JPS6210782B2 - - Google Patents
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Classifications
-
- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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Description
本発明は高精度の研磨テープに関する。
従来、研磨テープとしては研磨材を含んだも
の、軟い粒子と硬い粒子を混合して含むものが用
いられてきたが、ヘツドの研削量がばらついた
り、研削後のヘツドの表面粗さがよくなかつた
り、またヘツドの端面よりチツピングが発生し易
くヘツドを傷つけ易いというような問題点があつ
た。 従来の研磨テープの主な目的としては、1.ヘツ
ド面を仕上げる、2.ヘツドの先端形状をつくりだ
す、3.ヘツドのチツピングをなくすことであつ
た。これらはいずれも最短記録波長でせいぜい2
μの場合には有効であつた。 これに対し最近のビデオテープ(例えばβ−
Max、β−Format、VHS systemなどの1/2イン
チビデオカセツト方式)では記録波長が1μと記
録波長が従来の1/2となり、それに伴つてヘツド
に要求される性能も大巾に高くなつた。そのた
め、磁気ヘツドは従来の研磨テープを用いた仕上
げ法では品質上、満足できなくなつた。本発明は
λ=1μ程度の高密度記録用ヘツドをつくるのに
必要な研磨テープの製法に関する。このヘツドと
しては、仕上げ面が従来は500Å程度までであつ
たのが100Å以下、できれば50Å以下であるこ
と、先端形状がバリ、スリキズのないこと、チツ
ピング(ヘツド巾方向で5μの長さ以上のもの)
が2ケ程度まであつたのを0とするなど、精度を
上げることが必要となり、そのためには極めて高
精度な研磨テープが必要となつてくる。 これに対処する方法として、ヘツドの組成や材
質の変更も一応考えられるが、ヘツド巾が小さく
なり、かつ記録密度も上つたので、磁気特性より
みてこれ以上ヘツド自体を変えることは難かし
い。 用いられるヘツドとしては単結晶:Fe2O3/
MnO/ZnO(53/32/15)、ホツトプレス:
Fe2O3/MnO/ZnO(53/25/22)等があり、こ
れらのヘツドは以前は、その研磨特性がホツトプ
レスの研磨量が少ないため、大巾に異なり、かつ
チツピングも発生し易かつたが、最近この差は縮
まつており、ホツトプレスの研磨がうまくいけ
ば、単結晶ヘツドも研磨することができる。した
がつてホツトプレスフエライトの研磨について以
下、述べていく。 このような最近のヘツドを研磨するに適した研
磨テープについて本発明者等は研究を重ねた結
果、研磨材としてはAl2O3、SiO2、Cr2O3、α−
Fe2O3、ダイヤモンド、ZnO2、TiO2等、多数あ
る中で仕上げ表面がよく安価なものはα−
Fe2O3/Cr2O3の組み合せであること、研磨テー
プの全厚が10〜100μであること、研磨テープの
表面の凹凸が0.1mm以下であることが必要である
ことが判明し、本発明に到達したものである。 研磨材については、Cr2O3は研磨量を多くする
ものであり、α−Fe2O3は研磨テープの表面性を
よくし、ヘツドの仕上げ面をよくする効果を有
し、混合比(α−Fe2O3/Cr2O3)は1/9〜9/
1、好ましくは1/2〜2/1である。厚さにつ
いては、薄いと研磨量が小となるし、厚いとヘツ
ドにチツピングが発生するので10〜100μ、好ま
しくは20〜40μである。研磨材のサイズはあまり
大きいと研磨テープの凹凸が大きくなり仕上りヘ
ツド面が悪化するので、100μ以下、好ましくは
5μ以下である。研磨テープ表面の凹凸は、大き
いとヘツドにチツピングが入り易いので、0.1mm
以下、好ましくは10μ以下、更に好ましくは1μ
以下である。 本発明の研磨テープは、支持体上にバインダー
と研磨材、更に他の添加剤を加えたものを有機溶
媒に溶解して塗布することによつて製造される。 本発明に使用されるバインダーとしては従来公
知の熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂又は反応型樹脂
