JPS62201726A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS62201726A JPS62201726A JP4225386A JP4225386A JPS62201726A JP S62201726 A JPS62201726 A JP S62201726A JP 4225386 A JP4225386 A JP 4225386A JP 4225386 A JP4225386 A JP 4225386A JP S62201726 A JPS62201726 A JP S62201726A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide body
- conveyed
- path
- gas
- projecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Discharge Of Articles From Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は被搬送体を気体によって浮上させ搬送路に対
して非接触で搬送するための搬送ｇＡＭに関する。
して非接触で搬送するための搬送ｇＡＭに関する。
（従来の技術）
たとえば、ｗ１１１送体によって物品を搬送するための
搬送装置において、上記物品が半導体ウェハなどのよう
に衝撃を与えたくないものである場合、上記被搬送体を
気体によって浮上させ、搬送路に対して非接触状態で搬
送することが行われている。このような搬送装置によれ
ば、被搬送体を搬送路に接触させた状態で搬送する場合
に比べ被搬送体に与える衝撃を少なくすることができる
から、この被搬送体によって搬送される物品を１ｎ付け
たり、ｉｓさせるなどのことを防止することができる。
搬送装置において、上記物品が半導体ウェハなどのよう
に衝撃を与えたくないものである場合、上記被搬送体を
気体によって浮上させ、搬送路に対して非接触状態で搬
送することが行われている。このような搬送装置によれ
ば、被搬送体を搬送路に接触させた状態で搬送する場合
に比べ被搬送体に与える衝撃を少なくすることができる
から、この被搬送体によって搬送される物品を１ｎ付け
たり、ｉｓさせるなどのことを防止することができる。
このように搬送路に対して非接触で搬送される被搬送体
へ物品を移観する場合、上記被搬送体を搬送路から分岐
された分岐路に導入して行ない、上記搬送路を他の被搬
送体の搬送に有効に利用できるようにしている。
へ物品を移観する場合、上記被搬送体を搬送路から分岐
された分岐路に導入して行ない、上記搬送路を他の被搬
送体の搬送に有効に利用できるようにしている。
ところで、従来上記被搬送体を搬送路から分岐路へ導入
するには、被搬送体が分岐路に対向位ｎした状態でこの
被搬送体にたとえば引込み用の作動杆を係合させ、この
作動杆を駆動して上記被搬送体を分岐路へ導入するよう
にしていた。
するには、被搬送体が分岐路に対向位ｎした状態でこの
被搬送体にたとえば引込み用の作動杆を係合させ、この
作動杆を駆動して上記被搬送体を分岐路へ導入するよう
にしていた。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、このようにして被搬送体を分Ｓ
岐路へ引込むようにすると、作動杆を被搬送体ｌ係合さ
せたときに、作動杆によって上記被搬送体へ衝撃が加え
られることが避けられない。そのため、その衝撃によっ
て被搬送体上の物品に傷を付けたり、損傷させるなどの
ことがあった。
せたときに、作動杆によって上記被搬送体へ衝撃が加え
られることが避けられない。そのため、その衝撃によっ
て被搬送体上の物品に傷を付けたり、損傷させるなどの
ことがあった。
この発明は、被搬送体を搬送路から分岐路へ導入する場
合に、上記被搬送体にｍｌを与えることなく行なえるよ
うにした搬送装置を提供することを目的とする。
合に、上記被搬送体にｍｌを与えることなく行なえるよ
うにした搬送装置を提供することを目的とする。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段及び作用）この発明は、
被搬送体を気体で浮上させて非接触状態で搬送するため
の搬送路から分岐された分岐路の側方に、この分岐路の
方向に沿って移動自在で第１の駆動源によって駆動され
る移動部材を設ける一方、側面から気体が噴出されると
ともに第２の駆動源によって回動駆動されるガイド体を
