JPS6139113A - ガス排気調節弁の制御方法 - Google Patents
ガス排気調節弁の制御方法Info
- Publication number
- JPS6139113A JPS6139113A JP15887384A JP15887384A JPS6139113A JP S6139113 A JPS6139113 A JP S6139113A JP 15887384 A JP15887384 A JP 15887384A JP 15887384 A JP15887384 A JP 15887384A JP S6139113 A JPS6139113 A JP S6139113A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas exhaust
- control valve
- valve
- pressure
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 26
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D16/00—Control of fluid pressure
- G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
- G05D16/2006—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means
- G05D16/2013—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガス排気調節弁によるガス圧制御方法に関する
。
。
集積回路のドライプロセス覗ユおいて処理チャンバの圧
力を制御して減圧された一定圧のもとで．（例えば０．
０１ ｝−ル．）各種のウェハプロセスが行われる。
力を制御して減圧された一定圧のもとで．（例えば０．
０１ ｝−ル．）各種のウェハプロセスが行われる。
圧力制御にはガス排気調節弁の開閉にょシ真空吸引系の
コンダクタンスを変化させて実現する方法が多く用いら
れている。
コンダクタンスを変化させて実現する方法が多く用いら
れている。
一方，従来のガス排気調節弁の制御方法では。
圧力制御にはいる時点でガス排気調節弁の開度は規定さ
れていないので，一定圧力になるまでの時間が長くかか
るばかシでなくオーパシェー｝、７：、ｙダシュートを
起し，高品質のプロセスが困難であるという欠陥があっ
た。
れていないので，一定圧力になるまでの時間が長くかか
るばかシでなくオーパシェー｝、７：、ｙダシュートを
起し，高品質のプロセスが困難であるという欠陥があっ
た。
本発明は上記欠陥を除去した新規な発明でありて，その
目的は （１）オーパシュート，アンダシュートの少な゛いガス
排気調節弁の制御方法を提供すること。
目的は （１）オーパシュート，アンダシュートの少な゛いガス
排気調節弁の制御方法を提供すること。
（２）チャンバを短時間に規定圧力にするガス排気調節
弁の制御方法を提供すること。
弁の制御方法を提供すること。
（３）高品質のプロセスを実行するだめのガス排気調節
弁の制御方法を提供すること。
弁の制御方法を提供すること。
である。 ゛
上記目的は処理チャンバと圧力センサとガス排気調節弁
と排気ポンプと制御装置とからなる定圧制御システムに
おいて、予め前記ガス排気調節弁の開度を設定した後定
圧制御する゛こと（二よって達成される。
と排気ポンプと制御装置とからなる定圧制御システムに
おいて、予め前記ガス排気調節弁の開度を設定した後定
圧制御する゛こと（二よって達成される。
以下本発明を図面により詳細に説明する。
第１図は従来の定圧制御システムの説明図である。
反応ガスは供給口１からチャンバ２に入力される。
チャンバ２のガスはガス排気調節弁３を経由して真空ポ
ンプ４で排気される。
ンプ４で排気される。
チャンバ２の圧力は圧力センサ５で検出して制御装置６
に入力された設定圧力信号７と比較して、ガス排気調節
弁３の開閉度を制御しチャンバ２の内部圧力を一定にす
る。
に入力された設定圧力信号７と比較して、ガス排気調節
弁３の開閉度を制御しチャンバ２の内部圧力を一定にす
る。
チャンバ２は各種反応ガスの入力やで（−ジ等のプロセ
スがあるのでガス排気調節弁３の開閉度は一定していな
い。一方、プロセスにより圧力は夫夫異なるので、全開
状態から全閉に近い状態での圧力制御の場合ガス排気調
節弁３の可動弁が移動する時間が長くなる。また゛、移
動時間を短くするため、可動弁の移動速度を速くすると
オーバシュート、アンダシュートが大キくなるという欠
陥が゛ある。
スがあるのでガス排気調節弁３の開閉度は一定していな
い。一方、プロセスにより圧力は夫夫異なるので、全開
状態から全閉に近い状態での圧力制御の場合ガス排気調
節弁３の可動弁が移動する時間が長くなる。また゛、移
動時間を短くするため、可動弁の移動速度を速くすると
オーバシュート、アンダシュートが大キくなるという欠
陥が゛ある。
第２図は本発明（＝なるガス排気調節弁の制御方法の説
明図である。
明図である。
制御モード信号１０でゲートされてドライバ１１゜ガス
排気調節弁３の可動弁３ｂは駆動部のモータ３ａで開閉
する。一方、ガス排気調節弁３の初期設定回路１３はＡ
ＮＤ回路１４で初期設定モード信号１５でゲートされて
ドライバ１６．ＯＲ回路１２を経由してガス排気調節弁
３を器間する。
排気調節弁３の可動弁３ｂは駆動部のモータ３ａで開閉
する。一方、ガス排気調節弁３の初期設定回路１３はＡ
ＮＤ回路１４で初期設定モード信号１５でゲートされて
ドライバ１６．ＯＲ回路１２を経由してガス排気調節弁
３を器間する。
即ち、定圧制御に先だちガス排気調節弁３の開閉度を初
期設定して、定圧制御の開閉度に近い位置に予めもって
いくことにより、その後の定圧制御が早くかつ安定にな
る。
期設定して、定圧制御の開閉度に近い位置に予めもって
いくことにより、その後の定圧制御が早くかつ安定にな
る。
また、初期設定時のモータの駆動速度を速くし、定圧制
御の時の駆動速度を遅くすることが可能なので迅速でか
つ安定な制御が可能となる。
御の時の駆動速度を遅くすることが可能なので迅速でか
つ安定な制御が可能となる。
上記説明では初期設定回路１３が１個の場合について述
べたが、複数個であっても、上位の装置から例えばアナ
ログ信号またはデジタル信号で初期設定位置を与えられ
ても実現できることは明らかである。
べたが、複数個であっても、上位の装置から例えばアナ
ログ信号またはデジタル信号で初期設定位置を与えられ
ても実現できることは明らかである。
以上説明したように９本発明によれば処理チャンバと圧