やこれらの混合物が使用される。 熱可塑性樹脂としては軟化温度が150℃以下、
平均分子量が10000〜200000、重合度が約200〜
500程度のもので、例えば塩化ビニル酢酸ビニル
共重合体、塩化ビニル塩化ビニリデン共重合体、
塩化ビニルアクリロニトリル共重合体、アクリル
酸エステルアクリロニトリル共重合体、アクリル
酸エステル塩化ビニリデン共重合体、アクリル酸
エステルスチレン共重合体、メタクリル酸エステ
ルアクリロニトリル共重合体、メタクリル酸エス
テル塩化ビニリデン共重合体、メタクリル酸エス
テルスチレン共重合体、ウレタンエラストマー、
ポリ弗化ビニル、塩化ビニリデンアクリロニトリ
ル共重合体、ブタジエンアクリロニトリル共重合
体、ポリアミド樹脂、ポリビニルブチラール、セ
ルロース誘導体(セルロースアセテートブチレー
ト、セルロースダイアセテート、セルローストリ
アセテート、セルロースプロピオネート、ニトロ
セルロース等)、スチレンブタジエン共重合体、
ポリエステル樹脂、クロロビニルエーテルアクリ
ル酸エステル共重合体、アミノ樹脂、各種の合成
ゴム系の熱可塑性樹脂及びこれらの混合物等が使
用される。 これらの樹脂の例示は特公昭37−6877号、同39
−12528号、同39−19282号、同40−5349号、同40
−20907号、同41−9463号、同41−14059号、同41
−16985号、同42−6428号、同42−11621号、同43
−4623号、同43−15206号、同44−2889号、同44
−17947号、同44−18232号、同45−14020号、同
45−14500号、同47−18573号、同47−22063号、
同47−22064号、同47−22068号、同47−22069
号、同47−22070号、同47−27886号等の公報に記
載されている。 熱硬化性樹脂又は反応型樹脂は、塗布液の状態
では2×105以下の分子量であり、塗布、乾燥後
に加熱することにより、縮合、付加等の反応によ
り分子量は無限大のものとなる。又これらの樹脂
のなかで、樹脂が熱分解するまでの間に軟化又は
溶融しないものが好ましい。具体的には例えば、
フエノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン硬
化型樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキツド
樹脂、シリコン樹脂、アクリル系反応樹脂、エポ
キシ−ポリアミド樹脂、ニトロセルロースメラミ
ン樹脂、高分子ポリエステル樹脂とイソシアネー
トプレポリマーの混合物、メタクリル酸塩共重合
体とジイソシアネートプレポリマーの混合物、ポ
リエステルポリオールとポリイソシアネートの混
合物、尿素ホルムアルデヒド樹脂、低分子量グリ
コール/高分子ジオール/トリフエニルメタント
リイソシアネートの混合物、ポリアミン樹脂及び
これらの混合物等である。 これらの樹脂の例示は特公昭39−8103号、同40
−9779号、同41−7192号、同41−8016号、同41−
14275号、同42−18179号、同43−12081号、同44
−28023号、同45−14501号、同45−24902号、同
46−13103号、同47−22065号、同47−22066号、
同47−22067号、同47−22072号、同47−22073
号、同47−28045号、同47−28048号、同47−
28922号等の公報に記載されている。 これらの結合剤の単独又は組合わされたものが
使われ、他に添加剤が加えられる。研磨材粉末と
結合剤との混合割合は重量比で研磨材粉末100重
量部に対して結合剤10〜200重量部の範囲で使用
される。添加剤は分散剤、潤滑剤等が加えられ
る。 支持体の素材としてはポリエチレンテレフタレ
ート、ポリエチレン−2・6−ナフタレート等の
ポリエステル類、ポリエチレン、ポリプロピレン
等のポリオレフイン類、セルロース・ダイアセテ
ート、セルローストリアセテート、セルロースア
セテート・ブチレート、セルロースアセテートプ
ロピオネート等のセルロース誘導体、ポリ塩化ビ
ニル、ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポ
リカーボネート、ポリイミド、ポリアミドイミド