上記移動部材の先端に設け、このガイド体の側面を上記
被搬送体の上記搬送路に沿う移動方向の一端面に突設さ
れた突体に対向させることによって、上記ガイド体の側
面から噴出される気体の圧力で上記被搬送体を上記ガイ
ド体の移動に非接触状態で連動させて分岐路へ導入する
ようにしたものである。
被搬送体を気体で浮上させて非接触状態で搬送するため
の搬送路から分岐された分岐路の側方に、この分岐路の
方向に沿って移動自在で第１の駆動源によって駆動され
る移動部材を設ける一方、側面から気体が噴出されると
ともに第２の駆動源によって回動駆動されるガイド体を
上記移動部材の先端に設け、このガイド体の側面を上記
被搬送体の上記搬送路に沿う移動方向の一端面に突設さ
れた突体に対向させることによって、上記ガイド体の側
面から噴出される気体の圧力で上記被搬送体を上記ガイ
ド体の移動に非接触状態で連動させて分岐路へ導入する
ようにしたものである。
（実ｍ例）
以下、この発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図に示す搬送装置は搬送路１を備えている。この搬
送路１は底部壁２と、この底部壁２の幅方向両側に立設
された側！３とによって断面形状がほぼＵ字状に形成さ
れている。この搬送路１を形成する合壁２．３は互いに
連通ずる中空状に形成され、この中空部内には図示せぬ
供給源から圧縮空気などの気体が供給され、その気体は
上記底部壁２の上面と側！Ｉ！３の内面とにそれぞれ穿
設された多数の噴出孔りから噴出されるようになってい
る。また、搬送路１には分岐路４が直角に分岐されてい
る。この分岐路４は搬送路１の底部壁２と同じ構造の底
部ｖ５だけによって形成されているが、上記搬送路１と
同様側壁を幅方向間・側に設けてもよい。上記搬送路１
の側！！３の上記分岐路４に対応する部分は、第１図に
矢印で示すように分岐路４の長手方向に沿って移動自在
な可動Ｗ５に形成されている。この可ｌｌｌ壁５の底面
には連結部６が突設され、この連結部６は上記分岐路４
の長手方向に沿って形成された挿入部７にスライド自在
に挿入されている。この挿入部７ ｈｌら分岐路４の下
面側に突出した上記連結部６の端部には第１のエアシ リンダ８のロッド９がＩ！されている。このロッド９が
突出した状態にあるとき、上記可動Ｍ１５は搬送路１の
側壁３の一部をなしており、上記ロッド９が没入方向に
駆動されると、可動ｇ２５が分岐路４の端部に移動して
上記側Ｍ１３の一部が開放されるようになっている。
送路１は底部壁２と、この底部壁２の幅方向両側に立設
された側！３とによって断面形状がほぼＵ字状に形成さ
れている。この搬送路１を形成する合壁２．３は互いに
連通ずる中空状に形成され、この中空部内には図示せぬ
供給源から圧縮空気などの気体が供給され、その気体は
上記底部壁２の上面と側！Ｉ！３の内面とにそれぞれ穿
設された多数の噴出孔りから噴出されるようになってい
る。また、搬送路１には分岐路４が直角に分岐されてい
る。この分岐路４は搬送路１の底部壁２と同じ構造の底
部ｖ５だけによって形成されているが、上記搬送路１と
同様側壁を幅方向間・側に設けてもよい。上記搬送路１
の側！！３の上記分岐路４に対応する部分は、第１図に
矢印で示すように分岐路４の長手方向に沿って移動自在
な可動Ｗ５に形成されている。この可ｌｌｌ壁５の底面
には連結部６が突設され、この連結部６は上記分岐路４
の長手方向に沿って形成された挿入部７にスライド自在
に挿入されている。この挿入部７ ｈｌら分岐路４の下
面側に突出した上記連結部６の端部には第１のエアシ リンダ８のロッド９がＩ！されている。このロッド９が
突出した状態にあるとき、上記可動Ｍ１５は搬送路１の
側壁３の一部をなしており、上記ロッド９が没入方向に
駆動されると、可動ｇ２５が分岐路４の端部に移動して
上記側Ｍ１３の一部が開放されるようになっている。
上記分岐路４の一側には、この分岐路４の方向に沿って
ベース１１が配置されている。このベース１１には移動
部材１２がスライド自在に設けられている。この移動部
材１２の後端には第１の駆動源としての第２のエアシリ
ンダ１３のロッド１４が連結されている。また、移動部
材１２の先端には第２の駆動源としてのモータ１５が設
けられている。このモータ１５の回転軸１６にはほぼコ
テ状でしかも中空状に形成されたガイド体１７が取着さ
れている。このガイド体１７は上記モータ１５によって
垂直な状態から水平な状態へほぼ９０度の範囲で回動駆
動されるとともに、その内部へは搬送路１と同様な気体
が供給されるようになっている。ガイド体１７に供給さ
