JPS62138637A - クリ−ンル−ム制御装置 - Google Patents
クリ−ンル−ム制御装置Info
- Publication number
- JPS62138637A JPS62138637A JP60279558A JP27955885A JPS62138637A JP S62138637 A JPS62138637 A JP S62138637A JP 60279558 A JP60279558 A JP 60279558A JP 27955885 A JP27955885 A JP 27955885A JP S62138637 A JPS62138637 A JP S62138637A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- zone
- clean
- inverter
- clean room
- circulation fan
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体製造などのため清浄空間をつくりだすク
リーンルーム制御装置に関するものである。
リーンルーム制御装置に関するものである。
従来の技術
近年ＬＳＩの高密度化にともないクリーンルームの超清
浄夏空間が要求されている。また他方クリーンルーム運
転の省エネ性も製造原価低減のため非常に重要視されて
いる。
浄夏空間が要求されている。また他方クリーンルーム運
転の省エネ性も製造原価低減のため非常に重要視されて
いる。
以下従来の清浄度に関するクリーンルームの構成につい
て説明する。
て説明する。
第３図〜第４図において１はクリーンルームで、外壁２
により外界と隔離されている。クリーンルーム１の出入
口にはエアシャワー室３が設置されており、エアシャワ
ー室３に隣接する通路４により各製造工程に行くことが
できる。各製造工程は、清浄度区分によシ中夫に入室者
が往来できる通路シー７６と通路ゾーン６に隣接し、製
造装置等が設置されているクリーンゾーン６に区分され
ている。通路４より各製造工程に入るには通路ゾーン５
上に設けられた製造工程人ロアより入ることができる。
により外界と隔離されている。クリーンルーム１の出入
口にはエアシャワー室３が設置されており、エアシャワ
ー室３に隣接する通路４により各製造工程に行くことが
できる。各製造工程は、清浄度区分によシ中夫に入室者
が往来できる通路シー７６と通路ゾーン６に隣接し、製
造装置等が設置されているクリーンゾーン６に区分され
ている。通路４より各製造工程に入るには通路ゾーン５
上に設けられた製造工程人ロアより入ることができる。
空気調和機より温湿度がコントロールされた空気は、給
気ダクト８よυ各製造工程別に通路ゾーン５上部に設置
された通路ゾーンフィルタ９およびクリーンシー７６上
部に設置されたクリーンゾーンフィルター１０を介して
室内に供給される。
気ダクト８よυ各製造工程別に通路ゾーン５上部に設置
された通路ゾーンフィルタ９およびクリーンシー７６上
部に設置されたクリーンゾーンフィルター１０を介して
室内に供給される。
室内に給気された空気は環気ダクト１１を通じて空気調
和機に環気されるが、クリーンゾーン６上の給気の一部
はクリーンゾーン６側壁に設けられた循環ダクト１２内
の一定な回転数で運転する循環ファン１３によりクリー
ンゾーンフィルター１０を介して再度クリーンゾーン６
に供給循環する。
和機に環気されるが、クリーンゾーン６上の給気の一部
はクリーンゾーン６側壁に設けられた循環ダクト１２内
の一定な回転数で運転する循環ファン１３によりクリー
ンゾーンフィルター１０を介して再度クリーンゾーン６
に供給循環する。
このようにクリーンルーム１の最も重要な製造工程のク
リーンゾーン６の清浄度は、循環７７ン１３によりクリ
ーンゾーン上の空気がクリーンゾーンフィルター１０を
介して循環することにより維持されていた。
リーンゾーン６の清浄度は、循環７７ン１３によりクリ
ーンゾーン上の空気がクリーンゾーンフィルター１０を
介して循環することにより維持されていた。
発明が解決しようとする問題点
しかしながらこのような従来の構成では、循環ファンの
回転数が一定であるため、クリーンゾーン内の清浄度に
重大な影響をもたらす通路ゾーン上の入室者の変化に対
応できず、入室者が多い場合には清浄度が管理限界から
外れたシ、また入室者が少ない場合には必要以上の循環
風量を循環ファンにより送風することＫなり、省エネ性
に問題点を有していた。
回転数が一定であるため、クリーンゾーン内の清浄度に
重大な影響をもたらす通路ゾーン上の入室者の変化に対
応できず、入室者が多い場合には清浄度が管理限界から
外れたシ、また入室者が少ない場合には必要以上の循環
風量を循環ファンにより送風することＫなり、省エネ性
に問題点を有していた。
本発明はこのような問題点を解決するもので、クリーン
ルームの製造工程別に設けられた通路ゾーンへの入室者
から循環ファンを制御することによりクリーンゾーンの
清浄度を維持し、また省エネ性が向上することを目的と
するものである。
ルームの製造工程別に設けられた通路ゾーンへの入室者
から循環ファンを制御することによりクリーンゾーンの
清浄度を維持し、また省エネ性が向上することを目的と
するものである。
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明のクリーンルーム制
御装置は、クリーンルーム内の製造工程別に設けられた
通路ゾーン上に、入場している人員数をカウントする入
場者カウンターと、前記通路ゾーンに隣接するクリーン
ゾーンの上部に位置するクリーンゾーンフィルターを介
し前記クリーンゾーンの空気を循環させる循環ファンと
、前記循環ファンの回転数を制御するインバータと、前
記入場者カウンターからの出力信号により前記インバー
タの出力値を決定するインバータ出力決定手段とで構成
したものである。
御装置は、クリーンルーム内の製造工程別に設けられた
通路ゾーン上に、入場している人員数をカウントする入
場者カウンターと、前記通路ゾーンに隣接するクリーン
ゾーンの上部に位置するクリーンゾーンフィルターを介
し前記クリーンゾーンの空気を循環させる循環ファンと
、前記循環ファンの回転数を制御するインバータと、前
記入場者カウンターからの出力信号により前記インバー
タの出力値を決定するインバータ出力決定手段とで構成
したものである。
作 用
以上の構成によシ入場者カウンターにてクリーンルーム
内の製造工程別に設けられた通路ゾーン上に入場してい
る人員数をカウントし、そのカウント値をインバータ出
力決定手段に出力する。インバータ出力決定手段では入
場者カウンターからの信号により、クリーンゾーン内の
清浄度を維持するための最小循環風量に対応する出力値
を演算し、インバータに出力する。循環ファンはインバ
ータからの制御電力の供給にもとづいて清浄度維持に必
要な最小循環風量を送風する。
内の製造工程別に設けられた通路ゾーン上に入場してい
る人員数をカウントし、そのカウント値をインバータ出
力決定手段に出力する。インバータ出力決定手段では入
場者カウンターからの信号により、クリーンゾーン内の
清浄度を維持するための最小循環風量に対応する出力値
を演算し、インバータに出力する。循環ファンはインバ
ータからの制御電力の供給にもとづいて清浄度維持に必
要な最小循環風量を送風する。
実施例
以下、本発明の一実施例を第１図〜第２図にもとづいて
説明する。
説明する。
尚、従来例と同一部材については同一符号を用いて説明
は省略する。
は省略する。
図において、１４はインバータで、循環ファン１３の回
転数をインバータ１４への入力信号に対応して変化させ
ることができる。１６はクリーンルーム内の製造工程別
に設けられた通路ゾーン６に入場あるいは退場する人数
をカウントすることにより、通路シー７６上にいる人員
数を演算し、信号として外部に出力する入場者カウンタ
ーで、インバータ出力決定手段１６に向けて通路ゾーン
５上の人員数の信号が出力される。インバータ出力決定
手段１６は入場者カウンター１６からの信号にもとづい
てクリーンゾーン６の清浄度を維持する最小循環風量に
対応する出力値を演算し、インバータ１４に出力する。
転数をインバータ１４への入力信号に対応して変化させ
ることができる。１６はクリーンルーム内の製造工程別
に設けられた通路ゾーン６に入場あるいは退場する人数
をカウントすることにより、通路シー７６上にいる人員
数を演算し、信号として外部に出力する入場者カウンタ
ーで、インバータ出力決定手段１６に向けて通路ゾーン
５上の人員数の信号が出力される。インバータ出力決定
手段１６は入場者カウンター１６からの信号にもとづい
てクリーンゾーン６の清浄度を維持する最小循環風量に
対応する出力値を演算し、インバータ１４に出力する。
通路ゾーン５での入室者の発塵量は１人当り０．３ｐｍ
以上の粒子で５０〜７５Ｘ １０ （１／ｆｔ３であり
、通路ゾーン６およびクリーンゾーン６の清浄度変化は
入場者数の増減にほぼ比例する。入場者による発塵量に
対応するクリーンゾーン６の清浄度維持に必要な最小循
環風量は実験的に求まるので、通路ゾーン６の入場者数
からクリーンゾーン６に対する循環）７ン１３の回転数
、つまりインバータ１４の出力値が判明する。
以上の粒子で５０〜７５Ｘ １０ （１／ｆｔ３であり
、通路ゾーン６およびクリーンゾーン６の清浄度変化は
入場者数の増減にほぼ比例する。入場者による発塵量に
対応するクリーンゾーン６の清浄度維持に必要な最小循
環風量は実験的に求まるので、通路ゾーン６の入場者数
からクリーンゾーン６に対する循環）７ン１３の回転数
、つまりインバータ１４の出力値が判明する。
そこで通路ゾーン５の入場者数に対応するインバータ１
４−の出力値の関係式をインバータ出力決定手段１θに
記憶させておき、入場者カウンター１６からの出力信号
にもとづいた最小循環風量のインバータ１４出力値をイ
ンバータ出力決定手段１６にて演算させる。
４−の出力値の関係式をインバータ出力決定手段１θに
記憶させておき、入場者カウンター１６からの出力信号
にもとづいた最小循環風量のインバータ１４出力値をイ
ンバータ出力決定手段１６にて演算させる。
その演算結果に従って循環７７ン１３が胸御されるため
、クリーンゾーン６の清浄度は最小循環風量にて維持さ
れる。
、クリーンゾーン６の清浄度は最小循環風量にて維持さ
れる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、製造工程毎に入場者数の
変化に対応した最小循環風量が送風されるため、クリー
ンルーム内で重要なりリーンゾーンの清浄度が管理限界
