JPS62169065A - バ−ンイン処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ＩＣのバーンイン処理をするバーンイン処理
装置に関し、特に、内蔵された恒温槽内を所定温度で均
一に加熱することができる小型のバーンイン処理装置に
関する。

［従来の技術］ 従来、ＩＣのバーンイン処理の可能なたとえば両面型バ
ーンイン処理装置ｌは、第６図に示すように、その正面
および背面それぞれに開閉扉２を有する恒温槽３と信号
電流供給部４とを有する。

この恒温槽３は、断熱材を充填した側壁部５．天井部６
．底部７により囲繞され、前記信号電流供給部４に面す
る一方の側壁部５とは反対側の側壁部５の外面にヒータ
８を取り利け、このヒータ８で加熱した空気を、ファン
９を内蔵する通気パイプ１０を介して１ｉｊ記底部７か
ら前記恒温槽３内に供給し、この恒温槽３内の加熱した
空気を前記天井部６から６気パイプ１０を介して前記ヒ
ータ８に循環するとともに、この恒温槽３の天井に設け
た図示しない自動ダンパーにより外部から冷気を前記ヒ
ータ８に供給することにより前記恒温槽３内を一定温度
に維持するようになっている。

なお、１１で示すのは、このバーンイン処理装置の移動
を町律とするキャスターである。

［発＋３１１が解決しようとする問題点］しかしながら
、このような従来のバーンイン処理装置１にあっては、
恒温ｊｆ１３の天井部から引き出した通気パイプＩＯを
その側苧部５に沿わせた後その底部７に接続し、さらに
、この恒温槽３の側ｒｒｐ部５にヒータ８を配置してい
るので、その分だけこのバーンイン処理装２９１の横巾
が大きくなる。したがって、このバーンイン処理装置１
を多数配置したとき、その実装スペースにロスを生じる
。

また、前記／ヘーンイン処理装置１では、恒温槽３外に
通気パイプ１０を引き出しているので、この通兄パイプ
１０による熱のロスがあるから、熱効率が悪い。

さらに、前記バーンイン処理装置ｌでは、天井部のダン
パーでこの恒温槽３内の余分の熱気を排出すると共に冷
たい外気を吸入しているので、この恒温槽３内を均一に
所定温度に維持することができない。

そこで１本願出願人は北述した従来装置の問題点に鑑み
、装置の小型化、熱効率の改善及び恒温特性の改善を図
るための装置を先に提案した（実願昭５９第９３０７３
号）。

この装置は、恒温槽内を隔壁材で前部及び後部恒温槽に
区画するとともに、この恒温槽の上部又ｔｔ　下Ｍにヒ
ータ及び送風ファン（ジロー、コツアン）を配こし、さ
らにこの恒温槽に外気を吸入する吸気管及び恒温槽内の
熱気を外部に排出する排出管を設けてなるものである。

前記提案に係る装置は、恒温槽内をかなりの程度にまで
均一な温度に維持することができるのであるけれど、恒
温槽内における設定温度に対する温度偏差をかぎりなく
小さくするようにとの需要者の要望に沿えない憾みが生
じてきた。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は−ｈ記従来装置の問題点を解消し、本願出願人
が先に提案した装置よりもざらに秀れた装置を提供すべ
くなされたものであり、正面と背面とからＤＵＴ基板を
恒温槽内に収納し、バーンイン処理する両面収納型のバ
ーンイン処理装置において、この恒温槽内に、第１恒瀘
部と第２恒温部とに区画すべく、一対のラックを、その
各背面板が背中合せとなるように収納し、前記恒温槽の
Ｌ方および下方のそれぞれに、前記両恒温部を連通ずる
ように、上方空間部と下方空間部とを設け、前記両桓温
部および画布間部で形成した環状空間内の空気を循環可
能に、前記上方空間部内における前記第１恒温部の直ヒ
に第１強制送風手段を設けると川に前記下方空間部内に
おける前記第２恒温部の直下に第２強制送風手段を設け
、前記両空間部内で前記両強制送風手段それぞれに加熱
手段を臨ませ、前記恒温槽内に配ηした温度検出手段に
よる温度検出結果により恒温槽内の加熱気体全排出し、
恒温槽内に外気を供給する気体温度調整手段を設けるこ
とにより、前記第１、第２の強制送風手段により恒温槽
内の加熱気体の流速を可能な限り均等化して温度分布の
平均化を（４るとともに、前記気体温度′ＩＡ整手段に
より恒温槽内の過熱防止を図るようにしたものである。