れた気体はこの両側内面に穿設された噴出孔りから噴出
されるようになっている。
ベース１１が配置されている。このベース１１には移動
部材１２がスライド自在に設けられている。この移動部
材１２の後端には第１の駆動源としての第２のエアシリ
ンダ１３のロッド１４が連結されている。また、移動部
材１２の先端には第２の駆動源としてのモータ１５が設
けられている。このモータ１５の回転軸１６にはほぼコ
テ状でしかも中空状に形成されたガイド体１７が取着さ
れている。このガイド体１７は上記モータ１５によって
垂直な状態から水平な状態へほぼ９０度の範囲で回動駆
動されるとともに、その内部へは搬送路１と同様な気体
が供給されるようになっている。ガイド体１７に供給さ
れた気体はこの両側内面に穿設された噴出孔りから噴出
されるようになっている。
一方、上記搬送路１には被搬送体１９が半導体ウェハな
どの物品２０を載置して搬送されるようになっている。
どの物品２０を載置して搬送されるようになっている。
すなわち、被搬送体１９は上記搬 □送路１の噴出孔り
から噴出される気体によりこの搬送路１に非接触状態で
浮上しており、推力は被搬送体１９に設けられたノズル
（図示せず）から噴出される気体の圧力あるいはりニア
モータ（図示せず）などによって得られるようになって
いる。
から噴出される気体によりこの搬送路１に非接触状態で
浮上しており、推力は被搬送体１９に設けられたノズル
（図示せず）から噴出される気体の圧力あるいはりニア
モータ（図示せず）などによって得られるようになって
いる。
この被搬送体１９の移動方向の一端面には、被搬送体１
９を搬送路１から分岐路４へ引込むための突体２１が突
設されている。すなわち、上記被搬送体１９が分岐路４
の箇所で停止すると、第２のエアシリンダ１３が作動し
てそのａラド１４が突出する。このＯラド１４に連動し
て移動部材１２が搬送路１内へ突出する方向、すなわち
前進方向へ駆動されたのち、モータ１５が作動してガイ
ド体１７を垂直な状態から水平な状態へ回動させる。
９を搬送路１から分岐路４へ引込むための突体２１が突
設されている。すなわち、上記被搬送体１９が分岐路４
の箇所で停止すると、第２のエアシリンダ１３が作動し
てそのａラド１４が突出する。このＯラド１４に連動し
て移動部材１２が搬送路１内へ突出する方向、すなわち
前進方向へ駆動されたのち、モータ１５が作動してガイ
ド体１７を垂直な状態から水平な状態へ回動させる。
すると、このガイド体１７の一対の側壁間に上記突体２
１が入込むから、この状態でガイド体１７を第２のエア
シリンダ１３によって後退方向へ駆動すれば、ガイド体
１７０両側内面の噴出孔りから噴出される気体の圧力に
よって上記被搬送体１９を突体２１を介してガイド体１
７にａ動させることができるようになっている。
１が入込むから、この状態でガイド体１７を第２のエア
シリンダ１３によって後退方向へ駆動すれば、ガイド体
１７０両側内面の噴出孔りから噴出される気体の圧力に
よって上記被搬送体１９を突体２１を介してガイド体１
７にａ動させることができるようになっている。
このような構造の搬送装置において、被搬送体１９を分
岐路４へ取込むには、まず被搬送体１９が分岐路４に対
向位置した状態でこの被搬送体１９を停止させる。被搬
送体１９が位置決めされると、第２のエアシリンダ１３
が作動してそのロッド１４が突出方向に付勢される。こ
のロッド１４がストロークエンドまで突出すると、これ
に連動する移動部材１２の先端に設けられたがイド体１
７が上記被搬送体１９の一端面に設けられた突体２１に
対向する。ついで、モータ１５が作動してガイド体１７
を第１図に示す垂直な状態から第３図に示す水平な状態
へほぼ９０度回動させる。
岐路４へ取込むには、まず被搬送体１９が分岐路４に対
向位置した状態でこの被搬送体１９を停止させる。被搬
送体１９が位置決めされると、第２のエアシリンダ１３
が作動してそのロッド１４が突出方向に付勢される。こ
のロッド１４がストロークエンドまで突出すると、これ
に連動する移動部材１２の先端に設けられたがイド体１
７が上記被搬送体１９の一端面に設けられた突体２１に
対向する。ついで、モータ１５が作動してガイド体１７
を第１図に示す垂直な状態から第３図に示す水平な状態
へほぼ９０度回動させる。
すると、第１図にａ線で示すように上記ガイド体１７の
一対の側面間に上記突体２１が入込むと同時に、このガ
イド体１７の両側内面に穿設された噴出孔りから気体が
噴出され、この気体の圧力でガイド体１７と上記突体２
