JPS62106680A - レ−ザ発生装置 - Google Patents
レ−ザ発生装置Info
- Publication number
- JPS62106680A JPS62106680A JP24688785A JP24688785A JPS62106680A JP S62106680 A JPS62106680 A JP S62106680A JP 24688785 A JP24688785 A JP 24688785A JP 24688785 A JP24688785 A JP 24688785A JP S62106680 A JPS62106680 A JP S62106680A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- glow discharge
- gas
- electrode
- uniform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電玉の配置を改良したレーザ発生装置を提供す
ることにある。
ることにある。
従来のガスレーザ発生装置は、特開昭５９−５６７８２
号公報のように、放電管内に流れ込むガス流速を均一化
することで、レーザ出力の均−密度化を図っている。
号公報のように、放電管内に流れ込むガス流速を均一化
することで、レーザ出力の均−密度化を図っている。
しかし、光軸上に複数個の放電管二ニットを配列し、レ
ーザ出力を加算して大きくする場合、そ各々のガスの出
入口が光軸線上より分岐するためバラツー１−が大きく
なり、グロー放電の不均一化。
ーザ出力を加算して大きくする場合、そ各々のガスの出
入口が光軸線上より分岐するためバラツー１−が大きく
なり、グロー放電の不均一化。
即ちノーザ出力密度の不均一化となり、 ｎａ工用途上
好ましくない。
好ましくない。
本発明の目的は、複数個の放″ｉｔ管エニットでレーザ
出力を加算して大きくする時に好適々電ｉ鷹造ｔ−提供
することにある。
出力を加算して大きくする時に好適々電ｉ鷹造ｔ−提供
することにある。
上記問題点′Ｉｉ各リンす形状″ｗｔ櫃の点弧位置を変
えることによＰ）ｓ決できろう 〔作用〕 複数のリング形状の１！翫１例えば＠極の点弧位置を変
れば、取付ミラーおよび出力ミラーから視てグロー放電
が陰極全体に均一に分散したことになり、グロー放電領
域の電流密は均一になり、混合ガスがレーザ光に変換す
る効率がよくなり、レーザ光出力を向上させることがで
きる。
えることによＰ）ｓ決できろう 〔作用〕 複数のリング形状の１！翫１例えば＠極の点弧位置を変
れば、取付ミラーおよび出力ミラーから視てグロー放電
が陰極全体に均一に分散したことになり、グロー放電領
域の電流密は均一になり、混合ガスがレーザ光に変換す
る効率がよくなり、レーザ光出力を向上させることがで
きる。
以下１本発明の一実施例を第１図ないし第６図第１図は
、軸流形ガスレーザ発損器の基本的構成を示したもので
、光軸８上だミラーユニット４゜放７ＩＬ管エニツ）５
．［ｆｆｌユニット６とから光共振器１とガス流９を供
給・回収するガス循環部３とグロー放電させる電源部２
とより成り１図では光軸８上に４ケの放電管ユニットよ
り構成し１図中左方ヘレーザ光７を出力する。
、軸流形ガスレーザ発損器の基本的構成を示したもので
、光軸８上だミラーユニット４゜放７ＩＬ管エニツ）５
．［ｆｆｌユニット６とから光共振器１とガス流９を供
給・回収するガス循環部３とグロー放電させる電源部２
とより成り１図では光軸８上に４ケの放電管ユニットよ
り構成し１図中左方ヘレーザ光７を出力する。
第２図で、故￥ＫＷユニット５の構成を説明すると、ガ
ス＋５！９を［［ユニット６−１ａ側より吹き込み、ａ
−ｔｂ側へ通過させた後、ガス循環部３へ回収する。
ス＋５！９を［［ユニット６−１ａ側より吹き込み、ａ
−ｔｂ側へ通過させた後、ガス循環部３へ回収する。
一方、電仮ユニット６−１では、電源部２より供給され
た電力は成甑たとえばアノード１Ｏ−１ａに与えられ、
この部分よりガス流９が流れているのでグロー放電とし
て拡がり、その終端はたとえばカソード１Ｏ−１ｂに着
地して、電源部２へ帰還する。