この装置は、いわゆる両面型のバーンイン処理装置であ
り、多数のＯＵＴ基板を装着することのできるラックを
内蔵する恒温槽を有し、この八−フイン処理装若の正面
扉および背面扉な開くと、前記恒温槽を開口してその内
部に収納したラックにＤｔＪＴＪＪ板を装着することが
で５るようになっているものである。

前記恒温槽本体の全体は断熱材で囲まれていて内部の熱
が逃げないようになっている。

前記恒温槽はその内部が空洞状に形成されておリ、正面
側及び背面側からそれぞれ一対のラックを背中合せの位
置で収納するとともに、これらのラックのそれぞれの背
面板を恒温槽のほぼ中間部で１１１中合せとすることに
より、この背面板が隔壁と同等に機能し恒温槽内を第１
恒温部及び第２恒温部に区画するようになっている。な
お、第１恒温部は、恒温槽の正面側及び上面側のいずれ
に位置するものであってもよい、そして、前記両背面板
を介して前後に区画される両恒温部の−Ｌ方及び下方に
は、上方空間部及び下方空間部が設けられており、これ
により、この装置本体内で第１恒温部→Ｌ方空間部→第
２恒温部峠下方空間部→第１恒温部に至る気体循環路を
形成している。

この気体循環路においては、第１．第２の強制送風手段
により上述したような経路で空気が強制的に循環するよ
うになっている。

第１、第２の強制送風手段の前記気体循環路内における
配置関係としては、上方空間部における第１恒温部の直
上に：５１の強制送風手段を配置し、下部空間部におけ
る恒温部の直下に第２の強制送風−手段を配置するよう
になっている。

前記第１．第２の強制送風手段としては、駆動モータで
、駆動されるプロペラファンが好適である。そして、こ
のプロペラファンとしては前記気体循環路内に要請され
る空気の循ＩＯ流速、風ｔ−等に応じてその大、小や一
連か二連か等種々の形式を設定することができる。

前記第１、第２の強制送風手段の空気吹き出し側の近傍
であって」二方または下方空間部内にそれぞれ加熱手段
としてヒータを配置している。

前記ヒータとしては、通常のニクロム線ヒータ等を使用
することができ、恒温槽内部の温度により通電を断続し
て恒温槽内の温度管理をすることができるようになって
いる。

この装置はさらに気体温度調整手段を具備している。

この気体温度調整手段は、第１恒温部または第２恒温部
に加熱気体をそのまま送風すると、第１恒温部または第
２恒温部のいずれかを通過する気体が内部のＩＣにより
加熱され、そのまま加熱された気体を他方の恒温部に送
風すると、その他方の恒温部内が過熱状態となる場合に
、過熱された気体に外部の冷気を混合して過熟気体を迅
速に冷却するとともに、過熱気体を恒温槽外部に放出し
、これにより恒温槽内の気体の温度を適正に保つために
設けられているものである。

したがって、この気体温度調整手段は気体ｆ＋１：ｌ路
内を循環する加熱気体と外気とを混合し、かつ、加熱気
体の一部を外部に放出することができる構成とすればよ
い。

すなわち、外気を恒温槽内に取り入れるための外気取り
入れ部と、恒？！；ｌ槽内の加熱気体を外部に放出する
ための排気部と、恒温槽内の温度を検出し検出結果を２
．（に前記排気部の開閉を制御する温度センサ及び制御
部とにより気体温度調整手段を構成することができる。

前記外気取り入れ部は気体循環路内に外気を導入するた
めのものであるから、前記第１、第２の強制送風・Ｐ段
の近傍に設けることが好ましい。

また、前記排気部は例えば−上方空間部とこの装置の外
部とを区画するＬ部フレームに設けることが好ましく、
特に加熱気体の排出を円滑に行なうことができるように
電動式のダンパを用いて構成することが、本装置の実施
に際して好適である。