１とが非接触状態で結合される。つぎに、第１のエアシ
リンダ８が作動してそのロッド９が突出した状態から没
入する方向へ駆動され、可動Ｗ！５を分岐路４の先端側
から後端側へ移動させて搬送路１の側壁３の一部を開放
するとともに、第２のエアシリンダ１３のロッド１４が
没入方向へ駆動される。第２のエアシリンダ１３が没入
方向へ駆動され、これに移動部材１２を介してこの先端
に設けられたガイド体１７が連動すると、このガイド体
１７に突体２１を介して非接触状態で結合された被搬送
体１９が連動する。したがって、上記被搬送体１９は上
記ガイド体１７によって第２図に示すように搬送路１が
ら分岐路４へ引込まれることになる。このとき、被搬送
体１９はガイド体１７が接触することなく移動させられ
るから、この被搬送体１９に衝撃が加わり、これに載置
された物品２０が［３することが防止される。しかも、
上記被搬送体１９は気体の圧力で搬送路１及び分岐路４
に対して浮上しているから、その気体の圧縮性と吸振作
用とによっても上記被搬送体１９が衝撃を受けすらい。
一対の側面間に上記突体２１が入込むと同時に、このガ
イド体１７の両側内面に穿設された噴出孔りから気体が
噴出され、この気体の圧力でガイド体１７と上記突体２
１とが非接触状態で結合される。つぎに、第１のエアシ
リンダ８が作動してそのロッド９が突出した状態から没
入する方向へ駆動され、可動Ｗ！５を分岐路４の先端側
から後端側へ移動させて搬送路１の側壁３の一部を開放
するとともに、第２のエアシリンダ１３のロッド１４が
没入方向へ駆動される。第２のエアシリンダ１３が没入
方向へ駆動され、これに移動部材１２を介してこの先端
に設けられたガイド体１７が連動すると、このガイド体
１７に突体２１を介して非接触状態で結合された被搬送
体１９が連動する。したがって、上記被搬送体１９は上
記ガイド体１７によって第２図に示すように搬送路１が
ら分岐路４へ引込まれることになる。このとき、被搬送
体１９はガイド体１７が接触することなく移動させられ
るから、この被搬送体１９に衝撃が加わり、これに載置
された物品２０が［３することが防止される。しかも、
上記被搬送体１９は気体の圧力で搬送路１及び分岐路４
に対して浮上しているから、その気体の圧縮性と吸振作
用とによっても上記被搬送体１９が衝撃を受けすらい。
なお、゛分岐路４に引込まれた被搬送体１９を搬送路１
に戻すには、第１、第２のエアシリンダ８．１３とモー
タ１５とを先程と逆に作動させることによって行われる
。
に戻すには、第１、第２のエアシリンダ８．１３とモー
タ１５とを先程と逆に作動させることによって行われる
。
し発明の効果］
以上述べたようにこの発明は、気体で浮上させられて非
接触状態で搬送される被搬送体を搬送路から分岐路へ引
込むときに、この被搬送体の一側面に突設された突体に
ガイド体を対向させ、このガイド体の側面から噴出され
る気体の圧力でガイド体と被搬送体とを非接触状態で結
合し、このガイド体を駆動することによってこれに被搬
送体を連動させるようにした。したがって、被搬送体を
これに衝撃を加えることなく搬送路から分岐路へ引込む
ことができるから、そのときに被搬送体にＭｌされた物
品を損傷させるようなことがない。
接触状態で搬送される被搬送体を搬送路から分岐路へ引
込むときに、この被搬送体の一側面に突設された突体に
ガイド体を対向させ、このガイド体の側面から噴出され
る気体の圧力でガイド体と被搬送体とを非接触状態で結
合し、このガイド体を駆動することによってこれに被搬
送体を連動させるようにした。したがって、被搬送体を
これに衝撃を加えることなく搬送路から分岐路へ引込む
ことができるから、そのときに被搬送体にＭｌされた物
品を損傷させるようなことがない。
図面はこの発明の一実施例を示し、第１図は被搬送体が
搬送路に位置するときの平面図、第２図は同じく分岐路
に引込まれたときに平面図、第３図は概略的構成の斜視
図である。 １・・・搬送路、４・・・分岐路、１２・・・移動部材
、１３・・・第２のエアシリンダ（第１の駆ｖＪｍ＞、
１５・・・モータ（第２の駆動源）、１７・・・ガイド
体、１９・・・被搬送体、２０・・・物品、２１・・・
突体。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 １第１図 ア ン 第２図 第３図
搬送路に位置するときの平面図、第２図は同じく分岐路
に引込まれたときに平面図、第３図は概略的構成の斜視
図である。 １・・・搬送路、４・・・分岐路、１２・・・移動部材
、１３・・・第２のエアシリンダ（第１の駆ｖＪｍ＞、
