JPS62165398A - 基板供給装置 - Google Patents
基板供給装置Info
- Publication number
- JPS62165398A JPS62165398A JP61006727A JP672786A JPS62165398A JP S62165398 A JPS62165398 A JP S62165398A JP 61006727 A JP61006727 A JP 61006727A JP 672786 A JP672786 A JP 672786A JP S62165398 A JPS62165398 A JP S62165398A
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- Japan
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- storage box
- substrate storage
- substrate
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- Prior art date
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は基板等を供給する基板供給装置に関す２ベージ
るものである。
従来の技術
以下図面を参照しながら、従来例の一つを説明する。
すなわち第２図に示すように基板１０１が基板収納箱１
０２に所定ピッチ収納されており、この基板収納箱１０
２をベース１ｏ３に設置している。
０２に所定ピッチ収納されており、この基板収納箱１０
２をベース１ｏ３に設置している。
ベース１０３にはボールネジ１０４が組み込まれ、まだ
ボールネジ１０４には従動歯車１０５を取付けている。
ボールネジ１０４には従動歯車１０５を取付けている。
前記従動歯車１０５は駆動歯車１０６によってパルスモ
ータ１１４の回転運動を伝達される。パルスモータ１１
４の回転数は制御装置によりコントロールされ、所定回
数回転する。これにより両歯車１０５，１０６が回転し
ボールネジ１０４が回転する。したがってボールネジ１
０４が所定ピッチ毎に上下動する。
ータ１１４の回転運動を伝達される。パルスモータ１１
４の回転数は制御装置によりコントロールされ、所定回
数回転する。これにより両歯車１０５，１０６が回転し
ボールネジ１０４が回転する。したがってボールネジ１
０４が所定ピッチ毎に上下動する。
発明が解決しようとする問題点
しかし、このような構造のものでは基板収納箱１０２に
不定ピッチで基板１０１を収納した際に、所定ピッチよ
りも小さいピッチまたは、大きいピ３ベー、・ ソチの場合、基板１０１の他の設備（図示せず）への供
給が不可能である。
不定ピッチで基板１０１を収納した際に、所定ピッチよ
りも小さいピッチまたは、大きいピ３ベー、・ ソチの場合、基板１０１の他の設備（図示せず）への供
給が不可能である。
また、複数の異種ピンチを有する基板収納箱に対応する
場合は、両歯車１０５，１０６の対比を変えるか、ボー
ルネジのピッチを変えるか、複雑なコントロールを行う
か等々、長い切替作業時間を費やすことになる。また手
法が複雑多岐にわたりトラブル発生の要因となる。この
ような問題点を有していた。
場合は、両歯車１０５，１０６の対比を変えるか、ボー
ルネジのピッチを変えるか、複雑なコントロールを行う
か等々、長い切替作業時間を費やすことになる。また手
法が複雑多岐にわたりトラブル発生の要因となる。この
ような問題点を有していた。
そこで、本発明は基板収納箱に基板を積載する収納ピッ
チが異なる多種複数の基板収納箱に対応できるものであ
る。
チが異なる多種複数の基板収納箱に対応できるものであ
る。
問題点を解決するだめの手段
上記問題点を解決するために本発明の基板供給装置は、
基板を他の基板との間に間隔を有するように積載した基
板収納箱と、この基板収納箱を上下動させる駆動手段と
、前記基板収納箱の位置を検出する位置検出手段と、こ
の位置検出手段により前記基板収納箱が所定位置（所定
ピッチ）に達するまで前記駆動手段を駆動させ、前記基
板収納箱が所定位置に達したときに前記駆動手段を停止
させる制御装置を設けてなる。また、前記基板収納箱の
異種多様なものと、前記複数（収納ピッチの異なる）の
基板収納箱の位置を検出する複数の位置検出手段と、前
記複数の位置検出手段を使用する基板収納箱に合わせて
選択する手段を設けたものである。
基板を他の基板との間に間隔を有するように積載した基
板収納箱と、この基板収納箱を上下動させる駆動手段と
、前記基板収納箱の位置を検出する位置検出手段と、こ
の位置検出手段により前記基板収納箱が所定位置（所定
ピッチ）に達するまで前記駆動手段を駆動させ、前記基