さらに、前記温度センサは、第１恒温部及び第２恒温部
に臨ませて配置することが好ましい。

尚、気体温度調整手段としては、この他前記第１、第２
の強制送風手段の近傍にそれぞれ冷却水が循環する冷却
パイプを列設してなる冷却手段を配とする構成を含ませ
ることもできる。

［作用］ 以りの構成に基く木装青の作用は以下のとおりである。

この装置の恒温槽は、背中合せに配置した第１、第２の
ラックの背面板により第１恒温部と第２恒温部とに区画
されるとともに、これら両恒温部と上方、下方の内空間
部とによりこの装置の内部に気体循環路が形成される。

そして、２個のヒータにより加熱される気体、例えば空
気が、第１、第２の強制送風手段により気体ＶＩ環路内
を循環することになる。

このとさ、第１の強制送風手段および第２の強制送風手
段の駆動により、気体循環路内で１例えば、第１恒温部
→上方空間部→第２恒温部峠下方空間部→第１恒温部の
順に空気が循環する。

そして、」一方空間部および下方空間部それぞれにおい
てヒータが、強制送風手段の空気吹き出し側に配置され
、また、上方空間部では第２恒温部の直−にに、下方空
間部では第１恒温部の直下に空洞が形成されているので
、例えば、第１の強制送風手段により、第１恒温部内の
空気を強力に吸引し、吸引した空気をヒータで加熱し、
加熱した空気を前記空洞内に吹きつけ、これにより加熱
空気が十分に攪拌、混合されることになる。その結果、
−上方空間部における前記空洞から、第２恒温部内に、
均一に加熱された空気が、均一な流速でもって、流下す
ることとなる。第２の強制手段についても、前記と同様
にして、下方空間部における空洞から、第１恒温部内に
、均一に加熱された空気が、均一な流速でもって、噴き
上ることとなる。

一方、このバーンイン処理装置は、恒温槽内に多数のＤ
　Ｕ　Ｔ　）、’；、板を装着するので、上方空間部か
ら：５２恒温部へ、また、下方空間部から第１悄温部へ
と、那熱空気を一定流速で吹き出したとしても、第１恒
温槽および第２恒温槽内ではＤＵＴ基板による抵抗によ
って、加熱空気の風速が順次に低下していくが、第１の
強制送風手段および第２の強制送風手段が、低下した風
速の加熱空気を強力に吸引するから、第１恒温槽および
第２恒温槽内部では全体として円滑な加熱気体の流れが
実現されることとなる。

また、ＤＵＴ基板に搭載する多数のＩＣが自己発熱する
としても、前記の円滑な加熱気体の流れによって、ＩＣ
による発熱が恒温槽内にこもることが防止されることと
なる。

また、ＤＯＴ基板に搭載するＩＣの発熱により第１恒温
部および／または第２恒温部内部の温度が所定温度より
も高くなったときには、外気取り入れ部から外部の冷気
を吸入してこの冷気と過熱気体とを混合すると共に排気
部から過熟気体を排出すると、第１恒温部および／また
は第２恒温部内部の温度が下がることとなる。このとき
、外気取り入れ部および排気部の吸気量と排気］とを調
節すると、第１恒温部と第２恒温部との内部の温度ドリ
フトが一段と小さくなる。第１恒温部や第２恒温部内部
の温度が所定温度よりも低下したときには、外気取り入
れ部および排気部を閉鎖してヒータにより加熱すると、
恒温槽内部の温度が上昇する。

［実施例］ 以下に本発明の実施例を図面を参照しながら詳述する。

第１図、第２図に示す装置は、その正面および背ｍ１そ
れぞれに開閉扉１３を有する恒温槽１４と信号電流供給
部１５とを有する。この恒温槽１４は、断熱材を充填し
た側壁部、天井部、底部により囲まれて形成される。

また、この恒温槽１４の内部には、天川部と平行配置に
、かつ、一定間隔を隔てて空気の流通が可能な別状の上
部仕切板１１３ａが配置され、天井部とこの上部仕切板
１８ａとにより上方空間部１７ａを形成している。

同様に、底部と平行配置に、かつ、一定間隔を隔てて空
気の流通が可能な網状の下部仕切板＋６ｂが配ａされ、
底部と下部仕切板＋６ｂとにより下方空間部１７ｂを形
成している。