た電力は成甑たとえばアノード１Ｏ−１ａに与えられ、
この部分よりガス流９が流れているのでグロー放電とし
て拡がり、その終端はたとえばカソード１Ｏ−１ｂに着
地して、電源部２へ帰還する。
カソード電極１Ｏ−１ｂはリング形状で内周面が放電面
である。
である。
なお、レーザ光の直径はグロー放電１１の外掻１１開昭
６２−１０６６８０ （２） および電極１Ｏ−１ｂの内径で定まるので、アノード電
極１Ｏ−１ａは図示の如くピン！翫の先端が触れない位
置としている。また、カソードｔｆｆｌ１０−１ｂは締
結部１２よゆ固定される。
６２−１０６６８０ （２） および電極１Ｏ−１ｂの内径で定まるので、アノード電
極１Ｏ−１ａは図示の如くピン！翫の先端が触れない位
置としている。また、カソードｔｆｆｌ１０−１ｂは締
結部１２よゆ固定される。
さて、この場合の放電現象を観察するに、カソード電極
１Ｏ−１ｂのグロー放電の着地部は時々刻刻と変化し定
まり難い。
１Ｏ−１ｂのグロー放電の着地部は時々刻刻と変化し定
まり難い。
その理由は６アノード電極１Ｏ−１ａのビン先端の電流
密度（Ａｍ ｐ ／ａｎ ” ］ ＝人１よりもカソー
ドｔｒｉｏ−１ｂのリング端の電流密度［”Ａｍｐ ／
ｃｍ” １＝Ａ ｚとにおいて、Ａｔ ＜Ａｚである
ことと、ガス流９が、カソード電極１０−１ ｂの内周
を吹き抜けていることＫよることが判つ念つ したがって＋Ａ１＝人１とすればよい。
密度（Ａｍ ｐ ／ａｎ ” ］ ＝人１よりもカソー
ドｔｒｉｏ−１ｂのリング端の電流密度［”Ａｍｐ ／
ｃｍ” １＝Ａ ｚとにおいて、Ａｔ ＜Ａｚである
ことと、ガス流９が、カソード電極１０−１ ｂの内周
を吹き抜けていることＫよることが判つ念つ したがって＋Ａ１＝人１とすればよい。
しかしながら、その場合、第３図の如く、カソード′１
！穫１Ｏ−１ｂに突起１１３−１を設は絶縁リング１４
−１でグロー放電１１の着地点を固定するとグロー放電
１１は図示の如く片寄ることＫなるので不均一体積形状
となる。
！穫１Ｏ−１ｂに突起１１３−１を設は絶縁リング１４
−１でグロー放電１１の着地点を固定するとグロー放電
１１は図示の如く片寄ることＫなるので不均一体積形状
となる。
そこで、第４図のフロく、４ケのカソード電極１Ｏ−１
ｂ 、 −２ｂ 、 −３ｂ、 −４ｂに設けた突起部
１３を光軸８上に対して９０度ずつずらして配置すれば
、グロー放電の不均一体積形状は互に重なりあって、キ
ャンセルし光共振器Ｉとしては両端のミラーニニツ）４
−１．４−２間では均一グロー放を本積形状となるため
、均一なレーザ光７出力が得ら゛れることｔ実験的にも
確認できた。第５図は光軸８上のカソード電極１Ｏ−１
ｂ 、 −２ｂ 。
ｂ 、 −２ｂ 、 −３ｂ、 −４ｂに設けた突起部
１３を光軸８上に対して９０度ずつずらして配置すれば
、グロー放電の不均一体積形状は互に重なりあって、キ
ャンセルし光共振器Ｉとしては両端のミラーニニツ）４
−１．４−２間では均一グロー放を本積形状となるため
、均一なレーザ光７出力が得ら゛れることｔ実験的にも
確認できた。第５図は光軸８上のカソード電極１Ｏ−１
ｂ 、 −２ｂ 。
−３ｂ、−４ｂの突起部１３０位置を示し、その普果第
６図の錫＜、突起部１３の各々のグー−放電分布を示し
九ものである。
６図の錫＜、突起部１３の各々のグー−放電分布を示し
九ものである。
本発明によれば、光共振器１内の放電管ユニット５の電
極ユニット間のグロー放電体積形状は不均一化して固定
し、光軸上に複数圓の放電管ユニットを配列するときに
互に重ね合せキャンセルして均一体積形状とすることが
できるので、何らコストアップせずに大出力の均一なレ
ーザ光７を発生することができる。
極ユニット間のグロー放電体積形状は不均一化して固定
し、光軸上に複数圓の放電管ユニットを配列するときに
互に重ね合せキャンセルして均一体積形状とすることが
できるので、何らコストアップせずに大出力の均一なレ
ーザ光７を発生することができる。
９０度ずつずらした電極１０−ｂを配列したが、６ケの
放電管ユニットの場合、３６０度／６ケ；６０度／ケ即
ち６０度ずつずらして重ね合せ配置すればよい。
放電管ユニットの場合、３６０度／６ケ；６０度／ケ即
ち６０度ずつずらして重ね合せ配置すればよい。