板収納箱が所定位置に達したときに前記駆動手段を停止
させる制御装置を設けてなる。また、前記基板収納箱の
異種多様なものと、前記複数（収納ピッチの異なる）の
基板収納箱の位置を検出する複数の位置検出手段と、前
記複数の位置検出手段を使用する基板収納箱に合わせて
選択する手段を設けたものである。
作 用
本発明は上記した構成によって、基板収納箱に基板を積
載する収納ピッチが異なる多種複数の基板収納箱にも、
前記複数の位置検出手段を設けることにより対応できる
。歯車の対比を変更したシ、ボールネジのピッチを変更
したシする必要がなく、切替作業時間の短縮ができる。
載する収納ピッチが異なる多種複数の基板収納箱にも、
前記複数の位置検出手段を設けることにより対応できる
。歯車の対比を変更したシ、ボールネジのピッチを変更
したシする必要がなく、切替作業時間の短縮ができる。
実施例
以下本発明の一実施例を第１図を参照しながら説明する
。
。
基板１が基板収納箱２に所定ピッチ収納されており、こ
の基板収納箱２をベース３に設置している。ベース３に
はボールネジ４が組み込まれ、ま６ページ だボールネジ４には従動歯車６を取付けている。
の基板収納箱２をベース３に設置している。ベース３に
はボールネジ４が組み込まれ、ま６ページ だボールネジ４には従動歯車６を取付けている。
前記従動歯車５は駆動歯車６によってモータ１４の回転
運動を伝達される。モータ１４の駆動は制御装置１５に
よりコントロールされる。これによシ両歯車５，６が回
転しボールネジ４が回転する。
運動を伝達される。モータ１４の駆動は制御装置１５に
よりコントロールされる。これによシ両歯車５，６が回
転しボールネジ４が回転する。
したがってベース３が上下動する。前記基板収納箱２と
同ピツチのスリット板７をリフタ一本体（図示せず）に
設置する。これに相対するセンサー８を設置する。
同ピツチのスリット板７をリフタ一本体（図示せず）に
設置する。これに相対するセンサー８を設置する。
以上のように構成された基板供給装置について、以下動
作説明をする。モータ１４よ多回転運動が伝達されボー
ルネジ４でベース３に上下運動を伝達する。ベース３に
取付けられたセンサー８が上下動することによシ、スリ
ット板７に添って移動する。その際にスリット板７のス
リッ）７ａを通過する。これによりセンサー８が働き、
制御装置１５に信号を伝える。制御装置１５ではこの信
号の入力によシモータ１４を停止させる。
作説明をする。モータ１４よ多回転運動が伝達されボー
ルネジ４でベース３に上下運動を伝達する。ベース３に
取付けられたセンサー８が上下動することによシ、スリ
ット板７に添って移動する。その際にスリット板７のス
リッ）７ａを通過する。これによりセンサー８が働き、
制御装置１５に信号を伝える。制御装置１５ではこの信
号の入力によシモータ１４を停止させる。
このような動作をする構成を異種ピンチに対応スヘク、
複数のスリット板７と複数のセンサー８６ページ を設ける。これらを制御装置１５内に切替スイッチ１５
ａを設けて、スリット板７の選択を行う。
複数のスリット板７と複数のセンサー８６ページ を設ける。これらを制御装置１５内に切替スイッチ１５
ａを設けて、スリット板７の選択を行う。
以上のように本実施例によれば基板収納箱に基板を積載
する収納ピッチが異なる多種複数の基板収納箱にも、前
記複数の位置検出手段を設けることによシ対応できる。
する収納ピッチが異なる多種複数の基板収納箱にも、前
記複数の位置検出手段を設けることによシ対応できる。
歯車の対比を変更したシ、ボールネジのピッチを変更し
たシする必要がなく、切替作業時間の短縮ができる。
たシする必要がなく、切替作業時間の短縮ができる。
発明の効果
以上のように本発明は、基板収納箱の位置を検出する位
置検出手段と、この位置検出手段によシ前記基板収納箱
が所定位置（所定ピッチ）に達するまで前記駆動手段を
駆動させ、前記基板収納箱が所定位置に達したときに前
記駆動手段を停止させる制御装置を設けてなシ、また前
記基板収納箱の異種多様なものと、前記複数（収納ピッ
チの異なる）の基板収納箱の位置を検出する複数の位置
検出手段と、前記複数の位置検出手段を使用する基板収
納箱に合わせて選択する手段を設けることにより、基板
収納箱に基板を積載する収納ピッチ７ ベーク が異なる多種複数の基板収納箱にも、前記複数の位置検
出手段を設けることにより対応できる。従って歯車の対
比、ボールネジのピッチ等の変更をしなくても、切替ス
イッチだけで容易に機種切替ができ、作業性の向上２作
業時間の短縮が得られ、生産性が高く確実に基板の供給
ができる。
置検出手段と、この位置検出手段によシ前記基板収納箱
が所定位置（所定ピッチ）に達するまで前記駆動手段を
駆動させ、前記基板収納箱が所定位置に達したときに前
記駆動手段を停止させる制御装置を設けてなシ、また前