力センサとガス排気調節弁と排気ポンプと制御装置とか
らなる定圧制御システムにおいて、予め前記ガス排気調
節弁の開度を設定した後定圧制御することによりオーバ
シュートやアンダシュートがなく、チャンバを短時間に
規冗圧力に制御することが可能となる。
力センサとガス排気調節弁と排気ポンプと制御装置とか
らなる定圧制御システムにおいて、予め前記ガス排気調
節弁の開度を設定した後定圧制御することによりオーバ
シュートやアンダシュートがなく、チャンバを短時間に
規冗圧力に制御することが可能となる。
第１図は従来の定圧制御システムの説明図。
第２図は本発明になるガス排気調節弁の制御方法の説明
図である。 １は供給０．２はチャンバ、３はガス排気調節弁、３ａ
は駆動部のモータ、 ３ｂはガス排気調節弁３の可動弁
、４は真空ポンプ、５は圧力センサ、６は制御装置、７
は設定圧力信号、８は比較回路、９．．１４はＡＮＤ回
路、１０は圧力制御モード信号、１１．１６はドライバ
、１２はＯＲ回路、１３は初期設定回路、１５は初期設
定モード信号である。 特許出願人 シグマ技術工業株式会社代表者 神
１） 薫
図である。 １は供給０．２はチャンバ、３はガス排気調節弁、３ａ
は駆動部のモータ、 ３ｂはガス排気調節弁３の可動弁
、４は真空ポンプ、５は圧力センサ、６は制御装置、７
は設定圧力信号、８は比較回路、９．．１４はＡＮＤ回
路、１０は圧力制御モード信号、１１．１６はドライバ
、１２はＯＲ回路、１３は初期設定回路、１５は初期設
定モード信号である。 特許出願人 シグマ技術工業株式会社代表者 神
１） 薫
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、処理チャンバと圧力センサとガス排気調節弁と排気
ポンプと制御装置とからなる定圧制御システムにおいて
、予め前記ガス排気調節弁の開度を設定した後足圧制御
するようになしたことを特徴とするガス排気調節弁の制
御方法。 ２、流量調節弁の開度を前記制御装置の開度設定手段に
より設定するようになしたことを特徴とする前記特許請
求の範囲１のガス排気調節弁の制御方法。 ３、流量調節弁の開度を外部システムより設定するよう
になしたことを特徴とする前記特許請求の範囲１のガス
排気調節弁の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15887384A JPS6139113A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | ガス排気調節弁の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15887384A JPS6139113A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | ガス排気調節弁の制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6139113A true JPS6139113A (ja) | 1986-02-25 |
Family
ID=15681264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15887384A Pending JPS6139113A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | ガス排気調節弁の制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6139113A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0629475U (ja) * | 1992-09-26 | 1994-04-19 | 三富工業株式会社 | 衣料掛け等の掛止部材 |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP15887384A patent/JPS6139113A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0629475U (ja) * | 1992-09-26 | 1994-04-19 | 三富工業株式会社 | 衣料掛け等の掛止部材 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4382984B2 (ja) | 真空処理装置内の圧力制御方法及び装置 | |
| US6289737B1 (en) | Vacuum pressure control system | |
| JPS63219130A (ja) | 集積回路デバイスの歩留りを改良する方法および装置 | |
| JPS6139113A (ja) | ガス排気調節弁の制御方法 | |
| JPH06104909B2 (ja) | ドライプロセス処理方法及びその装置 | |
| JP2892980B2 (ja) | ドライプロセス処理方法 | |
| JPS6328875A (ja) | ガス導入方法 | |
| JP2565007B2 (ja) | 加圧鋳造装置 | |
| JPH0255625B2 (ja) | ||
| JPH07211693A (ja) | ドライエッチングの終点検知方法 | |
| JP3089130B2 (ja) | 室圧制御装置 | |
| JPH1011152A (ja) | 減圧処理装置の真空排気装置 | |
| JPS5967619A (ja) | 減圧容器を有する半導体製造装置の圧力制御装置 | |
| JPS62224685A (ja) | 真空圧力制御装置 | |
| JP4327314B2 (ja) | 真空圧力制御システム | |
| JPS6377533A (ja) | 減圧処理装置の圧力切り替え方法 | |
| JPS6025232A (ja) | 半導体製造装置の圧力調整方法 | |
| JPH08319B2 (ja) | Ｎｃダイクッションの圧力制御装置 | |
| KR950001169Y1 (ko) | 저압화학 기상증착 시스템의 진공조절장치 | |
| JP3451556B2 (ja) | インジェクションバルブ | |
| JPH0593272A (ja) | 真空容器の給気装置及び給気方法 | |
| JPH0225017A (ja) | レジスト塗布装置 | |
| JPH0649633A (ja) | スパッタリング装置 | |
| KR950006638Y1 (ko) | 반도체 제조장비용 진공시스템의 압력조절장치 | |
| JPH0528254B2 (ja) |