等のプラスチツクの他に用途に応じてアルミニウ
ム、銅等の非磁性金属類、ガラス、陶器、磁器等
のセラミツク類、紙、バライタまたはポリエチレ
ン、ポリプロピレン、エチレンブテン共重合体等
の炭素数2〜10のα−ポリオレフインを塗布また
はラミネートした紙等の紙類も使用できる。これ
らの支持体は研磨テープの使用目的に応じて透明
あるいは不透明であつてもよい。 支持体上へ前記の研磨層を塗布する方法として
はエアードクターコート、ブレードコート、エ
ア・ナイフコート、スクイズコート、デイツプコ
ート、リバースロールコート、トランスフアー・
ロール・コート、グラビヤコート、キスコート、
キヤスト・コート、スプレー・コート法等が利用
でき、その他の方法も可能であり、これらの具体
的説明は朝倉書店発行の「コーテイング工学」
253頁〜277頁(昭和46・3・20発行)に詳細に記
載されている。 実施例 1 塗布組成()を用いて15μのポリエチレンテ
レフタレートベース上に7μの研磨層を塗布し
た。しかる後、1/2インチにテープをスリツト
し、VHS、VTR用のテープ・カセツトのテープ
の代りにこの研磨テープを巻きこみ、VTRにセ
ツトしたヘツドを1分間研磨してヘツド摩耗
量、ヘツドの仕上り時の凹凸、ヘツドの端面
のチツピングを調べた。結果を第1表に、1001〜
1006として示す。なお、ヘツドは前述のホツトプ
レスフエライトである。 塗布組成() 研磨材(A)/研磨材(B) 第1表中に示す。 合 計 300g 塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体 (共重合比87:13、重合度350) ………22.5g ポリエステル・ポリオール(*) ………12g 大豆レシチン ………3g シリコーン油(ジメチル・ポリシロキサン)
………2g ポリイソシアネート(3モルの2・4−ト
リレンジイソシアネート化合物と1モル
のトリメチロールプロパンの反応生成物
の75重量%酢酸エチル溶液) ………4.5g メチルエチルケトン ………400g トルエン ………900g * アジピン酸1モルとジエチレングリコール1
モルとトリメチロールプロパン0.06モルの反応
生成物 粘度(75℃):1000cp、比重1.18、 OH価:60、酸価:2以下 実施例 2 塗布組成()を用いて、ポリエチレンテレフ
タレートのベース厚を変え、研磨テープの全厚の
効果をみた。その結果を第1表に2001〜2006とし
て示す。ヘツドの研磨条件は実施例1と同じであ
る。 塗布液組成() 研磨材(A)/(B)(第1表参照) A+B=300g 塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体 (共重合比87:13、重合度380) ………28.4g ポリエステル・ポリウレタン(ブタン・ジ
オールとアジピン酸からなる末端水酸基
を有したポリエステルと2・4−ジフエ
ニルメタン・ジイソシアネートとの反応
生成物、分子量約4万) ………13g カーボン・ブラツク(平均粒子サイズ2μ)
………22.5g アミルステアレート ………1.2g オレイン酸 ………3g イソシアネート化合物(3モルの2・4−
トリレンジイソシアネート化合物と1モ
ルのトリメチロールプロパンの反応生成
物の75重量%酢酸エチル溶液) ………17g ニトリルブタジエンラバー(NBR) ………7.1g 酢酸ブチル ………900g 実施例 3 塗布組成()を用いて研磨材の粒子サイズを
変えて研磨テープをつくり、研磨条件は実施例1
と同じくし、サイズの効果を調べた。結果を第1
表の3001〜3005に示した。 塗布液組成() 研磨材(第1表参照) (A)+(B)=300g 塩化ビニル塩化ビニリデン共重合体 (共重合比=7:3、重合度=400)
………22g エポキシ樹脂(ビスフエノールAとエピク
ロルヒドリンの反応生成物、分子量=
900、エポキシ当量=460〜520、水酸基
含有量=0.29%、Shell Oil Coエピコー
ト1001) ………16g シリコーン油(ジメチルポリシロキサン)
………3.0g イソシアネート化合物(3モルの2・4−
トリレンジイソシアネート化合物と1モ
ルのトリメチロールプロパンの反応生成
物の75重量%酢酸エチル溶液、Bayerz