記基板収納箱の異種多様なものと、前記複数（収納ピッ
チの異なる）の基板収納箱の位置を検出する複数の位置
検出手段と、前記複数の位置検出手段を使用する基板収
納箱に合わせて選択する手段を設けることにより、基板
収納箱に基板を積載する収納ピッチ７ ベーク が異なる多種複数の基板収納箱にも、前記複数の位置検
出手段を設けることにより対応できる。従って歯車の対
比、ボールネジのピッチ等の変更をしなくても、切替ス
イッチだけで容易に機種切替ができ、作業性の向上２作
業時間の短縮が得られ、生産性が高く確実に基板の供給
ができる。
第１図は本発明の一実施例における基板供給装置の側面
図、第２図は従来の基板供給装置の側面図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・基板収納箱、７・
・・・・・スリット板、７ａ・・・・・・スリット、８
・・・・・・センサー、１６・・・・・・制御装置、１
５ａ・・・・・・切替スイッチ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名２−
−一基板リス納詣 第 １ 図
７−゛−スリット拉１−一一スリッＬ
図、第２図は従来の基板供給装置の側面図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・基板収納箱、７・
・・・・・スリット板、７ａ・・・・・・スリット、８
・・・・・・センサー、１６・・・・・・制御装置、１
５ａ・・・・・・切替スイッチ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名２−
−一基板リス納詣 第 １ 図
７−゛−スリット拉１−一一スリッＬ
Claims (2)
- （１）基板を他の基板との間に間隔を有するように積載
した基板収納箱と、この基板収納箱を上下動させる駆動
手段と、前記基板収納箱の位置を検出する位置検出手段
と、この位置検出手段により前記基板収納箱が所定位置
に達するまで前記駆動手段を駆動させ、前記基板収納箱
が所定位置に達したときに前記駆動手段を停止させる制
御装置を設けてなる基板供給装置。 - （２）基板収納箱の異種多様なものと、前記複数の基板
収納箱の位置を検出する複数の位置検出手段と、前記複
数の位置検出手段を使用する基板収納箱に合わせて選択
する手段を設けてなる特許請求の範囲第１項記載の基板
供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61006727A JPH0799797B2 (ja) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | 基板供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61006727A JPH0799797B2 (ja) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | 基板供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62165398A true JPS62165398A (ja) | 1987-07-21 |
| JPH0799797B2 JPH0799797B2 (ja) | 1995-10-25 |
Family
ID=11646273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61006727A Expired - Fee Related JPH0799797B2 (ja) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | 基板供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0799797B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5013948U (ja) * | 1973-06-01 | 1975-02-13 |
-
1986
- 1986-01-16 JP JP61006727A patent/JPH0799797B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5013948U (ja) * | 1973-06-01 | 1975-02-13 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0799797B2 (ja) | 1995-10-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |