JPS62193684A

JPS62193684A - 連続洗浄装置

Info

Publication number: JPS62193684A
Application number: JP3448486A
Authority: JP
Inventors: 稲葉　善明; 恭司広瀬; 鶴田　捷二; 高城　知行; 島田　秀幸; 大額　勝光
Original assignee: Mitsubishi Metal Corp
Current assignee: Mitsubishi Metal Corp
Priority date: 1986-02-19
Filing date: 1986-02-19
Publication date: 1987-08-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野］この発明は、被洗浄物に対して酸洗浄、水洗浄、および
乾燥を連続的に行うことができる連続洗浄装置に関する
ものである。

し従来の技術］一般に、半導体ウェハの原料となるシリコンを溶解する
るつぼは、溶解するシリコン内への不純物の混入を防止
するために、使用前に充分な洗浄が行なわれ、その表面
を高い清浄度に保った状態で使用される。

従来、上記のようなるつぼを洗浄する装置としては、酸
洗浄室と、水洗浄室と、乾燥室とを連設したものが使用
されている。そのような洗浄装置では、まず、酸洗浄室
内でるつぼをフッ酸や硝酸等の強酸を含む薬品で洗浄し
、これによって、その表面を腐食してるつぼの表面に付
着した塵埃や油分等を取り除いた後、水洗浄室内におい
てるつぼの表面から酸を洗い落とし、次に乾燥室内にお
いてるつぼを乾燥することができるようになっている。

［発明が解決しようとする問題点］ところで、上記のような洗浄装置では、各洗浄室と乾燥
室とがそれぞれ別個に設置されているため、るつぼを各
洗浄室や乾燥室内に挿入したり取り出したりする作業を
人手によらなければならない。ところが、フッ酸等の強
酸溶液が付着したるっぽを持ち運ぶ作業は、危険である
ばかりでなく、持ち運びの際にるつぼが外部雰囲気にさ
らされてその濡れた表面に塵埃や油分が付着し、このた
め、シリコンを溶解したときにそれらがシリコン内に混
入してしまうという問題があった。

［発明の目的］この発明は、」二足問題を解決するためになされたもの
で、被洗浄物を人手によらず酸洗浄室から乾燥室まで順
次搬送することができ、したがって、洗浄作業の安全化
と省力化を図ることができるのはもちろんのこと、るつ
ぼの表面が濡れた状態で外部雰囲気（三さらされること
がなく、これによって、高い清浄度を得ることができる
連続洗浄装置を提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］この発明の連続洗浄装置は、水平方向一端部に入口を他
端部に出口をそれぞれ有するハウジングと、このハウジ
ング内を」二足入口から上記出口にかけて酸洗浄室と、
水洗浄室と、乾燥室とに区画する開閉自在な扉と、被洗
浄物を一定距離づつ移送し、被洗浄物を」二足入口から
」二足各室を経由して」−記出口まで搬送する搬送手段
とを備えた構成としたものである。

［実施例］第１図ないし第４図はこの発明の一実施例を示す図であ
る。

第１図において符号ｌはハウジングである。ハウジング
１は、ステンレスとプラスチック材とからなるものであ
って、底部ハウジング２と上部ハウジング（ハウジング
）３とから構成されている。

上部ハウジング３の水平方向一端部には、入口４が設け
られ、他端部には出口５が設けられている。

また、」二部ハウジンク３の内部には、遮蔽機構６が設
（３られでおり、これによって」二部ハウジング３の内
部が入口４から出口５にかげて、待機室７、酸洗浄室８
　ａ、　８　ｂ、水洗浄室９　ａ、　９　ｂ、乾燥室１
０にそれぞれ区画されている。

遮蔽機構６について詳細に説明すると、」二部ハウジン
グ３内の」二壁部には、長手方向を前後方向（第１図に
おいて左右方向）に向（Ｊた２本の連結レ−ル１１・１
１（図では１本のみ示す）が前後方向へ移動自在に支持
されている。これら連結レール１１・１１は、図示しな
いピストンシリンダーによって前後方向へ所定距離を移
動せしめられるように構成されている。また、連結レー
ル１１・１１には、６個の扉Ｉ２・・の端部が２個の連
結具１３・１３（図では１個のみ示す）を介してそれぞ
れ取り付けられている。扉１２は、ポリカーボネイトか
らなる矩形薄板状のものであって、弾性変形可能に形成
されている。