A.G.製のDesmodur L−75) ………21g 酢酸ブチル ………900g
の、軟い粒子と硬い粒子を混合して含むものが用
いられてきたが、ヘツドの研削量がばらついた
り、研削後のヘツドの表面粗さがよくなかつた
り、またヘツドの端面よりチツピングが発生し易
くヘツドを傷つけ易いというような問題点があつ
た。 従来の研磨テープの主な目的としては、1.ヘツ
ド面を仕上げる、2.ヘツドの先端形状をつくりだ
す、3.ヘツドのチツピングをなくすことであつ
た。これらはいずれも最短記録波長でせいぜい2
μの場合には有効であつた。 これに対し最近のビデオテープ(例えばβ−
Max、β−Format、VHS systemなどの1/2イン
チビデオカセツト方式)では記録波長が1μと記
録波長が従来の1/2となり、それに伴つてヘツド
に要求される性能も大巾に高くなつた。そのた
め、磁気ヘツドは従来の研磨テープを用いた仕上
げ法では品質上、満足できなくなつた。本発明は
λ=1μ程度の高密度記録用ヘツドをつくるのに
必要な研磨テープの製法に関する。このヘツドと
しては、仕上げ面が従来は500Å程度までであつ
たのが100Å以下、できれば50Å以下であるこ
と、先端形状がバリ、スリキズのないこと、チツ
ピング(ヘツド巾方向で5μの長さ以上のもの)
が2ケ程度まであつたのを0とするなど、精度を
上げることが必要となり、そのためには極めて高
精度な研磨テープが必要となつてくる。 これに対処する方法として、ヘツドの組成や材
質の変更も一応考えられるが、ヘツド巾が小さく
なり、かつ記録密度も上つたので、磁気特性より
みてこれ以上ヘツド自体を変えることは難かし
い。 用いられるヘツドとしては単結晶:Fe2O3/
MnO/ZnO(53/32/15)、ホツトプレス:
Fe2O3/MnO/ZnO(53/25/22)等があり、こ
れらのヘツドは以前は、その研磨特性がホツトプ
レスの研磨量が少ないため、大巾に異なり、かつ
チツピングも発生し易かつたが、最近この差は縮
まつており、ホツトプレスの研磨がうまくいけ
ば、単結晶ヘツドも研磨することができる。した
がつてホツトプレスフエライトの研磨について以
下、述べていく。 このような最近のヘツドを研磨するに適した研
磨テープについて本発明者等は研究を重ねた結
果、研磨材としてはAl2O3、SiO2、Cr2O3、α−
Fe2O3、ダイヤモンド、ZnO2、TiO2等、多数あ
る中で仕上げ表面がよく安価なものはα−
Fe2O3/Cr2O3の組み合せであること、研磨テー
プの全厚が10〜100μであること、研磨テープの
表面の凹凸が0.1mm以下であることが必要である
ことが判明し、本発明に到達したものである。 研磨材については、Cr2O3は研磨量を多くする
ものであり、α−Fe2O3は研磨テープの表面性を
よくし、ヘツドの仕上げ面をよくする効果を有
し、混合比(α−Fe2O3/Cr2O3)は1/9〜9/
1、好ましくは1/2〜2/1である。厚さにつ
いては、薄いと研磨量が小となるし、厚いとヘツ
ドにチツピングが発生するので10〜100μ、好ま
しくは20〜40μである。研磨材のサイズはあまり
大きいと研磨テープの凹凸が大きくなり仕上りヘ
ツド面が悪化するので、100μ以下、好ましくは
5μ以下である。研磨テープ表面の凹凸は、大き
いとヘツドにチツピングが入り易いので、0.1mm
以下、好ましくは10μ以下、更に好ましくは1μ
以下である。 本発明の研磨テープは、支持体上にバインダー
と研磨材、更に他の添加剤を加えたものを有機溶
媒に溶解して塗布することによつて製造される。 本発明に使用されるバインダーとしては従来公
知の熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂又は反応型樹脂
やこれらの混合物が使用される。 熱可塑性樹脂としては軟化温度が150℃以下、
平均分子量が10000〜200000、重合度が約200〜
500程度のもので、例えば塩化ビニル酢酸ビニル
共重合体、塩化ビニル塩化ビニリデン共重合体、
塩化ビニルアクリロニトリル共重合体、アクリル
酸エステルアクリロニトリル共重合体、アクリル
酸エステル塩化ビニリデン共重合体、アクリル酸
エステルスチレン共重合体、メタクリル酸エステ
ルアクリロニトリル共重合体、メタクリル酸エス