１５・・・モータ（第２の駆動源）、１７・・・ガイド
体、１９・・・被搬送体、２０・・・物品、２１・・・
突体。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 １第１図 ア ン 第２図 第３図
Claims (1)
- 被搬送体を気体で浮上させて非接触状態で搬送するため
の搬送路と、この搬送路から分岐された分岐路と、この
分岐路の方向に沿って移動自在に設けられ第１の駆動源
によって駆動される移動部材と、側面から気体が噴出さ
れるとともに上記移動部材の先端に回動自在に設けられ
第２の駆動源によって回動方向に駆動されるガイド体と
、上記被搬送体の上記搬送路に沿う移動方向の一端面に
突設されこれに上記ガイド体の気体が噴出される側面を
対向させることによってこの側面から噴出される気体の
圧力で上記被搬送体を上記ガイド体の移動に非接触状態
で連動させる突体とを具備したことを特徴とする搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4225386A JPS62201726A (ja) | 1986-02-27 | 1986-02-27 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4225386A JPS62201726A (ja) | 1986-02-27 | 1986-02-27 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62201726A true JPS62201726A (ja) | 1987-09-05 |
Family
ID=12630860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4225386A Pending JPS62201726A (ja) | 1986-02-27 | 1986-02-27 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62201726A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5103959A (en) * | 1988-11-09 | 1992-04-14 | Acme Manufacturing Company | Integrated buffing and grinding system |
| US5178255A (en) * | 1988-11-09 | 1993-01-12 | Acme Manufacturing Company | Shuttle assembly for an integrated buffing and grinding system |
| US6609610B2 (en) * | 2000-01-10 | 2003-08-26 | Cavanna Spa | Process for conveying articles, for instance for automated packaging installations, and a device therefor |
-
1986
- 1986-02-27 JP JP4225386A patent/JPS62201726A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5103959A (en) * | 1988-11-09 | 1992-04-14 | Acme Manufacturing Company | Integrated buffing and grinding system |
| US5178255A (en) * | 1988-11-09 | 1993-01-12 | Acme Manufacturing Company | Shuttle assembly for an integrated buffing and grinding system |
| US6609610B2 (en) * | 2000-01-10 | 2003-08-26 | Cavanna Spa | Process for conveying articles, for instance for automated packaging installations, and a device therefor |
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