そして、前記上部仕切板１８ａと下部仕切板１８ｂとの
間に後述するような一対のラック３１ａ、３１ｂをそれ
ぞれの背面板５５．５５が背中合せ配置になるように、
かつ、その背中合せ位置がこの恒温槽１４の前後方向に
おける中間部となるように収納して、これら背面板５５
．５５により恒温槽１４内を第１恒温部１８ａと第２恒
温部１８ｂとに区画するようになっている。なお、この
実施例では恒温槽１４の前部に第１恒温部＋８ａを、後
部に第２恒温部１８ｂを形成する。尚、第２図において
恒温槽１４内の中心部に重置方向に描いた破線りは、前
記ラック３０ａ、３０ｂの背中合せ位置を示すものであ
る。

前記第１恒温部１８ａの直上には、上方空間部１７ａ内
に位置して第１の強制送風手段１９ａを配置している。

この第１の強制送風手段１９ａは、２連のプロペラファ
ン２０を前記天井部のＬに配〃した駆動モータ２１の原
動軸２２に直結したものを２台並列配惹することにより
構成している。そして、前記プロペラファン２０の近傍
、すなわち、上方空間部１７ａにおけるプロペラファン
２０の下流側（風吹き出し側）には加熱手段としてのヒ
ータ２３ａを配置している。また、前記プロペラファン
２０の下流側、すなわち、前記上部仕切板１ｆ３ａの上
面に近接して冷却水を循環させるための冷却パイプ２４
ａが配置され、これにより恒温槽１４内の気体の冷却手
段を構成している。

さらに、前記第１の強制送風手段１９ａの上流側で、か
つ、前記上方空間部＋７ａの側面には、恒温槽１４の外
部から空気を吸引しこれを上方空間部−１７ａ内に導入
するための外気取り入れ部２５ａを設けている。

前記第２恒温部１８ｂの下方には、下方空間部＋７ｂ内
に位置して　前記第１の強制送風手段１９ａと同様な構
成からなる第２の強制送風−Ｌ段＋９ｂ、前記ヒータ２
３ａと同様な構造の加熱手段としてのヒータ２３ｂ、前
記冷却パイプ２４ａと同様な構造の冷却パイプ２４ｂが
それぞれ配置され、また、前記外気取り入れ部２５ａと
同様な構造の外気取り入れ部２５ｂを設けている。

ｉｉｊ記上方空間部１７ａを外気から区画する天井部に
は１図示しないモータにより駆動される電動式のダンパ
２６が設けられ、このダンパ２６の開閉により上方空間
部＋７ａ内の空気を外部に排出したり。

その排出を停止したりができる排気部２７を構成するよ
うになっている。このダンパ２６の開閉制御は、温度セ
ンサ及び制御部により行なうようになっている。

この温度センサ及びＭ制御部は２個の温度センサ２８ａ
、２８ｂを有し、一方の温度センサ２８ａを前記第１恒
温部＋８ａに、他方の温度センサ２８ｂを前記第２恒温
部１８ｂにそれぞれ臨ませて配こするとともに、それぞ
れの温度センサ２８ａ、２８ｂで検出した温度を基に図
示しない制御部が前記排気部２７のモータに駆動信号を
送り、これによりダンパ２６を開閉駆動するものである
。

次に前記一対のラック３１ａ、３１ｂについて説明する
。尚、両ラック３１ａ、３１ｂの構成は同一であるので
一方のラック３１ａについて詳述する。

第３図、第４図に示すようにこのラック３１ａは、略長
方形の底面部３２の四隅に垂直に立設した左右一対の第
１の縦材３３．３４および第２の縦材３５．３６と、前
記一対の第１の縦材３３．３４の一ヒ部間に掛渡した第
１の一ヒ部横材３７と、前記一対の第２の縦材３５．３
６の上部間に掛渡した第２の上部横材３８と、前記第１
の縦材３３．３４の上部と前記第２の横材３５．３６の
上部とに掛渡した第３の横材とで直方体状のフレームを
形成し、前記フレームのと部に天板３８を、前記フレー
ムの両側面には側面板４０．４１をそれぞれ配設し、さ
らに、このフレームの音部には背面板５５を配設する。