テル塩化ビニリデン共重合体、メタクリル酸エス
テルスチレン共重合体、ウレタンエラストマー、
ポリ弗化ビニル、塩化ビニリデンアクリロニトリ
ル共重合体、ブタジエンアクリロニトリル共重合
体、ポリアミド樹脂、ポリビニルブチラール、セ
ルロース誘導体(セルロースアセテートブチレー
ト、セルロースダイアセテート、セルローストリ
アセテート、セルロースプロピオネート、ニトロ
セルロース等)、スチレンブタジエン共重合体、
ポリエステル樹脂、クロロビニルエーテルアクリ
ル酸エステル共重合体、アミノ樹脂、各種の合成
ゴム系の熱可塑性樹脂及びこれらの混合物等が使
用される。 これらの樹脂の例示は特公昭37−6877号、同39
−12528号、同39−19282号、同40−5349号、同40
−20907号、同41−9463号、同41−14059号、同41
−16985号、同42−6428号、同42−11621号、同43
−4623号、同43−15206号、同44−2889号、同44
−17947号、同44−18232号、同45−14020号、同
45−14500号、同47−18573号、同47−22063号、
同47−22064号、同47−22068号、同47−22069
号、同47−22070号、同47−27886号等の公報に記
載されている。 熱硬化性樹脂又は反応型樹脂は、塗布液の状態
では2×105以下の分子量であり、塗布、乾燥後
に加熱することにより、縮合、付加等の反応によ
り分子量は無限大のものとなる。又これらの樹脂
のなかで、樹脂が熱分解するまでの間に軟化又は
溶融しないものが好ましい。具体的には例えば、
フエノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン硬
化型樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキツド
樹脂、シリコン樹脂、アクリル系反応樹脂、エポ
キシ−ポリアミド樹脂、ニトロセルロースメラミ
ン樹脂、高分子ポリエステル樹脂とイソシアネー
トプレポリマーの混合物、メタクリル酸塩共重合
体とジイソシアネートプレポリマーの混合物、ポ
リエステルポリオールとポリイソシアネートの混
合物、尿素ホルムアルデヒド樹脂、低分子量グリ
コール/高分子ジオール/トリフエニルメタント
リイソシアネートの混合物、ポリアミン樹脂及び
これらの混合物等である。 これらの樹脂の例示は特公昭39−8103号、同40
−9779号、同41−7192号、同41−8016号、同41−
14275号、同42−18179号、同43−12081号、同44
−28023号、同45−14501号、同45−24902号、同
46−13103号、同47−22065号、同47−22066号、
同47−22067号、同47−22072号、同47−22073
号、同47−28045号、同47−28048号、同47−
28922号等の公報に記載されている。 これらの結合剤の単独又は組合わされたものが
使われ、他に添加剤が加えられる。研磨材粉末と
結合剤との混合割合は重量比で研磨材粉末100重
量部に対して結合剤10〜200重量部の範囲で使用
される。添加剤は分散剤、潤滑剤等が加えられ
る。 支持体の素材としてはポリエチレンテレフタレ
ート、ポリエチレン−2・6−ナフタレート等の
ポリエステル類、ポリエチレン、ポリプロピレン
等のポリオレフイン類、セルロース・ダイアセテ
ート、セルローストリアセテート、セルロースア
セテート・ブチレート、セルロースアセテートプ
ロピオネート等のセルロース誘導体、ポリ塩化ビ
ニル、ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポ
リカーボネート、ポリイミド、ポリアミドイミド
等のプラスチツクの他に用途に応じてアルミニウ
ム、銅等の非磁性金属類、ガラス、陶器、磁器等
のセラミツク類、紙、バライタまたはポリエチレ
ン、ポリプロピレン、エチレンブテン共重合体等
の炭素数2〜10のα−ポリオレフインを塗布また
はラミネートした紙等の紙類も使用できる。これ
らの支持体は研磨テープの使用目的に応じて透明
あるいは不透明であつてもよい。 支持体上へ前記の研磨層を塗布する方法として
はエアードクターコート、ブレードコート、エ
