JPS6174949U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6174949U JPS6174949U JP15800284U JP15800284U JPS6174949U JP S6174949 U JPS6174949 U JP S6174949U JP 15800284 U JP15800284 U JP 15800284U JP 15800284 U JP15800284 U JP 15800284U JP S6174949 U JPS6174949 U JP S6174949U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- image
- sample
- storage means
- display device
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Processing Of Color Television Signals (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すための図、第
２図は第１図に示した一実施例装置の各回路素子
よりの出力信号を例示するための図、第３図は正
規なパターンを例示するための図、第４図は陰極
線管の画面の表示例を示すための図、第５図は検
査すべきパターンと正規なパターンとを重畳して
表示した場合の陰極線管画面を例示するための図
、第６図は本考案の一実施例を示すための図であ
る。 １：電子銃、２：電子線、３：集束レンズ、４
：対物レンズ、５：ＩＣウエハー、６ｘ，６ｙ：
偏向コイル、７ｘ，７ｙ：同期信号発生回路、８
ｘ，８ｙ：走査信号発生回路、１０：フリツプフ
ロツプ回路、１１：レベル変換回路、１２：ポテ
ンシヨメーター、１３：加算回路、１４ｘ，１４
ｙ：偏向増幅器、１５：陰極線管、１６：検出器
、１７：増幅器、１８：切換スイツチ、１９，２
６，２７：オンオフスイツチ、２０：スイツチン
グ回路、２１：映像増幅器、２２：映像信号記憶
再生装置、２３：ＡＤ変換器、２４：イメージメ
モリ、２５：ＤＡ変換器、２８：カラービデオ増
幅器。
２図は第１図に示した一実施例装置の各回路素子
よりの出力信号を例示するための図、第３図は正
規なパターンを例示するための図、第４図は陰極
線管の画面の表示例を示すための図、第５図は検
査すべきパターンと正規なパターンとを重畳して
表示した場合の陰極線管画面を例示するための図
、第６図は本考案の一実施例を示すための図であ
る。 １：電子銃、２：電子線、３：集束レンズ、４
：対物レンズ、５：ＩＣウエハー、６ｘ，６ｙ：
偏向コイル、７ｘ，７ｙ：同期信号発生回路、８
ｘ，８ｙ：走査信号発生回路、１０：フリツプフ
ロツプ回路、１１：レベル変換回路、１２：ポテ
ンシヨメーター、１３：加算回路、１４ｘ，１４
ｙ：偏向増幅器、１５：陰極線管、１６：検出器
、１７：増幅器、１８：切換スイツチ、１９，２
６，２７：オンオフスイツチ、２０：スイツチン
グ回路、２１：映像増幅器、２２：映像信号記憶
再生装置、２３：ＡＤ変換器、２４：イメージメ
モリ、２５：ＤＡ変換器、２８：カラービデオ増
幅器。
Claims (1)
- 試料上において電子線を二次元的に走査し、該
走査に伴つて試料より得られる情報信号を検出器
により検出し、該検出信号を該走査と同期走査さ
れている表示装置に導入して該試料の像を表示す
るようにした装置において、該検出信号を記憶す
るための画像信号記憶手段と、該画像信号記憶手
段よりの信号と前記検出器よりの信号を切換えて
該表示装置に導入することにより該検出器よりの
信号に基づく第１の像と該画像信号記憶手段より
の出力信号に基づく第２の像を該表示装置の画面
上に異つた輝度又は色相で重畳して表示するため
の手段を具備することを特徴とする電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984158002U JPH0629886Y2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984158002U JPH0629886Y2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 電子線装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6174949U true JPS6174949U (ja) | 1986-05-21 |
| JPH0629886Y2 JPH0629886Y2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=30715988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984158002U Expired - Lifetime JPH0629886Y2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0629886Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5143668A (ja) * | 1974-10-14 | 1976-04-14 | Hitachi Ltd |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP1984158002U patent/JPH0629886Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5143668A (ja) * | 1974-10-14 | 1976-04-14 | Hitachi Ltd |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0629886Y2 (ja) | 1994-08-10 |
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