中央には２木の第４の横材４２．４３を掛渡すと共に前
記第２の縦材３５．３６の中央部間にも前記第４の横材
４２．４３に対応する２本の第５の横材４４．４５を掛
渡し、さらに前記底面部３２のわずかに上方で前記第１
の縦材３３．３４間に第６の横材４６を掛渡すと共に前
記第２の縦材３５．３Ｂ間に前記第６の横材４６に対応
する第７の横材４８を掛渡してなり、前記第１の縦材３
３゜３４、前記第１の上部横材３７、前記第４の横材４
２．４３、および前記第６の横材４８を恒温槽の開閉扉
に対向するように、この恒湿槽内に配置、固定する。そ
して、前記ラック３１ａは、前記第１の上部横材３７と
２本の第４の横材４２．４３と前記第６の横材４６とは
それぞれ等間隔に配設され、また、前記第２の上部横材
３８と２木の第５の横材４４．４５と前記第７の横材３
８と２本の第５の横材４４．４５と前記第７の横材４８
とはそれぞれ等間隔に配設され、この等間隔に配置され
た前記各横材の上下間には、−面にプリント配線を有す
ると共に他の而には複数のＩＣソケットを行列状に配置
したＤＵＴ基板（図示せず。）を縦にして装着すること
ができるようになっている。

前記一対の第２の縦材３５．３６間であって、前記第２
の七部構材３８と前記第５の横材４４との間、２木の第
５の横材４４．４５間、第５の横材４５と前記第７の横
材４８との間それぞれには、一方の前記第２の縦材３６
にたとえばネジ等で因着可濠な固定板４９と、他方の前
記第２の縦材３５に回動部材たとえば蝶番５０を介して
回動可能に固着された回動板５１と、前記回動板５１と
前記固定板４９との間に掛渡されると共にマザーボード
４２を装着可能な３枚の取付板５３とからなる取付フレ
ーム５４を設ける。

前記マザーボード５２の正面には、このラック１１ａに
装着されたＤＵＴ基板のカードエツジを接続するカード
エツジ（図示せず、）を配列し、その背面には前記カー
ドエツジコネクタのビンに電気的に接続されたプリント
配線（図示せず、）を１設けると共にこのプリント配線
に接続される各種の素子（図示せず、）を搭載する。前
記ＤＵＴ基板１−のプリント配線は、ｆｆ１ｊ記蝶＃ｉ
５０に近い所で、前記信号電流供給？Ｂ１５から延在す
る信号ケーブルに接続される。

以↓―構成のラック３１ａは、バーンイン処理装置の恒
温４ｆｇ＋４の第１恒温部＋８ａ内に配置される。そし
て、恒温槽１４の開閉扉１３を開き、露出するラック３
１ａに多数のＤＵＴ基板を縦にして装着する。

このとき、ＤＵＴ基板は、そのカードエツジをマザーボ
ード５２のカードエツジコネクタに挿入して前記ＤＵＴ
基板におけるプリント配線とを電気的に接続する。ＤＵ
Ｔ基板の装着後、開閉扉を閉じ、前記恒温室内を所定の
各種の信号電流を、信号ケーブル、マザーボード５２お
よびＯＵＴ基板を介してこのＤＵＴ基板−Ｅに搭載され
たＩＣに供給してＩＣのバーンイン処理をする。

ここで、前記マザーボード５２に搭載する素子に故障を
生じてその交換が必要となった場合、固定板４９を第２
の縦材３６に固着しているネジを取外し、次いで、第５
図に示すように、前記固定板４８が前記開閉扉Ｉ３に向
うように回動板５１を中心にして取付フレーム５４を回
動する。この取付フレーム５４を、前記回動板５１をホ
付けている第２の縦材３５とこの第２の縦材３５に対向
する第１の縦材３３とに平行になるまで回動すると、換
言すれば、左右一対の２木の第１の縦材３３．３４を含
む而に直交して前記回動板５１を有する前記第２の縦材
３５と前記第１の縦材３３とに取付られた側面板４０に
平行となるまで、前記取付フレーム５４を回動すると、
マザーボード５２のプリント配線面が、前記側面板４０
に対向する他の側面板４１に対向することとよる。そこ
で、前記開閉扉１３に面するこのラック３１ａの開口部
から手を差延べ、　ｒＮ前記マザーボード５２に搭載す
る不良品となった素子を新たな素子に交換する。