から外れることを防止できるとともに、省エネ性が向上
し、その工業的価値の大きい効果が得られる、
変化に対応した最小循環風量が送風されるため、クリー
ンルーム内で重要なりリーンゾーンの清浄度が管理限界
から外れることを防止できるとともに、省エネ性が向上
し、その工業的価値の大きい効果が得られる、
第１図は本発明の一実施例によるクリーンルーム制御装
置を示す構成図、第２図は第１図のＢ−Ｂ’間の断面図
、第３図は従来のクリーンルームを示す構成図、第４図
は第３図の八−へ′間の断面図である。 １・・・・・・クリーンルーム、６・・・・・−通路ゾ
ーン、６・・・・・・クリーンゾーン、１０・・・・・
・クリーンゾーンフィルター、１３・・・・・・循環フ
ァン、１４・・・・・インバータ、１５・・・・・・入
場者カウンター、１６・・・・・・インバータ出力決定
手段。
置を示す構成図、第２図は第１図のＢ−Ｂ’間の断面図
、第３図は従来のクリーンルームを示す構成図、第４図
は第３図の八−へ′間の断面図である。 １・・・・・・クリーンルーム、６・・・・・−通路ゾ
ーン、６・・・・・・クリーンゾーン、１０・・・・・
・クリーンゾーンフィルター、１３・・・・・・循環フ
ァン、１４・・・・・インバータ、１５・・・・・・入
場者カウンター、１６・・・・・・インバータ出力決定
手段。
Claims (1)
- クリーンルーム内の製造工程別に設けられた通路ゾーン
上に入場している人員数をカウントする入場者カウンタ
ーと、前記通路ゾーンに隣接するクリーンゾーンの上部
に位置するクリーンゾーンフィルターを介し前記クリー
ンゾーンの空気を循環させる循環ファンと、前記循環フ
ァンの回転数を制御するインバータと、前記入場者カウ
ンターからの出力信号により前記インバータの出力値を
決定するインバータ出力決定手段とで構成したクリーン
ルーム制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60279558A JPS62138637A (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 | クリ−ンル−ム制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60279558A JPS62138637A (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 | クリ−ンル−ム制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62138637A true JPS62138637A (ja) | 1987-06-22 |
Family
ID=17612643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60279558A Pending JPS62138637A (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 | クリ−ンル−ム制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62138637A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT201600078030A1 (it) * | 2016-07-26 | 2018-01-26 | I M A Industria Macch Automatiche S P A In Sigla Ima S P A | Gruppo di ventilazione per camere a contaminazione controllata |
-
1985
- 1985-12-12 JP JP60279558A patent/JPS62138637A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT201600078030A1 (it) * | 2016-07-26 | 2018-01-26 | I M A Industria Macch Automatiche S P A In Sigla Ima S P A | Gruppo di ventilazione per camere a contaminazione controllata |
| WO2018019771A1 (en) * | 2016-07-26 | 2018-02-01 | I.M.A. Industria Macchine Automatiche S.P.A. | Fan assembly for cleanrooms |
| CN109790987A (zh) * | 2016-07-26 | 2019-05-21 | I·M·A·工业机械自动装置股份公司 | 用于洁净室的风扇组件 |
| US11608999B2 (en) | 2016-07-26 | 2023-03-21 | I.M.A. Industria Macchine Automatiche S.P.A. | Fan assembly for cleanrooms |
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