もちろん、光共振器１のミラーユニット４間での複数個
の放電管ユニットは９０度ずつ、１Ｎ次で々く０度−１
８０度−９０１！−２７０度でもよい。
の放電管ユニットは９０度ずつ、１Ｎ次で々く０度−１
８０度−９０１！−２７０度でもよい。
それは放電管ユニット５のガス排気路の出口方向に関連
するものである。
するものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例でろｂ軸流形ガスレーザ発生装
置の哨所百図、第２図は第１図の放電管ユニットの拡大
側断面図、第３図仄）および（Ｂ）は第１図のカソード
電極附近の平面図および側断面図、第４図は第１図のカ
ソードを極の側断面図６第５図は第４図の平面図、第６
図は第１図の出力ミラーおよび全反射ミラー側から視た
時の放電管内のグロー放電分布図である。 ｌ・・・光共振器、５・・・放電管ユニット、６・・・
電極ユ突起部、１４・・・絶縁リング。
置の哨所百図、第２図は第１図の放電管ユニットの拡大
側断面図、第３図仄）および（Ｂ）は第１図のカソード
電極附近の平面図および側断面図、第４図は第１図のカ
ソードを極の側断面図６第５図は第４図の平面図、第６
図は第１図の出力ミラーおよび全反射ミラー側から視た
時の放電管内のグロー放電分布図である。 ｌ・・・光共振器、５・・・放電管ユニット、６・・・
電極ユ突起部、１４・・・絶縁リング。
Claims (1)
- １、放電管内に複数の陽極と陰極とから成るグロー放電
電極を配置し、電極の一方側をリング形状にしたものに
おいて、各リング形状電極の点弧位置を変えたことを特
徴とするレーザ発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24688785A JPS62106680A (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | レ−ザ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24688785A JPS62106680A (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | レ−ザ発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62106680A true JPS62106680A (ja) | 1987-05-18 |
Family
ID=17155223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24688785A Pending JPS62106680A (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | レ−ザ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62106680A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01162263U (ja) * | 1988-04-14 | 1989-11-10 | ||
| US20190101331A1 (en) * | 2016-04-13 | 2019-04-04 | Trinity Industrial Corporation | Paint drying oven |
-
1985
- 1985-11-01 JP JP24688785A patent/JPS62106680A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01162263U (ja) * | 1988-04-14 | 1989-11-10 | ||
| US20190101331A1 (en) * | 2016-04-13 | 2019-04-04 | Trinity Industrial Corporation | Paint drying oven |
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