝ設けられたスリ
ツトの三個のスリツトにより構成し、中心位置の
スリツトを覆うか両側のスリツトを覆うかの切換
えを可能とし、上記中心スリツトをラマン散乱光
の位置に合せた蛍光分光装置の感度較正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1978106387U JPS6135937Y2 (ja) | 1978-08-01 | 1978-08-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1978106387U JPS6135937Y2 (ja) | 1978-08-01 | 1978-08-01 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5522692U JPS5522692U (ja) | 1980-02-14 |
| JPS6135937Y2 true JPS6135937Y2 (ja) | 1986-10-18 |
Family
ID=29049518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1978106387U Expired JPS6135937Y2 (ja) | 1978-08-01 | 1978-08-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6135937Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62200255U (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-19 | ||
| JP2010286493A (ja) * | 2004-01-23 | 2010-12-24 | Horiba Ltd | 基板検査装置 |
| JP2005233928A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-09-02 | Horiba Ltd | 基板検査装置 |
| JP2024165092A (ja) * | 2023-05-16 | 2024-11-28 | 横河電機株式会社 | 測定装置、測定方法、及びプログラム |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3819945A (en) * | 1971-07-01 | 1974-06-25 | Environmental Data Corp | Spectrometers |
| JPS5248506A (en) * | 1975-10-15 | 1977-04-18 | Mazda Motor Corp | Wear-resisting high phosphorus sintered alloy |
-
1978
- 1978-08-01 JP JP1978106387U patent/JPS6135937Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5522692U (ja) | 1980-02-14 |
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