ア・ナイフコート、スクイズコート、デイツプコ
ート、リバースロールコート、トランスフアー・
ロール・コート、グラビヤコート、キスコート、
キヤスト・コート、スプレー・コート法等が利用
でき、その他の方法も可能であり、これらの具体
的説明は朝倉書店発行の「コーテイング工学」
253頁〜277頁(昭和46・3・20発行)に詳細に記
載されている。 実施例 1 塗布組成()を用いて15μのポリエチレンテ
レフタレートベース上に7μの研磨層を塗布し
た。しかる後、1/2インチにテープをスリツト
し、VHS、VTR用のテープ・カセツトのテープ
の代りにこの研磨テープを巻きこみ、VTRにセ
ツトしたヘツドを1分間研磨してヘツド摩耗
量、ヘツドの仕上り時の凹凸、ヘツドの端面
のチツピングを調べた。結果を第1表に、1001〜
1006として示す。なお、ヘツドは前述のホツトプ
レスフエライトである。 塗布組成() 研磨材(A)/研磨材(B) 第1表中に示す。 合 計 300g 塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体 (共重合比87:13、重合度350) ………22.5g ポリエステル・ポリオール(*) ………12g 大豆レシチン ………3g シリコーン油(ジメチル・ポリシロキサン)
………2g ポリイソシアネート(3モルの2・4−ト
リレンジイソシアネート化合物と1モル
のトリメチロールプロパンの反応生成物
の75重量%酢酸エチル溶液) ………4.5g メチルエチルケトン ………400g トルエン ………900g * アジピン酸1モルとジエチレングリコール1
モルとトリメチロールプロパン0.06モルの反応
生成物 粘度(75℃):1000cp、比重1.18、 OH価:60、酸価:2以下 実施例 2 塗布組成()を用いて、ポリエチレンテレフ
タレートのベース厚を変え、研磨テープの全厚の
効果をみた。その結果を第1表に2001〜2006とし
て示す。ヘツドの研磨条件は実施例1と同じであ
る。 塗布液組成() 研磨材(A)/(B)(第1表参照) A+B=300g 塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体 (共重合比87:13、重合度380) ………28.4g ポリエステル・ポリウレタン(ブタン・ジ
オールとアジピン酸からなる末端水酸基
を有したポリエステルと2・4−ジフエ
ニルメタン・ジイソシアネートとの反応
生成物、分子量約4万) ………13g カーボン・ブラツク(平均粒子サイズ2μ)
………22.5g アミルステアレート ………1.2g オレイン酸 ………3g イソシアネート化合物(3モルの2・4−
トリレンジイソシアネート化合物と1モ
ルのトリメチロールプロパンの反応生成
物の75重量%酢酸エチル溶液) ………17g ニトリルブタジエンラバー(NBR) ………7.1g 酢酸ブチル ………900g 実施例 3 塗布組成()を用いて研磨材の粒子サイズを
変えて研磨テープをつくり、研磨条件は実施例1
と同じくし、サイズの効果を調べた。結果を第1
表の3001〜3005に示した。 塗布液組成() 研磨材(第1表参照) (A)+(B)=300g 塩化ビニル塩化ビニリデン共重合体 (共重合比=7:3、重合度=400)
………22g エポキシ樹脂(ビスフエノールAとエピク
ロルヒドリンの反応生成物、分子量=
900、エポキシ当量=460〜520、水酸基
含有量=0.29%、Shell Oil Coエピコー
ト1001) ………16g シリコーン油(ジメチルポリシロキサン)
………3.0g イソシアネート化合物(3モルの2・4−
トリレンジイソシアネート化合物と1モ
ルのトリメチロールプロパンの反応生成
物の75重量%酢酸エチル溶液、Bayerz
A.G.製のDesmodur L−75) ………21g 酢酸ブチル ………900g
【表】
【表】
第1表のデータから次のようなことが判る。
1 Cr2O3のみではヘツドの表面性およびチツピ
ングがよくない。 2 α−Fe2O3のみでは研磨量が少ない。 3 α−Fe2O3/Cr2O3が1/9〜9/1の範囲
で、ヘツドの表面性、チツピング、研磨量とも
すぐれたものが得られる。 4 研磨テープの全厚が10〜100μの場合に、す