このように、前記構成のラック３１ａは　フレームから
マザーボード５２を取外さなくともこれを回動するだけ
で、マザーボード５２．Ｌに搭載する各種の素ｆ−を簡
単に交換することができる。このマザーボード５２を回
動することができるようにしたことにより、前記のよう
な素子の交換の外に、取付フレーム５４からマザーボー
ド５２を容易に外すことができることとなり、マザーボ
ード５２の交換をも筒単に行なうことができることとな
る。また、マザーポー１・５２の回動によりプリント配
線面を露出することができるので、マザーボード５２の
保守、点検を簡単に行なうことができる。

他方のラック３１ｂの構成は、前記ラック３１ａ、：全
く同様であり、また、その恒温槽１４に対する収納位置
が第２恒温部１８ｂである点を除けば、その作用もラッ
ク３１ａの場合と全く同様である。

以北説明した本実施例’装置の構成から明らかなように
、背中合せ位置りに沿って配置される一対のラックｌｌ
ａ、３１ｂにより恒温槽１４内が第１恒温部１８ａ及び
第２恒温部１８ｂに区画され、かつ、この両恒温部＋８
ａ、＋８ｂと前記上方空間部＋７ａ及び下方空間部１７
ｂとにより、恒温槽１４内に気体循環路が形成される。

そして、前記第１、第２の強制送風手段１９ａ、１９ｂ
の配を位６は、気体循環路において、背中合せ位置りと
直交すると共に開閉扉１３に並行となる水平中心軸に対
して１８０度回転対称となる位置となっている。

また、前記両ヒータ２３ａ、２３ｂにより気体の加熱手
段が、前記外気取入れ部２５ａ、２５ｂと排気部２７と
温度センサ及び制御部とにより気体温度Ｊ＋御−Ｌ段が
それぞれ構成されるようになっている。

尚、１ｉ行記冷却パイプ２４ａ、２４ｂからなる冷却手
段を気体温度制御手段に含ませてもよい。

次に一ト述した実施個装この作用について説明する。

第１恒温部１８ａにラック３１ａを第２恒温部１８ｂに
ラック３１ｂをその背面板が背中合せとなる位置りに配
置し、これらラック３１ａ、３１ｂにＤＵＴ基板（図示
せず、）を多数装着した後、正面及び背面の開閉ｕ１１
３をいずれも閉じて、この恒温槽１４内を密封する。

次いで、第１、第２の強制送風手段１９ａ、　１９ｂを
駆動して気体循環路内に空気を循環させると共に、両ヒ
ータ２３ａ、２３ｂに通電する。

これにより、第１の強制送風手段１９ａは前部恒温Ｆｍ
　１８　ａ内の空気を吸引し、これをヒータ３１ａを経
てｌ１方空間部１７ａから第２恒温部１８ｂ内に圧送す
る。一方、第２の強制送風手段ｔａｂは第１恒温部ｔａ
ｂ内を降下する加熱空気を吸引し、これをヒータ３１ｂ
を経て下方空間、９１１１７ｂから第１恒温部１８ａ内
に圧送する。

以上述べたこの装置各部の作用により、気体循環路内を
循環する加熱空気は、その全流路において背中合せ位２
１Ｌと直交すると共に開閉扉１３に並行となる水Ｙ中心
軸に対して回転対称となる位置でそれぞれ強制的にその
流速が速められると同時にそれぞれヒータ３１　ａ　、
　３１　ｂにより加熱されるものであるから、第１恒温
部１８ａと第２恒温部１８ｂとにおける流速分布及びａ
度分布が同等のものとなり、前記ＯＵＴ基板に対するバ
ーンイン処理を良好に行なうことができる。

ここで、ＯＵＴ基板に搭載したＩＣに、信号電流供給部
１５から信号電流を通電してこのＩＣのバーンイン処理
をすると、それらＩＣは発熱する。

一つ一つのＩＣの発熱量が僅かであっても、ラックに装
着した多数のＩＣ全体の発熱量は膨大なものとなり、気
体循環路内を循環する加熱空気が過熱状態となる。

そこで、前記気体温度調整手段の温度センサ２８ａ、２
８ｂによりこの加熱空気の温度を検出し、これを基に制
御部から排気部２７のモータに駆動信号を送ってダンパ
２Ｇを開き過熱空気を外部に排出する。この加熱空気の
排出作用が始まると恒温槽１４内の加、＠空気と外気と
の圧力バランスが崩れ、これにより、外気取入れ部２５
ａ、２５ｂから上方空間部１７ａ及び下方空間部１７ｂ
にそれぞれ冷たい外気が導入されて過熱空気と混合する
。これによりり、過熟空気が冷却され過熱状態が解除さ
れる。

そして、前記温度センサ２８ａ、２８ｂにより冷却され
た空気の温度を検出し、これをノ、（にダンパ２６を閉
じるように制御することにより、恒温槽］４内の空気の
温度をドリフトの少ない恒温状態に保つことができる。

尚、必要に応じて前記冷却パイプ２４ａ、２４ｂに冷却
水を流し過熱空気を冷却するようにすればより効果的に
恒温状態を達成できる。

本発明はＪ：、述した実施例に限定されるものではなく
、その要旨の範囲内で種々の変形が可能である。例えば
、］−述した実施例では強制送風手段として、二連１台
のプロペラファンをそれぞれ上方空間部、下方空間部に
配置する場合について説明したが、プロペラファンの連
結個数、設置台数はこれに限らず一連一台としたり、三
連二台、三連三台としたりする等、装置の規模に応じて
種々の設定が可能である。

［発明の効果］ 以り詳述した本発明によれば、バーンイン処理に必要な
空気の加熱、′＠環を行なう加熱手段、強制送風手段を
恒温槽内に配置すると共に、一対のラックを用いて気体
循環路を形成しているので、恒温槽の外周部に突出する
構成要素がなくなり、これにより設置スペースの節約が
可能な小型のバーンイン処理装置を提供することができ
る。

また、恒温槽内の気体循環路内の所定位置に強制送風手
段、加熱手段を配置しているので恒温槽内の流速分布、
温度の！１がｎＮ部と後部とで均等になるとともに、気
体温度調整手段により過熱状態の防止を図っているため
、ドリフトの少ない恒温状態の下にバーンイン処理を行
なうことができる八−ンイン処理装置を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例装置の概略正面図、第２図は同
上の概略側断面図、第３図は同」二のラックの概略正面
図、第４図は同上のラックの斜視図、第５図は同上のラ
ックのマザーポー・ドを回動した状態を示す概略創視図
、および第６図は従来のバーンイン処理装置を示す正面
図である。 １３・・・開閉扉、１４・・・恒温槽、１７ａ拳・・上
方空間部、１７ｂ・・・下方空間部、１８ａ・・・第１
恒温部、１８ｂ−−−第２恒温部、１９ａ、　Ｈｕｂ・
・・第１．第２の強制送風手段、２３ａ、２３ｂ・・・
ヒータ、２５ａ、２５ｂφ・−外気Ｉ没入れ部、２Ｂ・
・・排気部、２８ａ、２８ｂ・・・温度センサ、３１ａ
、３１ｂ　−−−ラック、　５５−−−背面板。 第４図 ゝ３４ 第６図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）正面と背面とからＤＵＴ基板を恒温槽内に収納し
   、バーンイン処理する両面収納型のバーンイン処理装置
   において、この恒温槽内に、第１恒温部と第２恒温部と
   に区画すべく、一対のラックを、その各背面板が背中合
   せとなるように収納し、前記恒温槽の上方および下方の
   それぞれに、前記両恒温部を連通するように、上方空間
   部と下方空間部とを設け、前記両恒温部および両空間部
   で形成した環状空間内の空気を循環可能に、前記上方空
   間部内における前記第１恒温部の直上に第１強制送風手
   段を設けると共に前記下方空間部内における前記第２恒
   温部の直下に第２強制送風手段を設け、前記両空間部内
   で前記両強制送風手段それぞれに加熱手段を臨ませ、前
   記恒温槽内に配置した温度検出手段による温度検出結果
   により恒温槽内の加熱気体を排出し、恒温槽内に外気を
   供給する気体温度調整手段を設けたことを特徴とするバ
   ーンイン処理装置。
2. （２）前記第１、第２の強制送風手段は、それぞれプロ
   ペラファンを有して構成された特許請求の範囲第１項に
   記載のバーンイン処理装置。