また、６扉１２の下側には、仕切り板１４が配置されて
いる。仕切り板１４は、上部ハウジング３の内部を複数
の室７．・・・ＩＯに区画するものであって、室の上部
を遮蔽する上壁部１５と、隣接する室同士の間を仕切る
前壁部１６とから構成されている。そして、前壁部１６
の上端部から上壁部１５に連続する部分は滑らかなＲ曲
面に形成されている。また、前壁部１６の中央部には、
その下端縁から」二端部に至る切欠Ｉ７が形成されてお
り、被洗浄物であるるっぽＩ８が通過することができる
ようになっている。さらに、仕切り板１４の両側縁部に
は、ガイド１９がそれぞれ固定されている。ガイド１９
は、上記扉１２を摺動自在に支持するものであって、そ
れらの互いに向かい合った壁部には、それぞれ凹部１９
ａが形成されている。そして、それら凹部１９　ａには
、扉１２の側縁部が嵌め入れられている。

このような構成のもとに、扉１２は、連結レール１１・
１１を第２図中矢印Ｂ方向へ移動させることにより、仕
切り板１４の表面に沿って移動して、第４図に示すよう
に、前壁部Ｉ６の切欠Ｉ７を遮蔽し、連結レール１１・
１１を矢印Ａ方向へ移動させることにより、前壁部１６
を開放することができるようになっている。また、図中
符号２０で示すものは、上記扉１２と同一のものであっ
て、手動にて開閉することができるように構成されてい
る。

このように区画された各室７．・・・１０のうち、酸洗
浄室８　ａ、　８　ｂ内には、ノズル２１がそれぞれ配
置されている。ノズル２１は、酸洗浄室８内に挿入され
たるつぼＩ８にフッ酸や硝酸等の強酸溶液を含む洗浄液
を放出するためのものであって、図には示していないが
、このノズル２Ｉと同一のものがるっぽ１８の下側にも
配置されており、るつぼＩ８の内側の壁面にも洗浄液を
放出することができるようになっている。また、水洗浄
室９ａ。

９ｂ内には、純水と熱純水をそれぞれ放出するためのノ
ズル２２が上記ノズル２１と同様に上下にそれぞれ配置
され、乾燥室１０内には、遠赤外線ヒータ２３が配置さ
れている。

また、酸洗浄室８から乾燥室１０までの各室には、排気
ダクト２４がそれぞれ連結されている。

排気ダクト２４は、洗浄液が飛散して生じる酸ミストを
」一部ハウジング３の外部に排出するためのものである
。また、排気ダクト２４・・・の途中には、ダンパー２
５がそれぞれ介装されており、酸洗浄室８ａ側の室内の
圧力が乾燥室１０側の室内よりＩｎ＋ｍΔｑ程度低くな
るように設定されている。これによって、酸洗浄室８ａ
側の室内の酸ミストが乾燥室側の室内に流入しないよう
になっている。

次に、るつぼ１８を」一部ハウジング３の入口４から、
上記各室７．・１０を経由して、出口５まで搬送するウ
オーキングビーム（搬送手段）２６について説明する。

第２図において符号２７は昇降グリッドである。

昇降グリッド２７は、上下方向へ移動自在に構成された
ものであって、互いに平行な２本のフレーム２８・２８
に複数の桟部材２９・・を架設するとともに、桟部材２
９同士の間に複数の梁３０・・・を架設して構成されて
いる。また、梁３０・３０の間には、長手方向を前後方
向に向けた移動グリッド３１が配置されている。これら
移動グリッド３１・・・は、図示しないピストンシリン
ダーによって上記室７．・・・１０の間隔と同一の距離
をもって前後方向に移動せしめられるように構成されて
いる。

そして、移動グリッド３１・・・の上面は、昇降グリッ
ド２７の」二昇端において」二足梁３０・・・の」−面
よりも下側に位置し、昇降グリッド２７の下降端におい
て粱３０・・・の」二面よりも上側に位置するようにな
っている。

このような構成のウオーキングビーム２６は、昇降グリ
ッド２７を下降させてその上面に載置されているるつぼ
１８を移動ビーム３１・・・の上面に受は渡し、次に、
移動ビーム３Ｉ・・・を図中矢印Ａ方向へ移動させてる
つぼ１８を次の室まで移送し、昇降グリッド２７を上昇
させてその上面にるつぼ１８を受は渡し、このようにし
て各室７．・・・ＩＯ内のるっぽ１８を同時に、しかも
１つのサイクルで次室へ移送することができるようにな
っている。

なお、第１図において符号３２は洗浄液槽、３３は純水
槽、３４は熱純水槽であって、それらに」二足ノズル２
１．２２より放出される洗浄液や純水が流入するように
なっている。また、それら洗浄液や純水は、ポンプ３５
・・・によって上記ノズル２１．２２に供給されるよう
になっている。

次に、以上の構成からなる連続洗浄装置において、るつ
ぼ１８を洗浄する手順について説明する。

まず、扉Ｉ２・・・、２０を開けた状態で、るつぼＩ８
を待機室７内に挿入し、これをウオーキングビーム２６
によって酸洗浄室８ａまで、移送する。

次に、扉Ｉ２・・・を閉じて酸洗浄を行う一方、扉２０
を開けて次のるつぼ１８を待機室７内に挿入しておく。

このようにして順次洗浄を行いつつ、待機室７にるつぼ
１８を挿入し、複数のるつぼ１８・・・について酸洗浄
、純水洗浄、熱純水洗浄および乾燥を連続的に行う。な
お、乾燥したるつぼ１８は、出口５から取り出す。

上記構成の連続洗浄装置にあっては、上部ハウジング３
内に遮蔽機構６を設け、これによって上部ハウジング３
の内部を入口４から出口５にかけて、待機室７、酸洗浄
室８　ａ、　８　ｂ、水洗浄室９ａ。

９ｂ、乾燥室ｌＯにそれぞれ区画するとともに、るつぼ
Ｉ８を室から次室へ移送するウオーキングビーム２６を
設けているので、るつぼ１８を人手によらず酸洗浄室か
ら乾燥室まで順次搬送することができ、したがって、洗
浄作業の安全化と省力化を図ることができるのはもちろ
んのこと、るつぼ１８の表面が濡れた状態で外部雰囲気
にさらされることがなく、これによって、高い清浄度を
得ることができる。

なお、上記実施例ではウオーキングビーム２６によって
るつぼＩ８を搬送するように構成しているが、このよう
な構成に限るものではなく、例えば、ベルトコンベアを
配置して、るつぼ１８を間欠的に移送するようにしても
よい。また、扉１２を一枚のポリカーボネイトによって
構成しているが、例えば、ステンレスやプラスチック材
からなる細長い板の側縁部同士を回転自在に連結して一
枚の扉を構成してもよい。

［発明の効果］以上説明したようにこの発明の連続洗浄装置では、水平
方向一端部に入口を他端部に出口をそれぞれ有するハウ
ジングと、このハウジング内を上記入口から上記出口に
かけて酸洗浄室と、水洗浄室と、乾燥室とに区画する開
閉自在な扉と、被洗浄物を一定距離づつ移送し、被洗浄
物を上記入口から」二足各室を経由して上記出口まで搬
送する搬送手段とを備えた構成としているので、被洗浄
物を人手によらず酸洗浄室から乾燥室まで順次搬送する
ことができ、したがって、洗浄作業の安全化２６・・・
・・・ウオーキングビーム（搬送手段）、と省力化を図
ることができるのはもちろんのこと、るつぼの表面が濡
れた状態で外部雰囲気にさらされることがなく、これに
よって、高い清浄度を得ることができるという効果が得
られる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は本発明の一実施例を示す図中であ
って、第１図は連続洗浄装置を示す側断面図、第２図は
扉の詳細を示ず側断面図、第３図は第２図のＩＩＩ−Ｉ
Ｈ線線断断面図第４図は第２図における扉を閉じた状態
を示す図である。３・・・・・・上部ハウジング（ハウジング）、４・・
・・入口、５・・・・出口、８ａ・・・・・・酸洗浄室、８ｂ酸洗浄室、９ａ・・・・水洗浄室、９ｂ・・・水洗浄室、１０・・・・・・乾燥室、

Claims

【特許請求の範囲】

水平方向一端部に入口を他端部に出口をそれぞれ有する
ハウジングと、このハウジング内を上記入口から上記出
口にかけて酸洗浄室と、水洗浄室と、乾燥室とに区画す
る開閉自在な扉と、被洗浄物を一定距離づつ移送し、被
洗浄物を上記入口から上記各室を経由して上記出口まで
搬送する搬送手段とを備えてなることを特徴とする連続
洗浄装置。