ぐれた特性のヘツドとなる。 5 表面の凹凸が100μ以下であればチツピング
の発生防止が可能である。 本発明の研磨テープはカレンダリングして使用
するとまれに発生している100μ以上の凸部がな
くなり、研磨効果が向上し、ヘツドの仕上げ面の
精度が向上する。また、30℃以上の温度に1時間
加熱すると急な凸部がなくなり、粒子の脱落が少
ない研磨テープが得られる。更に本発明の範囲内
で研磨材のサイズを変えた研磨テープをつぎ合せ
て使用することによつて粗仕上げから仕上げまで
順次連絡して研磨仕上げを行なうことが可能とな
る。
ングがよくない。 2 α−Fe2O3のみでは研磨量が少ない。 3 α−Fe2O3/Cr2O3が1/9〜9/1の範囲
で、ヘツドの表面性、チツピング、研磨量とも
すぐれたものが得られる。 4 研磨テープの全厚が10〜100μの場合に、す
ぐれた特性のヘツドとなる。 5 表面の凹凸が100μ以下であればチツピング
の発生防止が可能である。 本発明の研磨テープはカレンダリングして使用
するとまれに発生している100μ以上の凸部がな
くなり、研磨効果が向上し、ヘツドの仕上げ面の
精度が向上する。また、30℃以上の温度に1時間
加熱すると急な凸部がなくなり、粒子の脱落が少
ない研磨テープが得られる。更に本発明の範囲内
で研磨材のサイズを変えた研磨テープをつぎ合せ
て使用することによつて粗仕上げから仕上げまで
順次連絡して研磨仕上げを行なうことが可能とな
る。
Claims (1)
- 1 支持体および研磨層よりなる研磨テープにお
いて、研磨材としてCr2O3およびα−Fe2O3を混
合比1:9〜9:1の範囲で組合せたものを用
い、全厚が10〜100μであり、研磨テープ表面の
凹凸が0.1mm以下であることを特徴とする研磨テ
ープ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP367778A JPS5497408A (en) | 1978-01-19 | 1978-01-19 | Polishing tape |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP367778A JPS5497408A (en) | 1978-01-19 | 1978-01-19 | Polishing tape |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5497408A JPS5497408A (en) | 1979-08-01 |
| JPS6210782B2 true JPS6210782B2 (ja) | 1987-03-09 |
Family
ID=11564039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP367778A Granted JPS5497408A (en) | 1978-01-19 | 1978-01-19 | Polishing tape |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5497408A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6186169A (ja) * | 1984-08-28 | 1986-05-01 | Fujitsu Ltd | バ−ニツシユ加工方法 |
| JPH0357427Y2 (ja) * | 1986-01-16 | 1991-12-27 | ||
| JPH05305569A (ja) * | 1992-11-25 | 1993-11-19 | Hitachi Ltd | 表面研磨方法 |
| JPH05305570A (ja) * | 1992-11-25 | 1993-11-19 | Hitachi Ltd | 研磨部材 |
-
1978
- 1978-01-19 JP JP367778A patent/JPS5497408A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5497408A (en) | 1979-08-01 |
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